JPS588497B2 - Sya Shinki Kyouzairiyo - Google Patents

Sya Shinki Kyouzairiyo

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JPS588497B2
JPS588497B2 JP49048573A JP4857374A JPS588497B2 JP S588497 B2 JPS588497 B2 JP S588497B2 JP 49048573 A JP49048573 A JP 49048573A JP 4857374 A JP4857374 A JP 4857374A JP S588497 B2 JPS588497 B2 JP S588497B2
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JP
Japan
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film
support
layer
deposited
copolymer
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JP49048573A
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Japanese (ja)
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JPS50141323A (en
Inventor
稲山隆之
中桐孝志
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Fujifilm Holdings Corp
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Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS588497B2 publication Critical patent/JPS588497B2/en
Expired legal-status Critical Current

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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高分子物質上に透明でかつ電導性をもつ金属酸
化物半導体層を有する支持体から成る写真記録用材料に
関するもので特に低湿度下でも、顕著な帯電防止効果を
有する写真記録用材料に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a photographic recording material comprising a support having a transparent and electrically conductive metal oxide semiconductor layer on a polymeric material, and which exhibits remarkable antistatic property even under low humidity. The present invention relates to photographic recording materials having effects.

高分子支持体は殆んど全て常温常湿下で1013Ω以上
の表面抵抗率を有している。
Almost all polymer supports have a surface resistivity of 10 13 Ω or more at room temperature and humidity.

ところが常温常湿化で10Ω13Ω以上の表面抵抗率を
有するような支持体では、それの製造工程、加工工程に
おいて、あるいは写真フイルムや衣服としての使用時に
おいて種々のトラブルが生ずる。
However, with supports having a surface resistivity of 10Ω to 13Ω or more at room temperature and humidity, various problems occur during the manufacturing and processing steps, or when used as photographic films or clothing.

たとえば、従来接触摩擦によって生じた蓄積静電荷即ち
、静電気による不快感、塵埃の付着、火花放電による引
火性物質への引火、スタチツクマーク(写真フイルムで
は蓄積された電荷が放電するとフイルム面は感光し現像
した際点状ないしは樹枝状の線斑が生じる。
For example, in the past, accumulated static charges caused by contact friction, discomfort due to static electricity, adhesion of dust, ignition of flammable substances due to spark discharge, static marks (in photographic film, when the accumulated charges are discharged, the film surface becomes photosensitive). When developed, dot-like or dendritic streaks appear.

これをスタチツクマークと呼称している。This is called a static mark.

)などの様々なトラブルが避けられなかった。これら種
々の弊害をもたらす高分子物質の帯電防止法としては、
たとえば従来 (1)高分子物質にあらかじめ帯電防止剤を混入する練
込み型のもの、(これらについて、必要ならば、特公昭
38−10326号、特公昭38−10327号のイミ
ダゾリン型金属塩を用いるもの、米国特許第2,5 7
9,3 7 5号、同2,8 3 6,5 1 7号
、特公昭40−7366号などの4級アンモニウム塩を
用いるもの、米国特許第2,9 7 8,4 4 0号
のアルキルアリルスルホン酸塩などの有機物を用いるも
の、あるいは又、米国特許第2,7 5 8,9 8
4号にみられるような酸化マグネシウム、米国特許第2
,887,632号同2,9 4 0,9 4 1号、
同3,0 6 2,7 0 0号にみられるような酸化
亜鉛、酸化チタンなどの金属化合物を用いるものなど参
照) (2)高分子物質上に帯電防止剤を塗布する塗布型のも
の(必要ならばたとえば、米国特許第2,6 1 4,
9 8 4号のアルキルスルホン酸塩を用いるもの、米
国特許第2,8 7 6,1 2 7号の4級アンモニ
ウム塩を用いるもの、米国特許第2,9 5 5,9
6 0号の多価アルコールを用いるものなどの有機物を
用いるもの、あるいは特公昭35−6616号、特公昭
40−24890号にみられるような酸化チタン、酸化
スズなどの金属酸化物を用いるものなど参照)の2つの
方法がある。
) and various other troubles were unavoidable. As a method for preventing static electricity on polymeric substances that cause these various adverse effects,
For example, conventionally (1) a kneading type in which an antistatic agent is mixed into a polymeric substance in advance; U.S. Patent No. 2,57
No. 9,375, US Pat. Those using organic substances such as allyl sulfonate, or alternatively, U.S. Patent No. 2,758,98
Magnesium oxide as seen in U.S. Pat.
, 887,632 No. 2,9 4 0,9 4 1,
3,06 2,700, which uses metal compounds such as zinc oxide and titanium oxide) (2) Coating type, in which an antistatic agent is applied onto a polymeric material ( If necessary, for example, U.S. Pat.
9 8 4 using an alkyl sulfonate, U.S. Pat. No. 2,8 7 6,1 2 7 using a quaternary ammonium salt, U.S. Pat. No. 2,9 5 5,9
Those using organic substances such as those using polyhydric alcohol No. 60, or those using metal oxides such as titanium oxide and tin oxide as seen in Japanese Patent Publication No. 35-6616 and Japanese Patent Publication No. 40-24890. There are two methods.

ところが、これらの方法にはそれぞれいくつかの欠点が
ある。
However, each of these methods has some drawbacks.

たとえば、練込み型方法では混入する帯電防止剤の量が
多量でないと効果がないか又は少なく、また塗布型の方
法では支持体を溶解もしくは膨潤させる有機溶剤を使用
することが不可欠であるため塗布後、高温での乾燥によ
り支持体の平面性を害したり、排溶剤、排ガスなどの処
理上、公害を発生する原因となるという問題があった。
For example, in the kneading type method, there is no or little effect unless the amount of antistatic agent mixed is large, and in the coating type method, it is essential to use an organic solvent that dissolves or swells the support. After that, there are problems in that drying at high temperatures impairs the flatness of the support and causes pollution in the treatment of waste solvents and exhaust gases.

又、用いる帯電防止剤についてもアルキルスルホン酸塩
や、4級アンモニウム塩などのような有機の帯電防止剤
を用いた場合は表面抵抗率の湿度依存性が大きく、湿度
が低くなると乾燥により吸着水の放出が起きて極端に表
面抵抗率が大きくなり、帯電防止機能を失ってしまう、
という欠点があった。
In addition, when using an organic antistatic agent such as an alkyl sulfonate or a quaternary ammonium salt, the surface resistivity is highly dependent on humidity, and when the humidity is low, the adsorbed water increases due to drying. is released, the surface resistivity becomes extremely high, and the antistatic function is lost.
There was a drawback.

金属酸化物を用いたものについては、塗布または練込時
に有機溶剤を使用するため、上記のような排溶剤による
公害上の問題が常につきまとっている。
Products using metal oxides use organic solvents during coating or kneading, so they always pose the above-mentioned pollution problem due to waste solvents.

またこれらは、いずれも金属酸化物の粒子が分散した形
をとって層を形成しているため塗布又は練込み量を多く
しないと電導性が悪く、帯電防止効果がおちる。
In addition, since all of these have metal oxide particles dispersed to form a layer, unless the amount of coating or kneading is increased, the conductivity will be poor and the antistatic effect will deteriorate.

かつ又、粒子が分散しているため透明性は良好でないな
どの難点があった。
Moreover, since the particles are dispersed, there are problems such as poor transparency.

このように、塗布方法を用いるもの、練込み方法を用い
るものはいずれも種々の欠点を有していた。
As described above, both those using the coating method and those using the kneading method have various drawbacks.

ところで、これらの欠点を有しない方法として,分野は
異るが、最近、金属や金属酸化物を溶剤を用いないで薄
く一様な連続層として、形成させる方法とくに、金属、
金属酸化物を真空下で支持体上に沈着させる所謂真空蒸
着法がある。
By the way, as a method that does not have these drawbacks, although the field is different, there has recently been a method for forming a thin, uniform continuous layer of metals or metal oxides without using a solvent.
There are so-called vacuum deposition methods in which metal oxides are deposited on a support under vacuum.

真空蒸着法によって形成された蒸着層からなる帯電防止
法としては、たとえば、電子ビーム記録材料の帯電防止
に金属を蒸着したものがある。
As an antistatic method using a deposited layer formed by a vacuum deposition method, for example, there is a method in which a metal is deposited to prevent charging of an electron beam recording material.

(必要ならば、英国特許第1,3 4 0.4 0 3
号米国特許第3,3 3 6,5 9 6号など参照)
ところでこの方法では電子ビーム記録材料に関するもの
であるために、設けられた金属蒸着層を単に電子線が透
過すればよいという条件しか満たしていない。
(If necessary, British Patent No. 1,3 4 0.4 0 3
(See U.S. Patent No. 3,3336,596, etc.)
However, since this method relates to an electron beam recording material, it only satisfies the condition that the electron beam simply needs to pass through the metal vapor deposited layer provided.

つまり、この方法は電子線に比して著しくエネルギーの
小さい光線、特に写真感光材料の分野で重要な可視光に
対してはそれが透過しなくても差支えない。
In other words, in this method, there is no problem even if light rays with significantly lower energy than electron beams, particularly visible light, which is important in the field of photographic light-sensitive materials, do not pass through.

