JPS59116501A - 平面度測定具及び平面度測定方法 - Google Patents
平面度測定具及び平面度測定方法Info
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- JPS59116501A JPS59116501A JP11468582A JP11468582A JPS59116501A JP S59116501 A JPS59116501 A JP S59116501A JP 11468582 A JP11468582 A JP 11468582A JP 11468582 A JP11468582 A JP 11468582A JP S59116501 A JPS59116501 A JP S59116501A
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- Japan
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- carbide balls
- measurement
- cemented carbide
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B5/285—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for controlling eveness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は加工機械の定盤や平面板の平面度測定具に関
し、簡単な操作で高い測定点の位置決め精度を持ち、そ
して高精度で測定できる平面度測定具を提供することを
目的とする。
し、簡単な操作で高い測定点の位置決め精度を持ち、そ
して高精度で測定できる平面度測定具を提供することを
目的とする。
また測定における数値の取り出し方法において、被測定
面上に任意の３点により決定される仮基準面を設け、そ
れに対する設定測定点の高低を求め、それにより平面度
を得ようとする平面度測定方法に関するものである。
面上に任意の３点により決定される仮基準面を設け、そ
れに対する設定測定点の高低を求め、それにより平面度
を得ようとする平面度測定方法に関するものである。
従来定盤や平面板の平面性を測定する方法として、第１
図に示すように真直度の良い基準となる板／を被測定面
３上に載せ、基準となる仮／と被測定面３の隙間を厚み
テープ−で測定することにより真直度を求め、平面性を
推測する方法があった。また第２図にかすように被測定
面３上に何点かの測定点を設け、隣り合う測定点に渡る
ように水準器ｙを置いて、隣接点ｍｌの傾斜を全測定点
に対して各々２方向に求めることで平面度を測る方法が
あった（″アタリの実際″畑明、メインへナンス１９８
０年第１０巻（Ｎｏ５）Ｐ７４〜Ｐ７７参照）′。さら
に第３図を示すように被測定面３上に数点の測定点を設
け、各々の点に被測定面に対して直角力で固定されてい
るミラー６を置き、それを利用して測定点間の傾斜をオ
ートコリメータ乙により求め、全測定点に対し２方向測
定することにより、平面度を測る方法があった。
図に示すように真直度の良い基準となる板／を被測定面
３上に載せ、基準となる仮／と被測定面３の隙間を厚み
テープ−で測定することにより真直度を求め、平面性を
推測する方法があった。また第２図にかすように被測定
面３上に何点かの測定点を設け、隣り合う測定点に渡る
ように水準器ｙを置いて、隣接点ｍｌの傾斜を全測定点
に対して各々２方向に求めることで平面度を測る方法が
あった（″アタリの実際″畑明、メインへナンス１９８
０年第１０巻（Ｎｏ５）Ｐ７４〜Ｐ７７参照）′。さら
に第３図を示すように被測定面３上に数点の測定点を設
け、各々の点に被測定面に対して直角力で固定されてい
るミラー６を置き、それを利用して測定点間の傾斜をオ
ートコリメータ乙により求め、全測定点に対し２方向測
定することにより、平面度を測る方法があった。
上記従来の平面度（あるいは平面性）測定具及び測定方
法のうち、第１図に示す方法では基準となる板／が長く
なればなるは・ど自重による撓みが大きくなり、かつ厚
みテープ−に極めて薄いものがなく（市販品では１０
）’４１が最も薄い）、測定精度が低下する欠点があっ
