JPS59125403A - バツチプロセスのシ−ケンス制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、薬品、染料１食品等の多品種少量生産設備の
製造プロセスを計算機等で制御するに好Ｊ７にパッチプ
ロセスのシーケンス制御方法に関する。

〔従来技術〕

従来から、薬品、染料９食品等の製造プ暖セスは多品種
少量生産の性格上バッチプロセスが大半である。尚、こ
のバッチと云う名称は１つの製品。

を作シ出す制御のサイクルを意味して−る。前記パッチ
プロセスｂ制御を計算機で行う場合、薬品。

染料等は時代の流れにより、品種がいろいろ変ってくる
為、その都度制御の仕方も変更しなくてはならない。し
かし、従来は対象となるパッチプロセスの全ての運転ケ
ースを考慮し、吟、ケースに１対１で対応するシーケン
スをソフトウェアによシＡｓｓ又は、ＦＯＲＴＲＡＮ　
で手作りしてきた。

薬品、染料等のバッチプロセスにおいては、時代のニー
ズと共に製品が変ってくる為、プロセスの制御内容も自
ずと変化し、従って、前記したシーケンスに関するソフ
トウェアを変更しなければならない。しかも、将来どの
様な製品が必要とされるかの予想は難しい。更には、技
術の進歩と共に原材量の切換、運転方法の切換等が必要
となシ、これニ伴つシーケンス用ソフトウェアの修正も
必要となってくる。

この為、現時点での運転条件に従って上記した様に各ケ
ース１対１で作成されているシーケンスのソフトウェア
では、その修正、変更が非常に多く且つ、大変な作業量
となる。即ち、使う原材料の製品処方（何の原材料をど
れだけの量使うか）の修正で新製品が作れるならば従来
技術によるシーケンス用ソフトウェアでも種類・数量の
みの変更であるので、充分対処出来る。しかし、運転手
龜 順が変ればシーケンス用ソフトウェアも新製品の出現と
共に大幅な変更を余儀なくされ、このシーケンス用ソフ
トウェアの修正に多大な時間と労力がさかれると云う欠
点がある。しかも、このシーケンス用ソフトウェアの修
正には専門的な知識を有する人間でなければできず普通
の人間が容易に行うことが出来ないと云う欠点があった
。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、専門知識を要せずバッチプロセスの変
更に伴うプロセス制御シーケンスノ修正を容易に行うこ
とが出来るバッチプロセスのシーケンス制御方法を提供
することにある。

〔発明の概要〕

本発明は、計算機によるバッチプロセスのシーケンス制
御方法を得るために、バッチと称される・１つの製品を
作シ出す−、連のシーケンスを、機器各々に１対１で対
応させてこれを動作させる個別の機器動作シーケンスを
設け、該機器動作シーケンスを組合わせて１つの工程を
処理する工程シーケンスを所定工数分設け、この工程シ
ーケンスを１Ｍ品毎の組み合せを容易としたバッチシー
ケンスを設け、前記各工程シーケンスが動作する際に、
前記工程シーケンスの先頭において、当該工程を実行可
能にすべく、プロセスの弁、ポンプ等の制御機器状態を
初期化することによシ、上記目的を達成する。

次に本発明の原理について説明する。本発明では、バッ
チプロセスのシーケンス制御方法ヲ、第１図に示す（４
）のバッチシーケンス、（ハ）の工程シーケンス、０の
制御機器動作シーケンスの３レベルに分けて設けている
。囚のバッチシーケンスとは、１つの製品を作シ出す制
御のサイクルで、１つのバッチシーケンス（ｉｏｏ〜１
０４　）　ハ、■の工程シーケンスの複数個が定められ
た順序にて順次動作するものである。一般的にこの１バ
ツチシーケンスは、例えば次の様な工程シーケンスから
成っている。（１）原材料Ｘ及びＹの仕込み、即ち製品
の原材料を反応缶に所定量仕込む工程のシーケンス（１
００，１０１）。（２）攪拌機制御、即ち反応を均一に
させるべく攪拌機を回転させる工程のシーケンス（１０
２）。（３）反応工程のシーケンス（ｉｏａ）。（４）
製品の抜出し工程のシーケンス（１０４）である。

■の工程シーケンスは、仕込み、反応等の製品を製造す
るある作業の単位シーケンスを示し、各各のシーケンス
には目的とする作業の詳細手順が示されている。例えば
、先ずステップＳ１でスタートシ、弁１を開にしくステ
ップＳ２）、次に弁２を開にしくステップＳ３）、次に
ポンプ３を起動しくステップＳ４）、・・・・・・の如
くである。つまり、（Ｑの機器動作シーケンスの機器を
どの様に動作させるかの詳細手順が示されている。

