JPS59104993A - 画像記録材料及び該材料で実施可能な画像記録法 - Google Patents

画像記録材料及び該材料で実施可能な画像記録法

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JPS59104993A
JPS59104993A JP58220836A JP22083683A JPS59104993A JP S59104993 A JPS59104993 A JP S59104993A JP 58220836 A JP58220836 A JP 58220836A JP 22083683 A JP22083683 A JP 22083683A JP S59104993 A JPS59104993 A JP S59104993A
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mask
forming layer
layer
wavelength range
relief
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JP58220836A
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ヘルム−ト・バルツインスキ
クラウス・ホロツセ
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BASF SE
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Publication date
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    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41MPRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、300〜420 nmの波長範囲の化学光線
に対して透過性の寸法安定な支持体と、該支持体上に施
された。熱線に対して感受性であるマスク形成層とを有
するコピーフィルムに関する。更に。
本発明は、コピーフィルムの画像に基づく熱処理により
、化学光線に対して不透過性の画像を含有するマスクを
製造し、引続き該マスクを通して感光性記録材料を露光
しかつレリーフ画像を自体公知方法で現像することより
成るレリーフ画像の製法に関する。
レリーフ画像1例えば画板印刷版、平板印刷版又はレジ
ストパターンを製造するには、今日では一般に感光性記
録材料から出発し、該記録材料を化学光線で画像に基づ
き露光する。引続き、感光性記録材料がネガチプ型又は
ポジチブ型であるかに基づき、レリーフ形成層の露光さ
れなかった部分又は露光された部分をレリーフの形成下
に一般に溶剤で洗浄することにより除去する。この記録
材料の画像に基づく露光のためには、化学光線に対して
不透過性の画像を含有するマスクフィルムを使用する。
この場合マスク内の画像はできるだけ大きなコントラス
ト(例えば画像部分は完全に不透過性でありかつ画像不
在部分は完全に透明である)を有するべきである。
マスクフィルムを製造するには、今日では一般に感光性
銀フィルムから出発し、これらは但し高価でありかつ取
扱いかめんとうである。従って。
フォトマスクを製造するために銀不含フィルムを提供す
ることが極めて所望される。例えば銀不含の感光層から
出発し、該層を画像に基づき露光することにより高い光
学濃度の画像を形成させることによりフォトマスクを製
造することは既に開示された(例えばドイツ連邦共和国
特許出願公開給2202360り明細書9同国特δ1−
出願公告第2651864jJ明細書、同国特許出願公
開第2149059号明細書。
同国特i′1:公告第2821.053号明細書)。し
かしながら、これらの種類のマスクフィルムは今日まで
実地には済お重要視されていない、それというのもこれ
らは溶剤で現像されねばならずかつそうして得られた画
像レリーフは画像点か微細な部分では機械的摩耗にス・
1して敏感であるからである。槌って、相変らずフォト
マスクを製造するために処理かfiii単な廉価なコピ
ーフィルムが所望される。
本発明の課題は、感光性記録材料を画像に基づき露光す
るために使用することかできるfハj単かつ急速にフォ
トマスクを製造することか可能である銀不含のコピーフ
ィルムを提供することであった。
該コピーフィルムは特に300〜420nmの波長範囲
の光に対して画像部分と画像不在部分との間に鮮鋭な強
いコントラストを形成し、耐久性かつ抵抗力があり、ま
た微細な画素の精(i+rなかつオリジナルに忠実な画
像再生を行なうフォトマスクを形成することを目的とす
る。
この課題は本発明により、マスク形成層が1.00μm
より大きな波長のIRレーザで照射するとその300〜
420 nmの範囲の吸収スペクトルを、該波長範囲で
の光学濃度が少なくとも1.3単位変化するように不可
逆的に変化する熱変色性系を含有する。
化学光線に対して透過性の寸法安定な支持体と該支持体
上に施されたマスク形成層とを有するコピーフィルムに
よって角イ決される。
従って1本発明の対象は、300〜420 nmの波長
範囲の化学光線に対して透過性の寸法安定な支持体(T
)と、該支持体上に施されたマスク形成層(MS )と
を有するコピーフィルムであって、該コピーフィルムは
マスク形成層(MS)か熱線に対して感受性であり、か
つ1.00μn〕より大きな波長のIRレーザで照射す
ると300〜420 nmの範囲の吸収スペクトルを、