即ち、潜像形成時には不透明であってもよいというもの
である。
That is, it may be opaque when forming a latent image.

併し乍ら一般の写真記録用材料とくに、透明性が不可欠
である、ネガフイルム、映画用フイルム、X r a
yフイルム、航空用フイルムなどでは、帯電防止効果を
有する蒸着層は透明性を保持していなければ実用になら
ないものである。
However, general photographic recording materials, especially negative film, motion picture film, and X-ray film, in which transparency is essential,
In Y-films, aviation films, etc., the vapor-deposited layer having an antistatic effect must remain transparent to be of practical use.

ところで、ごく最近になって、このような蒸着法を写真
記録用材料の帯電防止法として用いる試みもなされはじ
めた。
By the way, very recently, attempts have been made to use such a vapor deposition method as a method for preventing static electricity in photographic recording materials.

すなわち高分子支持体層と写真乳剤層の中間層に金属と
無機酸化物の混合物の層を形成される方法が開発された
That is, a method has been developed in which a layer of a mixture of metal and inorganic oxide is formed as an intermediate layer between a polymer support layer and a photographic emulsion layer.

そこでは80〜30重量%のクロム、銀、ニッケル又は
銅などの金属単独もしくはこれらの二種以上の混合物と
20〜70重量%のシリコン、マグネシウム、タンタル
、チタン、硅素などの酸化物との混合物からなる中間層
が帯電防止層として設けられた。
There, 80 to 30% by weight of a metal such as chromium, silver, nickel, or copper alone or a mixture of two or more thereof and a mixture of 20 to 70% by weight of an oxide such as silicon, magnesium, tantalum, titanium, silicon, etc. An intermediate layer consisting of was provided as an antistatic layer.

特許請求の範囲の記載から、これらの金属の中でも特に
クロムが秀れているとされている。
From the description in the claims, it is said that chromium is particularly excellent among these metals.

この方法では前述した如き、有機物を用いた場合の湿度
による帯電防止能の大巾な変化あるいは,無機物粒子を
用いた場合の不透明性あるいは不均一性などの欠点は改
良されている。
In this method, as described above, the disadvantages such as the large change in antistatic ability due to humidity when organic particles are used and the opacity or non-uniformity when inorganic particles are used are improved.

だがしかし、良く知られているようにクロムは極めて有
害なものであり、取扱いに注意を要する化合物である。
However, as is well known, chromium is an extremely harmful compound that must be handled with care.

又、クロム、銅、銀、ニッケルなどでは酸、アルカリな
どに対して犯されやすい化合物である。
Also, chromium, copper, silver, nickel, etc. are compounds that are easily attacked by acids, alkalis, etc.

銀は著しく高価であり、工業製品として恒常的な使用は
好ましくない。
Silver is extremely expensive and is not suitable for regular use as an industrial product.

かようにこの方法も,素材面からのさまざまな制約があ
った。
This method also had various limitations due to the materials used.

かつ、又、蒸着の操作の面からもこの方法では前述した
如く混合物を中間層に用いているために、混合物をフラ
ッシュ法なり電子ビーム法で蒸着するにしても( L.
Maissel and R.Glang:” Ha
ndbook of Thin Fi lm
Technology”Chapte r/.MaGl
aw Hi 11 , NewYo rk +197
0参照)混合物の蒸着は、単体の蒸着に比し、蒸着條件
などが非常に複雑であり巾が広くまた長い高分子支持体
上に、均一に連続的に蒸着を行うことは非常に難しい。
Moreover, from the viewpoint of vapor deposition operations, since this method uses a mixture as the intermediate layer as described above, even if the mixture is vapor-deposited by a flash method or an electron beam method (L.
Maissel and R. Glang:”Ha
ndbook of Thin Film
Technology"Chapter r/.MaGl
aw Hi 11, New York +197
Compared to the deposition of a single substance, the deposition conditions for a mixture (see 0) are very complicated, and it is extremely difficult to uniformly and continuously deposit a mixture onto a wide and long polymer support.

このように先行技術に開示された技術にも様々な問題点
があった。
As described above, the techniques disclosed in the prior art also have various problems.

我々はチタン、ジルコニウムなどの単体を蒸着し、その
後処理を施すことにより高分子支持体上に透明電導層を
形成することを試み種々の利点をもつ本発明に達したも
のである。
We have attempted to form a transparent conductive layer on a polymer support by vapor depositing simple substances such as titanium, zirconium, etc. and performing subsequent treatments, and have arrived at the present invention, which has various advantages.

ところで本発明は、これら先行技術の問題点を解決すべ
く開発されたものである。
By the way, the present invention was developed to solve the problems of these prior art techniques.

本発明は写真記録材料とくに、帯電防止性を著しく改良
したものである。
The present invention provides photographic recording materials, particularly those with significantly improved antistatic properties.

第1に毒性がないかもしくは著しく低い金属を用いるも
のである。
First, metals with no or extremely low toxicity are used.

第2に酸もしくはアルカリに対して安定な金属を用いる
ものである。
Secondly, metals that are stable against acids or alkalis are used.

第3に単体を用いるものである。The third method uses a simple substance.

第4に均一な組成を容易に与えうるものを用いるもので
ある。
Fourthly, a material that can easily provide a uniform composition is used.

第5に非常に安価でかつ効果的な金属を用いるものであ
る。
Fifth, it uses very cheap and effective metals.

第6に金属酸化物半導体(金属を蒸着後、酸化処理を施
すことにより得たものである)を用いるものである。
Sixthly, a metal oxide semiconductor (obtained by performing oxidation treatment after vapor deposition of a metal) is used.

第7に周期律表でlVa族およびVa族の元素を用いる
ものである。
Seventhly, elements of the lVa group and the Va group in the periodic table are used.

第8に表面抵抗率を1011Ω以下にした高分子支持体
を支えるものである。
Eighth, it supports a polymer support with a surface resistivity of 10 11 Ω or less.

以下に本発明の構成要件について詳細に説明する。The constituent elements of the present invention will be explained in detail below.

まず本発明に用いられる高分子支持体としては、通常の
熱可塑性及び熱硬化性高分子物質が有効である。
First, as the polymer support used in the present invention, ordinary thermoplastic and thermosetting polymer substances are effective.

前述した如く一般に高分子支持体は1o13Ω以上の表
面抵抗を有しているのが、本発明の手法により表面抵抗
率を容易に1011Ω以下にまで下げることができるの
で高分子物質の素材に対する制約はないし、顔料、増白
剤、帯電防止可塑剤などを含有していてもよい。
As mentioned above, polymer supports generally have a surface resistance of 1013Ω or more, but the method of the present invention can easily reduce the surface resistivity to 1011Ω or less, so there are no restrictions on the material of the polymeric substance. Alternatively, it may contain pigments, brighteners, antistatic plasticizers, etc.

高分子物質としては、通常の高分子化学の分野で所謂高
分子物質の他にオリゴマー、初期縮合物として知られて
いるものも包含する。
Examples of the polymeric substance include those known as oligomers and initial condensates in addition to so-called polymeric substances in the field of ordinary polymer chemistry.

即ち、所謂不飽和結合の関与した付加重合体、開還重合
体、重縮合物などの合成樹脂、合成繊維合成ゴムとして
知られている合成高分子物質、天然ゴム、セルローズ、
ゼラチン、蛋白質、紙、木材などの天然高分子物質ある
いはこれらの誘導体などがある。
That is, synthetic resins such as addition polymers, opening polymers, and polycondensates involving so-called unsaturated bonds, synthetic polymer substances known as synthetic fibers and synthetic rubbers, natural rubber, cellulose,
Examples include natural polymeric substances such as gelatin, protein, paper, and wood, or derivatives thereof.

たとえば、合成高分子物質については、 オレフイン類、アリル化合物類、ハロゲン化オレフイン
類、スチレン類、ヘテロ環ビニル類、アセチレン類、ア
レン類、ブタジエン類、N−ビニル化合物類、ビニルエ
ステル類、ビニルエーテル類、ビニルケトン類、アクリ
ル酸類、アクリロニトリル類、アクリルアミド類、メタ
クリル酸類、オキシラン類、ラクタム類、 などの単量体の単独もしくは共重合物である。
For example, synthetic polymer substances include olefins, allyl compounds, halogenated olefins, styrenes, heterocyclic vinyls, acetylenes, arenes, butadienes, N-vinyl compounds, vinyl esters, and vinyl ethers. , vinyl ketones, acrylic acids, acrylonitriles, acrylamides, methacrylic acids, oxiranes, and lactams.