０の制御機器励動シーケンスは、制御の対象となる弁、
ポンプ等の機器を具体的にどのように指定し動作させる
かを定義するシーケンスのことでアシ、該シーケンスが
ソフトウェアで提供さレタ場合には各機器δ入出力がプ
ロセス入出力装置のどのポイントか、その入出力タイプ
（入出力信号のデータ長、パルス列入出力か、スティタ
ス八出力か等々）、モニタータイプ（上下限、渋滞チェ
ック等々）等の各機器固有の仕様を管理するものである
。

これ等バッチ、工程、及び制御機器動作の各シ−タンス
に対し本発明では次に説明するように提供されている。

以下、詳細に説明する。

（イ）機器の仕様に関する機器動作シーケンスについて
説明する。これは第１図における（Ｑレベルに相当する
。各機器の仕様は機器の種類（例えば弁、ポンプ、計器
）によシどんな機能が必要とされるかが決定される。そ
こで、当該シーケンスのソフトウェアとしては各機器に
対応してｐ　Ｉ’ｐ’　（Ｆｉｌｌ　Ｉｎ　ｔｈｅ　ｐ
ｏｒｍ　）の如く第２図囚に示した定温フォーマット２
０の中の１で示す空欄２００乃至２０７内に必要項目を
記入するだけで、機器仕様が定まる様にする。この第２
図囚で示した定型フォーマット２０は各機器毎に持って
いて、このフォーマット２０に定義することによって各
機器の制御を可能とする。即ち、第２図■に１す如く第
２図囚の定型フォーマット２０が記載されているカード
１０をＣＰＵＩＩに取シ込むと、ＣＰＵ１１はこのカー
ド１０の定型フォーマット２０に基づいて入出力装置１
２を介して例えばポンプ１３を運転制御する。

この様に定型フォーマット２０は定型化されている為、
定義等が簡単であシ、シーケンスをソフトウェアで作成
する場合に、プログラムの知識の薄い人でも容易に作成
することが出来、又、プロセスの変更に伴う機器の制御
変更に対する、ソフトウェアの修正も容易に追加修正し
て迅速な対応をすることが可能となる。

（ロ）　１つの工程を処理する工程シーケンスを作成す
るについて機器単体操作モジュールに関する事項を説明
する。これは第１図■レベルに相当する。ここでは機器
の操作を標準化しておくものとする。例えば、以下の表
の如く実際の用語に近いものを用意して工程シーケンス
をソフトウェアにて得る場合に非専門家でも容易に工程
シーケンスを作成し得る様にしである。

Ｐウ　　前記工程シーケンス全体について説明する。

これは第１図の■レベルに相当する。各工程シーケンス
は、該（ロ）で示した機器単体操作モジュールを複数個
使用して、目的とする各工程の制御内容を作成するもの
である。例えば、工程シーケンスにおいて処理しなけれ
ばならない工程には、一般に、次の様なものがある。（
ａ）仕込み工程、Φ）昇温／降温の温度制御の工程、（
Ｃ）攪拌機制御の工程、（ｄ）流量制御の工程、（ｅ）
製品抜出し工程、（ｆ）真空処理、Ｎ２置換処理の工程
、（ｇ）熱交換器の制御の工程等々であり、これ等を（
ロ）の機器単体操作モジュールを順番に配列して作成し
た工程シーケンスを第３図の如く複数工程分設けておく
。

に）バッチ（仕様）シーケンスについて説明する。

これは第１図囚レベルに相当する。このバッチ（仕様）
シーケンスは、原料の仕込みから製品の完成迄の一連の
バッチを、ｅつで示した１つの工程シーケンスを１単位
とする工程モジュール（第３図）を組合せることによシ
得ることができる。しかも、第３図で示した工程シーケ
ンスの仕込み工程（ａ）に記載されている様にシーケン
スでの仮変数（Ｘ、ｙ、ｚ）に対応した機器名。

数値及び工程順を具体的に指定する。第４図はバッチ（
仕様１′）シーケンスの具体例を示しておシ、例えば工
程６エ”に対する前述の仮変数（パラメータ）にＶｌ　
、　Ｖ２　、　’Ｐ　１等の機器名が指定出来、又縦列
に工程の順序に従って工程シーケンス名が指定出来る様
にな？ている。

