JPH0236312B2 - JUNSUISOSUIKEINOSUISHITSUKANRISHISUTEMU - Google Patents
JUNSUISOSUIKEINOSUISHITSUKANRISHISUTEMUInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、純水(あるいは超純水)を集中的に
一カ所で純水装置により処理し、これを適宜の使
用場所に送水配管によつて送るようにした純水送
水系に用いる水質管理システムに関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is a purifier that processes pure water (or ultrapure water) centrally in one place using a water purifier and sends it to an appropriate place of use via water pipes. It relates to water quality management systems used in water conveyance systems.
従来より、研究所、実験室、検査室あるいは電
子工業、製薬の業界などでは、純水(あるいは超
純水:以下略)を使用する場所毎に純水処理を行
なう純水装置を設置するか、あるいは一カ所の純
水装置により集中処理を行ない、これを送水配管
により各使用場所の末端バルブ又はコツクまで処
理純水を送る方式をとつている。 Traditionally, in research laboratories, laboratories, testing rooms, electronic industries, pharmaceutical industries, etc., it has been necessary to install a deionized water device to perform deionized water treatment in each place where deionized water (or ultrapure water: hereinafter omitted) is used. Alternatively, a system is adopted in which concentrated treatment is performed using a deionizer at one location, and the treated deionized water is sent via water pipes to end valves or cots at each usage location.
そして前記純水装置では、電気伝導率計等によ
り純度を測定し、所定の用途に応じた一定以上の
水質のものを供給できるように該純水装置の稼動
を維持・管理しているのである。 The purity of the water purifier is measured using an electrical conductivity meter, etc., and the operation of the water purifier is maintained and managed so that water of a certain quality or higher is supplied for the specified purpose. .
ところで、前記前者の方式では、使用場所毎に
純水装置を設置するため設備が過大となり、費用
的にも不利となる問題があり、他方前記後者の方
式では、集中処理であるため設備的には有利とな
るが、反面送水配管は長尺化することが避け難
く、これがために純水装置から送り出された処理
水が送水管あるいは分枝管中で汚染の影響を受け
る虞れがある。この傾向は管中での滞溜時間の長
い場合、配管系路の長い場合に一層顕著となつて
くる。そしてこのようにして供給される処理水の
用途は一般に高精度の検査、試験あるいは洗滌等
にあるため、送水源たる純水装置から送り出され
た処理水のその後の水質低下の程度を充分把握で
きない場合には、検査結果等の信頼性に対する疑
問、生産関係では製品の不良率の増大につながる
ケースが生じてくる。 By the way, in the former method, a deionizer is installed at each place of use, which results in excessive equipment, which is disadvantageous in terms of cost.On the other hand, in the latter method, since the water treatment is centralized, there is a problem in terms of equipment. This is advantageous, but on the other hand, it is difficult to avoid making the water supply pipe long, which may cause the treated water sent from the water purifier to be affected by contamination in the water supply pipe or branch pipe. This tendency becomes more pronounced when the residence time in the pipe is long or when the piping system is long. Since the treated water supplied in this way is generally used for high-precision inspections, tests, or cleaning, it is not possible to fully grasp the extent to which the quality of the treated water that is sent out from the water purification device, which is the water supply source, deteriorates. In some cases, there may be doubts about the reliability of inspection results, etc., and in production-related cases, this may lead to an increase in the defective rate of products.
本発明者はこれらの問題点を前提として種々研
究を重ねたところ、前述した設備的に有利である
集中処理方式で問題となる送水系路中での処理水
の水質低下は、主に送水系路中で処理水が長く滞
溜した結果、これにCO2が溶解しあるいは配管よ
り不純物質が溶出することが原因すると理解され
るのであるから、このような滞溜の結果水質低下
した部分については、これを用水として使用する
ことなくブロー排水し、送水系が通水状態となつ
て要求水質を満足する水が末端バルブ又はコツク
から流出するようになつた後に、この流出処理水
を使用できるようにすれば、前記集中処理方式の
難点は実質的に解消されるとの考えに到り、本発
明をなしたものである。 The present inventor has conducted various studies based on these problems, and has found that the deterioration in the quality of treated water in the water supply system, which is a problem with the above-mentioned centralized treatment method that is advantageous in terms of equipment, is mainly caused by the problem in the water supply system. It is understood that the cause is that treated water stagnates in the road for a long time, and as a result, CO 2 dissolves in it or impurities elute from the pipes. This treated water can be used after the water is blown and drained without being used as service water, and the water supply system is turned on and water that satisfies the required water quality flows out from the terminal valve or pot. The present invention was conceived based on the idea that the problems of the above-mentioned centralized processing method could be substantially solved by doing so.
