JPS59134396A - Compressor of helium gas - Google Patents

Compressor of helium gas

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Publication number
JPS59134396A
JPS59134396A JP784583A JP784583A JPS59134396A JP S59134396 A JPS59134396 A JP S59134396A JP 784583 A JP784583 A JP 784583A JP 784583 A JP784583 A JP 784583A JP S59134396 A JPS59134396 A JP S59134396A
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JP
Japan
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gas
helium gas
rotating shaft
helium
chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP784583A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidefumi Saito
英文 斎藤
Hisashi Mitani
三谷 寿
Masanao Ando
昌尚 安藤
Hiroshi Isaka
猪坂 弘
Munehiro Hayashi
林 宗浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Original Assignee
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp, Shimazu Seisakusho KK filed Critical Shimadzu Corp
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  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable an efficient compressing operation of helium gas by separating helium gas alone from an exhausted mixed gas by a selectively permeable film. CONSTITUTION:A mixed gas of nitrogen A and helium B exhausted by a disk 19 is introduced into a chamber 23. Only the helium gas B of this mixed gas is permeated through a selectively permeable film 24, and exhausted to the outside of the chamber 23 to be returned to a gas suction port 9 of a compressor 3 through a helium collecting route 25. The nitrogen gas A left inside the chamber 23 is exhaused to the outside of the chamber 23 via a check valve 27, and conducted to a gas exhaust port 6 via a driving gas exhaust route 26.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、タービンでコンプレッサをHaしてヘリウム
ガスを圧縮するようにしたヘリウムガス圧縮装置1こ関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a helium gas compression device 1 that compresses helium gas by heating a compressor with a turbine.

この種のヘリウムガス圧縮装置として、チッソやネオン
等の高圧駆動ガスに付勢されて回転するタービンとラジ
アル式のコンプレッサとを共通の回転軸を介して直結し
ておき、前記タービンの回転力で前記コンプレッサを駆
動してヘリウムガスを圧縮するまうにしたものが考えら
れている。
In this type of helium gas compression device, a radial compressor is directly connected to a turbine that is rotated by a high-pressure driving gas such as nitrogen or neon through a common rotating shaft, and the rotational force of the turbine is used as a helium gas compressor. A system has been proposed in which the compressor is driven to compress helium gas.

ところが、このような構成のものでは、完壁な軸封対策
を施すことが不可能であるため、前記コンプレッサ内を
流れるヘリウムガスの一部が前記回転軸の外周面をつ1
こってタービン側・\漏出し前記コンプレッサを含むヘ
リウム循環系路中におけるヘリ“ラムガスの消費量が不
当1乙増大したり、前記タービン内の駆動ガスの一部が
前記回転軸の外局面をつ1こってコンプレッサ側へ侵入
し、前記ヘリウムガスの純度を低下させるという不都合
がある。
However, with such a configuration, it is impossible to take complete shaft sealing measures, so a portion of the helium gas flowing inside the compressor may seal around the outer circumferential surface of the rotating shaft.
As a result, the amount of helium gas leaked from the turbine side and in the helium circulation system including the compressor may be increased by an unreasonable amount, or a portion of the driving gas in the turbine may contact the outer surface of the rotating shaft. This has the disadvantage that the helium gas enters the compressor side and reduces the purity of the helium gas.

しかして、このような不都合lこ対処するため前記ター
ビンと前記コンプレッサとをガスの流通を遮断する壁状
のハーメティックシールを介して完全に分離してしまい
、前記タービン側の回転軸の動力を前記ハーメティック
シールをはさんで設け1こマグネットカップリングを介
して前記コンプレッサ側の回転軸足伝達するようIこし
たものも考えられている。
However, in order to deal with this inconvenience, the turbine and the compressor are completely separated via a wall-shaped hermetic seal that blocks gas flow, and the power of the rotating shaft on the turbine side is completely separated. It has also been considered to provide a hermetic seal between the two and transmit the rotary axis of the compressor side through a single magnetic coupling.