該波長範囲でのマスク形成層(MS)の光学濃度が少な
くとも1.3単位変化するよう(C不uJ逆的に変化す
る熱変色性糸を含有することを特徴とする。
本発明の特殊な1実IM態様で、は、コピーフィルムの
マスク形成層(MS)に面する表面か直接感光性記録付
着の感光性のレリーフ形成層上に施されている。
更に1本発明の対象は、コピーフィルムをIRレーザで
画像に基づき照射することによりフォトマスクを製造す
る方法である。更に1本発明は、まずコピーフィルムと
感ソロ性記録材料から成る多層素子のマスク形成層を画
像に基づきIHレーザで照射してフォトマスクを形成さ
せ、引続き感光性レリーフ形成層をフォトマスクを通し
て化学光線で露光し、感光性レリーフ形成層からフォト
マスクを剥離しかつレリーフ形成層を溶剤で洗浄するこ
とによりレリーフ画像を形成することより成るレリーフ
画像の製法に関する。
本発明のコピーフィルムの支持体(T)は1寸法安定で
ありかつ300〜420nmの波長範囲の化学光線に対
して透過性であるべきである。支持体材料としては、特
に熱線に対して安定でありかつマスク形成層(MS)を
IRレーザで熱照射した後も300〜420 nmの波
長範囲の化学光線に対する透過性を!iB持するプラス
チックフィルムもしくはシートか該当する。特にポリエ
ステル例えばポリエチレンテレフタレート又はポリブチ
レンテレフタレートから成るフィルムもしくはシートか
有利であることが立証された。コピーフィルムの支持体
(T)は通常8〜150μnl 、有利には10〜30
μmの厚さを有する。
コピーフィルムのマスク形成J+?I(Ms )は1本
発明に基づき1.00μmよりも大きな波長のIRレー
ザで照射するとその300〜420 nmの範囲の吸収
スペクトルを不可逆的に変化する熱変色性系を含有する
。この場合、熱変色性系はマスク形成層(MS)がIR
レーザて照射する前に0.5末)d市、有利には0.3
5以下の所定の波長範囲の低い光学濃度を有しかつ該光
学濃度がIRレーザて照射されると高まるように調製さ
れていてもよい。この場合には、マスク形成層(MS)
は照射範囲内のIRレーザで照射された後、300〜4
20 nmの波長範囲で1.8以上。
有利には3.0よりも大きな光学密度を有する。
しかしまた、マスク形成層(MS)中の熱変色系は、マ
スク形成層(MS)が熱照射前に、300〜420 n
mの波長範囲で少なくとも1.8又はそれ以上であるべ
きでありかつ有利には3.0以上である高い光学濃度を
有しかつ熱照射によりその所定の波長範囲内での光学m
度を低下するように調製きれていてもよい。この場合に
は、マスク形成層(1〜4S)は照射範囲内でのIRレ
ーザで照射された後。
300〜420 nmの範囲で最高0.5.特に0.3
5又はそれ以下の光学濃度を有する。
本発明によるコピーフィルム用の熱変色性系は。
一般に活性剤例えばラジカル、酸、塩基又は酸化剤の作
用を受けると、300〜420 nmの波長範囲の化学
光線に対して別の吸収特性を示す形に転位ないしは転化
する有機物質と、熱の作用を受けると吸収性物質を転化
させる前記活性剤とから成る。
前記波長範囲の化学光線に対してその吸収特性を変化す
ることので゛きる有機物質には、芳香族アミン、芳香b
フェノール、シアニン。メロシアニン、芳香族トリアゾ
ール、芳香族ラクトン及び芳香族ラクタム(それぞれ酸
性もしくは塩基性形)スチルベン、アゾメチン並びに酸
化性芳香族ヒトロールが属する。このような物質の例と
しては。
ミヒラー(1viich18r )のケトン、p−ジメ
チルアミノベンズアルデヒド又はその塩酸塩、0−ヒド
ロキシフェニル−ベンズトリアゾール、0−ヒドロキシ
ベンゾフェノン又ハそのナトリウムフエノラー)、4.
4’−ビス(ジメチルアミノ)〜ベンズヒドロール及び
テトラフエニルエチレンカ挙げられる。これらの化合物
の有利な分類は芳香族アミン又はその塩酸塩である。
熱の作用を受けると有機物質の吸IJS、特性を変化さ
せる適当な活性剤の例は、熱の作用を受けるとラジカル
に分解する化合物1例えばアゾジイソブチロニトリル、
ジクミル又は過酸化ベンゾイル。
及び熱の作用を受けると酸又は塩基を遊離する有機化合
物1例えばフェノラート、芳香族アミンの塩酸塩又は臭
化水素酸塩、ジアゾキノン、スルホン酸エステル、ニト
ロ化合物又はニトレートである。活性剤として特に有利
なものは、スルホン酸エステル、特に芳香族スルホン酸
例えばベンゼンスルホン酸又はトルエンスルホン酸のエ
ステル。
及び第2級アルコール例えばブタノール−(2)、ブタ
ンジオール−(2,3)又はシクロヘギサノールである
。熱変色性系中の活性剤の種類は、就中可変吸収特性を
有する使用有機物質の種類に基づいて決定される。
300〜420 nmの波長範囲の化学光線の吸収率か
熱の作用を受けると高まる1本発明で使用される熱変色
性系の例は、ミヒラー・ケトン塩酸塩/トルエンスルホ
ン酸、p−ジメチルアミノベンズアルデヒド塩酸塩/ト
ルエンスルホン酸及びまたステアリン酸鉄/メルカプト
ベンズイミダゾールである。300〜420 Bmの波
長範囲の化学光線の吸収率が熱の作用を受けると低下す
る1本発明で使用される熱変色性系の例は、アゾジイソ
ブチロニトリル/テトラフェニルエチレン、ナフト−0
−キノンジアジド/ Na−フェノラート、N−クロル
アセトアミド/グルタフンジアルデヒド−Na及びトリ
クロル酢酸エステル/ニトロ型−カリウムである。
本発明のコピーフィルムのためには、活性剤として既述
のスルホン酸エステル例えば2.3−ブタンジオールシ
トシレー1− 、ベンジルトシレート。
7クロヘキシルトシレート又は2.5−ヘキサンジオー
ルジトシレートを、かつ化学光線に対して可変膜+8!