あるいは又、ポリイミン、ポリエステル、ポリエーテル
、ポリカーボネート、ポリスルフィド、ポリスルホン、
ポリスルホンアミド、ポリペプチド、ポリアミド、ポリ
イミド、ポリウレタン、ポリ尿素、ポリ酸無水物、アル
キッド樹脂、不飽和ポリエステル、エポキシ樹脂、ケト
ン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、フ
ラン樹脂、キシレン樹脂、トルエン樹脂、アニリン樹脂
、ジアリルフタレート樹脂、シリコン樹脂などの熱可硬
注、熱可塑性の樹脂あるいは硬化させた樹脂など様々な
ものがある。
Alternatively, polyimine, polyester, polyether, polycarbonate, polysulfide, polysulfone,
Polysulfonamide, polypeptide, polyamide, polyimide, polyurethane, polyurea, polyanhydride, alkyd resin, unsaturated polyester, epoxy resin, ketone resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, furan resin, xylene resin, toluene resin There are various types such as thermoplastic resins, thermoplastic resins, and hardened resins such as aniline resin, diallyl phthalate resin, and silicone resin.

たとえばポリ塩化ビニル、ポリ臭化ビニル、ポリフツ化
ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、塩素化
ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、臭素化ポリエチ
レン、塩化ゴム塩化ビニルーエチレン共重合体、塩化ビ
ニループロピレン共重合体、塩化ビニルースチレン共重
合体,塩化インブチレン共重合体、塩化ビニルー塩化ビ
ニリデン共重合体、塩化ビニルースチレンー無水マレイ
ン酸三元共重合体、塩化ビニルースチレンーアクリロニ
トリル共重合体、塩化ビニルーブタジエン共重合体、塩
化ビニルーイソプレン共重合体、塩化ビニルー塩素化プ
ロピレン共重合体、塩化ビニルー塩化ビニリデンー酢酸
ビニル三元共重合体、塩化ビニルーアクリル酸エステル
共重合体、塩化ビニルーマレイン酸エステル共重合体、
塩化ビニルメタクリル酸エステル共重合体、塩化ビニル
ーアクリロニトリル共重合体、内部可塑化ポリ塩化ニル
、塩化ビニルー酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデ
ン、塩化ビニリデンーメタクリル酸エステル共重合体、
塩化ビニリデンーアクリロニトリル共重合体、塩化ビニ
リデンーアクリル酸エステル共重合体、クロロエチルビ
ニルエーテルーアクリル酸エステル共重合体、ポリフッ
化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロ
ロプレン、などの含ハロゲン合成樹脂、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリプテン、ポリ−3−メチルフテン
ポリ−1,2−ブクジエン、などのα−オレフイン共重
合体、エチレンープロピレン共重合体、エチレンービニ
ルエーテル共重合体、エチレン−プロピレン−1 .
4−へキサジェン共重合体、弗素化ポリエチレン、エチ
レンー酢酸ビニル共重合体、コポリプデン−1−プロピ
レン共重合体、ブタジエンーアクリロニトリル共重合体
およびこれらの共重合体とハロゲン含有樹脂とのブレン
ド品、アクリル酸メチルエステルーアクリロニトリル共
重合体、アクリル酸エチルエステルースチレン共重合体
、メタクリル酸メチルエステルーアクリロニトリル共重
合体、メタクリル酸メチルエステルースチレン共重合体
、メタクリル酸ブチルエステルースチレン共重合体、ポ
リアクリル酸メチル、ポリーα−クロルアクリル酸メチ
ル、ポリアクリル酸メトキシエチルエステル、ポリアク
リル酸グリシジルエステル、ポリアクリル酸ブチルエス
テル、アクリル酸一アクリル酸ブチル共重合体アクリル
酸エステルーブタジエンースチレン共重合体、メタクリ
ル酸エステル−ブタジエンースチレン共重合体、重量比
が67/23/7/3のメタクリル酸メチル/アクリル
酸エチル/2−ヒドロキシエチルアクリレート/メタク
リル酸共重合体、重量比が72/17/7/3のメタク
リル酸メチル/アクリル酸エチル/2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート/メタクリル酸共重合体、重量比が70
/20/7/3のメタクリル酸メチル/アクリル酸エチ
ル/2−ヒドロキシエチルアクリレート/メタクリル酸
共重合体、重量比が70/20/7/3のメタクリル酸
メチル/アクリル酸ブチル/2−ヒドロキシエチルアク
リレート/メタクリル酸共重合体、などの如きアクリル
樹脂、ポリスチレン、ポリーα−メチルスチレン、スチ
ンンーフマル酸ジメチル共重合体、スチレンー無水マレ
イン酸共重合体、スチレンーブタジエン共重合体、スチ
レンーブタジエンーアクリロニトリル共重合体、ポリ−
2,6−ジメチルフエニレンオキサイド、スチレンーア
クリロニトリル共重合体、ポリビニルカルバゾール、ポ
リーp−キシリレン、ポリアセタール、ポリビニルアル
コール、ポリビニルホルマール、ポリビニルマセタール
、ポリビニルブチラール、ポリビニルフタレート、セル
ローズ、メチルセルローズ、エチルセルローズ、ブチル
セルローズ、ヒドロキシエチルセルローズ、ヒドロキシ
プロピルセルローズ、セルローステトラハイドロフタレ
ート、酢酸セルロース、酪酸セルロース、カルボキシメ
チルセルロース、酪酸酸セルローズ、ニトロセルローズ
、セルローズフタレート、パルプ,ナイロン6、ナイロ
ン66、ナイロン12、メトキシメチル−6−ナイロン
、ナイロン6,10、ポリカプラミド、ポリーN−ブチ
ルーナイロン−6ポリエチレンセバケート、ポリブチレ
ングルタレート、ポリへキサメチレンアジペート、ポリ
ブチレンイソフタレート、ポリエチレンテレフタレート
、ポリエチレンアジペートテレフタレート、ポリエチレ
ン−2,6−ナフタレート、プリジエチレングリコール
テレフタレート、ポリエチレンオキシベンゾエート、ビ
スフェノールA−イソフタレート、ポリアクリロニトリ
ル、米国特許第3,7 9 4,5 4 7号記載の如
きポリイミド ビスフェノールA−アジペート、ガラス
繊維強化不飽和ポリエステル、ポリへキサメチレンーm
−ベンゼンジスルホンアミド、ポリ4,4′−オキシジ
フエニル尿素−2.4−トリレン尿素、メチレンビス−
4−フエニレン尿素、クアナミンーメラミンーホルマリ
ン樹脂、ポリテトラメチレンヘキサメチレンカーボネー
ト、ホリエチレンメチレンビスー4−フエニレンカーボ
ネート、ビスフェノールA−ポリカーボネート、ポリエ
チレンテトラスルフイド、ポリエチレンオキサイド、ポ
リテトラヒドロフラン、ポリビスクロルメチルオキセタ
ン、ポリオキシメチレン、ブチルゴム、ネオフレンゴム
、ポリイソプンン、コポリフロビレンーイソプレン、ス
チレンーブタジエンゴム、シリコンゴム、ポリへキサメ
チレン尿素、ポリジメチルシロキサン、ポリメチルフエ
ニルシロキサン、ゼラチン、フタル化ゼラチン、マレイ
ン化ゼラチンなどのアシル化ゼラチン,アクリル酸、メ
タクリル酸なとのα,β一不飽和酸もしくはこれらのア
ミドをゼラチンにグラフトさせたグラフト化ゼラチン、
でんぷん、ヒドロキシエチルでんぷん、ヒドロキシプロ
ピルでんぷんなどのでんぷん類、シエラツク、ポリグリ
セロールモノアクリレート、ポリビニルピロリドン、ビ
ニルピロリドンー酢酸ビニル共重合体、クマロンーイン
デン樹脂、カゼイン、アガロース、アルギン酸ソーダ、
デキストラン、アラビアゴム、アルブミン、ポリサッカ
ライド、ポリアクリルアミド、ポリトリメチルビニルベ
ンジルアンモニウムクロライド、ポリジアリルジメチル
アンモニュウムクロライド などがある。
For example, polyvinyl chloride, polyvinyl bromide, polyvinyl fluoride, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetate, chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene, brominated polyethylene, chlorinated rubber vinyl chloride-ethylene copolymer, vinyl chloride-propylene copolymer Coalescence, vinyl styrene chloride copolymer, imbutylene chloride copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl styrene chloride-maleic anhydride terpolymer, vinyl styrene chloride-acrylonitrile copolymer, chloride Vinyl-butadiene copolymer, vinyl chloride-isoprene copolymer, vinyl chloride-chlorinated propylene copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride-vinyl acetate terpolymer, vinyl chloride-acrylic acid ester copolymer, vinyl-malein chloride acid ester copolymer,
Vinyl chloride methacrylic acid ester copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, internally plasticized polynylic chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyvinylidene chloride, vinylidene chloride-methacrylic acid ester copolymer,
Halogen-containing synthetic resins such as vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, vinylidene chloride-acrylic ester copolymer, chloroethyl vinyl ether-acrylic ester copolymer, polyvinylidene fluoride, polytetrafluoroethylene, polychloroprene, polyethylene,
α-olefin copolymers such as polypropylene, polybutene, poly-3-methylphthene, poly-1,2-bucdiene, ethylene-propylene copolymers, ethylene-vinyl ether copolymers, ethylene-propylene-1.
4-hexadiene copolymer, fluorinated polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, copolybdenum-1-propylene copolymer, butadiene-acrylonitrile copolymer, and blends of these copolymers with halogen-containing resins, acrylic Acid methyl ester-acrylonitrile copolymer, acrylic acid ethyl ester-styrene copolymer, methacrylic acid methyl ester-acrylonitrile copolymer, methacrylic acid methyl ester-styrene copolymer, butyl methacrylate ester-styrene copolymer, poly Methyl acrylate, poly-alpha-chloromethyl acrylate, polyacrylic acid methoxyethyl ester, polyacrylic acid glycidyl ester, polyacrylic acid butyl ester, acrylic acid monobutyl acrylate copolymer, acrylic ester-butadiene-styrene copolymer , methacrylic acid ester-butadiene-styrene copolymer, weight ratio 67/23/7/3 methyl methacrylate/ethyl acrylate/2-hydroxyethyl acrylate/methacrylic acid copolymer, weight ratio 72/17/ 7/3 methyl methacrylate/ethyl acrylate/2-hydroxyethyl acrylate/methacrylic acid copolymer, weight ratio 70
/20/7/3 methyl methacrylate/ethyl acrylate/2-hydroxyethyl acrylate/methacrylic acid copolymer, weight ratio 70/20/7/3 methyl methacrylate/butyl acrylate/2-hydroxyethyl Acrylic resins such as acrylate/methacrylic acid copolymers, polystyrene, polyα-methylstyrene, styrene-dimethyl fumarate copolymers, styrene-maleic anhydride copolymers, styrene-butadiene copolymers, styrene-butadiene-acrylonitrile copolymers, etc. polymer, poly-
2,6-dimethylphenylene oxide, styrene-acrylonitrile copolymer, polyvinyl carbazole, poly p-xylylene, polyacetal, polyvinyl alcohol, polyvinyl formal, polyvinyl macetal, polyvinyl butyral, polyvinyl phthalate, cellulose, methyl cellulose, ethyl cellulose, Butylcellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxypropylcellulose, cellulose tetrahydrophthalate, cellulose acetate, cellulose butyrate, carboxymethylcellulose, cellulose butyrate, nitrocellulose, cellulose phthalate, pulp, nylon 6, nylon 66, nylon 12, methoxymethyl-6 - Nylon, nylon 6,10, polycapramide, poly N-butyl-nylon-6 polyethylene sebacate, polybutylene glutarate, polyhexamethylene adipate, polybutylene isophthalate, polyethylene terephthalate, polyethylene adipate terephthalate, polyethylene-2,6 - Naphthalate, pridiethylene glycol terephthalate, polyethylene oxybenzoate, bisphenol A-isophthalate, polyacrylonitrile, polyimides such as those described in U.S. Pat. Hexamethylene-m
-benzenedisulfonamide, poly4,4'-oxydiphenyl urea-2,4-tolylene urea, methylene bis-
4-phenylene urea, quanamine-melamine-formalin resin, polytetramethylenehexamethylene carbonate, polyethylenemethylenebis-4-phenylene carbonate, bisphenol A-polycarbonate, polyethylene tetrasulfide, polyethylene oxide, polytetrahydrofuran, polybischlor Methyloxetane, polyoxymethylene, butyl rubber, neophrene rubber, polyisoprene, copolyfluorylene-isoprene, styrene-butadiene rubber, silicone rubber, polyhexamethylene urea, polydimethylsiloxane, polymethylphenylsiloxane, gelatin, phthalated gelatin, maleated Acylated gelatin such as gelatin, grafted gelatin in which α, β monounsaturated acids such as acrylic acid, methacrylic acid, or amides thereof are grafted onto gelatin;
Starch, starches such as hydroxyethyl starch and hydroxypropyl starch, silica, polyglycerol monoacrylate, polyvinylpyrrolidone, vinylpyrrolidone-vinyl acetate copolymer, coumaron-indene resin, casein, agarose, sodium alginate,
Examples include dextran, gum arabic, albumin, polysaccharide, polyacrylamide, polytrimethylvinylbenzylammonium chloride, and polydiallyldimethylammonium chloride.