た。また、測定具である基準板／が被測定面の最大長さ
に匹敵する長さであることから、被測定面の一断面の真
直度しか測定できず、さらに真直度から平面性を推測す
るには少なからぬ困難が付きまとい、精度が高くかつ測
定点の位置決め精度の高い平面度測定は不可能であると
いう欠点があった。
法のうち、第１図に示す方法では基準となる板／が長く
なればなるは・ど自重による撓みが大きくなり、かつ厚
みテープ−に極めて薄いものがなく（市販品では１０
）’４１が最も薄い）、測定精度が低下する欠点があっ
た。また、測定具である基準板／が被測定面の最大長さ
に匹敵する長さであることから、被測定面の一断面の真
直度しか測定できず、さらに真直度から平面性を推測す
るには少なからぬ困難が付きまとい、精度が高くかつ測
定点の位置決め精度の高い平面度測定は不可能であると
いう欠点があった。
第２図に示す方法では水準器の底面が広いために被測定
面上に接触する面積が大きく、設定された測定点に対し
てその点付近や点間の高い地点を結んで得られる面の傾
きを測定することになるので、厳密に測定点間の傾゛斜
を求めた上で平面度を測定するのが困難である。
面上に接触する面積が大きく、設定された測定点に対し
てその点付近や点間の高い地点を結んで得られる面の傾
きを測定することになるので、厳密に測定点間の傾゛斜
を求めた上で平面度を測定するのが困難である。
第３図に示す方法すは、第２図で述べたと同様に測定点
ではなく、測定点付近の高い地点間で形成する面の″傾
斜を測定するに過ぎないので、厳密に平面度を測定する
ことが困難である。更にオートコリメータの振動による
測定誤差を生じさせないための防振装置も必要となり、
装置が大がかりになる欠点がある。
ではなく、測定点付近の高い地点間で形成する面の″傾
斜を測定するに過ぎないので、厳密に平面度を測定する
ことが困難である。更にオートコリメータの振動による
測定誤差を生じさせないための防振装置も必要となり、
装置が大がかりになる欠点がある。
さらに第２図、第３図に示す方法に共通して、−直線上
は容易に測定値が得られるが、測定面のうちに仮基準面
を設けて各測定点の高低を換算するにはかなり複雑な処
理が必要であり、測定値の処理において困難がつきまと
うとい、う欠点がある。
は容易に測定値が得られるが、測定面のうちに仮基準面
を設けて各測定点の高低を換算するにはかなり複雑な処
理が必要であり、測定値の処理において困難がつきまと
うとい、う欠点がある。
上記従来例の諸欠点を解消すへく、本発明は単位長さに
対してその断面二次モーメン１−値が大きい物体にイン
ジケータを取り付け、測定点の位置決め精度を向上させ
るために超硬球３点で形成される面積をより小さく配置
した。超硬球３個で支えられる簡便な平面度測定具を提
供することを目的としており、本発明の一実施例として
超硬球支持点間隔は被測定面の最大長さの半分以下であ
る。
対してその断面二次モーメン１−値が大きい物体にイン
ジケータを取り付け、測定点の位置決め精度を向上させ
るために超硬球３点で形成される面積をより小さく配置
した。超硬球３個で支えられる簡便な平面度測定具を提
供することを目的としており、本発明の一実施例として
超硬球支持点間隔は被測定面の最大長さの半分以下であ
る。
さらに本発明は上記測定具を用い、被測定面の任意の３
点から決定される仮基準面に対する設定測定点の高低を
高精度で測定し、なおかつイー 測定値の処理を簡略化して平面度を求める平面度測定具
浚を提供せんとするものであり、平面板や加工機定盤の
平面度測定の改善に寄与するものである。
点から決定される仮基準面に対する設定測定点の高低を
高精度で測定し、なおかつイー 測定値の処理を簡略化して平面度を求める平面度測定具
浚を提供せんとするものであり、平面板や加工機定盤の
平面度測定の改善に寄与するものである。
すなわち本発明の要旨は、平面度測定具として単位長さ
に対して断面２次モーメント値がより大きくとれるよう
な基盤に少なくとも３個以上のインジケータを取りつけ
、さらに測定点の位置決め精度を向上させるために超硬
球３点で形成される面積をより小さく配置した、超硬球
３個で三角支持したものを使用し、その測定具を高平面
度加工された基準平面定盤上で校正しつつ、被測定面上
の任意の３点により決定される仮基準面に対する設定測
定点の高低を、インジケータの位置の間隔比を利用する
