JPS5859559U - 両面研摩機用キヤリヤ - Google Patents
両面研摩機用キヤリヤInfo
- Publication number
- JPS5859559U JPS5859559U JP1981097309U JP9730981U JPS5859559U JP S5859559 U JPS5859559 U JP S5859559U JP 1981097309 U JP1981097309 U JP 1981097309U JP 9730981 U JP9730981 U JP 9730981U JP S5859559 U JPS5859559 U JP S5859559U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- double
- sanding machine
- sided
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のキャリヤを示す平面図、第２図と第３図
は本考案の一実施例を示す平面図と断面図、第４図と第
５図は他の一実施例を示す平面図と断面図である。 １：従来の樹脂キャリヤ、２：ウェハー挿入孔、３：ギ
ヤ、４：ウェハー挿入孔周辺部、５：ギヤ周辺部。
は本考案の一実施例を示す平面図と断面図、第４図と第
５図は他の一実施例を示す平面図と断面図である。 １：従来の樹脂キャリヤ、２：ウェハー挿入孔、３：ギ
ヤ、４：ウェハー挿入孔周辺部、５：ギヤ周辺部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 外周部にギヤ部を有し、かつ、ウェハーを挿入する
孔を複数個穿設してなる円板状のものにおいて、上記ギ
ヤ部の機械強度、弾性率、および硬度を、上記ウェハー
挿入孔周辺部の特性に比し高くしたことを特徴とする両
面研摩機用キャリヤ。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のものにおいて
、外周ギヤ部にスチール等の機械強度と弾性率の高い材
料を繊維状に入れ、内部のウェハーを挿入する部品等に
ガラス等の強度の低い材料を繊維状に入れたことを特徴
とする積層板で形成された両面研摩機用キャリヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981097309U JPS5859559U (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 両面研摩機用キヤリヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981097309U JPS5859559U (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 両面研摩機用キヤリヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5859559U true JPS5859559U (ja) | 1983-04-22 |
Family
ID=29892120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981097309U Pending JPS5859559U (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 両面研摩機用キヤリヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5859559U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0776030A2 (en) | 1995-11-27 | 1997-05-28 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Apparatus and method for double-side polishing semiconductor wafers |
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| WO2000069597A1 (fr) * | 1999-05-17 | 2000-11-23 | Kashiwara Machine Mfg. Co., Ltd. | Procede et dispositif de polissage double face |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP1981097309U patent/JPS5859559U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0776030A2 (en) | 1995-11-27 | 1997-05-28 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Apparatus and method for double-side polishing semiconductor wafers |
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| WO2000069597A1 (fr) * | 1999-05-17 | 2000-11-23 | Kashiwara Machine Mfg. Co., Ltd. | Procede et dispositif de polissage double face |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5974523U (ja) | 磁気デイスク | |
| JPS5859559U (ja) | 両面研摩機用キヤリヤ | |
| JPS584349U (ja) | 両面研摩機用キヤリヤ | |
| JPS60178568U (ja) | 石材研磨盤の研磨基板 | |
| JPS58181447U (ja) | 孔底研磨用のフラツトビツト | |
| JPS6135742U (ja) | 切断砥石 | |
| JPS59132760U (ja) | 研磨盤 | |
| JPS6080846U (ja) | 砥石 | |
| JPS59118410U (ja) | 時計バンドの駒 | |
| JPS591553U (ja) | 研磨翼車輪 | |
| JPS60192500U (ja) | 半導体ペレツト整列治具 | |
| JPS5831816U (ja) | 装飾用基体 | |
| JPS6074819U (ja) | ネツト絞り加工用型 | |
| JPS619616U (ja) | ロケ−トピン | |
| JPS58160205U (ja) | 靴下 | |
| JPS5880164U (ja) | のぞき穴を設けて研磨個所を確認しながら研磨できる研磨盤 | |
| JPS6080861U (ja) | 砥石 | |
| JPS60103750U (ja) | ベルトクラツチ式の伝動装置 | |
| JPS60123453U (ja) | プ−リ−の取付装置 | |
| JPS58101325U (ja) | 磁気デイスク | |
| JPS58138403U (ja) | アイソレ−タ | |
| JPS59100556U (ja) | ポリシング装置用キヤリヤ | |
| JPS60142063U (ja) | 研削装置 | |
| JPS58119947U (ja) | 鋳造用模型取付定盤 | |
| JPS60142061U (ja) | 回転デイスク型研麿機 |