JPS5853307B2 - 光電離検出器 - Google Patents
光電離検出器Info
- Publication number
- JPS5853307B2 JPS5853307B2 JP6476677A JP6476677A JPS5853307B2 JP S5853307 B2 JPS5853307 B2 JP S5853307B2 JP 6476677 A JP6476677 A JP 6476677A JP 6476677 A JP6476677 A JP 6476677A JP S5853307 B2 JPS5853307 B2 JP S5853307B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- discharge
- gas
- chamber
- collector electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光電離検出器に係り、特にガス状の試料に高エ
ネルギーの光を照射して電離せしめるような光電離検出
器に関する。
ネルギーの光を照射して電離せしめるような光電離検出
器に関する。
第1図を参照しながら従来の光電離検出器について説明
する。
する。
検出器1の放電室21には放電ガスが入口6から流入さ
札試料室22には試料を含むキャリアガスが入ロアから
流入される。
札試料室22には試料を含むキャリアガスが入ロアから
流入される。
放電室21を通った放電ガスは試料室22を経てキャリ
アガスとともに排気口8から排気される。
アガスとともに排気口8から排気される。
放電室21には放電陰極2と放電対極3が配設されてお
り、試料室22にはコレクタ電極5とコレクタ対極4が
配設されている。
り、試料室22にはコレクタ電極5とコレクタ対極4が
配設されている。
放電陰極2と対極3の間の放電によって極紫外光が発生
され、この光が入ロアから導入された試料ガスを光電離
する。
され、この光が入ロアから導入された試料ガスを光電離
する。
試料ガスのイオンはコレクタ電極5に捕集されるので電
離電流を測定することにより試料ガスを検出できる。
離電流を測定することにより試料ガスを検出できる。
光電離検出器は、高感度であること、無機成分および有
機成分のいずれも検出できること等の優れた特性を有す
る。
機成分のいずれも検出できること等の優れた特性を有す
る。
ところ力んこのような構成の光電離検出器では検出器の
バックグラウンド電流もしくはベースラインが安定せず
、ドリフトが太きいため十分な測定精度が得られないと
いう問題があった。
バックグラウンド電流もしくはベースラインが安定せず
、ドリフトが太きいため十分な測定精度が得られないと
いう問題があった。
この原因は放電ガス中の不純物も放電時の発光によって
電離され、コレクタ電極に捕集されるためであると考え
られる。
電離され、コレクタ電極に捕集されるためであると考え
られる。
このような問題を解決するための1つの方法は2つの光
電離検出器を併置し、一方の検出器には試料を導入する
が他方の検出器には放電ガス以外にはキャリアガスのみ
を供給し、両者の差の信号から試料量を求め得るかも知
れない。
電離検出器を併置し、一方の検出器には試料を導入する
が他方の検出器には放電ガス以外にはキャリアガスのみ
を供給し、両者の差の信号から試料量を求め得るかも知
れない。
しかしながら、2つの検出器の放電状態を全く同じに維
持できないこと、構成が複雑になり高価になること等の
理由からこのような構成は実用化のために実現すること
は困難である。
持できないこと、構成が複雑になり高価になること等の
理由からこのような構成は実用化のために実現すること
は困難である。
本発明は上述したような点に鑑みてなされたもので、そ
の目的は、簡単な構成によってベースラインを安定化し
、高い測定精度を有する実用的な光電離検出器を提供す
ることにある。
の目的は、簡単な構成によってベースラインを安定化し
、高い測定精度を有する実用的な光電離検出器を提供す
ることにある。
本発明の特徴は、試料室に流通されるガスあるいは放電
室に流通されるガスの内の少なくとも一力が流通される
ような通路であって、試料が侵入することがなく、かつ
放電に伴う光が照射されるガス通路に、参照用コレクタ
電極を配設し、試料用コレクタ電極からの信号と比較で
きるように構成したことにある。
室に流通されるガスの内の少なくとも一力が流通される
ような通路であって、試料が侵入することがなく、かつ
放電に伴う光が照射されるガス通路に、参照用コレクタ
電極を配設し、試料用コレクタ電極からの信号と比較で
きるように構成したことにある。
本発明に基づく望ましい実施例では、放電室からの光の
通路にコレクタ電極とコレクタ対極から成るコレクタ系
を2対配設し、その一方のコレクタ系のみに試料ガスが
流通されるようになっている。
通路にコレクタ電極とコレクタ対極から成るコレクタ系
を2対配設し、その一方のコレクタ系のみに試料ガスが