ことによって順次求め出すことで、平面度を高精度でか
つ簡単に測定するものである。
に対して断面２次モーメント値がより大きくとれるよう
な基盤に少なくとも３個以上のインジケータを取りつけ
、さらに測定点の位置決め精度を向上させるために超硬
球３点で形成される面積をより小さく配置した、超硬球
３個で三角支持したものを使用し、その測定具を高平面
度加工された基準平面定盤上で校正しつつ、被測定面上
の任意の３点により決定される仮基準面に対する設定測
定点の高低を、インジケータの位置の間隔比を利用する
ことによって順次求め出すことで、平面度を高精度でか
つ簡単に測定するものである。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
４図乃至第５図において７は基盤として用いた鉄製のチ
ャンネル鋼材である。望ましくは肉厚約５ＩｎＩ１１か
らなるこのチャンネル鋼材７に、インジケータとしてｌ
／ １０００ｍｍのダイヤルゲージ８．９が等間隔に
４本セットされ、取り付はネジ／／により取り付は高さ
が調節される。ダイヤルゲージ８は、３個の直径５ｍｍ
の超硬床（Ｈｖ＝１３００） ／ ０のすぐ傍にセット
され、基準平面定盤や被測定面に平面度測定具をセット
したときに、表面のパリや力エリ、ゴミ等に影響されず
に正しくセットされているか否かをチェックするための
ものである。ダイヤルゲージ７は３個の超硬床１０で支
持された面からの変位を示すためのものである。また３
個の超硬床１０は、支持点間隔が３１５ｍｍ、ダイヤル
ゲージ間隔１０５ｍｍであった。
４図乃至第５図において７は基盤として用いた鉄製のチ
ャンネル鋼材である。望ましくは肉厚約５ＩｎＩ１１か
らなるこのチャンネル鋼材７に、インジケータとしてｌ
／ １０００ｍｍのダイヤルゲージ８．９が等間隔に
４本セットされ、取り付はネジ／／により取り付は高さ
が調節される。ダイヤルゲージ８は、３個の直径５ｍｍ
の超硬床（Ｈｖ＝１３００） ／ ０のすぐ傍にセット
され、基準平面定盤や被測定面に平面度測定具をセット
したときに、表面のパリや力エリ、ゴミ等に影響されず
に正しくセットされているか否かをチェックするための
ものである。ダイヤルゲージ７は３個の超硬床１０で支
持された面からの変位を示すためのものである。また３
個の超硬床１０は、支持点間隔が３１５ｍｍ、ダイヤル
ゲージ間隔１０５ｍｍであった。
上記平面度測定具を、直径４００ｍｍで平面度１ノ・に
ボリシングされた低膨張ガラス製の基準平面定盤上で、
取り付はネジ／／もしくはダイヤルゲージ８．７に付い
た目盛板微調節装置／、、！で厳密に調節した後被測定
面上に載せる。なお、基準平面定盤上もしくは被測定面
に本発明の平面度測定具を載せるときは、表面にキズや
力エリを生じず、かつ支持している超硬床１０が変形し
ないよう注意深く行う。この平面度測定具を、被測定面
としての直径６５０ｍｍの室軸型回転テーブル平面研削
盤の定盤面の平面度測定に用い、測定点数として被測定
面に３７点設けた。測定具の支持点間隔、インジケータ
数は測定する面の大きさ、測定点数に応じて適宜変更す
ることができる。
ボリシングされた低膨張ガラス製の基準平面定盤上で、
取り付はネジ／／もしくはダイヤルゲージ８．７に付い
た目盛板微調節装置／、、！で厳密に調節した後被測定
面上に載せる。なお、基準平面定盤上もしくは被測定面
に本発明の平面度測定具を載せるときは、表面にキズや
力エリを生じず、かつ支持している超硬床１０が変形し
ないよう注意深く行う。この平面度測定具を、被測定面
としての直径６５０ｍｍの室軸型回転テーブル平面研削
盤の定盤面の平面度測定に用い、測定点数として被測定
面に３７点設けた。測定具の支持点間隔、インジケータ
数は測定する面の大きさ、測定点数に応じて適宜変更す
ることができる。
次に、上記基準平面定盤で校正された測定具を用いて平
面度測定を行う際の数値の取り出し方について、第６図
に基づいて説明する。予め被測定面上に任意の３点から
成る仮基準面を設け、その面に好する数点の測定点の高
低を求めることで平面度を測定するのであるが、測定具
を置く際既知である２点がどこであるが、もしくは求め
出そうとする点がどこであるかによって、支持点である
超硬床１０をどの測定点におくかが決められる。、 第６図（ａ）は、両端点０１．０２が仮基準面を形成す
る２点である場合で、０．．０２間にある点Ａ １．
