JPS59102491A - Control system for water quality in pure water feed system - Google Patents
Control system for water quality in pure water feed systemInfo
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- JPS59102491A JPS59102491A JP21366782A JP21366782A JPS59102491A JP S59102491 A JPS59102491 A JP S59102491A JP 21366782 A JP21366782 A JP 21366782A JP 21366782 A JP21366782 A JP 21366782A JP S59102491 A JPS59102491 A JP S59102491A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、純水(あるいは超純水)を集中的に一カ所で
純水装置によ勺処理し、これを適宜の使用場所に送水配
管によって送るようにした純水送水系に用いる水質管理
システムに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is a pure water purifier that processes pure water (or ultrapure water) centrally at one location using a water purifier and sends it to an appropriate usage location via water supply piping. It relates to water quality management systems used in water conveyance systems.
従来より、研究所、冥験室、イ、ガ介室あるいは電子工
業、製薬の業界などでは、純水(あるいは超純水二以下
略)を使用する場所毎に純水処理を行なう純水装置を設
置するか、あるいは−カ所の純水装置により集中処理を
行ない、これを送水配管により各使用場所の末端パルプ
又はコックまで処理純水を送る方式をとっている。Traditionally, in research laboratories, underground laboratories, gas chambers, electronic industries, pharmaceutical industries, etc., deionized water equipment has been used to perform deionized water treatment in each place where pure water (or ultrapure water or less) is used. Alternatively, the deionized water can be centrally treated using deionized water equipment at several locations, and the treated deionized water is sent via water pipes to the terminal pulp or cock at each usage location.
そして前記純水装置では、電気伝導率計等により純度を
測定し、所定の用途に応じた一定以上の水質のものを供
給できるように該純水装置の稼動を維持・管理している
のである。The purity of the water purifier is measured using an electrical conductivity meter, etc., and the operation of the water purifier is maintained and managed so that water of a certain quality or higher is supplied for the specified purpose. .
ところで、前記前者の方式では、使用場所毎に純水装置
を設置するため設備が過大となり、費用的にも不利とな
る問題があシ、他方前記後者の方式では、集中処理であ
るため設備的には有利と々るが、反面送水配管は長尺化
することが道は難く、これがために純水装置から送シ出
された処理水が送水管あるいは分校管中で汚染の影響を
受ける虞れがある。この傾向は管中での?il?溜時間
の長い場合、配管系路の長い場合に一層顕著となってく
る。By the way, in the former method, a deionized water device is installed at each place of use, which results in excessive equipment, which is disadvantageous in terms of cost.On the other hand, in the latter method, since the water treatment is centralized, there is a problem in terms of equipment. However, on the other hand, it is difficult to make the water pipes long, and because of this, there is a risk that the treated water sent from the water purifier may be affected by contamination in the water pipes or branch pipes. There is. Is this trend common in Japan? Il? This becomes more noticeable when the accumulation time is long or when the piping system is long.
そしてこのようにして供給される処理水の用途は一般に
高精度の検査、試験あるいは洗滌等にあるため、送水源
たる純水装置から送り出された処理水のその後の水質低
下の程度を充分杷握できない場合には、検査結果痔の信
頼性に対する疑問、生産関係では製品の不良率の増大に
つながるケースが生じてくる。Since the treated water supplied in this way is generally used for high-precision inspections, tests, or cleaning, it is necessary to fully control the extent to which the quality of the treated water that is sent out from the water purification device, which is the water supply source, deteriorates. If this is not possible, the reliability of the test results for hemorrhoids may be questioned, and in production-related cases, this may lead to an increase in the defective rate of products.
本発明者はこれらの問題点を前提と匂で種々研究をポね
たところ、前述した設備的に有利である集中処理方式で
問題となる送水系路中での処理水の水質低下は、主に送
水系路中で処理水が長く滞溜した結果、これにco2が
浴解しあるいは配管よシネ純物質が溶出することが原因
すると理解されるのであるから、このような滞溜の結果
水質低下した部分については、これを用水として使用す
ることなくブロー排水し、送水系が通水状態となって要
求水質を満足する水が末姑バルブ又はコックから流出す
るようになった後に、この流出処理水を使用できるよう
にすれば、011記集中処理方式の難点は実質的に解消
されるとの考えに到シ、本発明をなしたものである。The inventor of the present invention has carried out various studies on odor based on these problems, and has found that the main problem with the centralized treatment method, which is advantageous in terms of equipment, is the deterioration in the quality of the treated water in the water supply system. It is understood that this is caused by the stagnation of treated water in the water supply system for a long time, resulting in the decomposition of CO2 or the elution of pure substances from the piping.As a result of such stagnation, the water quality The degraded area is not used as water but is blown and drained, and after the water supply system is turned on and water that satisfies the required water quality flows out from the valve or cock, this outflow is removed. The present invention was developed based on the idea that if treated water could be used, the difficulties of the 011 centralized treatment method could be substantially eliminated.