率特性を有する有機物質として特に芳香族アミン例えば
4.4′−ビス−アミノベンゾフェノン例えばミヒラー
・ケトン又はその誘尋体、p−ジメチルアミノベンズア
ルデヒド、2−ジメチルアミノアントラキノン、2−ヒ
ドロキシフェニル−ベンズトリアゾール、ジアルキルア
ミノ安息香酸エステル、2.4−ジニトロフェノラート
−カリウム、p−ニトロンジメチルアニリン又はp−ジ
メチルアミノアザベンゼンを含有する熱変色性系が特に
有利であることが立証された。
熱変色性系中の吸収性有機物質と活性剤との割合は広い
範囲内で変動することができる。しかしながらこの場合
、活性剤は少なくとも吸収特性を変化させるため、ひい
ては光学濃度を変化させるために十分である量で含有さ
れているべきである。
熱変色性系は例えばそれぞれ吸収性有機化合物と活性剤
の和に対して、吸収性有機化合物1〜70モル%及び活
性剤30〜99モル%を含有することかできる。熱変色
性系中の活性剤の割合は有利には50モル%以上である
必須要件ではないが、極めて有効かつ有利には。
マスク形成層(MS)中の熱変色性糸は結合剤と一緒に
使用すべきである。この場合、この結合剤は特に熱変色
性系の支持体(T)に対する良好なイ」着を速成するた
めに役立つ。結合剤は自体で熱安定性でありかつ300
〜420の波長範囲の化学光線に対して透過性であるべ
きである。この結合剤の化学光線に対する透明度は例え
ばIRレーザで熱11(1射された後もなお維持される
べきである。結合剤としては、特に皮膜を形成する熱安
定性の透明な重合体1例えばポリスチレン、ポリ塩化ビ
ニル、ポリビニルアルコール、ポリメチルメタクリレー
ト。
ポリアミド、ポリウレタン及びポリカーボネートが該当
する。
更に、マスク形成層(MS)はなお別の添加物。
例えば重合体結合剤用の軟化剤1重合体安定剤。
充填剤、顔料並びに特に染料及び/又は可視の熱変色性
指示共系、すなわち熱の作用を受けるとその色(可視光
線の波長範囲内の吸収特性)を変化する梁を含有するこ
とができる。この場合には一般に1通常は無色かもしく
は僅かに着色された着色剤と、系の加熱の際に3rf色
剤を発色させる活性剤とを含有する系が使用される。こ
の場合1着色剤としては、特にジー及びトリフェニルメ
タン。
フルオラン、フェノチアジン、キシンテン、チオキサン
チン、スピロピラン又はアクリジン色条のロイコラクト
ン又はロイコ塩基型か該当する。活性剤としては、既述
の化合物、特にまた酸性有機化合物例えはフェノール、
及び有利にはスルホン酸エステル、特に有利にはトシレ
ートが適当である。可視の熱変色性指示蘂糸をマスク形
成Wt (”” )に添加することにより1本発明によ
るコピーフィルムの熱J!<f射の際に、単に300〜
420 nmの波長範囲での吸収特性が変化する(この
ことはフォトマスクとして使用するために重要である)
たけでなく、同時にマスク形成層(MS)の色変換か行
なわれる。従ってコピーフィルムの熱1!=:4射され
た部分と熱IKI射されなかった部分か眼で明らかに識
別可能になる。このことは特に本発明によるコピーフィ
ルムの取扱い及び使用をfjij単にする。
本発明によるコピーフィルムのマスク形成層(MS )
中の熱変色性系の量は、就中特にマスク形成X・7 (
MS )の所望の光学濃度に基づいて決定される。
顔量はマスク形成層(MS)の層厚さに依存して。
マスク形成層(MS)の熱照射後、吸1tl!性部分が
300〜420 nmの波長範囲で少なくとも1.8.
