JPS5861504A - Method of producing paste for forming transparent conductive film - Google Patents

Method of producing paste for forming transparent conductive film

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JPS5861504A
JPS5861504A JP15862181A JP15862181A JPS5861504A JP S5861504 A JPS5861504 A JP S5861504A JP 15862181 A JP15862181 A JP 15862181A JP 15862181 A JP15862181 A JP 15862181A JP S5861504 A JPS5861504 A JP S5861504A
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paste
transparent conductive
conductive film
film
forming
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宮後 誠
芳省 上條
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、スクリーン印刷と焼成によりガラス等の基板
上に金属鹸化物よりなる透明導電性被膜を所望の形状に
形成するための透明導電性被膜形成用ペーストの製法に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for producing a paste for forming a transparent conductive film for forming a transparent conductive film made of a saponified metal into a desired shape on a substrate such as glass by screen printing and baking. .

ガラス、セ、ラミックなどの基板上に形成したカドミウ
ム、インジウム、スズ、アンチモン等の酸化物被膜は透
明で良好な導電性を示すことはよく知られており、半導
体素子や液晶表示装置に使用されたり、エレクトロクロ
ミック表示素子、エレクトロルミネッセンス素子等の透
明電極、または窓ガラス等の氷結防止用導電膜として利
用されたりし゛て近年益々応用範囲が拡大している。こ
の金属酸化物透萌導電性被膜の形成方法としては、ガラ
ス等の基板に、酸化スズ、酸化インジウム、酸化インジ
ウム−酸化スズ、酸化スズ−酸化アンチモンから成る透
明導電膜を化学スプレー法、真空蒸着法、スクリーン印
刷法により形成するものがある。
It is well known that oxide films of cadmium, indium, tin, antimony, etc. formed on substrates such as glass, ceramic, and lamic are transparent and exhibit good conductivity, and are used in semiconductor devices and liquid crystal display devices. In recent years, the range of applications has been expanding, such as as transparent electrodes for electrochromic display devices, electroluminescent devices, etc., and conductive films for preventing icing on window glasses. The metal oxide transparent conductive film is formed by chemical spraying or vacuum evaporation of a transparent conductive film made of tin oxide, indium oxide, indium oxide-tin oxide, or tin oxide-antimony oxide on a substrate such as glass. There are those formed by the method and the screen printing method.

化学スプレー法は、比較的大面積の形状の被膜を得るK
は有利であるが、徽細で複雑な形状のものを得るには、
フォトエツチングなど余分な工程が必要と粉り′経済的
ではない。真空蒸着法は、最近マス”り蒸着−法が発達
しフォトエツチング処理は・必要でな′ぐなったが、同
”時に多量の蒸着ができないので量産向きではない。ス
、クリーン印刷法では、かかる問題がなく、目的形状の
ものを印刷焼成することができ、エツチング処理にとも
なう廃液処理の必要もないという利点がある。しかし、
従来は、透明導電性被膜形成用ペースト自体の安定性が
良くないため、スクリーン印刷時の作業性が悪く、形成
された被膜の導電性の良否にもバラツキが太きいという
欠点があった。
The chemical spray method can obtain a film with a relatively large area.
is advantageous, but to obtain fine and complex shapes,
Extra steps such as photo-etching are required and the process is not economical. The vacuum evaporation method has recently developed into a mass evaporation method, which has eliminated the need for photoetching, but it is not suitable for mass production because a large amount cannot be deposited at the same time. The clean printing method does not have such problems, can print and bake objects in the desired shape, and has the advantage that there is no need for waste liquid treatment associated with etching treatment. but,
Conventionally, the stability of the paste for forming a transparent conductive film itself was poor, resulting in poor workability during screen printing and large variations in the conductivity of the formed film.

本発明の目的は、上記の欠点をhくし、低抵抗で透明度
が良い被膜が形成でき、更にペースト自体の安定性も高
く、ポットライフの長い透明導電性被膜形成用ペースト
の製法を提供するKある。
The object of the present invention is to overcome the above-mentioned drawbacks, to provide a method for producing a paste for forming a transparent conductive film that can form a film with low resistance and good transparency, has high stability of the paste itself, and has a long pot life. be.

