JPS59124784A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS59124784A JPS59124784A JP23380782A JP23380782A JPS59124784A JP S59124784 A JPS59124784 A JP S59124784A JP 23380782 A JP23380782 A JP 23380782A JP 23380782 A JP23380782 A JP 23380782A JP S59124784 A JPS59124784 A JP S59124784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge
- section
- discharge exciting
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はガスフロー型横方向励起レーザ装置に係シ、特
に小型、大田化を実現できるガスレーザ装置に関する。
に小型、大田化を実現できるガスレーザ装置に関する。
従来技術と問題点
従来のガスフロー型横方向励起レーザ装置の概要を第１
図に示す。図中、１はエンドレスのガス循環路、２は放
電励起部、３は熱交換器等のガス（１） 冷却部、４は送風機である。ガス循環路１内にはＣｏｔ
＋Ｎ２ 、Ｈｅ等の混合ガスが封入され、このガスは
送風機４に送られてガス循環路１内を循環する。
図に示す。図中、１はエンドレスのガス循環路、２は放
電励起部、３は熱交換器等のガス（１） 冷却部、４は送風機である。ガス循環路１内にはＣｏｔ
＋Ｎ２ 、Ｈｅ等の混合ガスが封入され、このガスは
送風機４に送られてガス循環路１内を循環する。
放電励起部２は、循環ガスを横方向に放電、励起してレ
ーザ遷移させ、この際に生ずる光は、図示しない対の共
振器によシ発振されレーザビームとじて外部に取り出さ
れる。この過程で温度上昇したガスは、放電励起部２の
下流側に設けられたガス冷却部３により冷却されて送風
機４に入る。
ーザ遷移させ、この際に生ずる光は、図示しない対の共
振器によシ発振されレーザビームとじて外部に取り出さ
れる。この過程で温度上昇したガスは、放電励起部２の
下流側に設けられたガス冷却部３により冷却されて送風
機４に入る。
このような構成のガスレーザ装置の出力は、放電励起部
における放電長によシ制御され、放電方式（２軸又は３
軸）、ガス混合比、ガス圧等で多少の違いはあるが、約
ＩＫＷ／ｍである。
における放電長によシ制御され、放電方式（２軸又は３
軸）、ガス混合比、ガス圧等で多少の違いはあるが、約
ＩＫＷ／ｍである。
そのため、大出力化のためには、放電長を長くするか、
または装置を数台並べる等の手段が必要で、装置の大型
化が避けられなかった。
または装置を数台並べる等の手段が必要で、装置の大型
化が避けられなかった。
発明の目的
本発明は上述の欠点を解決するためのもので、装置を余
り大きくせずに大出力が得られるようにした小型大出力
ガスレーザ装置を提供することを目的としている。
り大きくせずに大出力が得られるようにした小型大出力
ガスレーザ装置を提供することを目的としている。
発明の構成
本発明では、上述の目的を達成するため、放電励起部と
ガス冷却部の組合せを、ガスの流れ方向に継列に２箇所
以上設けて構成されてオシ、各放電励起部での励起領域
を光学的に結合することにより大出力が得られるように
なっている。
ガス冷却部の組合せを、ガスの流れ方向に継列に２箇所
以上設けて構成されてオシ、各放電励起部での励起領域
を光学的に結合することにより大出力が得られるように
なっている。
発明の実施例
次に第２図乃至第４図に関連して本発明の詳細な説明す
る。
る。
第２図及び第３図に第１の実施例を示す。
第２図はガスレーザ装置の概要を示す側面図で、図中、
１１はガス循環路、１２ 、１３は第１．第２の放電励
起部、１４ 、１５は第１．第２のガス冷却部、１６は
送風機である。
１１はガス循環路、１２ 、１３は第１．第２の放電励
起部、１４ 、１５は第１．第２のガス冷却部、１６は
送風機である。
第１の放電励起部１１は第１のガス冷却部１４と組合さ
れ、第２の放電励起部１２はガス流れの下流側で第２の
ガス冷却部１５と組合されている。すなわち、放電励起
部とガス冷却部の組合せが、ガスの流れ方向に縦列に２
箇所以上（本図では２箇所）設けられている。
れ、第２の放電励起部１２はガス流れの下流側で第２の
ガス冷却部１５と組合されている。すなわち、放電励起
部とガス冷却部の組合せが、ガスの流れ方向に縦列に２
箇所以上（本図では２箇所）設けられている。
送風機１６によシ送られてガス循環路１１内を矢印方向
に循環するガスは、１ず第１の放電励起部１２で横方向
に放電励起され、次にガス冷却部１４で冷却される。続
いて第２の放電励起部１３．ガス冷却部１４以降でも同
様の動作が行われる。
に循環するガスは、１ず第１の放電励起部１２で横方向
に放電励起され、次にガス冷却部１４で冷却される。続
いて第２の放電励起部１３．ガス冷却部１４以降でも同
様の動作が行われる。
この２箇所以上の放電励起部による放電励起域１７ 、
１８に、第３図に示すように全反射鏡１９ 、２０ 、
２１及び透過鏡２２ヲ組み合せることによシ、大出力レ
ーザ光を矢印方向に取シ出すことができる。
１８に、第３図に示すように全反射鏡１９ 、２０ 、
２１及び透過鏡２２ヲ組み合せることによシ、大出力レ
ーザ光を矢印方向に取シ出すことができる。
本例の場合は、１つの装置内に放電励起部をガス冷却部