この末端バルブ又はコツクから流出する水の水
質を測定・管理するには、末端バルブ又はコツク
の個々に、通過する水路中に突出させた電極を用
いてその電気伝導率を直接鑑視することで行なう
ことができるが、この電気伝導率を指標とした管
理により、細菌、配管からの溶出物質等による汚
染に対しても間接的に対応しているという利点も
ある。つまりこれらの汚染も滞溜状態で特に問題
となるのであるから、前記電気伝導率を管理指標
として滞溜水をブロー・排水する操作を行なえ
ば、前記汚染水もブローされることになるからで
ある。 In order to measure and manage the water quality of the water flowing out from these end valves or kettles, it is possible to directly observe the electrical conductivity of each end valve or kettle using an electrode that protrudes into the water channel through which it passes. However, management using this electrical conductivity as an index also has the advantage of indirectly dealing with contamination caused by bacteria, substances eluted from piping, etc. In other words, these contaminants become a particular problem when they accumulate, so if you blow and drain the accumulated water using the electrical conductivity as a management index, the contaminated water will also be blown away. be.
而して本発明の要旨は、送水源たる純水装置か
ら長尺の送水管を経て複数の末端バルブ又はコツ
クに配管接続してなる純水送水系において、前記
末端バルブ又はコツクの個々に、通過する水の電
気伝導率を測定してデイジタル又はアナログ表示
するモニターを付設したことを特徴とする純水送
水系の水質管理システムにある。 The gist of the present invention is, in a pure water water supply system that is connected to a plurality of terminal valves or sockets via long water pipes from a pure water device serving as a water supply source, to each of the terminal valves or sockets, A water quality control system for a pure water supply system is characterized in that it is equipped with a monitor that measures the electrical conductivity of passing water and displays it digitally or analogously.
そして本発明は、前記送水系が、純水装置から
送水される処理水を再び純水装置に循環させるク
ローズタイプの主管路循環型をなすものと、オー
プンタイプの非循環型のもののいずれにも適用可
能であるが、特に後者の場合に効果がある。すな
わち前者のタイプでは、主管路中では常時通水を
行なわせて、滞溜が起るのを主管路から分枝され
た末端バルブ等への管路に限定でき、使用に際し
てブロー・排水すべき水量はいつも一定で、また
量も比較的少なくてよいこととできるのである
が、他方後者のタイプでは、末端バルブ等の純水
装置からの距離、他の末端バルブ等での使用状況
などによつて、ブロー・排水すべき水量は一定と
ならず、特に純水装置から最遠の末端バルブ等を
使用する場合には、本発明における水質モニター
がなければ必要十分なブロー・排水を行なう目安
が全くなく、所謂めくら運転という状況になつて
しまうからである。 The present invention is applicable to either a closed main pipe circulation type where the water supply system circulates the treated water sent from the water purification device back to the water purification device, or an open type non-circulation type. Although applicable, it is particularly effective in the latter case. In other words, in the former type, water is constantly allowed to flow in the main pipe, and stagnation can be limited to pipes branched from the main pipe to end valves, etc., and water must be blown and drained before use. The amount of water is always constant and can be relatively small, but in the latter type, it depends on the distance from the pure water device such as the end valve, the usage status of other end valves, etc. Therefore, the amount of water to be blown and drained is not constant, and especially when using the end valve that is farthest from the water purification device, there is no guideline for necessary and sufficient blowing and draining without the water quality monitor of the present invention. This is because there is no such thing at all, resulting in a situation called blind driving.
なお、個々の末端バルブ又はコツクに付設する
モニターは、通過する水路中に突出させた電極に
より測定した電気伝導率が予め定めた一定値以下
となつたときに、例えばランプを点灯、あるいは
ランプの点灯を赤→緑に切換える形式(デイジタ
ル表示)とする他、測定値をメーターで表示する
形式(アナログ表示)としたものでもよく、その
付設場所も末端バルブ又はコツクに一体化させ、
あるいはその近傍に配置する形式のものでもよ
い。 In addition, the monitor attached to each end valve or kettle will turn on a lamp or switch off the lamp when the electrical conductivity measured by an electrode protruding into the waterway passing through falls below a predetermined value. In addition to a format that switches the lighting from red to green (digital display), a format that displays the measured value with a meter (analog display) may also be used.