有利には少なくとも3.0の光学濃度を有しかつ非吸収
性部分が300〜420 nmの波長範囲で最高0.5
.特に最高0.35の光学密度を有するように規定され
る。
この場合、マスク形成層(、MS )の層厚さは通常1
〜50μmの範囲、特に2〜20μmの範囲にある。
マスク形成層(MS)はフォトマスクを製造する際に使
用される熱照射がマスク形成する層(MS)内で可能な
限り十分に吸収されるように借成するのが有利である。
従って、マスク形成層(MS)の成分はその吸収特性が
有利にはコピーフィルムを使用する際に使用される熱照
射又は使用IRレーザに合わせるべきである。
本発明のコピーフィルムを製造するには、マスク形成層
(MS )の成分を激しくかっ相J1.に均質に混合し
+ IXいて該混合物を支持体CT )上に層状で所望
のM厚さで施す。このためには自体公知の混合法及び4
1で布法を適用することかできる。有利にはマスク形成
層(MS )の成分を溶illに溶かし、該溶液を支持
体(’I’) J−に流延し、溶剤を蒸発させかつマス
ク形成層(MS )を乾燥する。
本発明のコピーフィルムは1例えば光重合性記録材料か
ら印刷版又はレリーフ版を製造する際に利用されるよう
なフォトマスクをW造するために極めて適当である。こ
のようなフォトマスクを調温するには、マスク形成層(
MS)を画像に基づき熱照射する。この操作は1.oo
μmよりも大きな波長のIRレーザを用いて行なうのが
有利である。本発明に基づきフォトマスクを製造するた
めに使用することができるIRレーザの例は、  CO
レーザ。
COレーザ及びYAGレーザである。この場合には。
マスク形成層(MS)の画像に基づく照射は有利には、
 il!+i像オリジナルを読取りレーザで走査しかつ
この際最終的に得られた電気的情報を、場合により中間
記憶した後に記録レーザに送信し、そこでコピーフィル
ムを画像に基づくオリジナルの明暗情報に相応して点な
いしは行で熱照射する形式で実hIIiするのが有利で
ある。この場合、レーザの強度は1点の高い鮮鋭度を得
られるように商い局所的温度上昇を達成するためにでき
る/こけ高い、すなわち数ワットの範囲内にあるべきで
ある。レーザビームは多角反射系を介してマスクフィル
ム」二を往復運動させるか又は回転するドラム上のマス
クフィルムを照射することができる。表面エネルギは一
般に0.2〜2 y / caの範囲にある。
本発明のコピーフィルムで製造したフォトマスクは鮮鋭
な、精確なかつオリジナルに忠実な画像輪郭を有する。
この場合、使用する記録レーザの種類に基づき、極めて
高い解像力を達成することもできる。更に、コピーフィ
ルムの熱照射された部分と、熱照射された部分と、熱1
7t1射されなかった部分は、300〜420 nmの
波長範囲で光学濃度において大きな差を呈する。従って
、該フォトマスクは、マスクフィルムを感光性記録材料
上に載せ。
感光性記録材料をマスクフィルムを通して化学光線で露
光し、引続き現像することにより、複写技術においてレ
リーフ画像を製造するだめのフォトマスクとして極めて
適当である。
この目的のために1本発明のコピーフィルムは既にII
(レーザて熱照射する前に感光性記録材料と多層素子の
形で結合されていることも可能である。
往って、この本発明の特殊な実施態様は、前記順序で重
ね合わされた以下の層、すなわち寸法安定な基礎もしく
はベース層(B)、感光性レリーフ形成層(R8)、 
 300〜420nmの波長範囲の化学光線に対して透
過性の寸法安定な中間層(Z)(該層は前記のコピーフ
ィルムの支持体層(T)に相当する)、熱線に対して感
受性のマスク形成層(MS)(該層は前記のマスク形成
層(MS)に相当する)並びに場合によりカバ一層(D
)を有する多層記録材料を包含する。
多層画像記録材料のベース材料CB)としては。
感光性、特にン8重合性記録利料用として公知の寸法安
定な、剛性もしくはフレキシブルな支持体材料が利用さ
れる。このためには特に例えばポリエステル例えばポリ
エチレンテレフタレート又ハポリブチレンテレフタレー
トから成るプラスチックフィルムもしくはシート、又は
金属薄板又は金属被覆基体例えはアルミニウム板、酬l
暑板又は銅板。
又はプリント回路を製造するための銅被)11白金が属
する。この場合、ベース層CB)は感光性のレリーフ形
成層(R8)に対する良好な付着を保証するために9機
械的及び7/又は化学的に前処理されていてもよく、又
は接着層が施されていてもよい。
このような接着層は1例えばポリウレタンヘースの一成
分もしくは二成分接着剤から製造することかできる。ベ
ース層CB)はハレーション防止層を担持していてもよ
い。
感光性のレリーフ形成層(R8)のためには、感光性記
