JPS5863996U - 真空漏れ検知ストツプ弁 - Google Patents

真空漏れ検知ストツプ弁

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JPS5863996U
JPS5863996U JP15670581U JP15670581U JPS5863996U JP S5863996 U JPS5863996 U JP S5863996U JP 15670581 U JP15670581 U JP 15670581U JP 15670581 U JP15670581 U JP 15670581U JP S5863996 U JPS5863996 U JP S5863996U
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JP
Japan
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valve body
leak detection
stop valve
detection stop
vacuum leak
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JP15670581U
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関　芳彦
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例で、真空漏れ検知スト、ツブ弁
の「閉」の状態を示す簡略縦断面図、第２図は真空漏れ
検知ストップ弁が「開」の状態を示す簡略縦断面図、第
３図は本考案の使用例の簡略図、第４図は従来の真空吸
着つかみ装置の簡略回路図、第５図は本考案の真空吸着
つかみ装置の簡略回路図である。 図中、１・・・・・・弁本体、−２・・・・・・弁体、
３・・・・・・真空源側真空室、４・・・・・・末端側
真空室、５・・・・・・弁座、６・・・・・・真空源、
７・・・・・・切換弁、８．　Ａ、　Ｂ、　Ｃ。 Ｄ、　Ｅ、　Ｆ、　Ｇ、　Ｈ，Ｉ・・・・・・真空吸着
盤、９・・・・・・配管、１０・・・・・・製品、１１
・・・・・・真空を破壊するような漏れ、１２・・・・
・・真空漏れ検知ストップ弁、１３・・−・・・・マニ
ホールド、１４・・・・・・真空吸着盤取付台、イ９９
ロ、ハ・・・・・手動切換弁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 適当な大きさの容量を持った、筒状の弁本体の上端部と
    下端部とに、空気口を設け、また、弁本体の筒状の内部
    には、適当な体積と重量を有する弁体を、自在に摺動で
    きるように内設し、弁体を弁本体内部の空気の流れの強
    弱によって摺動させ、空気口の開閉を容易にできるよう
    にしたことを特徴とする、真空吸着式つかみ装置の真空
    漏れ検知ストップ弁。
JP15670581U 1981-10-21 1981-10-21 真空漏れ検知ストツプ弁 Pending JPS5863996U (ja)

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JP15670581U JPS5863996U (ja) 1981-10-21 1981-10-21 真空漏れ検知ストツプ弁

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JPS5863996U true JPS5863996U (ja) 1983-04-28

Family

ID=29949240

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6066488U (ja) * 1983-10-05 1985-05-11 株式会社イナックス 吸着器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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