しかしながら、かかる構成のものは、磁石の強さの限界
から大きなトルクをコンプレッサ側へ伝達することがで
きないという欠点がある。
However, such a structure has the disadvantage that large torque cannot be transmitted to the compressor side due to the limit of the strength of the magnet.

本発明は、このような事情10着目してなされたもので
、タービンとコンプレッサを共通の回転軸で直結してな
るものfこおいて、々d記回転軸の中間部分1こ設けら
れ前記タービン側から前記回転軸をったって漏洩してく
る駆動ガスおよび前記コンプレッサ側から前記回転軸を
ったって漏洩してくるヘリウムガス8前記回転軸の周辺
から逐次排除する排気手段と、この排気手段により排除
された前記駆動ガスと前記ヘリウムガスとの混合ガスを
収容するチャンバと、このチャンバ内fζ導入される混
合ガス中のヘリウムガスのみを選択的に透過させて該チ
ャンバ外へ導く選択透過膜と、この選択透過膜を透過し
たヘリウムガスを回収するヘリウムガス回収系路と、前
記チャンバ内に残る駆動ガスを該チャンバ外へ導出させ
る駆動ガス導出系路とを設けることによって、餌述しt
こ不都合をことごとく解消することができるようfζし
たヘリウムガス圧縮装置を提供するものである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances. Drive gas leaking from the side along the rotating shaft and helium gas leaking from the compressor side along the rotating shaft 8 Exhaust means for sequentially removing from the periphery of the rotating shaft; a chamber containing a mixed gas of the driving gas and the helium gas, and a selectively permeable membrane that selectively permeates only the helium gas in the mixed gas introduced into the chamber and guides it out of the chamber; By providing a helium gas recovery system for recovering the helium gas that has passed through this selectively permeable membrane, and a driving gas derivation system for leading out the driving gas remaining in the chamber to the outside of the chamber, baiting can be achieved.
It is an object of the present invention to provide a helium gas compression device having fζ so as to completely eliminate these inconveniences.

以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明lこ係るヘリウムガス圧縮装置1の縦断
面図でみる。この図面lζ示されているよつlζ、この
ヘリウムガス圧縮装置1は、タービン2とコンプレッサ
8とを共通の回転軸4を介して直結している。タービン
2は、外周部jこガス導入口5を有しかつ一端中心部l
ζガス導出ロ67/有してなるケーンンーグ7内lこ羽
根車8?回転OJ能Iこ収容したものであり、この羽根
車8は前記回転軸4の一端部Iこ支承されている。そし
て、前記ガス導入口51ζ、図示しない高圧ガス除から
送給される駆動ガス、例えば、高圧のチッソガスAを供
給しこのチッソガスAの圧力で前記羽根車8を高速回転
させるようIこしている。また、コンプレッサ3は、一
端中心部lこガス吸込口97r−冶しがっ外周部It 
if ス吐田ロ1o−5−有してなるケーシング111
51こ羽根車12を回転可能に収容したものであり、こ
の羽根車12は前記回転軸4の他端部に支承されている
。そして、前記ガス吸込口91こ低圧のヘリウムガスB
を導き得るようIこしている。なお、前記回転軸4は前
記両ケーシング7.11を一体的に連結するブロック1
4+こ良通させて設けてあり、このブロック14内1こ
前記回転軸4をフロー状態で支持するラジアルガス軸受
15,15およびスフストガス軸受16.16が設けで
あるととも1こ、前記両ラジアルガス軸受15.15間
1i−は対をなすラビリンスシール17.18がpt+
である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a helium gas compression device 1 according to the present invention. As shown in this drawing lζ, this helium gas compression device 1 has a turbine 2 and a compressor 8 directly connected via a common rotating shaft 4. The turbine 2 has a gas inlet 5 on the outer circumference and one end on the center part l.
ζ gas derivation rotor 67/1 impeller 8 in the engine 7? This impeller 8 is supported by one end of the rotating shaft 4. Then, a driving gas such as high-pressure nitrogen gas A is supplied from the gas inlet 51ζ and a high-pressure gas outlet (not shown), and the pressure of the nitrogen gas A is used to rotate the impeller 8 at high speed. In addition, the compressor 3 has one end in the center, a gas suction port 97r, and an outer peripheral part It.
If Suotaro 1o-5- casing 111
A 51-piece impeller 12 is rotatably housed therein, and this impeller 12 is supported on the other end of the rotating shaft 4. Then, the gas suction port 91 has low pressure helium gas B.
I am trying to guide you through this process. Note that the rotating shaft 4 is connected to the block 1 that integrally connects both the casings 7.11.
In this block 14, there are radial gas bearings 15, 15 and fast gas bearings 16 and 16, which support the rotating shaft 4 in a flow state. Gas bearings 15.15 and 1i- are paired with labyrinth seals 17.18 and pt+.
It is.