この末端バルブ又はコックから流出する水の水質を測定
・管理するには、通水中に突出させた電極を用いてその
電気伝導率を直接鑑視することで行なうことができるが
、この電気伝導率を指f、Iffとした管理によシ、細
菌、配管からの溶出物質等による汚染に対しても間接的
に対応しているという利点もある。つまりこれらの汚染
も滞溜状態で!博に問題となるのであるから、前記電気
伝導率全管理指標として滞溜水をブロー・排水する操作
を行なえば、前記汚染水もブローされることになるから
である。The quality of water flowing out from this end valve or cock can be measured and managed by directly observing its electrical conductivity using an electrode protruding into the flowing water. The management using F and Iff also has the advantage of indirectly dealing with contamination caused by bacteria, substances eluted from piping, and the like. In other words, these pollutions are also accumulated! This is a serious problem because if the operation of blowing and draining the accumulated water as the electrical conductivity total control index is performed, the contaminated water will also be blown away.
而して本発明の要旨は、送水源たる純水装置から長尺の
送水管を経て複数の末端バルブ又はコックに配管接続し
てなる純水送水系において、前記末端バルブ又はコック
の個々に、通水の電気伝導率を測定してディジタル又は
アナログ表示するモニターを付設したことを特徴とする
純水送水系の水質管理システムにある。The gist of the present invention is to provide a pure water supply system in which a water supply source, a pure water device, is connected via a long water pipe to a plurality of end valves or cocks, in which each of the end valves or cocks, A water quality control system for a pure water supply system is characterized in that it is equipped with a monitor that measures the electrical conductivity of water and displays it digitally or analogously.
そして本発明は、前記送水系が、純水装置から送水され
る処理水を再び純水装置に【@環させるクローズタイプ
の主管路循環型をなすものと、オーシンタイプの非循環
型のもののいずれにも適用可能であるが、特に後者の場
合に効果がある。すなわち前者のタイプでは、主管路中
では常時通水を行なわせて、滞溜が起るのを主管路から
分枝された末端バルブ等への管路に限局でき、使用に際
してブロー・排水すべき水射はいつも一定で、また量も
比較的少なくてよいこととできるのであるが、他方後者
のタイプでは、末端バルブ等の純水装置からの距離、他
の末端バルブ等での使用状況などによって、ブロー・排
水すべき水量は一定とならず、特に純水装置から最遠の
末端バルブ等を使用する場合には、本発明における水質
モニターがなければ必要十分なブロー・排水を行なう目
安が全くなく、所謂めくら運転という状況になってしま
うからである。The present invention provides that the water supply system may be either a closed type main pipe circulation type in which the treated water sent from the water purification device is circulated back to the water purification device, or an ossin type non-circulation type. It is also applicable to the latter case, but it is particularly effective in the latter case. In other words, in the former type, water is constantly allowed to flow through the main pipe, and stagnation can be localized to pipes branched from the main pipe to end valves, etc., and water must be blown and drained before use. The water injection is always constant and the amount can be relatively small, but on the other hand, in the latter type, it depends on the distance from the pure water device such as the end valve, the usage situation with other end valves, etc. However, the amount of water to be blown and drained is not constant, and especially when using a terminal valve that is farthest from the water purification device, there is no indication that the necessary and sufficient amount of water will be blown and drained without the water quality monitor of the present invention. This is because the driver is unable to do so and ends up in a situation called blind driving.
なお、個々の末端バルブ又はコックに付設するモニター
は、通水中に突出させた電極によシ測定した電気伝導率
が予め定めた一定直以下となったときに、例えばラング
を点灯、あるいはラングの点灯を赤→緑に切換える形式
(7″イジタル示)とする他、測定値をメーターで表示
する形式(アナログ表示)としたものでもよく、その旧
設場所も末端バルブ又はコックに一体化させ、あるいは
その近傍に配置する形式のもめセもよい。In addition, the monitor attached to each terminal valve or cock lights up the rung or turns on the rung when the electrical conductivity measured by the electrode protruding into the water becomes below a predetermined value. In addition to switching the lighting from red to green (7" digital display), it is also possible to display the measured value with a meter (analog display), and the old location can be integrated into the terminal valve or cock. Alternatively, it may also be possible to place it nearby.