これらの用途により単独でも使用されるがこれらの樹脂
のブンンド物、グラフト重合物、共重合物、ブロック共
重合物などあるいはこれらの混合したものあるいは積層
したものでもよい。
Although these resins may be used alone depending on their purpose, bundles, graft polymers, copolymers, block copolymers, etc. of these resins, or mixtures or laminates thereof may also be used.

これらの高分子物質中には、通常は種々の添加剤が含有
されている。
These polymeric substances usually contain various additives.

それらの化合物としては分野によって異るが一般的には
、酸化防止剤、安定剤,可塑剤、充填剤、染料、顔料、
帯電防止剤などがある。
These compounds vary depending on the field, but generally include antioxidants, stabilizers, plasticizers, fillers, dyes, pigments,
There are antistatic agents, etc.

酸化防止剤としては、たとえば、2,6−ジーt−ブチ
ルーp−クレゾール、2,2′−メチレンビス−6−t
−ブチルー4−メチルフェノール、ジブチルジチオカル
バミン酸亜鉛、トリフエニルホスファイト、α−シアノ
ーβ−フエニル桂皮酸ベンジル、ベンゾトリアジニルフ
ェノール、などがあり、 可塑剤としては、たとえばジブチルフタレート,ジオク
チルフタレート、ジオクチルアジペート、ブチルベンジ
ルフタレート、エポキシ化大豆油、リン酸トリクレジル
、リン酸トリオクチル、ジエチレングリコールジアジペ
ート、トリブチルアセチルシトレート、などがある。
Examples of antioxidants include 2,6-di-t-butyl-p-cresol, 2,2'-methylenebis-6-t
-butyl-4-methylphenol, zinc dibutyldithiocarbamate, triphenyl phosphite, benzyl α-cyanoβ-phenylcinnamate, benzotriazinylphenol, etc. Plasticizers include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, dioctyl Examples include adipate, butylbenzyl phthalate, epoxidized soybean oil, tricresyl phosphate, trioctyl phosphate, diethylene glycol diadipate, tributylacetyl citrate, and the like.

染料、顔料としては、フタロシアニン、フタロシアニン
ブルー、ジメシジノアンスラキノン、酸化チタン、ガラ
スビーズ、亜鉛華、酸化ジルコニウム、キナクリドシス
ホンアミドなどがある。
Examples of dyes and pigments include phthalocyanine, phthalocyanine blue, dimesidinoanthraquinone, titanium oxide, glass beads, zinc white, zirconium oxide, and quinacridoshiphonamide.

安定剤としては、トリスースチレネーテドフェノール、
フエニルーβ−ナフチルアミン、ビスヒドロキシフエニ
ルシクロヘキサンなどがある。
As a stabilizer, tris-styrenated phenol,
Examples include phenyl-β-naphthylamine and bishydroxyphenylcyclohexane.

これらの添加剤の種類、高分子物質との最適組合せ、添
加量などについては、既にプラスチックスの分野で良く
知られており、従来技術を参酌することが好都合である
The types of these additives, the optimum combination with the polymeric substance, the amount added, etc. are already well known in the field of plastics, and it is convenient to take the prior art into account.

(たとえば、プラスチック加工技術便覧、日刊工業新聞
社、東京、1969年、無機有機工業材料便覧、東洋経
済新報社、東京、1960年など参照のこと) 以下に、記録材料の分野での用途の点から、高分子支持
体さらにはその上に親水性層特に写真乳剤層が塗布され
た物品について詳細に説明を加える。
(For example, see Plastic Processing Technology Handbook, Nikkan Kogyo Shimbun, Tokyo, 1969, Inorganic and Organic Industrial Materials Handbook, Toyo Keizai Inc., Tokyo, 1960, etc.) Below are points of use in the field of recording materials. A detailed description will now be given of articles having a polymeric support and a hydrophilic layer, particularly a photographic emulsion layer, coated thereon.

すなわち、本発明に用いられる高分子支持体としては、
特に写真用として好適なものとして透明性、可撓性その
他の力学的性質などの点から、セルロースアセテート、
セルロースアセテートプロピオネート等のセルロース誘
導体、ポリスチレン、スチレンーブタジエン共重合体、
ポリα−メチルスチレン等のスチレン系ポリマーポリエ
チレンテレフタレート、ポリへキサメチレンテレフタレ
ート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル類、
ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフイン類、
ポリカーポネート、紙などがある。
That is, as the polymer support used in the present invention,
Cellulose acetate is particularly suitable for photography because of its transparency, flexibility, and other mechanical properties.
Cellulose derivatives such as cellulose acetate propionate, polystyrene, styrene-butadiene copolymers,
Styrenic polymers such as polyα-methylstyrene; polyesters such as polyethylene terephthalate, polyhexamethylene terephthalate, and polyethylene naphthalate;
Polyolefins such as polyethylene and polypropylene,
Polycarbonate, paper, etc.