録材料として慣用のかつ自体公知の材料が該当する。例
えUO−キノンジアジドベース(ドイツ連邦共和国特t
′1:出願公開第2028903り明細書及び同線22
36941り明細ゼシ参I(,0又は。−ニトロ力ルヒ
ノールエステル基を含有する重合体(ドイツ連邦共和国
特d′[出願公開第2150691吋明細書又は開鎖2
922746 Q明細書参照)のボジチブで操作する系
の他に、ここでは特にネカチブで操作する光重合性及び
/又は光架橋性系について記載する。
該層は・−・般に重合体結合剤の少なくとも1種、低分
子量のエチレン系不飽和光重合性化合物の少なくとも1
種、光重合開始剤の少なくとも1種並びに場合によりそ
の他の添加物の混合物から成る。
光重合性及び/又は光架橋性のレリーフ形成層(R8)
を構成するために適当な重合体結合剤は、?8剤中で可
溶性もしくは少なくとも分散性のポリアミド、ポリアミ
ド、ポリウレタン、飽和もしくは不飽和ポリエステル、
ポリエステル−及びポリエ−チルウレタン、スチレン重
合体、アクリル−及びメタクリル酸エステル重合体及び
共重合体、ポリビニルアルコール及びその誘尋体、ブタ
ジェン−及び/又はイソプレン重合体及びその他である
この場合、特に有利であるのは9例えばフランス国特a
′1゛第1.520856号明細書又はドイツ連邦共和
国特許出願公開第2202357号明細書に記載された
ようなコポリアミド;ビニルアルコール重合体+ %に
1〜4個の炭素原子を有する脂肪族モノカルボン酸の公
知のケン化されたポリビニルエステル例えば平均重合度
200〜3000及びケン化率65〜99モル%を有す
るポリビニルアセテート又はポリビニルプロピオネート
;(メタ)アクリル酸エステル共重合体、特にアルキル
基中に1〜8個の炭素原子を有する(メタ)アクリル酸
アルキルエステルの重合体;エラストマーのジエン/ス
チレン共沖合体、特にスチレン及びブタジェン及び/又
はイソプレンから成る多ブロツク共重合体;又はブタジ
ェン−及び/又はイソプレン−ゴム、例えばアクリルニ
トリル含量15〜40重量%を有するブタジェン/アク
リルニトリル共重合体である。
光重合性及び/又は光架橋性のレリーフ形成層(R8)
のための低分子量のエチレン系不飽和光重合性化合物と
しては、特にアクリル系の低分子量化合物、すなわち(
メタ)アクリレート並びに(メタ)アクリルアミド及び
これらの誘導体であり。
この場合適当な低分子量のエチレン系不飽和化合物の選
択はその都度使用される重合体結合剤に基づいて決定さ
れる。低分子量のエチレン系不飽和化合物の例としては
、ジオール、トリオール、又はテトラオールのジー、ト
リー又はテトラ−(メタ)アクリレート、例えはエチレ
ングリコール。
ジエチレングリコール、トリエチレングリコール。
分子1約500以下のポリエチレングリコール、プロパ
ンジオール−1,2,プロパンジオール−1゜3、ブタ
ンジオール−1,4,ネオペンチルグリ:] −/l/
、 り!jセリン又はトリメチロールプロ、パンのジー
又はポリ−(メタ)アクリレートが挙げられる。更に、
適当であるのは前記ジー又はポリオールのモノ−(メタ
)アクリレート並びに1〜8個の炭素原子を有するモノ
アルコール例えはメタノコル、エタノール、ブタノール
、ヘキサノール又は2−エチルヘキサノールの(メタ)
アクリレートである。(メタ)アクリルアミド化合物の
例としては、(メタコアクリルアミド自体の他にエチレ
ングリコール−ビス−(メタ)アクリルアミド及びメチ
レン−ビス−(メタ)アクリルアミドが挙げられる。
光重合性及び/又は光架橋性のレリーフ形成層(R8)
は、正合体結合剤と低分子量のエチレン系不飽和光重合
性化合物とを一般に50〜90:50〜1oのMR比で
含有する。光重合1ノ)J始剤としては。
光重合性のレリーフ形成層(R3)に対してo、oo1
〜10重量%、有利には0.O1〜5垂量%の量の通常
の光重合開始剤が該当する。例えばベンゾイン及ヒヘン
ゾイン化合物例えばベンゾインメチルエーテル、α−メ
チルベンゾインエチルエーテル。
α−メチロールベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
イソプロピルエーテル;ベンジル、ペンジルテタール例
えばベンジルジメチルテタール又はベンジルメチルベン
ジルケタール;又は例えばドイツ連邦共和国特許出願公
開第2909992号明細書に記載されているようなア
シルホスフィンオキシトが挙げられる。更に、光重合性
及び/又は光架橋性のレリーフ形成層(R3)は、別の
通常のかつ自体公知の添加物9例えば熱重合抑制剤、染
料。
顔料、増感剤、酸化防止剤、充填剤、軟化剤、滑剤等を
含有することができる。
多層画像記録材料の中間層(Z)は、前記コピーフィル