Ａ ２の基準面からの高さ、χＡ１、χＡ２は各々のダ
イヤルゲージ７の読み取り値ＤＡ＋ 、ＤＡ２に等しく
、χＡｌ ＝ＤＡＩ 、 χＡ２＝ＤＡ２ となる。
面度測定を行う際の数値の取り出し方について、第６図
に基づいて説明する。予め被測定面上に任意の３点から
成る仮基準面を設け、その面に好する数点の測定点の高
低を求めることで平面度を測定するのであるが、測定具
を置く際既知である２点がどこであるが、もしくは求め
出そうとする点がどこであるかによって、支持点である
超硬床１０をどの測定点におくかが決められる。、 第６図（ａ）は、両端点０１．０２が仮基準面を形成す
る２点である場合で、０．．０２間にある点Ａ １．
Ａ ２の基準面からの高さ、χＡ１、χＡ２は各々のダ
イヤルゲージ７の読み取り値ＤＡ＋ 、ＤＡ２に等しく
、χＡｌ ＝ＤＡＩ 、 χＡ２＝ＤＡ２ となる。
尚、測定の際のダイヤルゲージの極性は測定点の高さが
両端の支持点すなわち超硬床１０の下端を結んでできる
面より中へ食い込む場合、つまり被測定面が凸の傾向に
ある場合プラスとし、逆に支持点を結んでできる面より
も外にある場合、つまり被測定面が凹の傾向にある場合
マイナスとする。また、各測定点の仮基準面からの高低
は、その測定点が測定具側にある場合をプラス、逆の場
合をマイナスとして平面度の表示を行う。第６図（ｂ）
は、支持点の一端○、が仮基準面をなす一点で、両端間
のうち一点Ｂ２の高さ χＢ２が既知であって、他端Ｃ
１の高さχＣ１を求める場合である。この場合測定具の
傾斜や点０１が仮基準面の１点であることから求めるべ
き χＣ１は点Ｂ２における読み取り値ＤＢ２を使って
、χｃ】＝３／２（χＢ２−ＤＢ２）となる。第６図（
ｃ）は、測定具の一端Ｂ１が既知の高さ χＢ１の点で
両端間のうち一点Ｂ４が既知の高さχＢ４であるとき、
他端Ｃ２の高さχＣ２を求める場合である。同様にして
点Ｂ４における読み取り値ＤＢ４を用いて求めるべき高
さχＣ２は、χＣ２＝３／２（χＢ４−ＤＢ’４ １
／ ３χＢｌ）となる。第６図（ｄ）は、測定具の両端
Ｂ４．ＢＳが各々既知の高さχＢ４、χＢ５であって両
端間の一点Ｃ３の高さ χＣ３を求める場合であ′る。
両端の支持点すなわち超硬床１０の下端を結んでできる
面より中へ食い込む場合、つまり被測定面が凸の傾向に
ある場合プラスとし、逆に支持点を結んでできる面より
も外にある場合、つまり被測定面が凹の傾向にある場合
マイナスとする。また、各測定点の仮基準面からの高低
は、その測定点が測定具側にある場合をプラス、逆の場
合をマイナスとして平面度の表示を行う。第６図（ｂ）
は、支持点の一端○、が仮基準面をなす一点で、両端間
のうち一点Ｂ２の高さ χＢ２が既知であって、他端Ｃ
１の高さχＣ１を求める場合である。この場合測定具の
傾斜や点０１が仮基準面の１点であることから求めるべ
き χＣ１は点Ｂ２における読み取り値ＤＢ２を使って
、χｃ】＝３／２（χＢ２−ＤＢ２）となる。第６図（
ｃ）は、測定具の一端Ｂ１が既知の高さ χＢ１の点で
両端間のうち一点Ｂ４が既知の高さχＢ４であるとき、
他端Ｃ２の高さχＣ２を求める場合である。同様にして
点Ｂ４における読み取り値ＤＢ４を用いて求めるべき高
さχＣ２は、χＣ２＝３／２（χＢ４−ＤＢ’４ １
／ ３χＢｌ）となる。第６図（ｄ）は、測定具の両端
Ｂ４．ＢＳが各々既知の高さχＢ４、χＢ５であって両
端間の一点Ｃ３の高さ χＣ３を求める場合であ′る。
測定具の傾斜や両端の高さχＢ４、χＢ５ に注目し
てかつ点Ｃ３における読み取り値Ｄ３を用いて、求める
べき高さ χＣ３は、χＣ：ｌ ＝ （ＤＣＩ １
／ ３χＢ５−２／３χＢ４）となる。
てかつ点Ｃ３における読み取り値Ｄ３を用いて、求める
べき高さ χＣ３は、χＣ：ｌ ＝ （ＤＣＩ １
／ ３χＢ５−２／３χＢ４）となる。
」二記測定値の取り出し方に基づいて、本発明で用いた
４１す定地点の配置の一例を第７図に示す。
４１す定地点の配置の一例を第７図に示す。
ａｌ１１定点数は全部で３７点で１図中＊印が付けられ
た３点により被測定面の中に仮基準面が設けられ、その
面に対する各測定点の高低で平面度が測定さ九る。第８
図は本発明の一実施例として研削盤の上盤面のの平面度
を測定した結果であり、予め割算式をプログラムしてお
き、測定値を計算機に入力して得られた結果を３次元表
示化したものである。
た３点により被測定面の中に仮基準面が設けられ、その
