JPS59102284U - レ−ザ加工装置 - Google Patents

レ−ザ加工装置

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JPS59102284U
JPS59102284U JP1982198688U JP19868882U JPS59102284U JP S59102284 U JPS59102284 U JP S59102284U JP 1982198688 U JP1982198688 U JP 1982198688U JP 19868882 U JP19868882 U JP 19868882U JP S59102284 U JPS59102284 U JP S59102284U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser processing
stage
processing equipment
touch sensor
workpiece
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982198688U
Other languages
English (en)
Inventor
弘幸 中野
吉村　喜代和
Original Assignee
オムロン株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成を示す機構部側面図、
油圧系配管図、制御系ブロック図、第２図は制御系の動
作を示すフローチャート、第３図はタッチセンサの一実
施例の回路図である。 １・・・レーザ光源、２・・・収束レンズ、３・・・被
加工物ステージ、４・・・油圧シリンダ、５・・・タッ
チセンサ、Ｐ・・・ポンプ、ｖｌ・・・切換バルブ、Ｖ
２・・・開閉バルブ、Ｋ・・・油溜め、Ｃ・・・制御回
路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被加工物を載置するステージを上下可動にして、Ｊ二下
    駆動装置を設け、レーザビームを収束させるレンズ系と
    一体的にレーザビームの収束点の側方で同一高さに検出
    部を位置させてタッチセンサを設け、上記ステージを上
    昇させて被加工物表面が上記タッチセンサによって検出
    されることによってステージの上昇を停止させ、加工動
    作を行うようにしたレーザ加工装置。
JP1982198688U 1982-12-27 1982-12-27 レ−ザ加工装置 Pending JPS59102284U (ja)

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JP1982198688U JPS59102284U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 レ−ザ加工装置

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Family

ID=30424251

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5234574A (en) * 1975-09-05 1977-03-16 Johannes Josef Martin Sludge discharging apparatus for large incinerator
JPS5634686B2 (ja) * 1977-05-12 1981-08-12

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5234574A (en) * 1975-09-05 1977-03-16 Johannes Josef Martin Sludge discharging apparatus for large incinerator
JPS5634686B2 (ja) * 1977-05-12 1981-08-12

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