ムの支持体(T)に相当する。該層は寸法安定でありか
つ300〜420 nmの波長範囲の化学光線に対して
透過性であるべきである。更に、該層は熱I!(1射に
対して安定であるべきでありかつ熱照射後上記の波長範
囲内でその吸収スペクトルを全くもしくは実質的に変化
すべきてない。中間層(Z)は有利には透明な皮膜形成
重合体、特にポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエス
テル例えばポリエチレンテレフタレート又はポリブチレ
ンテレフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート又
はポリ塩化ビニルから成る。中間層(Z)は特に熱変色
性層(MS)の感光性のレリーフ形成層(R3)への拡
散及びその逆方向の拡散を阻1止するために役立ちかつ
一般に感光性のレリーフ形成層()(S)に対して僅か
な付着性を有するにすきない。従って。
該層はレリーフ形成u(Rs)i化学光線での露光後か
つレリーフ画像の現像前における感光性のレリーフ形成
層(R8)からのマスクを形成する熱変色性層の剥離に
よる容易かつ問題の無い除去を可能にする。中間層(Z
)は有利には5〜1351+m、特に8〜1!5/4m
の層厚さを有する。
中間層(Z)上には、熱線に対して感受性のマスク形成
Pfi(MS)が施されている。これらの多層し1像記
録材料の感熱性マスク形成層()、、4S )は、コピ
ーフィルムの前記マスク形成M(us)そのものと同じ
成分から成りかつ同じ形式で構成されている。
多層画像記録材料の感熱性のマスク形成層(MS )」
二には、コピーフィルムのマスク形成H(IV4s )
 上における同様に、場合によりなおりバ一層(D)が
特に保護層として存在してもよい。このカバ一層(D)
は通常の皮膜形成重合体9例えばポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ポリ塩化ブチレン、ポリビニルアルコール、
ポリスチレン又は同種のものから成っていてよくかつ有
利には感熱性のマスク形成層(MS )の画像に基づく
熱l!Lli射前に該層から剥離すべきである。
多層の画像記録材料の製造は1通常のかつ自体公知方法
に基づき1例えば個々の層を重ね合わせかつ相互に結合
させることにより実施することができる。この場合、ま
ずベース層CB)及び感光性のレリーフ形成層(R8)
から成る複合体と、中間層(Z)及び感熱性のマスク形
成層(kis)並びに場合によりカバ一層CD)から成
る複合体を製造し。
次いで中間層(Z)の自由表面と感光性のレリーフ形成
層(R8)を積に1.圧縮又は同種の方法により。
場合により溶解助剤を使用して相互に接合させる形式で
実施するのが有利でみる。
本発明の多層記録材料を用いるレリーフ画像の製造は、
まず場合によりカバ一層CD)を剥離した後、マスク形
成層(MS)を特に1.ooμmより大きな波長のIR
レーザで画像に基づいて熱照射することにより行なう。
このマスク形成fyf (MS )の画像に基づく熱照
射のためにも前記の操作法が当11)ミる。
引続き、そうして得られたマスク層を通して、その下に
ある感光性のレリーフ形成層(R8)を300〜420
 nmの波長範囲の化学光線で寂光する。このためには
例えば炭素アークランプの他に特に水銀高圧ランプ、キ
セノン高圧ランプ並びに有利には水銀低圧螢光ランプを
使用することができる。化学光線で露光するための露光
時間は、感X、性のレリーフ形成層(R8)の種類に基
づいて一般に約0.5〜10分の範囲にある。この化学
光線での旅尤後に、中間層(Z)をマスク#(MS)と
−緒に露光されたレリーフ形成層(R8)から例解しか
つレリーフを自体公知方法で一般に屑を適当な浴剤で洗
浄することにより現像する。
この操作法の特に有利なことは、コンピュータ又は磁気
記録イイ料によって記憶された′111報を直接的に複
写二フィルムを介する回り道をせずに印刷版を製造する
ことができることである。もう1つの利点は1周知の如
く他のレーザに比較して極めて高出力の赤外線レーザを
使用することであり、このことは高い記録速度をもたら
す。更に9本発明方法によればマスク製造において湿式
であれ又は乾式であれ、あらゆる現像もしくは定着工程
が省略され、かつ画像製造において多層素子を使用する
ことにより加工の際に均質なかつ良好な品質が保証され
る。
次に本発明を実施例によりa″C細に説明する。実施例
中記載の「部」及び「%」は、他にことわりの限り1重
量に基づく。
実施例 この実施例は本発明のコピーフィルムを用いたボジチプ
型UVマスクの製造法を示す。
ポリスチレン50部、ベンシルトシレー) 40 部。
ミヒラー・テトン2部及びヘキサメチレンジアミン0.
