JPS59132635U - ウエハ処理装置 - Google Patents

ウエハ処理装置

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Publication number
JPS59132635U
JPS59132635U JP2506383U JP2506383U JPS59132635U JP S59132635 U JPS59132635 U JP S59132635U JP 2506383 U JP2506383 U JP 2506383U JP 2506383 U JP2506383 U JP 2506383U JP S59132635 U JPS59132635 U JP S59132635U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer processing
partition plates
rod
frame
processing equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2506383U
Other languages
English (en)
Inventor
別部　政司
Original Assignee
株式会社東芝
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Publication date
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Priority to JP2506383U priority Critical patent/JPS59132635U/ja
Publication of JPS59132635U publication Critical patent/JPS59132635U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来のウェットエツチング装置を示す平面図
、第１図すは第１図ａのＡ−Ａ’断面図、第２図ａは本
考案の一実施例を示す側面図、第２図すは第２図ａのＢ
−Ｂ’断面図である。 １２２〜１２ｆ・・・棒状部材、１３・・・区切り板、
１４・・・穴、１５・・・突起、月６・・・駆動源、１
８・・・ウェハ収容部。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）互いに平行に配置され枠体を形成している複数の
    棒状部材と、前記枠体内部を所定間隔で区切る区切り板
    と、該区切り板に設けられた穴、隣接した前記区切り板
    と前記複数の棒状部材とで形成されるウェハ収容部と、
    前記枠体を回転させる手段とを具備するウェハ処理装艙
    。
  2. （２）前記区切り板は円板状であって、かつその中心部
    分には突起が設けられていることを特徴とする実用新案
    登録請求のウェハ処理装置。
  3. （３）前記ウェハ収容部を構成する前記複数の棒状部材
    には溝が設けられていることを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項または第２項記　　・載のウェハ処理
    装置。
JP2506383U 1983-02-24 1983-02-24 ウエハ処理装置 Pending JPS59132635U (ja)

Priority Applications (1)

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JP2506383U JPS59132635U (ja) 1983-02-24 1983-02-24 ウエハ処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2506383U JPS59132635U (ja) 1983-02-24 1983-02-24 ウエハ処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59132635U true JPS59132635U (ja) 1984-09-05

Family

ID=30156068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2506383U Pending JPS59132635U (ja) 1983-02-24 1983-02-24 ウエハ処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59132635U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012015171A (ja) * 2010-06-29 2012-01-19 Sumco Corp ウェーハエッチング用治具

Cited By (1)

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