面に対する各測定点の高低で平面度が測定さ九る。第８
図は本発明の一実施例として研削盤の上盤面のの平面度
を測定した結果であり、予め割算式をプログラムしてお
き、測定値を計算機に入力して得られた結果を３次元表
示化したものである。
本発明は」１記平面板に対してのみならず、凸面もしく
は凹面のように種々の曲率をもつ曲面性の測定にも功を
奏する。
は凹面のように種々の曲率をもつ曲面性の測定にも功を
奏する。
本発明の一実施例として、インジケータにダイヤルゲー
ジを用いたが、その他として連続な電気出力を得られる
電気マイクロメータ、Ｏリセットの容易なディジタルゲ
ージを用いことができ、より作業性並びに精度が向上す
る。
ジを用いたが、その他として連続な電気出力を得られる
電気マイクロメータ、Ｏリセットの容易なディジタルゲ
ージを用いことができ、より作業性並びに精度が向上す
る。
本発明の平面度測定具の使用に際し、被測定面」二もし
くは基準平面定盤と被測定面との間の測定具の移動が手
で行なわれ、それにより測定具か熱変形を引き起こすと
考えられる。その熱変形による測定誤差を最小限度に抑
える意味で、第４図で示すように断熱効果に寄与する発
泡性布／３が手を触れる部分に貼り付けられる。
くは基準平面定盤と被測定面との間の測定具の移動が手
で行なわれ、それにより測定具か熱変形を引き起こすと
考えられる。その熱変形による測定誤差を最小限度に抑
える意味で、第４図で示すように断熱効果に寄与する発
泡性布／３が手を触れる部分に貼り付けられる。
さらに、インジケータ間隔、インジケータ本数を変える
ことにより、砂掛は加工面の平面度を測定する際も、上
記実施例に匹敵する効果を奏する。
ことにより、砂掛は加工面の平面度を測定する際も、上
記実施例に匹敵する効果を奏する。
以上のように、本発明によれは単位長さに対してその曲
げモーメントが大きくとれる物体にインジケータを取り
付け、超硬床で三角支持するという簡便な平面度測定具
を用いて、被測定面のうち任意の３点で決定される仮基
準面に対する数点の測定点の高低を順次導き出し、高精
度に平面度測定ができ、測定点付近の面ではなく、点と
して測定値を得ることで精度が向上し、また測定値の処
理において簡略化した方法が用いられることで、非常に
手間が省けるという効果がある。
げモーメントが大きくとれる物体にインジケータを取り
付け、超硬床で三角支持するという簡便な平面度測定具
を用いて、被測定面のうち任意の３点で決定される仮基
準面に対する数点の測定点の高低を順次導き出し、高精
度に平面度測定ができ、測定点付近の面ではなく、点と
して測定値を得ることで精度が向上し、また測定値の処
理において簡略化した方法が用いられることで、非常に
手間が省けるという効果がある。
第１図及び第２図、第３図は従来の平面度測定法を説明
する立面図もしくは平面図であり、第４図は本発明の一
実施例で用いた平面度測定具の立面図、第５図はその側
面図、第６図は本発明の一実施例における測定点の取り
出し方を説明したもので、第７図は本発明の一実施例の
測定点の配置状況を示す平面図、第８図は本発明の一実
施例から得られた平面度を３次元化表示した斜視図であ
る。 ２−チャンネル鋼材 ８．２−ダイヤルゲージ１０−超
硬球 第１図 第２ 図 第３図 ４１ ξ１ 々Ｉ Ｉｋ Ｃｓ Ｃ４１３５ 二Ｊミｅｉ’ｅｒ有［ｌ正１撃（方式）（、円）
昭和５８年１２月 ３日ｌ 事件の表示 昭和５７年↑、Ｔ許願第ｊ １ ／１６８５と２ 発明
の名称 平面度ａ１す定具及び平面度測定方法 ３ 補正をする考 事件との関係 特許出願人 ・１代理人〒・１００ 住所 山梨県甲府市丸の内２丁目８番１１ｙ；３昭和５
８年１１月２９Ｅｌ（発送口） 面度測定方法」と訂正する。 ６−
する立面図もしくは平面図であり、第４図は本発明の一
実施例で用いた平面度測定具の立面図、第５図はその側
面図、第６図は本発明の一実施例における測定点の取り
出し方を説明したもので、第７図は本発明の一実施例の
測定点の配置状況を示す平面図、第８図は本発明の一実
施例から得られた平面度を３次元化表示した斜視図であ
る。 ２−チャンネル鋼材 ８．２−ダイヤルゲージ１０−超
硬球 第１図 第２ 図 第３図 ４１ ξ１ 々Ｉ Ｉｋ Ｃｓ Ｃ４１３５ 二Ｊミｅｉ’ｅｒ有［ｌ正１撃（方式）（、円）
昭和５８年１２月 ３日ｌ 事件の表示 昭和５７年↑、Ｔ許願第ｊ １ ／１６８５と２ 発明