さらに、支持体は透明でも良し、X線フイルムにおける
ように染料を含んでいてもよく、二酸化チタンの如き白
色染料を加えたもの、紙の上にプラスチックをラミネー
トしたラミネートフイルム又特公昭47−19068号
公報の如く表面処理したプラスチックフイルムであって
もよい。
Further, the support may be transparent, or may contain a dye as in the case of X-ray film, a material with a white dye such as titanium dioxide added, a laminate film made by laminating plastic on paper, or a laminate film made by laminating plastic on paper, or A surface-treated plastic film as disclosed in the above publication may also be used.

これらはその膜厚についての制限はなく約10〜500
μ程度で目的に応じて巾広く変更することができるし、
形状は必ずしも膜のみに限定されるものでない。
There is no limit to the film thickness of these, about 10 to 500
It can be changed widely depending on the purpose with about μ,
The shape is not necessarily limited to just a membrane.

次に本発明で使用される蒸着層の構成物質としては、チ
タン(Ti)、ジルコニウム( Zr )、バナジウム
(V)ニオブ(Nb)などがあり、一種以上が用いられ
る。
Next, the constituent materials of the vapor deposited layer used in the present invention include titanium (Ti), zirconium (Zr), vanadium (V), niobium (Nb), etc., and one or more of them may be used.

特に、これらの中でもその耐薬品性、比重、価格、取り
扱い易さなどの点から、チタン化合物が最も好都合であ
る。
Particularly, among these, titanium compounds are the most convenient in terms of their chemical resistance, specific gravity, price, ease of handling, and the like.

又、この金属酸化物半導体層の上には金属弗化物から成
る層を介してハロゲン化銀もしくは銀現像核を含有する
白黒、カラーなどの写真乳剤層あるいは非銀塩有機感剤
層などが塗布される。
Further, on this metal oxide semiconductor layer, a black and white or color photographic emulsion layer or a non-silver salt organic sensitive layer containing silver halide or silver development nuclei is coated via a layer made of metal fluoride. be done.

前記の金属酸化物半導体層を支持体上に設けるには、前
記の金属を単独もしくは組合せて高真空下(たとえば1
0 ’ Torr 〜1 0 ’Torr )で間接
抵抗加熱法あるいは電子ビーム加熱法により蒸発せしめ
、その蒸気を支持体表面に凝縮せしめることにより、金
属又は金属酸化物の蒸着膜を支持体表面に形成せしめ、
次いでこの膜を強制酸化させることにより得られる。
In order to provide the above-mentioned metal oxide semiconductor layer on the support, the above-mentioned metals may be used alone or in combination under high vacuum (for example, 1
0' Torr to 10' Torr) by indirect resistance heating or electron beam heating, and the vapor is condensed on the surface of the support to form a deposited film of the metal or metal oxide on the surface of the support. ,
Next, this film is obtained by forced oxidation.

また強制酸化処理法としては減圧下(たとえば真空度1
0Torr 〜1 0 ”Torr )であるいは酸
素置換された減圧下(たとえば真空度1 0 Torr
〜1 0−3Torr )でのグロー放電、無電極放電
及び大気圧下での陽極酸化、有機酸化剤による酸化など
のさまざまの酸化の方法がある。
In addition, as a forced oxidation treatment method, under reduced pressure (for example, vacuum degree 1
0 Torr to 10” Torr) or under reduced pressure with oxygen substitution (e.g., vacuum degree 10 Torr).
There are various methods of oxidation, such as glow discharge at ~10-3 Torr), anodization under electrodeless discharge and atmospheric pressure, and oxidation with organic oxidants.

これらの強制酸化処理法としては、従来公知の酸化方法
がいずれも適用でき、公知の装置を用いて行うことがで
きる。
As these forced oxidation treatment methods, any conventionally known oxidation method can be applied and can be carried out using a known apparatus.

たとえばグロー放電については、米国特許第3.057
,792号無電極放電については米国特許第3,4 6
2,3 35号などに記載がある。
For example, regarding glow discharge, U.S. Patent No. 3.057
, 792, U.S. Patent No. 3,46 for electrodeless discharge.
It is described in No. 2, 3, No. 35, etc.

酸化をすることにより蒸着層の凝集力を高め膜強度を強
くし、かつ蒸着膜の透明性をあげることができることが
判明した。
It has been found that oxidation can increase the cohesive force of the deposited layer, strengthen the film strength, and improve the transparency of the deposited film.

又膜の表面抵抗率に関しては強制酸化処理をしない状態
の膜の方が寧ろやや低い傾向がある。
Furthermore, regarding the surface resistivity of the film, there is a tendency that the film without forced oxidation treatment is rather lower.

又、蒸着膜の透明性は蒸着膜の厚さによっても異るが、
強制酸化処理の効果は著しく例へは支持体に100μの
ポリエチレンテレフタレートを用い、これに膜厚65Å
のチタンの蒸着膜を用いる場合に酸化前のO . D
. ( Optical Density一光学濃度)
は0.08であるが、これをグロー酸化することにより
0.05にまで下げることができ、透明性を著しく向上
させることができる。
Also, the transparency of the deposited film varies depending on the thickness of the deposited film,
The effect of forced oxidation treatment is remarkable. In this example, 100 μm polyethylene terephthalate was used as the support, and a film thickness of 65 Å was used as the support.
When using a vapor-deposited titanium film of O. D
.. (Optical Density)
is 0.08, but this can be lowered to 0.05 by glow oxidation, and transparency can be significantly improved.

このときの表面抵抗率は酸化処理前105Ω、酸化処理
後は106Ωと酸化後にはやや高くなるが、これらの値
は帯電防止効果という点では充分に満足のいく数値であ
る。
The surface resistivity at this time was 105Ω before the oxidation treatment and 106Ω after the oxidation treatment, which is slightly higher after the oxidation, but these values are sufficiently satisfactory in terms of antistatic effect.

強制酸化処理法としては、酸化の効率、工程上の簡便さ
などからグロー放電、無電極放電などがもつとも好適で
ある。
As the forced oxidation treatment method, glow discharge, electrodeless discharge, etc. are preferable from the viewpoint of oxidation efficiency and process simplicity.

又、蒸着膜の光学濃度を同一量だけ下げる(即ち透明に
する)に要する酸化処理時間は真空度によって大きく異
なっている。
Further, the oxidation treatment time required to lower the optical density of the deposited film by the same amount (ie, to make it transparent) varies greatly depending on the degree of vacuum.

有電極グロー放電による酸化処理では真空度がI×IO
”Torrから6× 1 0 ”Torrの範囲で行う
と処理時間が短かく最も効果的である。
In oxidation treatment using electroded glow discharge, the degree of vacuum is I×IO
It is most effective to shorten the processing time if it is performed within the range of "Torr to 6×10" Torr.

一方無電極放電では真空度がITorrから5Torr
の範囲で酸化処理時間が短かく顕著な効果がある。
On the other hand, in electrodeless discharge, the degree of vacuum varies from ITorr to 5Torr.
Within this range, the oxidation treatment time is short and there is a significant effect.

さて本発明の蒸着支持体を作成する装置としては、従来
公知の間接抵抗加熱型あるいは電子ビーム加熱型の真空
蒸着装置を用いることができる。
As an apparatus for producing the vapor deposition support of the present invention, a conventionally known indirect resistance heating type or electron beam heating type vacuum evaporation apparatus can be used.

(例へは沢木司著;真空蒸着、(日刊工業刊東京196
2、三宅清司著:薄膜の基礎技術(朝倉書店東京、19
69刊)、L . Mai sse land R .
Glang:Hand book of Thi
oFilm Tech−nology (MacGla
w−Hill社刊) NeWYor k ,1970な
ど参照のこと蒸着温度は蒸着する金属の種類と金属の沸
点が真空度により異ることを考慮し決めればよい。
(Examples include Tsukasa Sawaki; Vacuum Deposition, (Nikkan Kogyo Tokyo 196)
2. Seiji Miyake: Basic technology of thin films (Asakura Shoten Tokyo, 19
69), L. Mai sse land R.
Glang: Hand book of Thi
oFilm Technology-nology (MacGla
(W-Hill Publishing) NewYork, 1970, etc. The deposition temperature may be determined by taking into consideration the type of metal to be deposited and the fact that the boiling point of the metal varies depending on the degree of vacuum.

例へは真空度がI×IO’mmHgでは、チタン、ジル
コニウム、バナジウムの蒸気圧はそれぞれ1570℃、
2000℃、1630℃であるので蒸着温度を蒸気圧以
下の温度に設定すれば好都合に蒸着できるわけである。
For example, when the degree of vacuum is I x IO' mmHg, the vapor pressure of titanium, zirconium, and vanadium is 1570°C, respectively.
Since the temperatures are 2000° C. and 1630° C., vapor deposition can be carried out conveniently by setting the vapor deposition temperature to a temperature below the vapor pressure.

又、ポリエチレン、ポリスチレンなどのように耐熱性の
悪い高分子支持体に対して蒸着する場合には、支持体を
冷却しながらこの操作を行えばよい。
Furthermore, when vapor deposition is performed on a polymeric support having poor heat resistance such as polyethylene or polystyrene, this operation may be performed while cooling the support.