そして、前記回転軸4の中間部分、つまり、前記両ラビ
リンスシール17.18間に位置する部分に排気手段た
る円板19を一体1こ突没しておき、この円板19で前
記タービン2側から前記回転軸4をったって漏洩してく
るチッソガスAおよび前記コンプレッサ3側から前記回
転軸4をったって漏洩してくるチッソガスBを前記回転
軸4の周辺から逐次排除するようにしている。具体的に
説明すれば、前記円板19は、前記回転軸4の外周1こ
突没した鍔状のもので、その両端面に第2図fこ示すよ
うなスパイラル状の溝21・・・が刻設してあり、前記
回転軸4をったって漏洩してくるチッソガスAおよびヘ
リウムガスBをそれぞれ遠心力jこより外径方向へ放出
し得るようになっている。
Then, a disk 19 serving as an exhaust means is integrally protruded and recessed into an intermediate portion of the rotating shaft 4, that is, a portion located between both the labyrinth seals 17 and 18, and this disk 19 is connected to the turbine 2 side. The nitrogen gas A leaking from the compressor 3 along the rotating shaft 4 and the nitrogen gas B leaking from the compressor 3 side along the rotating shaft 4 are successively removed from the vicinity of the rotating shaft 4. To be more specific, the disc 19 is a flange-shaped member that protrudes from the outer circumference of the rotating shaft 4, and has spiral grooves 21 on both end faces thereof as shown in FIG. is engraved so that nitrogen gas A and helium gas B leaking along the rotating shaft 4 can be discharged in the outer radial direction due to centrifugal force J.

