JPS5853361U - 電子顕微鏡又は類似装置 - Google Patents

電子顕微鏡又は類似装置

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JPS5853361U
JPS5853361U JP7470882U JP7470882U JPS5853361U JP S5853361 U JPS5853361 U JP S5853361U JP 7470882 U JP7470882 U JP 7470882U JP 7470882 U JP7470882 U JP 7470882U JP S5853361 U JPS5853361 U JP S5853361U
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JP
Japan
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electron
electron gun
gun
voltage
auxiliary anode
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Pending
Application number
JP7470882U
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English (en)
Inventor
原田　嘉「あ」
後藤　俊徳
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の要旨を説明するための光学図であり、
第２図は第１図に示された光学図を説明するための図で
ある。第３図は本考案の一実施例を示す部分構成図であ
る。 １１：エミッタ、１２．１９：補助アノード、１３：接
地アノード、１５：偏向コイル、１６二補助アノード電
源、１７：加速電源。 補正　昭５７．１０．２０．− 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第６頁第１４打目を次の通り補正する。 ［するための図である。第３図及び第一図は本考案の一
実施例」

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. エミッタ、接地アノード、補助アノードから成る電界液
    出型電子銃と、該電子銃からの電子ビームが投射される
    蛍光板と、該電子銃と蛍光板との間に配置される電子光
    学系と、該電子銃の光軸と該電子光学系の光軸との軸合
    わせ機構と、前記電子銃において形成される電子銃クロ
    スオーバーの位置をくり返し変化させるため、前記エミ
    ッタと補助アノードとの間に直流電圧を印加すると共に
    該直流電圧に交番電圧を重畳可能に構成した補助アノー
    ド電源とを備えてなる電子顕微鏡又は類似装置。
JP7470882U 1982-05-20 1982-05-20 電子顕微鏡又は類似装置 Pending JPS5853361U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60167248A (ja) * 1984-02-10 1985-08-30 Jeol Ltd 電子顕微鏡

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60167248A (ja) * 1984-02-10 1985-08-30 Jeol Ltd 電子顕微鏡

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