一般に沸点以上の温度では蒸着温度が高い程蒸着速度は
早くなるが、これらの条件は製造条件に応じて適宜選べ
ばよい。
Generally, at temperatures above the boiling point, the higher the deposition temperature, the faster the deposition rate, but these conditions may be selected as appropriate depending on the manufacturing conditions.

写真感光材料の帯電防止という点からみると透明性を考
慮しなければならないが、そのときの蒸着膜の膜厚は2
0Å〜300Å程度、とくに30Å〜150Åの範囲が
好ましい。
Transparency must be taken into account from the viewpoint of preventing static electricity in photographic light-sensitive materials, and the thickness of the vapor-deposited film is 2.
A range of about 0 Å to 300 Å, particularly 30 Å to 150 Å is preferable.

なぜなら蒸着時の膜厚を30Å以下にして形成させた金
属酸化物半導体層は透明であるが表面抵抗率が大き<
( 1 011Ω以上)また蒸着時の膜厚を150Å以
上にして形成させた表面抵抗率は充分に小さい(103
Ω以下)が、光学濃度が大きくなり極端に透明性が悪く
なっていくからである。
This is because a metal oxide semiconductor layer formed with a film thickness of 30 Å or less during vapor deposition is transparent but has a high surface resistivity.
(1011 Ω or more) Furthermore, the surface resistivity formed when the film thickness during vapor deposition is 150 Å or more is sufficiently small (103 Ω or more).
Ω or less), the optical density increases and the transparency becomes extremely poor.

更にこの程度の膜厚の蒸着膜を得るに金属蒸気雰囲気中
に支持体を曝す時間が一般には数秒という非常に短時間
で良いので、支持体は熱等による損傷を全く受けること
ながなく、しかも帯電防止効果は充分に与えられる。
Furthermore, in order to obtain a deposited film of this thickness, the time required to expose the support to the metal vapor atmosphere is generally only a few seconds, so the support is not damaged at all by heat or the like. Moreover, a sufficient antistatic effect is provided.

蒸着時の真空度は、目的にもよるが約2×10″Tor
rからI × 1 0−6Torrの範囲好ましい。
The degree of vacuum during vapor deposition is approximately 2 x 10"Tor, depending on the purpose.
The range from r to I x 10-6 Torr is preferred.

これは、この範囲の真空度では平均自由行程の長さおよ
びその真空時に到達するまでに要する時間などの点で最
も効率よく蒸着できるからである。
This is because vapor deposition can be performed most efficiently in terms of the length of the mean free path and the time required to reach the vacuum within this range.

蒸着に用いる金属としては前述したようにチタン(Ti
)、ジルコニウム(Zr)、バナジウム(V)、又は
ニオブ(Nb)であり、いずれも本発明の効果が得られ
るが、特に同じ膜厚での透明性、表面抵抗率、膜強度、
支持体との接着力などを考慮すると、チタンおよびジル
コニウムが好ましい。
As mentioned above, the metal used for vapor deposition is titanium (Ti).
), zirconium (Zr), vanadium (V), or niobium (Nb), all of which can achieve the effects of the present invention, but especially transparency, surface resistivity, film strength, and
Titanium and zirconium are preferred in consideration of adhesive strength with the support.

また表面抵抗率の湿度依存性は本発明による蒸着膜では
殆んどないことも判明した。
It was also found that the vapor deposited film according to the present invention had almost no humidity dependence of surface resistivity.

又、金属の酸化物作成法として、金属を高分子支持体に
蒸着後、強制酸化処理を行うが、強制酸化処理法として
前述のごとく酸素雰囲気中の有電極グロー放電、無電極
放電が有効であり、真空度として有電極グロー放電では
約1×10−2Torrから6×10−2Torrの領
域が、無電極放電では約I Toorから5Torrの
範囲の真空度が効果的である。
In addition, as a method for producing metal oxides, a forced oxidation treatment is performed after the metal is vapor-deposited onto a polymer support.As mentioned above, electroded glow discharge and electrodeless discharge in an oxygen atmosphere are effective as forced oxidation treatment methods. Effectively, the degree of vacuum is in the range of about 1 x 10-2 Torr to 6 x 10-2 Torr for electroded glow discharge, and in the range of about 1 Torr to 5 Torr for electrodeless discharge.

即ち、蒸着、強制酸化処理を2室にわかれた真空タンク
内で一室を蒸着用(10’〜10−6Torr )、も
う一方の室を強制酸化用( I×IO ”〜6 × 1
0−2Torrあるいは1〜5のTorr)とすれば
連続して迅速に所望の写真記録用支持体が得られるとい
うまい点がある。
That is, the evaporation and forced oxidation treatments are carried out in a vacuum tank divided into two chambers, one chamber for evaporation (10' to 10-6 Torr) and the other chamber for forced oxidation (I x IO'' to 6 x 1).
If the pressure is set to 0-2 Torr or 1 to 5 Torr, a desired photographic recording support can be obtained continuously and quickly.

ところで、一般に半導体とは室温における電気抵抗が導
体(〜10−6Ω#77L)と絶縁体(〜1012Ω7
cmから〜1022Ω#77L)の中間の102から1
010Ω7cmぐらいの値をもつものを言っている。
By the way, semiconductors generally have electrical resistances at room temperature of a conductor (~10-6Ω#77L) and an insulator (~1012Ω7).
cm to ~1022Ω #77L) 102 to 1
I'm talking about something with a value of about 010Ω7cm.

(例へば、C − Kit te 1 sIntrod
uction to Solid State Phy
sies,Chapter 1 3 .John
Wi ley & Sons.NeWYork
.1956参照) バルクの物質では電気抵抗の温度係数からそれが金属的
か半導体的かを判別できる。
(For example, C-Kitte 1sIntrod
uction to Solid State Phy
sies, Chapter 1 3. John
Wiley & Sons. NewYork
.. 1956) In the case of a bulk substance, it is possible to determine whether it is metallic or semiconductor based on the temperature coefficient of electrical resistance.

即ち金属では温度が上昇すると自由電子がフオノンによ
り散乱されるため抵抗は大きくなり、温度係数は正であ
る。
That is, in metals, as the temperature rises, free electrons are scattered by phonons, so the resistance increases and the temperature coefficient is positive.

一方半導体では温度の上昇とともに、束縛電子あるいは
イオンが自由になるべく活性化エネルギーを熱的に付与
されるので抵抗は減少していく。
On the other hand, in semiconductors, as the temperature rises, bound electrons or ions are thermally given activation energy to become free, so the resistance decreases.

即ち抵抗の温度係数は負である。併し薄膜では金属の電
気抵抗の温度係数は膜厚の大きさによって異っているこ
とが知られている。
That is, the temperature coefficient of resistance is negative. However, in thin films, it is known that the temperature coefficient of electrical resistance of metals differs depending on the film thickness.

一般にきわめて薄い膜の温度係数は負であり厚い膜では
バルグの場合と同じように正となる。
In general, the temperature coefficient of very thin films is negative, and for thick films it is positive, as in the case of bulk.

チタン薄膜での電気抵抗の温度係数は膜厚に依存し、約
500Åを境にしてそれより厚い膜では正に、うすい膜
では負になることが知られている。
It is known that the temperature coefficient of electrical resistance in a titanium thin film depends on the film thickness, and becomes positive for films thicker than about 500 Å, and negative for thin films.

(例へばF . Huber s Microelec
tronicsand Reliability
4 283( 1965)参照)またクロム、金
、タンクルなどについては同様な現象がとくに詳細に研
究されている。
(For example, F. Hubers Microelec
tronics and reliability
4 283 (1965)) Similar phenomena have been studied in particular detail with respect to chromium, gold, tankle, etc.

従って得られた薄膜か、半導体か金属かを電気抵抗の温
度係数の正負によって判断することは妥当ではない。
Therefore, it is not appropriate to judge whether the obtained thin film is a semiconductor or a metal based on the sign of the temperature coefficient of electrical resistance.

一方金属酸化物ではその化学量論的組成比がすれてくる
と、電導性が付与されている.例へばチタンでは化学量
論的組成比からのずれによってn型半導体になることが
知られている。
On the other hand, metal oxides become conductive when their stoichiometric composition approaches. For example, it is known that titanium becomes an n-type semiconductor due to deviation from the stoichiometric composition ratio.

(例えばM. D . Earle.Phys. Re
v, 6 156(1942)を参照)さて、チタンを
蒸着し続いてグロー酸化処理を施すことによって得られ
た酸化チタン薄膜の化学量論的組成比からのいずれをE
SCA ( Electron Spectroseo
py forChemical Analysis
)による結果から検討したところTiOxのxは1.4
以下ではなさそうである。
(For example, M.D. Earle. Phys. Re
v, 6 156 (1942)) Now, from the stoichiometric composition ratio of the titanium oxide thin film obtained by vapor depositing titanium and subsequently performing glow oxidation treatment, which one is E?
SCA (Electron Spectroseo
py for Chemical Analysis
), x of TiOx is 1.4
It is unlikely to be less than that.