そして、この円板19+こよって回転軸4の周辺から排
除しtこチッソガスAとヘリウムガスBとの混合ガスを
ボート22を介してチャンバ28内に導くようにしてい
る。チャンバ23の一側壁は、ヘリウムガスBのみを選
択的1こ透過させ得る選択透過膜24 rcよって形成
されており、このチャンバ28内に導入された混合ガス
中のヘリウムガスBを前記選択透過膜24を通して該チ
ャンバ23外へ導くようになっている。また、この選択
透過膜24を透過したヘリウムガスBをヘリウムガス回
収系路25を介して、例えば、前記コンプレッサ8のガ
ス吸込口9へ戻すとともt乙、前記チャンバ23内1こ
残るチッソガスAを駆動ガス導出系路26を介して、例
えは、タービン2のガス導出口6部へ戻すようにしてい
る。この駆動ガス導出系路261こは、チェックバルブ
27が設けてあり、このチェックバルブ27と前記円板
19の排気力とによって前記チャンバ28内のガス圧力
を高め、前記ヘリウムガスBの前記選択透過膜24に対
する透過率を向上させるよう1こしている。また、前記
回転軸4の前記円板19よりもターピン2寄りの部位に
補助円板28を突設している。補助円板28は、前記円
板19と同様な構成のもので、主としてタービン2側か
ら回転軸4をったって漏洩してくるチッソガスAを予備
的lこ回転軸4の周辺から排除するようになっている。
The mixed gas of nitrogen gas A and helium gas B, which is removed from the vicinity of the rotating shaft 4 by this disk 19, is introduced into the chamber 28 through the boat 22. One side wall of the chamber 23 is formed by a selectively permeable membrane 24 rc that can selectively transmit only helium gas B, and the helium gas B in the mixed gas introduced into the chamber 28 is passed through the selectively permeable membrane 24 rc. 24 to lead out of the chamber 23. Further, when the helium gas B that has passed through the selectively permeable membrane 24 is returned to, for example, the gas suction port 9 of the compressor 8 via the helium gas recovery line 25, the nitrogen gas A remains in the chamber 23. For example, the gas is returned to the gas outlet port 6 of the turbine 2 via the driving gas outlet line 26. This drive gas derivation system 261 is provided with a check valve 27, and the gas pressure in the chamber 28 is increased by the check valve 27 and the exhaust force of the disk 19, and the selective permeation of the helium gas B is performed. It is strained to improve the transmittance through the membrane 24. Further, an auxiliary disk 28 is provided protruding from a portion of the rotating shaft 4 closer to the turpin 2 than the disk 19. The auxiliary disk 28 has the same structure as the disk 19, and is mainly designed to exclude nitrogen gas A leaking from the turbine 2 side along the rotating shaft 4 from around the rotating shaft 4. It has become.

そして、この補助円板28によって排除したチッソガス
Aをチェック弁29を介して前記駆動ガス導出糸路25
中Iこ放出するようIこして(、iる。
Then, the nitrogen gas A removed by this auxiliary disk 28 is passed through the check valve 29 to the drive gas lead-out line 25.
Strain to release the liquid.

次いで、この実施例の作動を説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.

高圧のチッソガスAをガス導入口5からタービン2内t
こ導入すると、このタービン2の羽根!、8が高速で回
転するとともに、この羽根車8を対13勢することIn
よって膨張したチッソガスA/がガス導出口61F通し
て逐次タービン2外へ排出される。
High pressure nitrogen gas A is introduced into the turbine 2 from the gas inlet 5.
When this is introduced, the blades of this turbine 2! , 8 rotate at high speed, and the impeller 8 is rotated in pairs with 13 forces.
Therefore, the expanded nitrogen gas A/ is sequentially discharged to the outside of the turbine 2 through the gas outlet 61F.

このようにして、タービン2の羽根車8が回転すると、
その回転力が回転軸4を介してコンプレッサ3の羽根車
12+ζ伝達され、この羽根車12が高速で回転するこ
とになる。そのため、ガス吸込口9F/通してコンプレ
ッサ8内憂こ導入されたヘリウムガスBが前記羽根車1
2+こより圧縮され、高圧となったヘリウムガスBlが
ガス吐出口10から吐出される。
In this way, when the impeller 8 of the turbine 2 rotates,
The rotational force is transmitted to the impeller 12+ζ of the compressor 3 via the rotating shaft 4, and the impeller 12 rotates at high speed. Therefore, the helium gas B introduced into the compressor 8 through the gas suction port 9F is transferred to the impeller 1.
The helium gas Bl, which is compressed by 2+ and becomes high pressure, is discharged from the gas discharge port 10.

身上のようIr−j、で、ヘリウムガスBを圧縮するこ
とができるが、この装置ではタービン2とコンプレッサ
8とが回転軸4を介して直結されており、ラビリンスシ
ール17,18だけでは、完全な軸封は不可能である。
Helium gas B can be compressed using Ir-j as described above, but in this device, the turbine 2 and compressor 8 are directly connected via the rotating shaft 4, and the labyrinth seals 17 and 18 alone cannot completely compress the helium gas B. A perfect shaft seal is impossible.