上記の様にして本発明は３つのレベルに分けてシーケン
スが設けられておシ、Ｃレベルのシーケンスヲ集合して
Ｂレベルのシーケンスを得て、またＢレベルのシーケン
スヲ集合シてＡレベルのシーケンスを得る様になってい
る。この為、この様に形成されたシーケンスであるので
、新製品に対応して容易に追加変更出来る様になってい
る。この様な観点からバッチプロセスが変更された際の
各場合について吟味してみる。（イ）の制御機器（仕様
）シーケンスについては、対象のプロセスに合せて各機
器の仕様を一度定義すれば、この点に関する変更はない
為、影響は受けない。（ロ）の機器単位操作モジュール
は、標準化されたモジュールであシ、これも影響を受け
ない。従って、バッチプロセスの変更によシ影響を受け
るのは（ハ）の工程（仕様）シーケンスと、に）のバッ
チ（４［）シーケンスとである。

次に、新製品の出現等によるバッチプロセスの変更によ
る前記（ハ）、に）のシーケンスへの影響は、次の２ケ
ースが問題となる。ケース１は、制御機器の動作手順が
変ることによるシーケンスの修正である。ケース２は、
動作手順は変らないが処方が変ることによるシーケンス
の修正を必要とする場合である。尚、前記処方とは目的
とする製品を作シ出す各種条件を示し、具体的には反応
温度の設定値、原材料等の仕込量１反応時間等の設定値
を示す。、つまシこれ等各種設定値を変えることによシ
いろいろな製品を作シ出すことができる。

本発明では上記２ケースの場合のシーケンスへの影響に
対し次の様に対処している。ケース１の動作手順が変る
ことによシ制御対象機器が製品によシ変更されることに
なる。これに対してｔ（ハ）の工程（仕様）シーケンス
と、に）のバッチ（仕様）シーケンスの所で述べた如く
、例えば第３図に示す如く機器単位操作コマンドの７−
ケンスでは仮変数を使用し七おき、第４図のバッチ（仕
様）シーケンスの所でこれらの仮変数に実記基、数値を
記入することによシ対処している。即ち、不確定な機器
並びにケース２での各種条件値（製品によシ変る）に対
し、前記仮変数を実行時に実際の機器１条件値に置換え
て処理している為、バッチプロセスの変更に伴ってシー
ケンスを変更する場合でも、仮変数に入れる実際の数値
を書換えるだけでシーケンスの変更を行うことが出来る
。本発明ではこの様なシーケンスの変更を仮変数による
シーケンス処理と称している。

製品によシバツチプロセスの運転手１−が変更されると
、工程内の制御手順が変るだけでなく、工程の処理順序
が変更される場合もある。この場合問題となるのは、前
に実行した工程の終りの状態が次の工程に影響すること
にある。このことを具体的に第５図囚乃至０によシ説明
する。１バツチが第５図（イ）で示される様に工程”°
Ｉ”、Ｉ　■７１゜６■”　＠、　■＃の４工程よ多構
成されているとする。第５図■はこの様な１バツｆ”ｌ
”〜ｔｔ　Ｎ”の工程順で製品Ｍを製造する制御機器動
作のタイムチャートを示したものであり、第５図（Ｑは
工程順が１■”、”■”、“Ｉ″、“■″の順で製品Ｎ
を製造する制御機器動作のタイムチャートを示したもの
である。

第５図（ト）及び（Ｑから解る様に、制御機器の動作は
工程間に亙シ動作する弁Ｖ、、Ｖｌ、Ｖ２と工程内のみ
で動作するポンプＰ　１１１）ｚのようなものとに大別
される。

第５図■、０で示した工程の如く製品の種類によシ工程
順が変る場合は、工程間に亙シ動作する機器の取扱いが
問題となる。例えば工程“■”に着目してみると、製品
Ｍでは弁Ｖ。、Ｖｔはクローズで、弁■２はオープンで
あるが、製品Ｎでは弁■。、弁Ｖ１、弁ｖ２は共にオー
プン状態となっている。そこで製品Ｍ、Ｈによって工程
間で異なった動作を行う工程間に亙る機器に対しては、
工程の先頭で初期化（初期動作）を行うことによシ対処
している。以下この初期化について工程“■”を例にと
って第６図囚及び■によシ説明する。