更に我々は前記蒸着膜上に反射防止膜をもけることによ
り、より蒸着膜の透明性を向上せしめることができるこ
とを発見した。
Furthermore, we have discovered that the transparency of the deposited film can be further improved by providing an antireflection film on the deposited film.

屈折率1.2ないし1.4程度のものが効果的である。A material having a refractive index of about 1.2 to 1.4 is effective.

即ち金属弗化物たとえば弗化マグネシウム(MgF2)
弗化リチウム(LiF)、弗化カルシウム(CaF2)
、氷晶石( Na aAA Fa )あるいはチオライ
ト( Na 5AA 3F1, )を前記蒸着酸化した
膜上に蒸着させることにより、光学濃度を0.02〜0
.03減少させることができ、透明性を向上せしうるこ
とができることを見出した。
i.e. metal fluorides such as magnesium fluoride (MgF2)
Lithium fluoride (LiF), calcium fluoride (CaF2)
By depositing cryolite (NaAAFa) or thiolite (Na5AA3F1,) on the deposited and oxidized film, the optical density can be adjusted to 0.02 to 0.
.. It has been found that 0.03 can be reduced and transparency can be improved.

さらに所望により、蒸着に際して硫化亜鉛、一酸化硅素
なども用いられる。
Further, if desired, zinc sulfide, silicon monoxide, etc. may also be used during vapor deposition.

これら金属弗化物の中でも写真乳剤への影響、安定性の
点からは、Na,Ad,Li ,Kなどの弗化物たとえ
ば氷晶石が最も好適である。
Among these metal fluorides, fluorides such as Na, Ad, Li, K, etc., such as cryolite, are most suitable from the viewpoint of influence on photographic emulsions and stability.

また写真性能(感度、カプリ、コントラストなど)に悪
影響を何ら及ぼさないという点では、これらの中でも、
氷晶石が優れている。
Also, among these, in that it does not have any negative effect on photographic performance (sensitivity, capri, contrast, etc.),
Cryolite is excellent.

この場合、反射防止膜を設ける膜の厚さは200Å〜2
500Åていどしくに1000Å〜1300Åの範囲が
好ましい。
In this case, the thickness of the anti-reflection film is 200 Å to 2
500 Å is preferably in the range of 1000 Å to 1300 Å.

また蒸着膜と高分子支持体との接着力を高めるために予
め前処理として支持体自身に例えはグロー、無電極放電
、電子線照射、火炎、コロナ放電、薬品などによる表面
処理や所謂下塗りを本発明に於て、透明電導性層は前記
蒸着及び反射防止膜より成る。
In addition, in order to increase the adhesion between the deposited film and the polymer support, the support itself may be subjected to surface treatments such as glow, electrodeless discharge, electron beam irradiation, flame, corona discharge, chemicals, or so-called undercoating as a pretreatment. In the present invention, the transparent conductive layer consists of the vapor-deposited and anti-reflection film.

さて、本発明を遂行するに際しては上記前処理蒸着、強
性酸化、反射防止膜の蒸着などをそれぞれ単独に順次行
ってもよいし強制酸化を最後に行ってもよいが例へは前
処理および強制酸化処理法としてグロー放電を用いるな
らば、一つの真空タンク中で連続して処理操作を行うこ
ともできる。
Now, when carrying out the present invention, the above-mentioned pretreatment vapor deposition, strong oxidation, anti-reflection film deposition, etc. may be performed individually and sequentially, or forced oxidation may be performed last. If glow discharge is used as the forced oxidation treatment method, the treatment operation can be performed continuously in one vacuum tank.

このような場合には、処理速度は著しく速くかつ効率よ
く行うことができる。
In such cases, the processing speed can be significantly faster and more efficient.

また本発明の蒸着膜を有する支持体を写真用として用い
る場合にはフイルム状支持体の片面又は必要に応じて両
面に上記蒸着層を設ければよい。
Further, when the support having the vapor-deposited film of the present invention is used for photography, the vapor-deposited layer may be provided on one side or, if necessary, on both sides of the film-like support.

該処理された支持体上には通常のゼラチンーハロゲン化
銀写真乳剤、アンチハレーション、アンチカールなどの
目的で用いられる親水性樹脂結合剤からなるバック層な
ど各種の層を形成せしめることが出来る。
On the treated support, various layers such as a back layer made of a conventional gelatin-silver halide photographic emulsion, a hydrophilic resin binder used for antihalation, anticurl, etc. purposes can be formed.

また高分子支持体の裏面に予かじめバンク層を設けしか
る後にこのバック層上に前記蒸着膜を形成せしめさらに
その裏面に写真層を設けることも可能であることはいう
までもない。
It goes without saying that it is also possible to previously provide a bank layer on the back surface of the polymer support, form the vapor deposited film on the back layer, and then provide a photographic layer on the back surface.

いずれの方法を用いるにしろ、本発明の蒸着膜を設けた
支持体は上記写真層を設ける製造工程中および使用時に
おいて何ら静電気の悪影響を受けることがない。
Whichever method is used, the support provided with the vapor-deposited film of the present invention will not be adversely affected by static electricity during the manufacturing process for providing the photographic layer or during use.

しかも得られた写真材料にはいかなる低湿度下でもスタ
チツクマークは発生しないという利点がある。
Moreover, the obtained photographic material has the advantage that no static marks occur even under any low humidity conditions.

又、前述したように、本発明で得られる支持体の金属酸
化物半導体層は化学量論的組成比から偏らしてあるので
、金属層のように不透明ではなくまた無機酸化物のよう
に抵抗は大きくない。
Furthermore, as mentioned above, the metal oxide semiconductor layer of the support obtained in the present invention has a stoichiometric composition, so it is not opaque like a metal layer and has a resistance like an inorganic oxide. is not large.

この層は蒸着によって形成せしめているので極めて薄く
かつ連続的な層(場合によって島状))が得られるので
、支持体が本来有している色、透明性,表面形状など殆
んど害されることなく電導性が付与される。
Since this layer is formed by vapor deposition, an extremely thin and continuous layer (sometimes in the form of islands) is obtained, so the inherent color, transparency, and surface shape of the support are almost completely impaired. Conductivity is imparted without any problem.

又、薄膜形成法を蒸着の場合について詳述してきたがス
パッタリング法、イオンプレーテイング法などの手法も
必要に応じて応用できることはいうまでもない。
Moreover, although the thin film forming method has been described in detail with respect to the case of vapor deposition, it goes without saying that methods such as sputtering method and ion plating method can also be applied as necessary.

以下に実施例を挙げて本発明の手法を詳述に説明する。The method of the present invention will be explained in detail below with reference to Examples.

実施例 1 ポリエチレンテレフタレート(表面抵抗率1016Ω以
上)を材料とした厚さ0.1mmのフイルム支持体上に
蒸着温度1750℃、真空度2×10−5Torrの条
件下で水晶振動子法による膜厚測定器にて50Åになる
ようにチタンを蒸着せしめた。
Example 1 Film thickness was measured by the crystal oscillator method on a 0.1 mm thick film support made of polyethylene terephthalate (surface resistivity 1016 Ω or more) at a vapor deposition temperature of 1750°C and a vacuum level of 2 x 10-5 Torr. Titanium was deposited to a thickness of 50 Å using a measuring device.

これを真空度5×10−2Torrの酸素雰囲気中のグ
ロー放電(放電出力500W10秒間)により強制酸化
せしめ表面が強固な酸化チタン薄膜を形成させた。
This was forcibly oxidized by glow discharge (discharge output 500 W for 10 seconds) in an oxygen atmosphere at a vacuum level of 5 x 10 -2 Torr to form a titanium oxide thin film with a strong surface.

このときの酸化されたチタン薄膜の光学濃度は0.02
であり、薄膜の表面抵抗率はI×IO9Ωであり、23
℃で相対湿度を63%から10%に亘って変化させても
変わらす一底であった。
The optical density of the oxidized titanium thin film at this time is 0.02
, the surface resistivity of the thin film is I×IO9Ω, and 23
Even when the relative humidity was varied from 63% to 10% in °C, it remained the same.

これは低湿度下においても充分な帯電防止機能を有する
ことを示すものである。
This shows that it has sufficient antistatic function even under low humidity.

更に酸化チタン薄膜上に氷晶石( Na3AA!F6)
を蒸着温度1450℃、真空度4×10’Torrの条
件下で膜厚が1100Åになるように蒸着せしめた結果
、酸化チタン薄膜と氷晶石薄膜の2層の光学濃度の和は
0.01となり、透明性をさらに向上させることができ
た。
Furthermore, cryolite (Na3AA!F6) is applied on the titanium oxide thin film.
was deposited to a film thickness of 1100 Å under conditions of a deposition temperature of 1450°C and a vacuum of 4 x 10' Torr. As a result, the sum of the optical densities of the two layers of titanium oxide thin film and cryolite thin film was 0.01. This made it possible to further improve transparency.