そのため、タービン2内を流通するチッソガスAの一部
が回転軸4の外周面をったってコンプレッサ3方向へ流
れ、タービン2側のラビリンスシール17を越えて補助
円板28配設部にまで達する。そして、補助円板281
こ達したチッソガスAは該補助円板28の端面fζ設け
たスパイラル状の溝に案内され、遠心力によって外方へ
排除される。しかして、この補助円板28tこより排除
されたチッソガスAはチェックバルブ29を通して駆動
ガス導出系路26の途中1乙放出され、該糸路26を通
してタービン2のカス導出口6へ戻される。なお、前記
補助円板28に達したチッソガスAの一部は、チェック
バルブ29を介して排出されず、該補助円板28を迂回
して隣接する円板19配設部にまで達する。−万、コン
プレッサ8内を流通するヘリウムガスBの一部は、回転
軸4の外周面をったってタービン2方向へ流れ、コンプ
レッサ3側のラビリンスシール18を越えて前記円板1
9配設部にまで達する。このようにして、円板19に達
したチッソガスAとヘリウムガスBは、この円板19の
両端面1こ設けたスパイラル状の溝21・・・1ご案内
され遠心力によって回転軸4の周辺から排除される。し
かして、この円板191こより排除されたチッソガスA
とヘリウムガスBとの混合ガスは、ボート22を通して
チャンバ28内fこ導入される。そして、混合ガスがチ
ャンバ28内に導入されると、該混合ガス中のヘリウム
ガスBのみが選択透過膜24を透過して該チャンバ23
外へ導出され、ヘリウムガス回収系路25を通してコン
プレッサ8のガス吸込口9へ戻される。また、前記チャ
ンバ28内に残るチッソガスAはチェックバルブ277
F−介してチャンバ23外へ排出され、駆動ガス導出系
路26を通してタービン2のガス導出口6部へ案内され
る。
Therefore, a part of the nitrogen gas A flowing through the turbine 2 flows along the outer peripheral surface of the rotary shaft 4 toward the compressor 3, passes over the labyrinth seal 17 on the turbine 2 side, and reaches the auxiliary disk 28 disposed portion. And auxiliary disk 281
The nitrogen gas A that has reached this point is guided by a spiral groove provided on the end face fζ of the auxiliary disk 28, and is expelled outward by centrifugal force. The nitrogen gas A removed from the auxiliary disk 28t is discharged through the check valve 29 into the drive gas outlet line 26, and is returned to the waste outlet 6 of the turbine 2 through the thread line 26. Note that a part of the nitrogen gas A that has reached the auxiliary disk 28 is not discharged via the check valve 29, but bypasses the auxiliary disk 28 and reaches the adjacent disk 19 installation portion. - A part of the helium gas B flowing through the compressor 8 flows along the outer peripheral surface of the rotating shaft 4 toward the turbine 2, crosses the labyrinth seal 18 on the compressor 3 side, and passes through the disk 1.
It reaches up to 9 installation parts. In this way, the nitrogen gas A and helium gas B that have reached the disk 19 are guided by the spiral grooves 21 provided on both end surfaces of the disk 19, and are guided around the rotating shaft 4 by centrifugal force. be excluded from Therefore, the nitrogen gas A removed from this disk 191
A mixed gas of helium gas B and helium gas B is introduced into the chamber 28 through the boat 22. When the mixed gas is introduced into the chamber 28, only helium gas B in the mixed gas passes through the selectively permeable membrane 24 and enters the chamber 23.
The gas is led out and returned to the gas suction port 9 of the compressor 8 through the helium gas recovery line 25. Further, the nitrogen gas A remaining in the chamber 28 is removed by a check valve 277.
The gas is discharged out of the chamber 23 through the drive gas outlet line 26 and guided to the gas outlet port 6 of the turbine 2.