Alternatively, it may be placed nearby.
以下本発明の実施態様を図面に基づいて説明す
る。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第1図は、一個所の純水装置1から送水される
処理水が復水循環するようになつている主管路2
を備えたクローズドタイプの送水系を示してお
り、主管路2には必要に応じた数の分枝管路3,
3,3……が連結されて、各々末端コツク(蛇
口)4,4,4……に接続されている。 Figure 1 shows a main pipe 2 in which treated water sent from a pure water device 1 is condensed and circulated.
The figure shows a closed type water supply system with a main pipe 2 and branch pipes 3, as many as necessary.
3, 3... are connected and connected to terminal faucets 4, 4, 4..., respectively.
このような送水系は、研究室、検査室、実験
室、あるいは電子工業などの洗滌工程のために用
いられ、純水装置としては、水質表示装置を含め
て粗ごし過、活性炭による脱クロール、ミツク
スベツト純水装置、逆浸透装置、限外過装置、
ミクロフイルター、紫外線殺菌器などの組合せに
より、適宜必要なレベルの水質のものを得る水処
理システムを構成すればよい。 Such water supply systems are used for cleaning processes in research laboratories, examination rooms, laboratories, and the electronics industry, etc. As pure water equipment, they include water quality display devices, coarse filtration, and dechlorination using activated carbon. ,Mixbet pure water equipment, reverse osmosis equipment, ultrafiltration equipment,
By combining microfilters, ultraviolet sterilizers, etc., a water treatment system can be configured to obtain water quality at an appropriate level.
このような送水系においては、循環する主管路
2に常に純水装置1から処理水を循環通水させ、
必要な場所で末端コツク4を開栓することにより
処理水を流出させて利用できることになり、この
際、滞溜によつて水質が低下していると考えられ
るのは、分枝管路3の部分だけであるから、この
分の水をコツク開栓時にブロー・排水してしまえ
ば、その後は流出水の水質は好ましい状態となる
点については既に述べた通りである。 In such a water supply system, treated water is always circulated from the water purifier 1 through the circulating main pipe 2,
By opening the end tap 4 at the required location, the treated water can flow out and be used.At this time, the water quality is thought to be decreasing due to stagnation in the branch pipe 3. As already mentioned, if this amount of water is blown away and drained when the tap is opened, the quality of the outflow water will be in a favorable condition after that.
そしてこの末端コツク4からの流出水の水質を
測定表示するために、個々の末端コツク4,4,
4……それぞれに、後述する水質表示モニターを
付設したことに本発明の特徴があり、本例では、
第2図ロに示す回路を内蔵した電源側アダプター
5と、これにケーブル6を介して接続された表示
ランプユニツト8とによつて水質表示モニターを
構成させている前記電源側アダプター5はプラグ
7を適宜の電源コンセントに差込みして用いられ
るものであり、また表示ランプユニツト8は、第
3図ロに示す回路構成を持つていて、管の通過水
路中に突出させる対向一対の電極9,9と、赤お
よび緑にそれぞれ点灯する一対の発光ダイオード
の組合せからなる表示ランプ10とを一体ユニツ
ト化して構成されており、これを末端コツク4に
埋め込みする形で組付け使用するものである。 In order to measure and display the water quality of the water flowing out from this terminal pot 4, each terminal pot 4, 4,
4...The present invention is characterized by the fact that a water quality display monitor, which will be described later, is attached to each of them, and in this example,
The power supply side adapter 5 constitutes a water quality display monitor by the power supply side adapter 5 having a built-in circuit shown in FIG. The display lamp unit 8 has a circuit configuration shown in FIG. and an indicator lamp 10 consisting of a combination of a pair of light emitting diodes that light up in red and green, respectively, are integrated into an integrated unit, and this is assembled and used by being embedded in the terminal socket 4.
