JPS5871109U - 表面測定装置 - Google Patents

表面測定装置

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JPS5871109U
JPS5871109U JP16588981U JP16588981U JPS5871109U JP S5871109 U JPS5871109 U JP S5871109U JP 16588981 U JP16588981 U JP 16588981U JP 16588981 U JP16588981 U JP 16588981U JP S5871109 U JPS5871109 U JP S5871109U
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JP
Japan
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measuring device
inspected
slit
light
test surface
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JP16588981U
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Inventor
藤永 忠男
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三菱重工業株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図Aは公知の光沢針を示す配置図、同図Bは同図A
の特性図、第2図Aは公知の対比光度計を示す配置図、
同図Bは同図Aの特性図、第3図は本考案の一実施例を
示す配置図、第4図および 、第5図はそれぞれ第3図
のIV−IVおよび■−■矢 ゛視拡大図である。 1・・・光源部、2・・・スリット板、3・・・スリッ
トマスク、4・・・光検出器、5・・・表示器、Sf・
・・被検面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被検面に光を照射する光源と、上記被検面からの反射光
    の光量を測定する光検出器とを具え被検面の粗度を測定
    するようはにした表面測定装置において、上記光源と被
    検面との間に複数のスリットを有するスリット板を配設
    すると\もに、被検面と光検出器との間に上記スリット
    板のスリットを通過し被検面で反射した光の結像位置に
    遮蔽部を有し他の部分にスリットを有するマスク板を配
    設したことを特徴とする表面測定装置。
JP16588981U 1981-11-09 1981-11-09 表面測定装置 Granted JPS5871109U (ja)

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JP16588981U JPS5871109U (ja) 1981-11-09 1981-11-09 表面測定装置

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JP16588981U JPS5871109U (ja) 1981-11-09 1981-11-09 表面測定装置

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Publication Number Publication Date
JPS5871109U true JPS5871109U (ja) 1983-05-14
JPS6242329Y2 JPS6242329Y2 (ja) 1987-10-30

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ID=29958075

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JP16588981U Granted JPS5871109U (ja) 1981-11-09 1981-11-09 表面測定装置

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JPS6242329Y2 (ja) 1987-10-30

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