JPS5852379U - 流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置

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JPS5852379U
JPS5852379U JP14842281U JP14842281U JPS5852379U JP S5852379 U JPS5852379 U JP S5852379U JP 14842281 U JP14842281 U JP 14842281U JP 14842281 U JP14842281 U JP 14842281U JP S5852379 U JPS5852379 U JP S5852379U
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JP
Japan
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chamber
valve member
passage
fluid passage
communication
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Application number
JP14842281U
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JPS6350482Y2 (ja
Inventor
須藤　攻
Original Assignee
エヌオーケー株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術に係る流体制御装置の図、第２図及び
第３図は本考案に係る流体制御装置の断面図であり、第
４図はその作動図である。 １・・・・・・本体、３・・・・・・空室、４・・・・
・・第１の室、５・・・・・・第２の室、６・・・・・
・０リング、７・・四皿状板バネ、８・・・・・・外周
部、９・・・・・・弁棒、１０・・・・・・第１の弁部
材、１１・・・・・・第２の弁部材、１２・・・・・・
絞り通路、１３・・・・・・連通路、１４・・・・・・
開口、１５・・・・・・ベローズ、１８・・・・・・流
体通路、２１・・・・・・インティクマニホールド、２
３・・・・・・ソレノイドバルブ、２５・・・・・・ダ
イヤフラムバルブ、２７・・・・・・ダイヤフラム室、
２９・・・・・・流体通路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 空室３を形成している本体１、外周部８が前記本体１側
    に保持され、前記空室３を第１の室４と第２の室５とに
    仕切っている皿状板バネ７、前記皿状板バネ７に固着さ
    れ、一端に一第１の弁部材１０を他端に第２の弁部材１
    １をそれぞれ有する弁棒９、負圧源側とアクチュエータ
    ー側とを連通、　しており、前記第２の弁部材１１によ
    り連通遮断される流体通路１８、前記流体通路１８と前
    記第２の室５とを連通している絞り通路１２、及び、前
    記流体通路１８と大気に連通している前記第１の室４と
    を連通しており、前記第１の弁部材１０により連通遮断
    される連通路１３とより成り、前記流体通路１８が連通
    している場合には、前記第１の弁部材１０により前記連
    通路１３が遮断されており、前記第２の室５内が前記絞
    り通路１２を介して一定量減圧されると、前記皿状板バ
    ネ７が反転し、前記第２の弁部材１１により前記流体通
    路１８が遮断されるとともに、前記連通路１３の前記第
    １の弁部材１０による遮断がとかれ、前記第１の室４を
    介して前記流体通路１８側に大気が導入之れ減圧状態が
    小さくなり、前記第２の室５側の減圧状態が一定量以上
    小さくなると前記皿状板バネ７が再度反転し、元の状態
    に戻ることをくりかえすことにより前記アクチュエータ
    ー側に脈圧を発生する様になした流体制御装置。
JP14842281U 1981-10-06 1981-10-06 流体制御装置 Granted JPS5852379U (ja)

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JPS5852379U true JPS5852379U (ja) 1983-04-09
JPS6350482Y2 JPS6350482Y2 (ja) 1988-12-26

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006071075A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Fuji Koki Corp 逆止弁

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006071075A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Fuji Koki Corp 逆止弁
JP4563753B2 (ja) * 2004-09-06 2010-10-13 株式会社不二工機 逆止弁

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JPS6350482Y2 (ja) 1988-12-26

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