第4図イ,ロはこのような表示ランプユニツト
8を組付けた状態の末端コツクの具体的構成例を
示したものであり、給水管接続ネジ12によつて
前記第1図に示した送水系の分枝管路3に接続さ
れたコツク本体11が、通常コツクとしての連通
路開閉弁機構13と、水質表示のための表示ラン
プユニツト8とを併有した構造をなしている。1
4は水の流出口である。 Figures 4A and 4B show a specific example of the configuration of the terminal socket with such an indicator lamp unit 8 assembled, and the water supply pipe shown in Figure 1 can be connected by the water supply pipe connection screw 12. A pot main body 11 connected to a water system branch pipe 3 has a structure that includes a communication passage opening/closing valve mechanism 13, which is normally used as a pot, and an indicator lamp unit 8 for indicating water quality. 1
4 is a water outlet.
前記連通路開閉弁機構13は一般的なものであ
り、分枝管路3への連通路15および弁室16の
間を区画開閉する弁シート17と、この弁シート
17と固着関係の弁軸18と、この弁軸18を介
して前記弁シート17を開閉操作させるハンドル
19とを備え、コツク本体11に螺着固定された
フタ20を弁軸18が貫通する形式で支持されて
いる。なお21は漏水防止のためのパツキング、
22は同様のシールパツキングである。 The communication passage opening/closing valve mechanism 13 is a general type, and includes a valve seat 17 that divides and opens and closes between the communication passage 15 to the branch pipe 3 and the valve chamber 16, and a valve shaft fixed to the valve seat 17. 18, and a handle 19 for opening and closing the valve seat 17 via the valve shaft 18, and is supported in such a manner that the valve shaft 18 passes through a lid 20 which is screwed and fixed to the pot body 11. In addition, 21 is packing to prevent water leakage,
22 is a similar seal packing.
このような構成により、弁シート17を開栓し
たときに、分枝管路3からの水は、連通路15、
弁室16次いで次記する電極槽部23を経て流出
口14から流出されることになる。 With such a configuration, when the valve seat 17 is opened, water from the branch pipe line 3 flows through the communication path 15,
The valve chamber 16 then flows out from the outlet 14 via the electrode tank section 23, which will be described below.
一方、表示ランプユニツト8は、弁室17と流
出口14の間に設けた電極槽部23に一対の対向
電極9,9を挿入固定し、かつ表示ランプ10が
外部から見える状態となるように、そのケース2
5をコツク本体11の開口ネジ部24に螺着固定
して組付けられる。 On the other hand, the indicator lamp unit 8 has a pair of opposing electrodes 9, 9 inserted and fixed into an electrode tank section 23 provided between the valve chamber 17 and the outlet 14, and an indicator lamp 10 that is visible from the outside. , that case 2
5 is screwed and fixed to the open threaded portion 24 of the main body 11 to be assembled.
前記ケース25は電極ホルダをなすものであ
り、その電極保持部からの漏出がないようにO−
リング26を含めて一体形成され、またコツク本
体11との螺着部分からの漏水防止のためにシー
ルパツキング27が組付けられている。 The case 25 serves as an electrode holder, and is O-
It is integrally formed including the ring 26, and a seal packing 27 is attached to prevent water from leaking from the screwed part with the main body 11.
以上の構成により、一対の電極9,9間の電気
伝導率(電気抵抗)を連続的に測定し、その電気
伝導率と予め定めた値(例えばセル定数が0.1あ
るいは0.01)との比較によつて、電極槽部23を
通る水の水質が要求する水準以下のときには表示
ランプ10を赤色に点灯させ、通る水の水質が要
求水準を満足するようになつたときには表示ラン
プ10を緑色に点灯させることができることとな
る。 With the above configuration, the electrical conductivity (electrical resistance) between the pair of electrodes 9, 9 is continuously measured, and the electrical conductivity is compared with a predetermined value (for example, the cell constant is 0.1 or 0.01). Therefore, when the quality of water passing through the electrode tank section 23 is below the required level, the indicator lamp 10 is lit in red, and when the quality of the water passing through satisfies the required level, the indicator lamp 10 is lit in green. This means that you can do it.