実施例 2 ポリエチレンテレフタレートを材料とした厚さ0.18
mmのフイルム支持体上に蒸着温度1750℃、真空度
2× 1 0 5Torrの条件下で水晶振動子法によ
る膜厚測定器にて膜厚が80Åになるようにチタンを蒸
着せしめた。
Example 2 Thickness 0.18 made of polyethylene terephthalate
Titanium was evaporated onto a film support of 80 Å in thickness using a film thickness measuring device using a crystal oscillator method under conditions of a evaporation temperature of 1750° C. and a degree of vacuum of 2×10 5 Torr.

これを真空度2Torrの酸素雰囲気中の無電極放電(
高周波放電出力6 0 0WI O秒間)により強制酸
化せしめ、強固な酸化チタン薄膜を形成させた。
This is an electrodeless discharge (
A strong titanium oxide thin film was formed by forced oxidation using a high frequency discharge output of 600 WI O seconds).

このときの酸化チタン薄膜の光学濃度は0.07であり
、実施例1の場合と同じく、表面抵抗率は相対湿度を6
3%から10%に亘って、変化させても変わらず2×1
04Ωであり、低湿度下でも帯電防止効果は充分であっ
た。
The optical density of the titanium oxide thin film at this time was 0.07, and as in Example 1, the surface resistivity was 6 relative humidity.
2×1 remains the same even when changed from 3% to 10%.
04Ω, and the antistatic effect was sufficient even under low humidity.

更に酸化チタン薄膜上に弗化マグネシウム(MgF2)
を1650℃、真空度2×10−5Torrで膜厚が1
200Åになるように蒸着せしめた結果、酸化チタン薄
膜で弗化マグネシウム薄膜との2層の光学濃度の和は0
.05となり、透明性を向上させることができた。
Furthermore, magnesium fluoride (MgF2) is applied on the titanium oxide thin film.
at 1650°C, vacuum level 2 x 10-5 Torr, film thickness 1
As a result of vapor deposition to a thickness of 200 Å, the sum of the optical densities of the two layers of the titanium oxide thin film and the magnesium fluoride thin film was 0.
.. 05, and the transparency could be improved.

また弗化マグネシウムの代わりに氷晶石を実施例1の場
合と同様に蒸着したこの際にも酸化チタン薄膜と氷晶石
薄膜との2層の光学濃度の和を0.05とすることがで
き透明性を向上せしめた。
Also, in this case, when cryolite was deposited instead of magnesium fluoride in the same manner as in Example 1, the sum of the optical densities of the two layers of titanium oxide thin film and cryolite thin film could be set to 0.05. This has improved transparency.

また、酸化チタン膜上に氷晶石を蒸着した支持体におい
ても帯電防止機能は損なわれないことも判明した。
It has also been found that the antistatic function is not impaired even in a support in which cryolite is deposited on a titanium oxide film.

実施例 3 三酢酸セルロースを材料とした厚さ0, l mmのフ
イルム支持体(表面抵抗率1016Ω以上)上に、三酢
酸セルロース支持体を10℃に冷却しながら、蒸着温度
1700℃、真空度8× 1 0 ”Torrの条件下
で水晶振動子法による膜厚測定器にて膜厚が65Åにな
るようにチタンを蒸着せしめた。
Example 3 On a film support made of cellulose triacetate with a thickness of 0.1 mm (surface resistivity of 1016 Ω or more), the cellulose triacetate support was cooled to 10°C, vapor deposition temperature was 1700°C, and the degree of vacuum was Titanium was deposited under conditions of 8×10” Torr to a film thickness of 65 Å using a film thickness measuring device using a crystal oscillator method.

これを真空度I× 1 0 ’Torrの酸素雰囲気中
のグロー放電(放電力500W10秒間)により強制酸
化せしめ強固な酸化チタン薄膜を形成させた。
This was forcibly oxidized by glow discharge (discharge power 500 W for 10 seconds) in an oxygen atmosphere at a vacuum level of I×10' Torr to form a strong titanium oxide thin film.

このときの酸化チタン薄膜の光学濃度は0.05であり
、実施例1の場合と同じく表面抵抗率は相対湿度63%
から10%に亘って変化させても変わらず1×106Ω
であり、低湿度下でも帯電防止効果は充分であった。
The optical density of the titanium oxide thin film at this time was 0.05, and the surface resistivity was 63% relative humidity as in Example 1.
It remains 1×106Ω even if it is changed by 10% from
Therefore, the antistatic effect was sufficient even under low humidity.

更に酸化チタン薄膜上に氷晶石を1450℃真空度2×
1 0−5Torrの条件下で膜厚が1200Åにな
るように蒸着せしめた結果、酸化チタン薄膜と氷晶石薄
膜の2層の光学濃度の和は0.04となり、透明性を向
上させることができ、帯電妨止効果も充分であった。
Furthermore, cryolite was placed on the titanium oxide thin film at 1450℃ and vacuum degree 2×.
1 As a result of vapor deposition to a film thickness of 1200 Å under conditions of 0-5 Torr, the sum of the optical densities of the two layers of titanium oxide thin film and cryolite thin film was 0.04, which improved transparency. The antistatic effect was sufficient.

実施例 4 実施例1,3における支持体に関し、蒸着面に親水性層
(ゼラチン9%と沃臭化銀9%を含む高感度間接レント
ゲン乳剤またはゼラチン7%と沃臭化銀7%を含む高感
度ネガ写真乳剤)塗布し常法により現像して写真性能を
調べた。
Example 4 Regarding the supports in Examples 1 and 3, a hydrophilic layer (high-sensitivity indirect X-ray emulsion containing 9% gelatin and 9% silver iodobromide or a high-sensitivity indirect X-ray emulsion containing 7% gelatin and 7% silver iodobromide) was applied to the vapor deposition surface. A high-sensitivity negative photographic emulsion) was coated, developed by a conventional method, and photographic performance was examined.

その結果、本発明の蒸着膜は感度、カブリ、階調などに
は何ら悪影響を及ぼさないことがわかった。
As a result, it was found that the deposited film of the present invention did not have any adverse effects on sensitivity, fog, gradation, etc.

一方蒸着面上の反対面に上記乳剤を塗布し、帯電防止性
能をしらべた。
On the other hand, the above emulsion was coated on the opposite side to the vapor-deposited side, and the antistatic performance was examined.

第1表に実施例1,3における支持体及び比較例として
酸化チタン薄膜のないポリエステルフイルム支持体を用
いた場合の表面抵抗率及びスタチツクマーク発生率を示
した。
Table 1 shows the surface resistivity and static mark occurrence rate when the supports in Examples 1 and 3 and a polyester film support without a titanium oxide thin film were used as a comparative example.

尚スタチツクマーク発生試験法はゴム板上に未露光フイ
ルムのバック面(酸化チタン膜面、比較例ではポリエス
テル面)を下向きにおき、上からゴムローラーで圧着後
、剥離してスタチツクマークを生ぜしむる方法によった
The static mark generation test method is to place an unexposed film on a rubber plate with the back side (titanium oxide film side, polyester side in the comparative example) facing downward, press it with a rubber roller from above, and then peel it off to form a static mark. It depends on how it is produced.

第1表の結果からわかるように、比較例では表面抵坑率
は1016Ω以上と大きく、スクチツクマークも著しく
発生した。
As can be seen from the results in Table 1, in the comparative example, the surface resistivity was as high as 1016 Ω or more, and scratch marks were also significantly generated.

これに対し、実施例1,3あフイルムは著しく表面抵抗
率が小さく、かつ表面抵抗率の湿度依存性が殆んどない
On the other hand, the films of Examples 1 and 3 have extremely low surface resistivities and almost no dependence of surface resistivity on humidity.

又、スクチツクマークも全く発生せず、満足すべき帯電
防止効果が得られた。
Furthermore, no scratch marks were generated, and a satisfactory antistatic effect was obtained.

酸化チタン薄膜と支持体との接着は現像液中、定着液中
、水洗中、においても優れていた。
The adhesion between the titanium oxide thin film and the support was excellent in the developer, fixer, and water washing.

即ち液中で酸化チタン膜を擦っても剥離しないほど強固
に接着していた。
That is, the adhesion was so strong that even if the titanium oxide film was rubbed in the liquid, it would not peel off.

また各処理後の乾燥過程においても接着は良好であった
Also, good adhesion was observed during the drying process after each treatment.

かくの如く、本発明による支持体は、写真用支持体とし
ても優れていることがわかる。
As described above, it can be seen that the support according to the present invention is also excellent as a photographic support.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 支持体上に少なくとも1層の写真乳剤層を有する写
真記録用材料に於て、該支持体が、高分子物質上にチタ
ン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、バナジウム(V)
又はニオブ(Nb)を蒸着せしめた後強制酸化処理した
層と、その層の上に金属弗化物からなる層を設けてなる
透明電導性層を有することを特徴とする写真記録用材料
1 In a photographic recording material having at least one photographic emulsion layer on a support, the support has titanium (Ti), zirconium (Zr), vanadium (V) on a polymeric substance.
Alternatively, a photographic recording material comprising a layer in which niobium (Nb) is vapor-deposited and then subjected to forced oxidation treatment, and a transparent conductive layer formed by providing a layer made of a metal fluoride on the layer.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS4943630A (en) * 1972-05-23 1974-04-24

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