の名称 平面度ａ１す定具及び平面度測定方法 ３ 補正をする考 事件との関係 特許出願人 ・１代理人〒・１００ 住所 山梨県甲府市丸の内２丁目８番１１ｙ；３昭和５
８年１１月２９Ｅｌ（発送口） 面度測定方法」と訂正する。 ６−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １′、単位長さに対してその断面二次モーメント値がよ
り大きくとれるような基盤を用い、その１辺に等間隔に
インジケータを取り付け、超硬球３個により支持したこ
とを特徴とする平面度測定具。 ２、上記インジケータは少なくとも３個以上取り付け、
そのうち２個は測定具が正しく被測定面上に設置されて
いるかを確認するために一対の超硬球の傍に取り付けて
なる特許請求の範囲第１項記載の平面度測定具。 ３、上記超硬球が、測定点の位置決め精度を向上させる
ために超硬球３点で形成される面積を、より小さくなる
ように超硬球を取り付けてなる特許請求の範囲第１項記
載の平面度測定具。 ４、単位長さに対してその断面二次モーメント値がより
大きくとれるような基盤を用い、その１辺に等間隔にイ
ンジケータを取り付け、超硬球３個により支持してなる
平面度測定具を用い、この平面度測定具を高平面度加工
された基準平面板で校正貝つつ、被測定面上に設けた仮
基準面に対する設定測定点の高低を上記インジケータの
読値から求め、数式処理することを特徴とする平面度測
定方法９ ５、被測定面上に設けた仮基準面に対する設定測定点の
高低を、上記インジケータの読み値をインジケータ間隔
比を利用して求める特許請求の範囲第４項記載の平面度
測定方法。 ６、上記測定値の処理が、被測定面上に設けた任意の仮
基準点３点から形成される仮基準面を基準にしてなる特
許請求の範囲第４項記載の平面度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11468582A JPS59116501A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 平面度測定具及び平面度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11468582A JPS59116501A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 平面度測定具及び平面度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59116501A true JPS59116501A (ja) | 1984-07-05 |
Family
ID=14644074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11468582A Pending JPS59116501A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 平面度測定具及び平面度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59116501A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3622778A1 (de) * | 1985-07-16 | 1987-01-22 | Speedfam Corp | Messbalken zur ebenheitsbestimmung von oberflaechen |
| JPS62238401A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-19 | Fujita Seisakusho:Kk | 真直度測定器 |
| US7743525B2 (en) | 2007-10-30 | 2010-06-29 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | Planeness testing apparatus |
| CN103267461A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-08-28 | 南京晨光集团有限责任公司 | 用于测量空间物体重复定位精度的方法 |