以下本発明の実施態様を図面に基づいて説明する。Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第1図は、−個所の純水装置1刀・ら送水される処理水
が復水循環するようになっている主管路2を備えたクロ
ーズドタイプの送水系を示しており、主管路2には必要
に応じた数の分枝管路3,3゜3・・・が連結されて、
各々末端コック(蛇口)4゜4.4・・・に接続されて
いる。Figure 1 shows a closed type water supply system equipped with a main pipe 2 in which treated water sent from one water purifier at - location is condensed and circulated. The number of branch pipes 3, 3゜3, etc. as required are connected,
Each is connected to a terminal cock (faucet) 4°4.4...
このような送水系は、研死室、検査室、実験室。Such water supply systems are used in research rooms, inspection rooms, and laboratories.
あるいは電子工業などの洗滌工程のために用いられ、純
水装置としては、水質表示装置を含めて粗とし濾過、活
性炭による脱クロール、ミックスペット純水装置、逆浸
透装置、限外p過シクロフィルター、紫外線殺菌器など
の組合せにより、適宜必袂なレベルの水質のものを得る
水処理システムを構成すればよい。Alternatively, it is used for cleaning processes in the electronics industry, etc., and the water purification equipment includes water quality display equipment, coarse filtration, dechlorination using activated carbon, mixed pet water purification equipment, reverse osmosis equipment, and ultrap-filtration cyclofilters. , an ultraviolet sterilizer, etc., to construct a water treatment system that can appropriately obtain water quality at a desired level.
このような送水系においては、循環する主管路2に常に
純水装置1がら処理水を循環通水させ、必要な場所で末
端コック4を開栓することにょシ処3q4水を流出させ
て利用できることになり、この際、滞溜によって水質が
低下していると考えられるのは、分枝管路3の部分だけ
であるから、この分の水をコックυ(]栓時にブロー・
排水してしまえば、その後は流出水の水質は好ましい状
態となる点については既に述べた通りである。In such a water supply system, treated water from the deionizer 1 is constantly circulated through the circulating main pipe 2, and the end cock 4 is opened at the required location to allow water to flow out and be used. At this time, since it is only in the branch pipe 3 that the water quality is considered to have deteriorated due to accumulation, this amount of water is blown out at the cock υ ().
As already mentioned, once the water has been drained, the quality of the runoff water will be in a favorable condition.
そしてこの末端コック4がらの流出水の水質を測定表示
するために、個々の末端コック4,4゜4・・・それぞ
れに、後述する水質表示モニターを付設したことに本発
明の特徴があシ、本例では、第2図(ロ)に示す回路を
内蔵した電源側アダプター5と、これにケーブル6を介
して接続された表示ランプユニット8とによって水質表
示モニターを構成させている。前記電源側アダプター5
はプラグ7を適宜の電源コンセントに差込みして用いら
れるものであり、また表示ランプユニット8は、第3図
(ロ)に示す回路構成を持っていて、管の通水路中に突
出させる対向一対の電極9,9と、赤および緑にそれぞ
れ点灯する一対の発光ダイオードの組合せからなる表示
ラング1oとを一体ユニット化して構成されており、こ
れを末端コック4に埋め込みする形で組付は使用するも
のである。A feature of the present invention is that a water quality display monitor, which will be described later, is attached to each of the end cocks 4, 4. In this example, a water quality display monitor is constituted by a power supply side adapter 5 having a built-in circuit shown in FIG. The power supply side adapter 5
The indicator lamp unit 8 is used by inserting the plug 7 into an appropriate power outlet, and the indicator lamp unit 8 has a circuit configuration shown in FIG. It is constructed by integrating electrodes 9, 9 and a display rung 1o consisting of a combination of a pair of light emitting diodes that light up in red and green, respectively, and is assembled into a terminal cock 4. It is something to do.