し1こがって、このようなものであれば、回転軸4をっ
たってコンプレッサ3外へ漏出したヘリウムガスBをチ
ッソガスAの混入を招くことなし1こコンプレッサ8側
へ回収することができるものである。
However, with this type of system, the helium gas B that leaked out of the compressor 3 along the rotating shaft 4 can be recovered to the compressor 8 side without contaminating the nitrogen gas A. It is something.

なお、タービンを作動させるための駆動ガスは、チッソ
ガスに限られないのは勿論であり、例えは、イーオンガ
ス、アルゴンガスあるいは空気等能のものであってもよ
い。
Note that the driving gas for operating the turbine is, of course, not limited to nitrogen gas, and may be, for example, ion gas, argon gas, or air.

また、排気手段も図示実施例のものIコ限定されないの
は勿論であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変
形が可能である。
Furthermore, it goes without saying that the exhaust means is not limited to the illustrated embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

さらに、ヘリウムガス回収系路の構成も前記実施例のも
の1こ限られず、例えは、ヘリウムガスの出口部分に吸
着剤の容器を設け、回収するヘリウムガスの純度をより
高め得るよう1ζする等、種々変形が可能である。
Furthermore, the configuration of the helium gas recovery system is not limited to that of the embodiment described above; for example, an adsorbent container may be provided at the helium gas outlet to further improve the purity of the helium gas to be recovered. , various modifications are possible.

また、駆動ガス導出系路も図示実施例のもの1こ限られ
るものではなく、例えば、チャンノ〈内1こ残る駆動ガ
スを大気中に排出するようIこしたtごCすのものであ
ってもよい。
Further, the drive gas derivation line is not limited to the one shown in the illustrated embodiment, but may be, for example, a channel in which the remaining drive gas is drained into the atmosphere. Good too.

本発明は、以上のような構成である力)ら、次のような
効果が得らti、ル。
The present invention has the above-mentioned configuration, and the following effects can be obtained.

マス、タービンとコンプレッサとを回転軸を介して直結
しているので、1rII記タービンカ)ら1己コンプレ
ツサへ大きなトルクを伝達すること力量できる。
Since the mass, turbine, and compressor are directly connected via the rotating shaft, it is possible to transmit a large torque from the turbine (1rII) to the compressor.

しかも、前記回転軸の中間部分Jこ排気手段を設け、タ
ービン側から漏洩してくる駆動ガスおよびコンプレッサ
側から漏洩してくるへ1ノウムガスを共に回転軸の周辺
から排除するとともに、この排除した混合ガス中からヘ
リウムガスのみを選択透過膜を用いて分離するようIC
し、その分離したヘリウムガスを前記コンプレッサ側へ
回収し得るヨウ艮しているので、0■記コンプレツー?
力〉う実jt的に外部へ漏洩し捨てられてしまうヘリウ
ムガスの量を非常に少な(することが可能であり、無駄
のないヘリウムガス圧縮運転を行なうこと力5できる。
In addition, an exhaust means is provided at the middle part of the rotating shaft, and the driving gas leaking from the turbine side and the gas leaking from the compressor side are both removed from the periphery of the rotating shaft, and the removed mixture The IC is designed to separate only helium gas from the gas using a selectively permeable membrane.
However, it is assumed that the separated helium gas can be recovered to the compressor side.
In fact, it is possible to extremely reduce the amount of helium gas that leaks to the outside and is thrown away, allowing efficient helium gas compression operation.