04部を酢酸エステル500部に溶かしかつ該溶液を圧
力フィルタ(孔の大きさ2μm)を通して濾過した後、
厚さ10μmのポリプロピレンシート上に、乾燥後残留
する感熱性マスク形成Nが15μmの厚さを有するよう
に流展した。
こうして得られた淡黄色のコピーフィルムを金属マスク
を通し才線状で4W −C1□レーザを用いて。
フィルム上の明るい画像部分にIJ/CI?Lの放射エ
ネルギが当るように照射した。レーザビームの幅は約0
.11mmであった。この場合、366部mでのコピー
フィルムの光の透過率は0.5%(約2.3の光学濃度
に相当)から85%(約0.07の光学濃度に相当)に
変化した。
実施例2 この実施例は本発明の多層画像記録椙卑1を用いた光重
合体の印刷版の製造法を示す。
塩化メチレン3000部中のポリメチルメククリレ−)
 520髄1i シクロヘキシルトシレート160部。
ミヒラー・ケトン20部、トリクレジルホスフェート3
00部、ヘキサメチレンジアミン0.6部及び3′−フ
ェニル−7−ダニチルアミン−2,2′−スピロ−ジー
(2I(7’l−ベンゾピラン)20部の溶液を。
加圧114W過後流延ドクタプレートを介して幅500
朋及び厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートシー
ト上に施した。乾燥後、 21μmの感熱性のマスク形
成層が残留した。厚さ30μn1のポリエチレンカバー
シートを保ぬシートとして貼付けた。
ポリエチレンテレフタレートシートを有する上記のよう
にして得られたコピーフィルムを数滴のエタノールを用
いてポリアミドベースの市販の光ボ合性印刷版の感光層
上に積層した。ポリエチレン保護シートを剥離した後、
感熱性のマスク形成層を複写ネカチブオリジナル(スク
リン線数:48本/鑞)から曲I[象に^しづき1oo
 w −co2 レーザて照射した。この場合、レーザ
ビームが当った層部分は画像に基づき淡黄色から強烈な
6色に変色した。
引続き1画像記録材料を市販の露光装置(各々20Wの
8本の低圧螢光管を装(iiif )内でマスクフィル
ムの側から10分間全面的に露光した。次いで。
古色のマスクフィルムを剥離しかつ印刷版をプロパツー
ル/エタノール/水混合物(’7:2:1)で洗浄した
。光重合はマスクフィルムの青色の領域下でのみ行なわ
れたために、光重合体のレリーフ画像が得られ、該画像
からプリントにより優れた品質の印刷物を製造すること
ができた。
実施例3 この実1j(M 例は本発明のコピーフィルムを用いて
製造したネガチブ型UVマスクお製造法及び機能を示す
水200部中のポリビニルアルコール20’tL  4
−ジメチルアミノベンゾフェノン塩酸塩o、5Ill 
 p−トルエンスルホン酸o、o5部及ヒn −フタ/
  ivb部の溶液を厚さ25μmのポリエステルシー
ト」二に流延しかつ厚さ25μmの殆んと透明な層に乾
燥した。
こうして得られたコピーフイノ、q起i市販のネガチブ
型の前霧光したオフセット印刷版に載せかつ実施例−と
同様にボジチブオリジナルと同じく画像に基づき熱照射
した。引続き、該複合体をW44部内でUV線(水銀低
圧螢光管)で全面的に1分間屈光した。マスク層の剥離
後、露光されたオフセット印刷版奢當法で現像及び乾燥
することにより完成した印刷版に加工することができた
。印刷において、この版を用いて優れた印刷結果か達成
された。
実施例グ 通常は導体板を製造するために使用されるような銅被覆
したエポキシ樹脂板に、市販の厚さ45μmの光重合性
乾燥フィルムレジストを積層した。フィルムレジストの
支持体シートを剥離した後、実施例1に記載のコピーフ
ィルムを乾式で積層しかつ電気回路のパターンを用いて
1liII像に基づきIRレーザで熱照射した。
引続き、化学光線で3分間全114j的に露光した後。
マスクフィルムを剥離しかつ露光された光重合したレジ
スト層を1.1.l−トリクロルエタンで洗浄した。銅
表面を回路パターンに相応して画像に基づき被覆した硬
質のレジスl一層か得られた。
レジストパターンのフランク形状は優れていた。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)300〜420 nmの波長範囲の化学光線に対
    して透過性の寸法安定な支持体(T)と、該支持体上に
    施されたマスク形成層(MS)とを有するコピーフィル
    ムにおいて、マスク形成層(MS)が熱線に対して感受
    性であり、かつ1.ooμmより大きな波長のIRレー
    ザで照射すると300〜420 nmの範囲の吸収スペ
    クトルを、該波長範囲でのマスク形成層(MS)の光学