流通されるようになっている。
2つのコレクタ対極には互に反対極性の電圧を印加し、
両コレクタを接続して増幅器の入力とする。
両コレクタを接続して増幅器の入力とする。
これにより放電ガスの不純物に基づく信号は相殺される
。
。
以下本発明に基づ〈実施例について説明する。
第2図は一実施例の概略構成図である。
光電離検出器のボディ20は電気的絶縁材料例えばガラ
スで作られる。
スで作られる。
放電室21内に配設された放電陰極2は、先端方向が試
料室へ向けられた針状電極から成る。
料室へ向けられた針状電極から成る。
対極3はリング状の金属から成り、接地電位に保たれる
。
。
陰極2には約−700ボルトの高電圧が印加される。
試料室22内に配設されたコレクタ電極5と対極4はい
ずれもリング状で対極4がコレクタ電極5より高電位に
保たれる。
ずれもリング状で対極4がコレクタ電極5より高電位に
保たれる。
放電室21と試料室22の間の光通路10にはリング状
の参照用コレクタ電極11と参照用対極12が配設され
ている。
の参照用コレクタ電極11と参照用対極12が配設され
ている。
参照用対極12は参照用コレクタ電極11より高電位で
あるが、試料用対極4とは反対極性となるように設定さ
れている。
あるが、試料用対極4とは反対極性となるように設定さ
れている。
試料用コレクタ電極5からの信号線と参照用コレクタ電
極11からの信号線は短絡されたあと増幅器31の入力
信号線35となる。
極11からの信号線は短絡されたあと増幅器31の入力
信号線35となる。
増幅器31の出力は図示しない表示部に導かへ試料の成
分濃度が表示記録されるように構成されている。
分濃度が表示記録されるように構成されている。
放電ガス人口6は、図示しない放電ガス供給源に接続さ
れている。
れている。
放電ガスとしてはアルゴンガス、ヘリウムガス等の不活
性ガスが選択される。
性ガスが選択される。
試料穴ロアは、図示しないガスクロマトグラフの分離カ
ラムに接続されている。
ラムに接続されている。
ガスクロマトグラフの試料導入部から導入された混合物
試料は、キャリアガスが流通されている分離カラムにお
いて成分相互が分離され、分離された成分がキャリアガ
スによって順次試料穴ロアより検出器内に導入される。
試料は、キャリアガスが流通されている分離カラムにお
いて成分相互が分離され、分離された成分がキャリアガ
スによって順次試料穴ロアより検出器内に導入される。
このとき試料用コレクタ電極5で得られる電流信号は第
8図Aのようになる。
8図Aのようになる。
第8図の縦軸は電流の大きさを示し、横軸は保持時間を
示す。
示す。
第8図Aのクロマトグラムで見られるベースラインのド
リフトの主因は、定温分析の場合、放電ガスの不純物に
基づくものである。
リフトの主因は、定温分析の場合、放電ガスの不純物に
基づくものである。
一方、参照用コレクタ電極11で得られる電流信号は第
8図Bの如くなる。
8図Bの如くなる。
この電流信号の変動量も主として放電ガスの不純物に基
づく。
づく。
試料用対極4と参照用対極12に印加される高電圧は反
対極性であるので、それぞれによって得られるベースラ
インも反対符号になる。
対極性であるので、それぞれによって得られるベースラ
インも反対符号になる。
それ故、これらの信号を合成されたベースラインは、第
8図Cの如くドリフト分が相殺され、従って安定なベー
スラインを有するクロマトグラムが得られる。
8図Cの如くドリフト分が相殺され、従って安定なベー
スラインを有するクロマトグラムが得られる。
この実施例のような構成にすることにより、光電離検出
器を2つ設ける必要がないので、全く同じ性能の検出器
を2つ準備しなくて済む。
器を2つ設ける必要がないので、全く同じ性能の検出器
を2つ準備しなくて済む。
また、従来装置に参照用の電極を設けるだけでよいので
、構成も簡単で済む。
、構成も簡単で済む。
放電時の発光によってイオン化される放電ガス中の不純
物(被イオン化成分)による測定値への悪影響は実質的
に排除される。
物(被イオン化成分)による測定値への悪影響は実質的
に排除される。
第3図は本発明に基づく他の実施例の概略構成図である
。
。
この実施例でも光通路10は放電室21と試料室22の
間にあり、放電ガスは流通されるが試料ガスは侵入しな
いように構成されている。
間にあり、放電ガスは流通されるが試料ガスは侵入しな
いように構成されている。
光通路10にはリング状の参照用コレクタ電極11と参
照用対極12が配設されている。
照用対極12が配設されている。
参照用コレクタ電極からの信号線は増幅器32を介して
増幅器31の入力信号線35に接続されている。
増幅器31の入力信号線35に接続されている。
試料用コレクタ電極5と参照用コレクタ電極11の捕集
量が異なるような場合に増幅器32の増幅率を調節して
得られる信号の大きさを同じにする。
量が異なるような場合に増幅器32の増幅率を調節して
得られる信号の大きさを同じにする。