また、このようなものであれば、駆動ガスがコンプレッ
サ側へ侵入するおそれもないので、圧縮するヘリウムガ
スの純度が低下するという不都合も生じない。
Furthermore, with this type of compressor, there is no fear that the driving gas will enter the compressor side, so there will be no inconvenience that the purity of the helium gas to be compressed will be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第2図は同
実施例の排気手段部分を示す横断面図である。 1・・・ヘリウム圧縮装置 2・・・タービン  8・・・コンプレッサ4・・・回
転軸  19・・・排気手段(円板)28・・・チャン
バ  24・・・選択透過膜25・・・ヘリウムガス回
収系路 26・・・駆動ガス導出系路 A・・・駆動ガス(チ歩ソガス) B・・・ヘリウムガス 代理人 弁理士 赤澤−博
FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing an exhaust means portion of the same embodiment. 1... Helium compression device 2... Turbine 8... Compressor 4... Rotating shaft 19... Exhaust means (disk) 28... Chamber 24... Selective perms membrane 25... Helium Gas recovery system line 26... Drive gas derivation line A... Drive gas (chip gas) B... Helium gas agent Patent attorney Hiroshi Akazawa

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)高圧の駆動ガスlこ付勢されて回転するタービン
とへ9ウムガスを圧縮するコンプレッサとを共通の回転
軸を介して直結してなるヘリウムガス圧縮装置において
、前記回転軸の中間部分に設けられ前記タービン側から
前記回転軸をつtコって漏洩してくる駆動ガスおよび前
記コンプレッサ側から前記回転軸をったって漏洩してく
るヘリウムガスを前記回転軸の周辺から逐次排除する排
気手段とこの排気手段fこより排除された前記駆動ガス
と前記ヘリウムガスとの混合ガスを収容するチャンバと
、このチャンバ内に導入される混合ガス中のヘリウムガ
スのみを選択的1こ透過させて該チャンバ外へ導く選択
透過膜と、この選択透過膜を透過したヘリウムガスを回
収するヘリウムガス回収系路と、前記チャンバ内に残る
駆動ガスを該チャンバ外へ導出させる駆動ガス導出系路
とを具備しでなることを特徴とするヘリウムガス圧様装
置。 (2)  前記排気手段の排気力によって前記チャンバ
内のガス圧を高め得るよう1こ構成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載のへ、リウムガス。 圧縮装置。 (8)  前記排気手段が、前記回転軸の外周に・突設
され端面1こスパイフル状の溝を有してなる円板である
ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載のヘリウム
ガス圧縮装置。
[Scope of Claims] (1) A helium gas compression device in which a turbine rotated by being energized by a high-pressure driving gas and a compressor that compresses helium gas are directly connected via a common rotating shaft, Provided at an intermediate portion of the rotating shaft, the driving gas leaking from the turbine side along the rotating shaft and the helium gas leaking from the compressor side along the rotating shaft are removed from the vicinity of the rotating shaft. an evacuation means for sequentially removing the helium gas from the exhaust gas; a selectively permeable membrane that allows the helium gas to permeate and guide it out of the chamber; a helium gas recovery line that recovers the helium gas that has passed through the selectively permeable membrane; and a driving gas outlet that leads out the driving gas remaining in the chamber to the outside of the chamber. A helium gas pressure-like device characterized by comprising a system line. (2) The lithium gas according to claim 1, characterized in that the gas pressure in the chamber can be increased by the exhaust force of the exhaust means. Compression device. (8) The helium gas according to claim 2, characterized in that the exhaust means is a disk that protrudes from the outer periphery of the rotating shaft and has a spiffle-shaped groove on one end surface. Compression device.
JP784583A 1983-01-19 1983-01-19 Compressor of helium gas Pending JPS59134396A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP784583A JPS59134396A (en) 1983-01-19 1983-01-19 Compressor of helium gas

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08189494A (en) * 1994-05-10 1996-07-23 Man Gutehoffnungshuette Ag Gear driving type multispindle turbo type compressor and gear driving type multispindle radial expansion machine
DE102014218945A1 (en) * 2014-09-19 2016-03-24 Siemens Aktiengesellschaft Housing cast model, housing series, method of producing a cast housing of a radial turbofan energy machine
JP2019044833A (en) * 2017-08-31 2019-03-22 三菱重工業株式会社 Shaft seal device and turbine power generating system

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