第4図(イ)、(ロ)はこのような表示ランフ0ユニツ
ト8を組付けた状態の末端コックの具体的構成例を示し
たものであシ、給水管接続ネジ12によって前記第1図
に示した送水系の分枝管路3に接続されたコック本体1
1が、通常コックとしての連通路開閉弁機構13と、水
質表示のための表示ランプユニット8とを併有した構造
をなしている。FIGS. 4(a) and 4(b) show a specific example of the configuration of the end cock with such an indicator lamp 0 unit 8 assembled. The cock body 1 connected to the branch pipe 3 of the water supply system shown in
1 has a structure that includes a communication passage opening/closing valve mechanism 13 which normally serves as a cock, and an indicator lamp unit 8 for displaying water quality.
14は水の流出口である。14 is a water outlet.
前記連通路開閉弁機構13は一般的なものであシ、分枝
管路3への連通路15および弁室16の間を区画開閉す
る弁シート17と、この弁シート17と固着関係の弁軸
■8と、この弁軸18を介して前記弁シート17を開閉
掃作させるハンドル19と全備え、コック本体11に螺
着固定されたフタ20を弁軸18が貫通ずる形式で支持
されている。なお21は漏水防止のためのノPッキング
、22は同桶のシール/Pヮキングである。The communication passage opening/closing valve mechanism 13 is of a general type, and includes a valve seat 17 that divides and opens and closes the communication passage 15 to the branch pipe 3 and the valve chamber 16, and a valve fixed to the valve seat 17. It is fully equipped with a shaft 8 and a handle 19 for opening and closing the valve seat 17 via the valve shaft 18, and is supported in such a manner that the valve shaft 18 passes through a lid 20 which is screwed and fixed to the cock body 11. There is. Note that 21 is a plug for preventing water leakage, and 22 is a seal/pocket for the same tub.
このような構成により、弁シート17を開栓し/辷とき
に1分枝管路3がらの水は、連通路15、弁室16次い
で次記する電極槽部23ケ経て流、出口14から流出さ
れることになる。With such a configuration, when the valve seat 17 is opened/crossed, the water in the one-branch pipe 3 flows through the communication path 15, the valve chamber 16, the electrode tank 23 described below, and then flows out from the outlet 14. It will be leaked.
一方、表示ランプユニット8は、弁室17と流出口14
0間に設けた電極滑部23に一対の対向電極9,9を挿
入固定し、かつ表示ランプ10が外部から見える状態と
なるように、そのケース25をコック本体11の開口ネ
ジ部24に4着固定して組付けられる。On the other hand, the indicator lamp unit 8 has a valve chamber 17 and an outlet 14.
A pair of opposing electrodes 9, 9 are inserted and fixed into the electrode sliding part 23 provided between the two, and the case 25 is inserted into the opening screw part 24 of the cock body 11 so that the indicator lamp 10 can be seen from the outside. Can be fixed and assembled.
前記ケース25は′電極ボルダをなすものであり、その
電極保持部からの渥出がないようにO−IJング26を
含めて一体形成され、またコック本体■1との螺着部分
からの漏水防止のためにシール/4’ツキング27が組
付けられている。The case 25 constitutes an electrode boulder, and is integrally formed with the O-IJ ring 26 so that it does not leak out from the electrode holding part, and also prevents water from leaking from the screwed part with the cock body 1. A seal/4' fitting 27 is installed to prevent this.
以上の構成によシ、一対の電村:i9.9間の7L;気
伝導率(電気抵抗)を連続的に6111定し、そのT!
:;気伝導率と予め定めた値(例えばセル定数が()、
lあるいはo、oi)との比較によって、市1交+9r
1部23を通る水の水質が要求する水イ仏以下のときに
は表示ラング10f、3:赤色にノ、に灯させ、通水の
水質が敗求水tφを、11当足するようになっ/ことき
に番・よ?l示ランプ10を緑色に点灯させることがで
きることとなる。According to the above configuration, the air conductivity (electrical resistance) of the pair of electrodes: 7L between i9.9 is continuously determined by 6111, and the T!
:; Air conductivity and a predetermined value (for example, cell constant (),
l or o, oi), city 1 intersection + 9r
When the water quality of the water passing through the first part 23 is below the required water level, the display rung 10f, 3: lights up in red, and if the water quality of the water passing through is lower than the required water level, 11 points will be added. Is it your turn? This means that the indicator lamp 10 can be turned on in green.