而して、第1図に示した送水系において主管路
2には常時処理水を循環通水させておき、所望す
る個所の末端コツク4を開栓して水を流出させる
と、該当する末端コツク4の開栓前から、開栓後
しばらくの間は、表示ランプ10は赤色に点灯し
ており、その後、分枝管路3中に滞溜していた水
量に略相当するものが流出口から流れ出ると、末
端コツク4の電極槽部23を通過する処理水は、
主管路2から滞溜することなく直ちに導かれたも
のとなつてその水質は該主管路2中のものと同じ
となり、したがつてその状態を電極9,9が測定
した結果として表示ランプ10の点灯は緑色に切
換わることになる。このため、処理水を使用しよ
うとする者は、該当末端コツク4から流出する水
が所望する水質をもつた純水であることを、前記
表示ラツプ10の緑色の点灯を指標として確認、
使用することができる。 In the water supply system shown in Fig. 1, treated water is constantly circulated through the main pipe 2, and when the end tap 4 at a desired location is opened to allow water to flow out, the corresponding end The indicator lamp 10 lights up in red before the tap 4 is opened and for a while after the tap is opened, and after that, the amount of water approximately equivalent to the amount of water accumulated in the branch pipe 3 reaches the outflow port. When flowing out, the treated water passes through the electrode tank part 23 of the terminal pot 4,
The water is immediately introduced from the main pipe 2 without accumulation, and its quality is the same as that in the main pipe 2. Therefore, as a result of the electrodes 9 measuring its condition, the indicator lamp 10 The light will change to green. For this reason, a person who intends to use the treated water confirms that the water flowing out from the corresponding end tank 4 is pure water with the desired water quality by using the green light on the display lap 10 as an indicator.
can be used.
なお本発明の要旨は前記実施態様のものに限定
されるものではなく、種々の変更した態様のもの
を考えることができる。例えば、第5図イ,ロに
示す如く、末端コツクの構造として、水質表示を
行なうユニツトを表示メーターユニツト8′に変
更すると共に、コツク本体11に対する組付け配
置関係を連通路開閉弁機構と入れ換えたものでも
よいし、表示ランプユニツト等の形状・使用部材
の材質等を適用対象に応じて変更することがで
き、例えば電極を棒状、板状、リング状、同心2
極棒としたり、接液部材の材質をポリエチレン、
ナイロン、A.B.S、ポリプロピレン、P.V.Cなど
の耐食性、加工性のよいものを用いることも適宜
採用すればよい。 Note that the gist of the present invention is not limited to the embodiments described above, and various modified embodiments can be considered. For example, as shown in FIGS. 5A and 5B, in the structure of the terminal pot, the unit for displaying water quality is changed to the display meter unit 8', and the assembly arrangement relative to the pot body 11 is replaced with a communication passage opening/closing valve mechanism. The shape of the indicator lamp unit etc. and the material of the parts used can be changed depending on the application.For example, the electrode can be shaped like a rod, plate, ring, or concentric two.
The pole rod and the material of the parts in contact with the liquid can be made of polyethylene,
Materials with good corrosion resistance and workability, such as nylon, ABS, polypropylene, and PVC, may be used as appropriate.
更にまた、使用処理水を超純水とするような場
合には、測定誤差の影響を考慮して温度補正セン
サを併せて用いることも有効となる。 Furthermore, when the treated water used is ultrapure water, it is also effective to use a temperature correction sensor in consideration of the influence of measurement errors.
以上述べた如く、本発明よりなる純水送水系の
水質管理システムは、個々の末端コツク(又はバ
ルブ)毎に、それぞれ通過する水の水質を電気伝
導率として測定・表示するモニターを付設し、こ
のことによつて個々の末端コツク(又はバルブ)
を操作する者が使用する水の水質を確認・管理で
きるようにしたものであり、この結果として一個
所での集中純水処理と長尺の送水配管を持つ系に
よつて、多数個所への配水を好適に実現させたと
いう利益があり、特に主管路を循環系とすること
が困難な施設等では、前述した優れた効果を示す
ことができるものである。 As described above, the water quality control system for a pure water supply system according to the present invention is equipped with a monitor for each end valve (or valve) to measure and display the quality of the water passing through it as electrical conductivity. This allows the individual terminal caps (or valves)
As a result, by centralizing pure water treatment in one place and using a system with long water pipes, it is possible to check and manage the quality of the water used by the operator. There is an advantage in that water distribution is realized in a suitable manner, and the above-mentioned excellent effects can be exhibited especially in facilities where it is difficult to use the main pipe as a circulation system.