第６図囚は工程１■”の先頭で工程間に亙る弁Ｖｏ、弁
Ｖ１％弁■２の初期化と工程１■”内の機器の各種制御
を行うフローを示している。第６図面は初期化の詳細フ
ローを示したもので、各工程での先頭で、例えば製品Ｍ
に関しては弁Ｖｏはクローズで弁ｖ１はクローズ弁ｖ２
をオープンと初期化し、製品ＮではＶＯをオープン弁ｖ
１をオープン弁ｖ２をオープンと初期化する。従って、
これ等の機器の動作は自工程内で全てクローズする為、
前後の工程に影響されなくなシ、製品Ｍから製品Ｎへ移
る場合の工程の処理順を自由に変更することが可能とな
っている。即ち、この初期化を製品Ｘを製造する場合の
弁ＶＯについて更に述べると、Ｉ程″Ｉ”でオープン、
工程１■”でオープン工程６■”でオープン工程１■”
ではクローズと各工程において弁Ｖｊの動作を指定する
為、弁ＶＯの動作は、例えば、工程＠ｉ＃１工程“■”
でそれぞれ独立に完了し、たまたま工程“■”でも、工
程１■”でも弁Ｖ、がオープンであるからあたかも工程
″′Ｉ”２月１に亙ってオープンの様に動作するだけと
なっている。

上記の如く、本発明では、パッチプロセスのシーケンス
ソ７トウ、エアを先ず囚パッチ、■工程、０機器動作と
いうようにシーケンスを３レベルに分離して得ると共に
、（Ｑの機器動作シーケンスレベルでは各機器に１対１
で対応する定型フォーマットに必要事項を記入してシー
ケンスを形成せしめ、又機器の操作を標準化しておくも
のとする。

次に■工程シーケンスのレベルでは、複数の前記機器単
体操作モジュールを用いて１工程の制御内容を作成する
。最後Ｋ（Ａ）パッチシーケンスのレベルでは、■工程
シーケンスのレベルで作成した各工程シーケンスを組合
せて１バツチのシーケンスを形成する。しかも、製品に
よるバッチプロセスの変更に対して、仮変数シーケンス
を採用すると共に各工程間で動作する機器の初期化にょ
シ対処している為、バッチプロセスの変更に伴うシーケ
ンスのソフトウェアの変更を非専門家でも容易に、行う
ことが出来、シーケンスのソフトウェアの変更に伴うマ
ンパワーを大幅に削減し得る効果がある。

〔発明の実施例〕

以下本発明の一実施例を図面に従って説明する。

第７図は本発明のバッチプロセスのシーケンス制御方法
が適用されるバッチプロセスの一実施例で、原料Ｘ、Ｙ
の仕込みから製品を抜出しまでの工程を示した例である
。タンク３１、タンク３２がそれぞれ弁Ｖ、、Ｖ、を介
して配管３３に接続されている。この配管３３はポンプ
Ｐ１を介して反応缶３４に接続されている。この反応缶
３４にはモータ３５で駆動される攪拌機３６が内蔵され
ている。又、この反応缶３４の底部には弁■３が接続さ
れている。前記ポンプＰ１と反応缶３４との間の配管３
３には流量計３７が挿介されておシ、又、反応缶３４に
は反応缶内部の温度を検出する温度計３８が取付けられ
ている。流量計３７と温度計３８の検出出力はシーケン
スコントローラ３９に入力され、又このシーケンスコン
トローラ３９による制御指令がそれぞれ弁ｖ、　ｌ　ｖ
、　ｙ　■３　、ポンプＰ１、及びモータ３５に入力さ
れてこれ等の動作を制御している。

第７図に示したプロセスのノくツチ処理は第８図に示す
如くの順序でシーケンスコントローラ３９によってなさ
れるものである。先ず（′Ｉ”）原料Ｘを反応缶１４に
仕込み（３０１）、次にじＩＩ”）原料Ｙを反応缶１４
に仕込み（３０２）、次いで（′■”）反応缶内の攪拌
機１６をスタートし、（′■”）触媒を仕込み（３０４
）、（″■”）反応の温度制御を行い（３０５）、（′
″■”）反応が完了したら製品を抜出す工程（３０６）
から構成されている。