本発明の特色は、焼成により金属酸化物被膜を与える化
合物として有機スズ錯体に着目したことKある。従来、
この種のベース−においては、オクチル酸インジウム(
Cy Has Cot )s L等のイオン結合性の強
い有機酸インジウムを主体に用いていたり、製造コスト
の高い有機インジウム錯体を使用したりしていたが、こ
れらの有機インジクム化合物をペーストとした場合、ペ
ーストのゲル化を促進する等比較的容易に化学変化する
という欠点を持っているため、ペースト自体の寿命を短
かくし、スクリーン印刷時の作業(・°−を悪くする原
因となっていた。
A feature of the present invention is that it focuses on an organic tin complex as a compound that provides a metal oxide film upon firing. Conventionally,
In this type of base, indium octylate (
Traditionally, indium organic acids with strong ionic bonding properties such as Cy Has Cot )s L have been mainly used, or organic indium complexes that are expensive to manufacture have been used, but when these organic indicum compounds are made into a paste, Since it has the disadvantage of being relatively easily chemically changed, such as by promoting gelation of the paste, it shortens the life of the paste itself and causes problems during screen printing.

そこで本発明では、有機スズ錯体として、ジメチルスズ
アセドープ(CH,)t sn(aCaC)tやオプチ
ル酸スズアセドープ等を使用することKよりペースト化
に成功した。(CH3)2 Sn (acac )!は
、400℃以上で熱分解し、500℃程度でほぼ完全に
金属酸化物となるが酸化スズのみの膜では、低抵抗にす
るのが困難で、形成された膜中に微量の酸化アンチモン
を含有させ抵抗値を詞整するのが一般的である。即ち、
焼成して酸化アンチモンとなる有機アンチモン化合物が
必要である。常温での安定性と500℃程度でほぼ完全
に酸化アンチモンとなる等の特性を考慮してトリフ千ニ
ルアンチモン、テトラブトキシアンチモン等が適用でき
る。
Therefore, in the present invention, by using dimethyltin acedope (CH,)tsn(aCaC)t, tin optylate acedope, etc. as an organic tin complex, paste formation was successfully achieved. (CH3)2 Sn (acac)! decomposes thermally at temperatures above 400°C and becomes almost completely metal oxide at about 500°C, but it is difficult to make a film containing only tin oxide low in resistance, so a trace amount of antimony oxide is added to the formed film. It is common to adjust the resistance value by including it. That is,
An organic antimony compound that is calcined to form antimony oxide is required. Triphenylantimony, tetrabutoxyantimony, etc. can be used in consideration of their stability at room temperature and their ability to almost completely turn into antimony oxide at about 500°C.

次に、ペースト化に必要な粘性剤及び溶媒について述べ
る。
Next, the viscosity agent and solvent necessary for pasting will be described.

まず、粘性剤としては、エチルセルローズ、ニトロセル
ロース、アセチルセルローズ、ベンジルセルローズなど
が適用できる。次に溶媒であるが、有機スズ錯体や有機
アンチモン化合物に対し耐反応性が乏しく、前記粘性剤
に対して溶解能が良くの性質があるものでなくてはなら
ない。この溶媒とt、−C12−エチルヘキシルアルコ
ール、ベンジルアルコール、α−4−テルピネノール等
の高沸点アルコール、アセト酢酸エチル、酢酸ベンジル
First, as the viscosity agent, ethyl cellulose, nitrocellulose, acetyl cellulose, benzyl cellulose, etc. can be used. Next, regarding the solvent, it must have properties such as poor reaction resistance to organic tin complexes and organic antimony compounds, and good ability to dissolve the above-mentioned viscous agents. This solvent and a high boiling point alcohol such as -C12-ethylhexyl alcohol, benzyl alcohol, α-4-terpinenol, ethyl acetoacetate, benzyl acetate.

安息香酸メチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル
、7タル酸ジブチル等の高沸点エステル。
High boiling point esters such as methyl benzoate, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, and dibutyl heptatalate.

アセトニルアセトン、イソホロン等の高沸点ケトン、メ
チルカルピトール、カルピトール、ブチルカルピトール
、ジブチルカルピトール、カルピトールアセテート等の
カルピトール群等が適用できる。これらf#媒は単独で
、又は二種以上混合して使用してよい。
High boiling point ketones such as acetonylacetone and isophorone, carpitol groups such as methylcarpitol, carpitol, butylcarpitol, dibutylcarpitol, carpitol acetate, etc. can be used. These f# media may be used alone or in combination of two or more.

次にペーストの製造方法について説明する。こ4のペー
ストの製造方法は、本発明の中でも重要であり、まず、
従来のこの種のペーストの製造方法を述べ、次に本発明
の製造方法について述べる。
Next, a method for manufacturing the paste will be explained. These four paste manufacturing methods are important in the present invention, and first,
A conventional method for manufacturing this type of paste will be described, and then a method for manufacturing the present invention will be described.