このような調節により増幅器31の出力信号は両者のバ
ックグラウンド電流が相殺された安定なベースラインを
もたらす。
ックグラウンド電流が相殺された安定なベースラインを
もたらす。
この例でも同じ放電に基づく光によって生成されたイオ
ンを同時に取り出すことができ、それ故に簡単な構成で
効果的に不純物の影響を減することができる。
ンを同時に取り出すことができ、それ故に簡単な構成で
効果的に不純物の影響を減することができる。
増幅器32は試料用コレクタ電極5と入力信号線35の
間に設けてもよい。
間に設けてもよい。
第4図は本発明に基づく他のもう1つの実施例の概略構
成図である。
成図である。
上述の実施例と同様の機能を有するものには同じ符号を
付しである。
付しである。
放電室21の出口は二流路に分岐されており、一方は参
照用コレクタ電極11および参照用対極12が配設され
た参照室24を経て排気口14に到り、他方は試料用コ
レクタ電極5および試料用対極4が配設された試料室2
2を経て排気口8に到る。
照用コレクタ電極11および参照用対極12が配設され
た参照室24を経て排気口14に到り、他方は試料用コ
レクタ電極5および試料用対極4が配設された試料室2
2を経て排気口8に到る。
参照室24には、試料室に流入されるキャリアガスと同
じガスから成る参照ガスがガス人口13から導入される
。
じガスから成る参照ガスがガス人口13から導入される
。
放電室の発光は参照室24および試料室22のいずれに
も入射される。
も入射される。
試料穴ロアがガスクロマトグラフの分離カラム出口に接
続されているときには、参照ガス人口13をガスクロマ
トグラフのダブルカラムの他方である試料が導入されな
い側の補償用カラムの出口に接続すれば、昇温時のカラ
ム液相の流出によるベースラインドリフトをも相殺でき
る。
続されているときには、参照ガス人口13をガスクロマ
トグラフのダブルカラムの他方である試料が導入されな
い側の補償用カラムの出口に接続すれば、昇温時のカラ
ム液相の流出によるベースラインドリフトをも相殺でき
る。
参照用コレクタ電極11は減衰器33および入力信号線
35を介して増幅器31に接続されており、試料用コレ
クタ電極5は入力信号線35を介して増幅器31に接続
されている。
35を介して増幅器31に接続されており、試料用コレ
クタ電極5は入力信号線35を介して増幅器31に接続
されている。
第5図は本発明に基づく別の実施例の概略構成図である
。
。
放電室21の光通路10への開口の周囲の壁に放電対極
3が配置されている。
3が配置されている。
光通路10には放電ガス人口6からの放電ガスとガス人
口27からの追い出しガスが流通される。
口27からの追い出しガスが流通される。
対向して配置された参照用コレクタ電極11と参照用対
極12の下流には分離カラム出口に接続された試料人口
が開口されている。
極12の下流には分離カラム出口に接続された試料人口
が開口されている。
流入された全てのガスは排気口8から排出される。
試料用コレクタ電極5と参照用コレクタ電極11は差増
幅器36に接続されている。
幅器36に接続されている。
試料室22内には試料用コレクタ電極5と試料用対極4
が対向するように配設されている。
が対向するように配設されている。
この実施例でも第2図、第3図と同様に2つのコレクタ
信号を相殺する構成にできるので、第2図の実施例の場
合と同様の効果がもたらされる。
信号を相殺する構成にできるので、第2図の実施例の場
合と同様の効果がもたらされる。
第6図は、本発明のさらに別の実施例である。
ガス入口26から供給された不活性ガスは2分割さへ一
方は針状放電陰極2を有する放電室21を経て排気口9
から排気さ札他方は試料室22を経て排気口8から排気
される。
方は針状放電陰極2を有する放電室21を経て排気口9
から排気さ札他方は試料室22を経て排気口8から排気
される。
参照用コレクタ電極11と参照用対極12はガス入口2
6と放電室21の間のガス通路内に配置されている。
6と放電室21の間のガス通路内に配置されている。
試料穴ロアから流入した試料はガス入口26からのガス
によって試料室22へ導かれるので、放電室21には侵
入しない。
によって試料室22へ導かれるので、放電室21には侵
入しない。
第7図は本発明のもう1つの実施例である。
光通路10の入口付近にリング状の放電対極3が配設さ
れている。
れている。
ガス人口6から導入された放電ガスは放電室21を経て
排気口9から排出される。
排気口9から排出される。
ガス人口27からの追い出しガスは試料穴ロアからの試
料と共に試料室22を経て排気口8から排出される。
料と共に試料室22を経て排気口8から排出される。
参照用コレクタ電極および参照用対極が配置された付近
の通路には試料は侵入されないので、参照用コレクタ電
極11はガス人口27から流入したガス中の不純物が光
照射によってイオン化されたことに基づく電流を検出で
きる。
の通路には試料は侵入されないので、参照用コレクタ電