次に原料Ｘ、Ｙの仕込工程のシーケンス例について第９
図囚及び■で説明する。第９図囚の原料Ｘの場合は、弁
Ｖ３を閉じ、かつモータ３５を停止の初期化を行い（ス
テップ８３０１　１）、次に仕切弁Ｖ！を開にして（ス
テップ８３０．１−２）、次にポンプＰ１を起動しくス
テップ５３０１−３）、反応缶３４への仕込量をシーケ
ンスコントローラ３９のバッティングカウンタにセット
する（ステップＳ”３０１−４）。タンク３１から配管
３３を通しポンプＰ１によシ原料Ｘを反応缶３４内に送
流して仕込量が設定値に達する迄待つ（ステップ８３０
１−５）。設定値に達したらポンプＰ１を停止しくステ
ップ８３０１−６）、弁■１を閉にする（ステップ８３
０１−７３゜原料Ｙの仕込工程シーケンスのフローチャ
ートである第９図■についても仕切弁がＶ２（ステップ
８３０２−２）となるだけで他は原料Ｘの仕込工程と全
く同じ動作になる為説明は省略するが、但し仕込量は異
なる。

第１０図は第７図で示したシーケンスコントローラ３９
が仕込工程を実際に制御する過程を示したフローチャー
ト図である。先ずステップ５４０１にて工程の初期化を
行い、次にステップ５４０２で仕切弁（例えばｖｌ又は
Ｖ２　）を開にする。次にステップ５４０３でポンプＰ
１を起動する。その後ステップ５４０４で仕込量を計量
器に設定し、ステップ５４０５で反応缶３４への実仕込
量がステップ５４０４で設定した設定値になる迄待つ。

ステップ５４０５で実仕込量が設定値になるとステップ
５４０６でポンプＰ１を停止し、次いでステップ５４０
７で仕切弁（ｖｌ又はｖ２）を閉鎖する。同図中ＣＮＴ
１〜４は機器指定（弁、ポンプ等）又は数値の仮置数名
称を示している。実際の機器、数値は実行中の製品使用
によシ与えられ、実行時に結びつけられて機器の制御を
行う。本実施例では再説明はしないがこの第１０図に示
した制御を行う為のシーケンスのソフトウェアは発明の
原理の所で説明した本発明の方法によって得ることがで
きる。

第１１図は本実施例に用いられているバッチの使用定義
の一例を示したＣＲＴフォーマットを示したものである
。図中５ＴＥＰとは１バツチ中の実行順序番号であ）、
工程６■”、１■”、■”。

・・・・・・と対応しておシ、各ステップ毎にどの工程
を実行するか、又それに必要なパラメータ（工程仮置数
、即ち第１０図ではＣＮＴ１〜４に対応する実際の機器
及び数値である）を順次設定することによシ、バッチの
仕様定義を行っている。

本実施例に上れば、第１０図に示したフローチャートに
従ってシーケンスコントローラ３９を動作させるシーケ
ンス制御方法を、発明の原理の所で述べたバッチ、工程
２機器動作の各シーケンスの如く３レベルに分け、且つ
、仮置数シーケンス及び工程毎の初期化を用いて得てい
るので、非専門家でもシーケンスの作成、変更が容易で
、仕込工程の変化に対してシーケンス制御方法を容易に
変化させることが出来、これに要する工数を大幅に削減
する効果がある。

尚、上記実施例のバッチは、工程が順序よく動作してい
くことになっているが、プロセスによっては条件によシ
工程をスキップ、ジャンプ、戻り等を行わなければなら
ない場合も発生する。この様な場合には、入力に対して
判定を行い指定された工程に分岐する判定用工程基本モ
ジュールを準備し、これを発明の原理の所で述べた第３
図の工程シーケンスの所で適宜用いることによシ上記の
様なスキップ、ジャンプ等を有する制御に対するシーケ
ンスを容易に得ることが出来る。この判定用工程基本モ
ジュールは、工程をスキップしたシジャンプしたシした
い場合、或は工程を戻したい場合に、定式化した判定用
工程基本モジュールに例えばスキップしたい工程を記入
することによシ、目的とするシーケンスが容易に得られ
るようになっている。

又、本実施例では、バッチ仕様定義をシーケンスコント
ローラ（計算機等で構成］に付属しているＣＲＴによシ
設定して行うことになっているが、これはカード、フロ
ッピー等の計算機への入力媒体ならどの様なものを使用
しても効果は同じである。

更に、本実施例では発明の原理の所で説明した工程の初
期化を工程の先頭で行っているが、工程の終シで初期化
しても同様である。なぜならば、前工程の終シの状態と
次工程の先頭の状態は同じであシ、この間の状態に変化
がないため、工程の先頭での初期化と工程の終シでの初
期化は同等°となるからである。但し、工程の終シで初
期化を行った時には、次工程が何であるかを意識しなけ
ればならない為、１程順の自由な組合せが難しくなると
云う問題がある。