而して、第1図に示した送水系(ておいて主管路2には
常時処理水を循環通水させておき、所”−りする個所の
末端コック4を開栓して水を流出させると、該当する末
端コック4の開栓前から、開栓後しばらくの間は、表示
ランプ10は赤色に点灯しており、その後、分枝管路3
中に滞溜していた水量に略相当するものが流出口から流
れ出ると、末端コック4の電極槽部23を通水する処理
水は、主管路2から滞溜すること力く直ちに導かれたも
のとなってその水質は該主管路2中のものと同じとなシ
、したがってその状態を電極9,9が測定した結果とし
て表示ランプ10の点灯は緑色に切換わることになる。In the water supply system shown in Figure 1, the treated water is constantly circulated through the main pipe 2, and the end cock 4 at the point where the water is drained is opened to drain the water. When the terminal cock 4 is opened, the indicator lamp 10 lights in red for a while after the corresponding end cock 4 is opened, and then the branch pipe 3
When water approximately equivalent to the amount of water stagnant inside flows out from the outlet, the treated water flowing through the electrode tank section 23 of the terminal cock 4 is immediately led out from the main pipe 2 without stagnant water. Therefore, the quality of the water is the same as that in the main pipe 2, and therefore, as a result of the electrodes 9 measuring the condition, the lighting of the indicator lamp 10 is switched to green.
このため、処理水を使用しようとする者は、該当末端コ
ック4から流出する水が所望する水質をもった純水であ
ることを、前記表示ラップ10の緑色の点灯を指標とじ
て確認。Therefore, a person who intends to use the treated water confirms that the water flowing out from the corresponding end cock 4 is pure water with the desired water quality by using the green light on the display wrap 10 as an indicator.
使用することができる。can be used.
なお本発明の要旨は前記実施態様のものに限定されるも
のではなく、種々の変更した態様のものを考えることが
で括る。例えば、第5図(イ)、1口)に示す如く、末
端コックの構造として、水質表示を行なうユニットを表
示メーターユニット8′に変更すると共に、コック本体
11に対する組付は配置関係を連通路開閉弁機構と入れ
換えたものでもよいし、表示ラングユニット等の形状・
使用部材の材質等も適用対象に応じて変更することがで
き、例えば!極を棒状、板状、リング状、同心2極棒と
したシ、接散部材の材質をポリエチレン、ナイロン、
A、B、S 、ポリゾロピレン、 P、V、Cなどの耐
食性、加工性のよいものを用いることも適宜採用すれば
よい。Note that the gist of the present invention is not limited to the embodiments described above, and various modified embodiments can be considered. For example, as shown in FIG. 5(A) (1 port), the structure of the end cock is changed to a display meter unit 8' for the unit that displays the water quality, and the assembly to the cock body 11 is arranged in a communication path. It may be replaced with the on-off valve mechanism, or the shape and shape of the display rung unit etc.
The materials of the parts used can also be changed depending on the application, for example! The poles are rod-shaped, plate-shaped, ring-shaped, concentric bipolar rods, and the material of the dispersion member is polyethylene, nylon,
Materials with good corrosion resistance and workability such as A, B, S, polyzolopyrene, P, V, and C may be used as appropriate.
更にlた、使用処理水を超純水とするような場合には、
測定誤差の影響を考ばして昌灰桶正センサを併せて用い
ることも有効となる。Furthermore, if the treated water used is ultrapure water,
Considering the influence of measurement errors, it is also effective to use a shohaioke sensor.
以上述べた如く、本発明よりなる純水送水系の水質管理
システムは、個々の末端コック(又はバルブ)毎に、そ
れぞれ通水の水質に4気伝導率として611]定・表示
するモニターを付設し、このことによって個々の末端コ
ック(又はバルブ)t;*作する者が使用する水の水質
を確認・′5理できるようにしたものであシ、この結果
として一1固所での集中純水処理とν尺の送水配管を持
つ系によって、多数個所への配水を好適に実現させたと
いう利益があり、特に主管路を循環系とすることが困難
な施設等では、前述した優れた効果を示すことができる
ものである。As described above, the water quality control system for a pure water supply system according to the present invention is equipped with a monitor for each end cock (or valve) to set and display the quality of the water flowing through the water as 4 conductivity. However, this makes it possible for the individual end cock (or valve) to check and manage the quality of the water used by the person making the water, and as a result, the concentration of water in one The system with pure water treatment and ν-sized water supply pipes has the advantage of being able to conveniently distribute water to multiple locations, and is especially useful in facilities where it is difficult to use the main pipe as a circulation system. It is something that can demonstrate its effectiveness.