| CN104913710A (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-16 | 阜宁县中洲阀门有限公司 | 一种新型阀体端面检测装置 |
| WO2018180047A1 (ja) * | 2017-03-26 | 2018-10-04 | 株式会社アドテックエンジニアリング | 平面度測定方法及びピン高さ調整方法 |
| CN109974566A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-07-05 | 江苏理工学院 | 一种检测平板平面度和平行度的量具 |
| TWI673475B (zh) * | 2018-06-12 | 2019-10-01 | 日商亞多特克工程股份有限公司 | 平面度測定方法及銷高度調整方法 |
-
1982
- 1982-06-30 JP JP11468582A patent/JPS59116501A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3622778A1 (de) * | 1985-07-16 | 1987-01-22 | Speedfam Corp | Messbalken zur ebenheitsbestimmung von oberflaechen |
| JPS62238401A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-19 | Fujita Seisakusho:Kk | 真直度測定器 |
| US7743525B2 (en) | 2007-10-30 | 2010-06-29 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | Planeness testing apparatus |
| CN103267461A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-08-28 | 南京晨光集团有限责任公司 | 用于测量空间物体重复定位精度的方法 |
| CN104913710A (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-16 | 阜宁县中洲阀门有限公司 | 一种新型阀体端面检测装置 |
| JP2018163033A (ja) * | 2017-03-26 | 2018-10-18 | 株式会社アドテックエンジニアリング | 平面度測定方法及びピン高さ調整方法 |
| WO2018180047A1 (ja) * | 2017-03-26 | 2018-10-04 | 株式会社アドテックエンジニアリング | 平面度測定方法及びピン高さ調整方法 |
| KR20180119589A (ko) * | 2017-03-26 | 2018-11-02 | 가부시키가이샤 아도텟쿠 엔지니아린구 | 평면도 측정 방법 및 핀 높이 조정 방법 |
| KR20200083669A (ko) * | 2017-03-26 | 2020-07-08 | 가부시키가이샤 아도텟쿠 엔지니아린구 | 평면도 측정 방법 및 핀 높이 조정 방법 |
| CN113295077A (zh) * | 2017-03-26 | 2021-08-24 | 株式会社阿迪泰克工程 | 平面度测定方法 |
| CN113295077B (zh) * | 2017-03-26 | 2023-09-12 | 株式会社阿迪泰克工程 | 平面度测定方法 |
| TWI673475B (zh) * | 2018-06-12 | 2019-10-01 | 日商亞多特克工程股份有限公司 | 平面度測定方法及銷高度調整方法 |
| CN109974566A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-07-05 | 江苏理工学院 | 一种检测平板平面度和平行度的量具 |
| CN109974566B (zh) * | 2019-04-10 | 2020-10-30 | 江苏理工学院 | 一种检测平板平面度和平行度的量具 |
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