〔発明の効果〕

以上記述した如く本発明あバッチプロセスのシーケンス
制御方法によれば、シーケンスを、バッチ、工程１機器
制御の３レベルに分け、且つ、仮置数シーケンス処理及
び工程毎の初期化を用いて作成することによシ、他工程
の終了状態に無関係に自工程内のみで制御内容をクロー
ズすることが可能となシ、新製品の出現による制御内容
及び工程順が変更されても他工程に影響を与えることな
く、自由にシーケンスの内容を変更してこれに対処する
ことが可能となった。更に、仮変数によるコーディング
が可能となっている為、論理を変えることなく実機器、
数値を外部よシ指定することによって、実際の制御内容
を容易に変更することを可能とし、工程毎のシーケンス
を標準化するに有効な手段を提供することが出来た。又
、工程の初期化、仮変数シーケンス処理の機能によシ、
シーケンス変更が容易になると共に、少ない情報で制御
内容を変更することが可能となっている為、ＣＲＴから
でも容易に制御内容を変更することが出来、ソフトウェ
ア等に対する非専門家でも制御内容を容易に変更し得る
効果があシ、これに要する工数を大幅に削減し得る効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図囚はバッチプロセスの一般的な概念を示す説明図
、第１図面は工程のフローチャート例を示す説明図、第
１図０は機器の一例を示す説明図、第２図囚は定型フォ
ーマットの一例を示す説明図、第２図■は囚で示した定
型フォーマットによシ制御される制御系例を示した説明
図、第３図は機器単体操作モジュールを複数個使用して
作成した工程シーケンスの例を示す説明図、第４図はバ
ッチ仕様シーケンス例を示した説明図、第５図囚は４工
程から成るバッチの構成例を示した説明図、第５図■は
製品Ｍ製造時の制御機器のタイムチャート図、第５図（
Ｑは製品Ｎ製造時の制御機器のタイムチャート図、第６
図囚は工程の先頭での初期化内容例を示した説明図、第
６図■は第６図囚の初。 期化詳細説明図、第７図は本発明のバッチプロセスのシ
ーケンス制御方法を適用したバッチプロセスの一実施例
を示す構成図、第８゛図は第７図のバッチプロセスのバ
ッチプロセスのシーケンス制御方法の例を示した説明図
、第９図（４）は原料Ｘの詳細仕込フローチャート図、
第９図■は原料Ｙの詳細仕込フローチャート図、第１０
図は第７図のシーケンスコントローラの制御方法の例を
示した７０−チャート図、第１１図は第７図のバッチプ
ロセスのバッチ仕様定義を表した０８７画面の一例を示
した説明図である。 ３１．３２・・・タンク、３３・・・配管、３４・・・
反応缶、３５・・・モータ、３６・・・攪拌器、３７・
・・流量計、゛　３８・・・温！計、３９・・・シーケ
ンスコントローラ、草　Ｉ　ロ 差２　目 １２　　　　　　／／ 茅３　目 （Ｌ） 茅４　目 ＃：５　目 （Ａ） 　− （Ｃ） 埒１１ｉ１− ｉｌ　を目 茅７図 ９ 茅δ目 芽　′？　目 （Ａ）　　　　　　　　　　　　（δジ／！、粁Ｘイづ
二色　　　　　　　　−原［蜆茅ＩＯ目 石シューレ石　ＣＦＩＡＱにｒＥ Ｍｌｌ　〆 ＲＴ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、組合わされた複数の機器を所定通シ動作させて構成
   される１つの工程が、所定の順序に複数工程組合わされ
   て構成され１つの製品を作シ出す処理をするバッチプロ
   セスのシーケンス制御方法において、前記機器各々に１
   対１で対応してこれを動作させる個別の機器動作シーケ
   ンスを設け、該機器動作シーケンスを複数個組み合せて
   １つの工程を処理する工程シーケンスを所定工程分設け
   、かつ、前記各工程を一製品毎に複数個組み合せ可能と
   するバッチシーケンスを設け、前記各工程シーケンスが
   動作する際にその先頭にて該工程シーケンスが制御する
   機器状態を初期化することを特徴とするパッチプロセス
   のシーケンス制御方法。 ２、前記バッチシーケンスは、機器の動作状態あるいは
   動作条件を指定する数値を仮変数を使用して作成し、実
   動作時に前記仮変数を具体的数値に置き換えることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載のパッチプロセスの
   シーケンス制御方法。