JPS59106003U - 三軸駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の一例、第２図は他の従来装置の一例
、第３図はこの考案による実施例の構成図。 １・・・・・・センサ、２−・・・・・レール、３・・
・・・・フ゛ロ゛ンク、４・・・・・・レール、５・・
・・・・ブロック、６・・・・・・ブロック、７・・・
・・・レール、ト・・・・・レール、９・・・・・・ブ
ロック、１０・・・・・・ブロック、１１・・・・・・
レール、１２・・・・・・レール、２０・・・・・・ブ
ロック、２１・・・・・・ガイド、２２・・・・・・ガ
イド、２３・・・・・・レール、２４・・・・・・レー
ル、３０・・・・・・ブロック、３１・・・・・・ガイ
ド、３２・・・・・・ガイド、３３・・・・・・ガイド
、４１・・・・・・ガイド、５０・・・・・・ブロック
、６０・・・・・・被測定物、６１・・・・・・穴。 補正　昭５８．　４．３０ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第７ページ第３行と第４行を次のとおり補正する
。 ［第１図は従来装置の一例を示す図、第２図は他の従来
装置の一例を示す図、」 明細書第７ページ第５行と第６行の間に次の文章を加入
する。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 互いに直交する三軸上をセンサ１が移動するように制御
   する三軸駆動装置において、 Ｙ軸方向に配置したレール１１と、 レール１１と平行に配置したレール１２と、レール１１
   上をＹ軸方向に移動するガイド２１と、レール１２上を
   Ｙ軸方向１こ移動するガイド２２と、Ｘ軸方向に配置し
   たレール２３と、レール２３と平行に配置したレール２
   ４とを一体に構成するブ爾ツク２０と、 レール２３上をＸ軸方向に移動するガイド３１と、レー
   ル２４上をＸ軸方向に移動するガイド３２と、Ｚ軸方向
   に配置したガイド３３とを一体に構成するフ賜ツク３０
   と、 ガイド３３に平行に配置したガイド４１と、センサ１を
   取り付け、ガイド３３とガイド４１を案内にＺ軸方向に
   移動するブロック５０とを備えたことを特徴とする三軸
   駆動装置。