図面は本発明の実施態様を示すものであり、第
1図は送水系の全体概要図、第2図は水質表示モ
ニターの電源アダプターを示し、イは外観図、ロ
は回路図である。第3図は同水質表示モニターの
表示ランプユニツトを示し、イは外観図、ロは回
路図である。第4図は末端コツクの一構成例を示
し、イは縦断面図、ロは正面図、第5図は末端コ
ツクの他の構成例を示し、イは縦断面図、ロはメ
ーターの正面図である。
1:純水装置、2:主管路、3:分枝管路、
4:末端コツク、5:電源側アダプター、6:ケ
ーブル、7:プラグ、8:表示ランプユニツト、
8′:表示メーターユニツト、9:電極、10:
表示ランプ、10′:表示メーター、11:コツ
ク本体、12:接続ネジ部、13:連通路開閉弁
機構、14:流出口、15:連通路、16:弁
室、17:弁シート、18:弁軸、19:ハンド
ル、20:フタ、21:パツキング、22:シー
ルパツキング、23:電極槽部、24:開口ネジ
部、25:ケース、26:O−リング、27:シ
ールパツキング。
The drawings show embodiments of the present invention; FIG. 1 is an overall schematic diagram of a water supply system, FIG. 2 is a power adapter for a water quality display monitor, A is an external view, and B is a circuit diagram. Figure 3 shows the indicator lamp unit of the same water quality display monitor, with A being an external view and B being a circuit diagram. Figure 4 shows an example of the configuration of the terminal tip, where A is a longitudinal sectional view and B is a front view. Figure 5 shows another example of the configuration of the terminal tip, A is a longitudinal sectional view, and B is a front view of the meter It is. 1: Pure water equipment, 2: Main pipe, 3: Branch pipe,
4: Terminal socket, 5: Power supply side adapter, 6: Cable, 7: Plug, 8: Display lamp unit,
8': Display meter unit, 9: Electrode, 10:
Display lamp, 10': Display meter, 11: Kotoku body, 12: Connection thread, 13: Communication passage opening/closing valve mechanism, 14: Outlet, 15: Communication passage, 16: Valve chamber, 17: Valve seat, 18: Valve stem, 19: Handle, 20: Lid, 21: Packing, 22: Seal packing, 23: Electrode tank section, 24: Opening thread section, 25: Case, 26: O-ring, 27: Seal packing.
Claims (1)
複数の末端バルブ又はコツクに配管接続してなる
純水送水系において、前記末端バルブ又はコツク
の個々に、通過する水の電気伝導率を測定してデ
イジタル又はアナログ表示するモニターを付設し
たことを特徴とする純水送水系の水質管理システ
ム。 2 長尺の送水管が純水装置に復水する循環系を
なすと共に、個々の末端バルブ又はコツクは前記
循環系管路からの分枝に接続されていることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の純水送水系
の水質管理システム。[Scope of Claims] 1. In a pure water supply system that is connected to a plurality of terminal valves or sockets via a long water pipe from a pure water device serving as a water supply source, water that passes through each of the terminal valves or sockets A water quality control system for a pure water supply system characterized by being equipped with a monitor that measures the electrical conductivity of water and displays it digitally or analogously. 2. Claims characterized in that a long water pipe constitutes a circulation system for condensing water into a water purifier, and each end valve or socket is connected to a branch from the circulation system pipe line. A water quality management system for a pure water supply system as described in item 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21366782A JPH0236312B2 (en) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | JUNSUISOSUIKEINOSUISHITSUKANRISHISUTEMU |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21366782A JPH0236312B2 (en) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | JUNSUISOSUIKEINOSUISHITSUKANRISHISUTEMU |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59102491A JPS59102491A (en) | 1984-06-13 |
JPH0236312B2 true JPH0236312B2 (en) | 1990-08-16 |
Family
ID=16642960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21366782A Expired - Lifetime JPH0236312B2 (en) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | JUNSUISOSUIKEINOSUISHITSUKANRISHISUTEMU |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0236312B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6320085A (en) * | 1986-07-10 | 1988-01-27 | Toray Ind Inc | Refined water producing apparatus |
JP2772365B2 (en) * | 1990-06-05 | 1998-07-02 | オルガノ株式会社 | Water quality monitor |
JP2006159003A (en) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Mayekawa Mfg Co Ltd | Heating and cooling method and apparatus for ultrapure water |
-
1982
- 1982-12-06 JP JP21366782A patent/JPH0236312B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59102491A (en) | 1984-06-13 |
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