    濃度か少なくとも1.3単位変化するように不可逆的に
    変化する熱変色性系を含有することを特徴とするコピー
    フィルム。 G2)マスク形成層(MS) d; 300〜420 
    nmの波長範囲で最高0.5の光学密度を有しかつ熱照
    射によりこの波長範囲の化学光線に対する層(MS)の
    吸収率が上昇する。特許請求の範囲第1項記載の゛コピ
    ーフィルム。 (3)マスク形成層(MS ) fZ 300〜4j2
    0 nmの波長範囲で少なくとも1.8の光学密度を有
    しかつ熱照射によりこの波長範囲の化学光線に対する7
    !(MS)の吸収率が低下する。特許請求の範囲第1項
    記載のコピーフィルム。 例マスク形成層(Ms)d;a)スルホン酸エステル及
    びb)芳香族アミン又は芳香族アミンの塩酸塩から成る
    熱変色性系を特徴する特許請求の範囲第1項〜第3項の
    いずれか1項に記載のコピーフィルム。 (j)マスク形成層が熱変色系の他に重合体結合剤を特
    徴する特許請求の範囲第1項〜第1項のいずれか1項に
    記載のコピーフィルム。 (J)マスク形成N(Ms)j;その他の添加物、特に
    可視の熱変色性指示薬是を特徴する特許請求の範囲第1
    項〜第5項のいずれか1項に記載のコピーフィルム。 (7)寸法安定な基礎もしくはベース層(B)、感光性
    レリーフ形成層(R8)、マスク形成層(MS、)並び
    に場合によりカバ一層CD)の順序で重ね合わされた。 レリーフ画像を製造するために適当な多層画像記録材料
    において、レリーフ形成層(R3)トマスク形成層(M
    S)、との間に300〜420nmの波長範囲の化学光
    線に対して透過性でありかつ熱線に対して安定である寸
    法安定な中間層(Z)か配置されており、かつマスク形
    成層(MS)が熱線に対して感受性でありかつ1.00
    μmより大きな波長のIRレーザでIKI射すると30
    0〜420 nmの範囲の吸収スペクトルを、該波長範
    囲でのマスク形成層(1〜48 )の光学濃度が少なく
    とも1.3単位変化するように不可逆的に変化する熱変
    色性系を含有することを特徴とする多層画像記録材料。 (ざ)マスク形成層が300〜420 nmの波長範囲
    で最高0.5の光学濃度を有しかつ熱照射により300
    〜420nmの波長範囲の化学光線に対する吸収率を特
    徴する特許請求の範囲第7項記載の多層画像記録材料。 (ワ)マスク形成層(MS ) yb: 300〜42
    0 nmの波長範囲で少なくとも1.8の光学密度を有
    しかつ熱照射によりこの波長範囲の化学光線に対する吸
    収率を特徴する特許請求の範囲第7項記載の多層画像記
    録材料。 (10)感光性レリーフ形成N(R8)d:重合体結合
    剤の少なくとも1種、低分子量のエチレン系不飽和光重
    合性化合物の少なくとも1種、光重合開始剤の少なくと
    も1種並びに場合によりその他の添加物の混合物から成
    る光重合性及び/又は光架橋性層から成る。特’B’l
    ”a:’j求の範囲第7項〜第9項のいずれか1項に記
    載の多層画像記録材料。 (//) 300〜420 nmの波長範囲の化学光線
    に対して透過性の寸法安定な支持体(T)とマスク形成
    層(MS)とを有するコピーフィルムを画像に基づき照
    射することにより光学マスクを製造する方法において、
    特許請求の範囲第1項〜第6項のいずれか1項に記載に
    よるコピーフィルムを使用しかつマスク形成層(MS)
    を1.00μmより大きな波長のIRレーザで画像に基
    づき照射することを特徴とする。光学マスクの製法。 (7,2)レリーフ画像を製造する方法において、特許
    請求の範囲第7項〜第1O項のいずれか1項に記載の多
    層画像記録材料を使用し、場合により存在するカバーシ
    ー) (D)を剥離し、マスク形成N(MS)を1.0
    0μInより大きな波長のIRレーザで画像に基づき熱
    照射し、多層画像記録材料をマスク層(MS)の側から
    全面に300〜420 nmの波長範囲の化学光線で露
    光し、中間層(Z)をマスク層(MS)と−緒にレリー
    フ形成層(R8)から剥離しかつ引続きレリーフ形成層
    (R8)からレリーフ画像を自体公知方法で現像するこ
    とを特徴とする。しIJ−7画像の製法。
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