JPS5891849U - 真空装置における試料交換機構 - Google Patents
真空装置における試料交換機構Info
- Publication number
- JPS5891849U JPS5891849U JP18777681U JP18777681U JPS5891849U JP S5891849 U JPS5891849 U JP S5891849U JP 18777681 U JP18777681 U JP 18777681U JP 18777681 U JP18777681 U JP 18777681U JP S5891849 U JPS5891849 U JP S5891849U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- vacuum
- chamber
- exchange mechanism
- vacuum equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す一部断面図、第２図は
第１図の一部拡大斜視図である。 １：試料室、２：試料ステージ、３：ストッパ、４：突
起、５：試料ホルダ、６：予備室、７：エアロツク弁、
８：交換棒、９：枠体、１０：押圧体、１１ニジリンダ
、１２：ピストン、１３ニスプリング、１４：通路、１
５：パイプ、１６：バルブ、１７：真空ポンプ、１８：
リークバルブ、１９：制御装置、２０：つまみ、２１：
斜面、２２：アリ溝、２３：排気パイプ。
第１図の一部拡大斜視図である。 １：試料室、２：試料ステージ、３：ストッパ、４：突
起、５：試料ホルダ、６：予備室、７：エアロツク弁、
８：交換棒、９：枠体、１０：押圧体、１１ニジリンダ
、１２：ピストン、１３ニスプリング、１４：通路、１
５：パイプ、１６：バルブ、１７：真空ポンプ、１８：
リークバルブ、１９：制御装置、２０：つまみ、２１：
斜面、２２：アリ溝、２３：排気パイプ。
Claims (1)
- 予備室を通して真空室内の試料ステージへの試料の挿脱
を行う装置において、前記予備室−真空゛ 室間を移動
するコの字状枠体からなる試料ホルダ保持体と、この保
持体のコの字状枠体の一方の端部に内側に向けて突出し
、前記試料ホルダを該コの字状枠体に支持するための押
圧体と、この押圧体に押圧力を与えるスプリングと、こ
の押圧体の他端部が挿入されるシリンダと、このシリン
グの片側の部屋を真空と大気圧とに切り換える手段とか
らなる真空装置における試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777681U JPS5891849U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 真空装置における試料交換機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777681U JPS5891849U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 真空装置における試料交換機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891849U true JPS5891849U (ja) | 1983-06-21 |
Family
ID=29990866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18777681U Pending JPS5891849U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 真空装置における試料交換機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891849U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017527961A (ja) * | 2014-07-29 | 2017-09-21 | ライカ ミクロジュステーメ ゲーエムベーハー | 低温で凍結試料を積み替えるローディングステーション |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP18777681U patent/JPS5891849U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017527961A (ja) * | 2014-07-29 | 2017-09-21 | ライカ ミクロジュステーメ ゲーエムベーハー | 低温で凍結試料を積み替えるローディングステーション |
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