JPS59141578U - 単結晶引上装置 - Google Patents

単結晶引上装置

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Publication number
JPS59141578U
JPS59141578U JP3273683U JP3273683U JPS59141578U JP S59141578 U JPS59141578 U JP S59141578U JP 3273683 U JP3273683 U JP 3273683U JP 3273683 U JP3273683 U JP 3273683U JP S59141578 U JPS59141578 U JP S59141578U
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JP
Japan
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single crystal
crystal pulling
pulling device
crystal
material melt
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Pending
Application number
JP3273683U
Other languages
English (en)
Inventor
小塚 弘次
高野 幸男
黒田 「え」慶
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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Pending legal-status Critical Current

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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の単結晶引上装置の概略図、
第2図は第1図における2方向の磁場強度を示すグ2フ
である。 1・・・・・・磁場発生用空芯コイル、2・・・・・・
Si単結晶、5・・・・・・Si融液、15・・・・・
・Si原料供給装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 結晶材料融液中への磁場印加手段として空芯コイルを結
    晶材料融液直上に設けかつ該コイルの空芯部を通して結
    晶引上げを行うようにすることを特徴とする単結晶引上
    装置。
JP3273683U 1983-03-09 1983-03-09 単結晶引上装置 Pending JPS59141578U (ja)

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JP3273683U JPS59141578U (ja) 1983-03-09 1983-03-09 単結晶引上装置

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JP3273683U JPS59141578U (ja) 1983-03-09 1983-03-09 単結晶引上装置

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Publication Number Publication Date
JPS59141578U true JPS59141578U (ja) 1984-09-21

Family

ID=30163545

Family Applications (1)

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JP3273683U Pending JPS59141578U (ja) 1983-03-09 1983-03-09 単結晶引上装置

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JP (1) JPS59141578U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6236096A (ja) * 1985-08-07 1987-02-17 Kawasaki Steel Corp 単結晶の製造方法およびその装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6236096A (ja) * 1985-08-07 1987-02-17 Kawasaki Steel Corp 単結晶の製造方法およびその装置

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