従来の方法では、(CH,)I Sn (acac )
を及びトリを フェニルアンチモク軒量し、これに前記各溶媒を添加し
、これらを1130〜180℃の温度で2〜8時間加熱
する。次に粘性剤であるセルローズ化合物を添加し、攪
拌装置を用いて攪拌する。このような方法でペーストを
作成すると、ゲル化が激しく、攪拌し【いる間九ペース
ト粘度が上昇していき完全にゲルになってしまう。
In the conventional method, (CH,)I Sn (acac)
The above-mentioned solvents are added to the phenylanthimose and the chicken, and the mixture is heated at a temperature of 1130 to 180° C. for 2 to 8 hours. Next, a cellulose compound as a viscosity agent is added and stirred using a stirring device. When a paste is made in this way, it gels violently, and while stirring, the viscosity of the paste increases until it completely turns into a gel.

そこで、本発明では、(cH,)、t Sn (aCa
c )*を秤量し、これに前記各溶媒を添加し、180
〜180℃の温度で加熱する。次に粘性剤であるセルロ
ーズ化合物を添加し、撹拌装置を用いて攪拌する。この
ようにして作成したペーストなAペーストとする。また
、これとは別に、トリフェニルアンチモンを秤量し、こ
れに前記各溶媒を添加し、180〜180℃の温度で2
〜8時間加熱する。このようにして作成した溶液をB液
とする。最後に、AペーストとB液の一定量を混合、攪
拌してCペーストが完成する。
Therefore, in the present invention, (cH,), t Sn (aCa
c) Weigh out *, add each of the above solvents to it, and add 180
Heat at a temperature of ~180°C. Next, a cellulose compound as a viscosity agent is added and stirred using a stirring device. The paste created in this way is referred to as A paste. Separately, triphenylantimony was weighed, each of the above solvents was added thereto, and the mixture was heated at a temperature of 180 to 180°C.
Heat for ~8 hours. The solution prepared in this manner is referred to as Solution B. Finally, paste A and a certain amount of liquid B are mixed and stirred to complete paste C.

このようにして作成したCペーストは、スクリーン印刷
法で目的形状に印刷し、180〜170℃で予備乾燥後
、500〜600℃で焼成するととにより、透明で良導
電体の被膜を得ることができる。
The thus-prepared C paste is printed into the desired shape using a screen printing method, pre-dried at 180-170°C, and then baked at 500-600°C to obtain a transparent and highly conductive film. can.

以下、実施例により更に詳しく説明するり実施例 Aペーストの作成 まず、(CHs)* 8n (acac )1を15 
F秤量し、セパラブルフラスコに入れ、次にブチルカル
ピトール17Or、ブチルセロソルブ85t、酢酸ベン
ジル85f、フタル酸ジメチル859の各溶媒を添加し
、180〜180℃で2〜8時間加熱する。この溶液が
常温罠なっていることを確認した後、遊離処理を施こし
たニトロセルローズ(太平化学社製 製品名H80)を
60を加え、攪拌装置を用いて5〜8時間加熱してAペ
ーストを作成した。
Hereinafter, it will be explained in more detail with reference to examples. First, (CHs) * 8n (acac)1 was added to 15
F is weighed and placed in a separable flask, and then the following solvents are added: butylcarpitol 17Or, butyl cellosolve 85t, benzyl acetate 85f, and dimethyl phthalate 859, and heated at 180 to 180°C for 2 to 8 hours. After confirming that this solution is at room temperature, 60% of released nitrocellulose (manufactured by Taihei Kagaku Co., Ltd., product name H80) is added and heated for 5 to 8 hours using a stirring device to form A paste. It was created.

B液の作成 トリフェニルアンチモン7.5gを秤量し、セパラブル
フラスコに入れる。次にブチル−カルピトールを45.
5f、ブチルセロソルブを28t、酢酸ベンジルを28
9、フタル酸ジメチルを2132の各溶媒を添、加し、
180〜180℃で2〜8時間加熱する。このようにし
てB液を作成する。
Preparation of Solution B Weigh 7.5 g of triphenylantimony and place it in a separable flask. Next, add 45% of butyl-carpitol.
5f, butyl cellosolve 28t, benzyl acetate 28t
9. Add dimethyl phthalate to each solvent of 2132,
Heat at 180-180°C for 2-8 hours. In this way, liquid B is prepared.