図面は本発明の実施態様を示すものであり、第1図は送
水系の全体概要図、第2図社水質表示モニターの電源ア
ダプターを示し、(イは外観図、(ロ)は回路図である
。第3図は同水賀狭示モニターの表示ランプユニットを
示し、(イ)は外観図、(ロ)は回路図である。第4図
は末端コックの一構成例を示し、(イ)は縦断面図、←
)(は正面図、第5図は末端コックの他の構成例を示し
、(イ)は縦断面図、(ロ)はメーターの正面図でちろ
う
1:純水装# 2:主竹路
3:分枝管路 4:末端コック
5:電秤側アダゾクー
6:ケーブル 7:プラグ
8:表示ランプユニ1.ト
8′:表示メーターユニット
9:電極 1o:表示ランプ10′:告示
メーター 11=コック本体12:打続ネジ部
13ニア;I!回路開閉弁イp構
14:流出口 15:連通路
16:弁室 17:弁シート
18:弁軸 19:ハンドル
20:フタ 21:ノぐツキフグ22:シール
ノぐッキング
23:電極槽部 24:開口ネジ部25:ケース
26:o−リング27:シールノやッキングThe drawings show the embodiment of the present invention, and Fig. 1 shows the overall outline of the water supply system, Fig. 2 shows the power adapter of the company's water quality display monitor, (A is an external view, and (B) is a circuit diagram. Fig. 3 shows the display lamp unit of the same Mizuga narrow display monitor, (a) is an external view, and (b) is a circuit diagram. Fig. 4 shows an example of the configuration of the terminal cock, and (i) ) is a vertical cross-sectional view, ←
) ( is a front view, Figure 5 shows another example of the configuration of the terminal cock, (a) is a longitudinal sectional view, and (b) is a front view of the meter. 3: Branch pipe 4: Terminal cock 5: Scale side adapter 6: Cable 7: Plug 8: Display lamp unit 1.8': Display meter unit 9: Electrode 1o: Display lamp 10': Notification meter 11 = Cock Main body 12: Continuation threaded part 13 near; I! circuit on-off valve Ip structure 14: Outlet 15: Communication passage 16: Valve chamber 17: Valve seat 18: Valve stem 19: Handle 20: Lid 21: Nogutsukifugu 22 : Seal nogging 23: Electrode tank part 24: Opening screw part 25: Case
26: O-ring 27: Sealing ring
Claims (2)
の末端パルプ又はコックに配管接続してなる純水送水系
において、MjJ記末端パルプ又はコックの個々に、通
水の電気伝導率を測定してディジタル又はアナログ表示
するモニターを付設したことを特徴とする純水送水系の
水質管理システム。(1) In a pure water supply system in which a water supply source, a pure water device, is connected via a long water pipe to a plurality of terminal pulps or cocks, electrical conduction of water through each of the terminal pulps or cocks indicated by MjJ is conducted. A water quality control system for a pure water supply system, characterized by being equipped with a monitor that measures the rate and displays it digitally or analogously.
と共に、個々の末端パルプ又はコックは前記循環系管路
からの分枝に接続されていることを特徴とする特許請求
の範囲第(1)項記載の純水送水系の水質管理システム
。(2) A patent claim characterized in that a long water pipe constitutes a circulation system that condenses water into a water purifier, and each terminal pulp or cock is connected to a branch from the circulation system pipe line. A water quality management system for a pure water supply system as described in scope (1).
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---|---|---|---|
JP21366782A JPH0236312B2 (en) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | JUNSUISOSUIKEINOSUISHITSUKANRISHISUTEMU |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21366782A JPH0236312B2 (en) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | JUNSUISOSUIKEINOSUISHITSUKANRISHISUTEMU |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0236312B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6320085A (en) * | 1986-07-10 | 1988-01-27 | Toray Ind Inc | Refined water producing apparatus |
JPH0440350A (en) * | 1990-06-05 | 1992-02-10 | Japan Organo Co Ltd | Water quality monitoring meter |
JP2006159003A (en) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Mayekawa Mfg Co Ltd | Heating and cooling method and apparatus for ultrapure water |
-
1982
- 1982-12-06 JP JP21366782A patent/JPH0236312B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6320085A (en) * | 1986-07-10 | 1988-01-27 | Toray Ind Inc | Refined water producing apparatus |
JPH0440350A (en) * | 1990-06-05 | 1992-02-10 | Japan Organo Co Ltd | Water quality monitoring meter |
JP2006159003A (en) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Mayekawa Mfg Co Ltd | Heating and cooling method and apparatus for ultrapure water |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0236312B2 (en) | 1990-08-16 |
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