と組合せて２箇所以上設けており、それぞれの放電部に
おける放電長の合計と同じ長さの放電長をもつレーザ装
置と同等の出力を取り出すことができるので、小型、大
出力のレーザ装置を得ることができる。
と組合せて２箇所以上設けており、それぞれの放電部に
おける放電長の合計と同じ長さの放電長をもつレーザ装
置と同等の出力を取り出すことができるので、小型、大
出力のレーザ装置を得ることができる。
第４図に第２の実施例を示す。
本例の場合も、前例の第２図の構成を有しているが、出
力取出し手段が前例と異なっている。
力取出し手段が前例と異なっている。
本例の場合、第４図に示すように、各放電励起（３）
域１７ 、１８からそれぞれ矢印方向にレーザ出力を取
シ出すもので、２３ 、２４は全反射鏡、２５ 、２６
は透過鏡である。
シ出すもので、２３ 、２４は全反射鏡、２５ 、２６
は透過鏡である。
このように、本例の場合は、１つの装置から放電励起部
とガス冷却部の組合せの数だけレーザ出力を取υ出すこ
とができ、前例ど同様の効果を奏することが可能である
。そして、本例の場合は、電源を各放電励起部に独立し
て設けるようにすれば１各レーザ出力を独立して変化さ
せることが可能である。
とガス冷却部の組合せの数だけレーザ出力を取υ出すこ
とができ、前例ど同様の効果を奏することが可能である
。そして、本例の場合は、電源を各放電励起部に独立し
て設けるようにすれば１各レーザ出力を独立して変化さ
せることが可能である。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、放電励起部とガス
冷却部の組合せをガスの流れ方向に縦列に２箇所以上設
けており、それぞれの放電部における放電長と同じ長さ
の放電長をもつレーザ装置と同等の出力を取り出すこと
ができるので、小型。
冷却部の組合せをガスの流れ方向に縦列に２箇所以上設
けており、それぞれの放電部における放電長と同じ長さ
の放電長をもつレーザ装置と同等の出力を取り出すこと
ができるので、小型。
大出力のガスレーザー装置を得ることが可能である。
第１図は従来のガスフロー型横方向励起レーザ（４）
装置の概要を示す側面図、第２図乃至第４図は本発明に
係るガスレーザ装置の実施例を示すもので、第２図は第
１の実施例の全体概要を示す側面図、第３図は同レーザ
出力取出し要領を示す平面図、第４図は第２の実施例の
レーザ出力取出し要領を示す平面図である。 図中、１１はガス循環路、１２ 、１３は第１．第２の
放電励起部、１４ 、１５は第１．第２のガス冷却部、
１６は送風機、１７ 、１８は放電励起域、１９，２０
，２１，２３゜２４は全反射鏡、２２．２５．２６は透
過鏡である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 玉 蟲 久 五 部 （外３名）第３図 第４図
係るガスレーザ装置の実施例を示すもので、第２図は第
１の実施例の全体概要を示す側面図、第３図は同レーザ
出力取出し要領を示す平面図、第４図は第２の実施例の
レーザ出力取出し要領を示す平面図である。 図中、１１はガス循環路、１２ 、１３は第１．第２の
放電励起部、１４ 、１５は第１．第２のガス冷却部、
１６は送風機、１７ 、１８は放電励起域、１９，２０
，２１，２３゜２４は全反射鏡、２２．２５．２６は透
過鏡である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 玉 蟲 久 五 部 （外３名）第３図 第４図
Claims (1)
- ガス循環路内を循環するガスを放熱励起部により横方向
に放電、励起してレーザ遷移させ、この過程で温度上昇
したガスをガス冷却部により冷却するガスレーザ装置に
おいて、前記放電励起部と前記ガス冷却部の組合せを、
ガスの流れ方向に縦列に２箇所以上設けたことを特徴と
するガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23380782A JPS59124784A (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23380782A JPS59124784A (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59124784A true JPS59124784A (ja) | 1984-07-18 |
Family
ID=16960884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23380782A Pending JPS59124784A (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59124784A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249150U (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-05 |
-
1982
- 1982-12-30 JP JP23380782A patent/JPS59124784A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249150U (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-05 |
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