以上のようにして、AペーストとB液を作成した後、A
ペーストとB液を混合して攪拌してCペーストを完成し
た。
After creating paste A and liquid B as described above,
Paste and B liquid were mixed and stirred to complete C paste.

ここで、抵抗値調整用としてのB液の混合比率を変化さ
せることにより、Cペーストを焼成して得られる透明導
電性被膜のシート抵抗値を調べた結果が、第1図である
。この図はCペースト中でのトリフェニルアンチモン(
Co Hs )s Sbのジメチルスズアセドープ(C
H3)! 8n (acac )*に対以下となり、艮
好な導電性を有している。
Here, FIG. 1 shows the results of examining the sheet resistance value of the transparent conductive film obtained by baking the C paste by changing the mixing ratio of the B liquid for adjusting the resistance value. This figure shows triphenylantimony (
Co Hs )s Sb dimethyltinacedope (C
H3)! 8n (acac)*, and has excellent conductivity.

なお、前記シート抵抗値は、Cペーストをパイレックス
ガラス板上にスクリーン印刷し、150℃。
The sheet resistance value was determined by screen printing C paste on a Pyrex glass plate at 150°C.

20分間、予備乾燥後、500℃で80分焼成した時に
得られたものであり1.被MWは10θOAである・最
小抵抗値を示した被膜の光透過率は、日本分光製、CT
−25N分光器により測定したところ、第2図のグラフ
に示すように可視光域の光波長400nm〜800 n
mまでの平均値で97%以上であった。
This was obtained by pre-drying for 20 minutes and then baking at 500°C for 80 minutes.1. The MW to be applied is 10θOA.The light transmittance of the coating that showed the minimum resistance value was determined by CT manufactured by JASCO Corporation.
When measured with a -25N spectrometer, as shown in the graph of Figure 2, the light wavelength in the visible light range was 400 nm to 800 nm.
The average value up to m was 97% or more.

本発明は前述したように、ジメチルスズアセドープなど
の有機スズ錯体を主成分とするペーストと、トリフェニ
ルアンチモノなどの有機アンチモン化合物溶液とを別々
に作成し、この両者を混合して透明導電性被膜形成用ペ
ーストとすることを特徴とするものである。この発明に
より低抵抗で透明度が高い被膜が形成され、さらにペー
スト自体の安定性も良好である。
As described above, in the present invention, a paste mainly composed of an organic tin complex such as dimethyltinacedope and a solution of an organic antimony compound such as triphenyl antimono are prepared separately, and the two are mixed to form a transparent conductive material. The present invention is characterized in that it is a paste for forming a transparent film. According to this invention, a film with low resistance and high transparency is formed, and furthermore, the stability of the paste itself is also good.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の冥施例で得られた透明導電性被膜のシ
ート堺抗値特性図、第2図はその透明導電性被膜の光波
長に対する透過率を示す特性図である。 工 第1図
FIG. 1 is a sheet Sakai resistivity characteristic diagram of the transparent conductive coating obtained in the second embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a characteristic diagram showing the transmittance of the transparent conductive coating with respect to light wavelength. Engineering drawing 1

Claims (1)

【特許請求の範囲】 α)有機スズ錯体な主成分とするペーストと、有機アン
チモン化合*浴液とを別々に作成し、この両者を混合し
て被膜形成用ペーストとすることを特徴とする透明導電
性被膜形成用ペーストの製法。 伐)特許請求の範囲第α)項記載において、前記有機ス
ズ錯体とし【ジメチルスズアセドープ(CH3)18n
 (acac )1を有機゛アンチモン化合物とし被膜
形成相ペーストの製法。゛ ′
[Claims] α) A transparent film-forming paste characterized by separately preparing a paste containing an organic tin complex as a main component and an organic antimony compound* bath solution, and mixing the two to form a film-forming paste. A method for producing a paste for forming a conductive film. 3) In claim α), the organotin complex is [dimethyltin acedope (CH3) 18n
A method for producing a film-forming phase paste using (acac) 1 as an organic antimony compound.゛ ′
JP15862181A 1981-10-07 1981-10-07 Method of producing paste for forming transparent conductive film Granted JPS5861504A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014119592A1 (en) * 2013-02-04 2014-08-07 独立行政法人産業技術総合研究所 Resistive element, inorganic-material paste for electronic component such as dielectric, and process for producing said inorganic-material paste

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5767674A (en) * 1980-10-13 1982-04-24 Tokyo Denshi Kagaku Kabushiki Solution forming transparent electro-conductive film

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