極11はガス人口27から流入したガス中の不純物が光
照射によってイオン化されたことに基づく電流を検出で
きる。
以上説明したように、本発明によれば、試料測定時のべ
一名ラインが安定化されるので、精度の高い測定値が得
られる。
一名ラインが安定化されるので、精度の高い測定値が得
られる。
第1図は従来の光電離検出器の構成を説明する図、第2
図は本発明の一実施例の概略構成を示す図、第3図は本
発明の他の実施例の概略構成図、第4図は本発明の他の
もう1つの実施例の概略構成図、第5図は本発明の別の
実施例の説明図、第6図は発明のさらに別の実施例の説
明図、第7図は本発明のもう1つの実施例の説明図、第
8図は本発明を適用した場合のベースラインの是正を説
明する図である。 2・・・・・・放電陰極、3・・・・・・放電対極、4
・・・・・・試料用対極、5・・・・・・試料用コレク
タ電極、6・・・・・・放電ガス入口、7・・・・・・
試料入口、8,9,14・・・・・・排気口、10・・
・・・・光通路、11・・・・・・参照用対極、12・
・・・・・参照用コレクタ電極、20・・・・・・ボデ
ィ、21・・・・・・放電室、22・・・・・・試料室
、24・・・・・・参照室、26.27・・・・・・ガ
ス入口、31,32・・・・・・増幅器、33・・・・
・・減衰器、35・・・・・・入力信号線。
図は本発明の一実施例の概略構成を示す図、第3図は本
発明の他の実施例の概略構成図、第4図は本発明の他の
もう1つの実施例の概略構成図、第5図は本発明の別の
実施例の説明図、第6図は発明のさらに別の実施例の説
明図、第7図は本発明のもう1つの実施例の説明図、第
8図は本発明を適用した場合のベースラインの是正を説
明する図である。 2・・・・・・放電陰極、3・・・・・・放電対極、4
・・・・・・試料用対極、5・・・・・・試料用コレク
タ電極、6・・・・・・放電ガス入口、7・・・・・・
試料入口、8,9,14・・・・・・排気口、10・・
・・・・光通路、11・・・・・・参照用対極、12・
・・・・・参照用コレクタ電極、20・・・・・・ボデ
ィ、21・・・・・・放電室、22・・・・・・試料室
、24・・・・・・参照室、26.27・・・・・・ガ
ス入口、31,32・・・・・・増幅器、33・・・・
・・減衰器、35・・・・・・入力信号線。
Claims (1)
- 1 放電用ガスが供給され光発生を伴なう放電が行われ
る1つの放電室と、上記放電室からの光が入射されるよ
うに配置されており被検試料が導入される試料室と、上
記放電室に設けられた放電電極と、上記試料室に設けら
れた試料用コレクタ電極とを有する光電離検出器におい
て、上記被検試料は導入されないが、上記1つの放電室
からの光は入射される参照室を設け、この参照室に参照
用コレクタ電極を配設し、上記試料用コレクタ電極から
の信号を上記参照用コレクタ電極からの信号で補正する
ように構成したことを特徴とする光電離検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6476677A JPS5853307B2 (ja) | 1977-06-03 | 1977-06-03 | 光電離検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6476677A JPS5853307B2 (ja) | 1977-06-03 | 1977-06-03 | 光電離検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS54686A JPS54686A (en) | 1979-01-06 |
JPS5853307B2 true JPS5853307B2 (ja) | 1983-11-28 |
Family
ID=13267632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6476677A Expired JPS5853307B2 (ja) | 1977-06-03 | 1977-06-03 | 光電離検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5853307B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6242372Y2 (ja) * | 1980-08-29 | 1987-10-30 | ||
JPS585755U (ja) * | 1981-07-02 | 1983-01-14 | 日本電気株式会社 | 入力鍵盤装置 |
-
1977
- 1977-06-03 JP JP6476677A patent/JPS5853307B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS54686A (en) | 1979-01-06 |
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