JPS5850404A - 微小変位測定装置 - Google Patents
微小変位測定装置Info
- Publication number
- JPS5850404A JPS5850404A JP14794581A JP14794581A JPS5850404A JP S5850404 A JPS5850404 A JP S5850404A JP 14794581 A JP14794581 A JP 14794581A JP 14794581 A JP14794581 A JP 14794581A JP S5850404 A JPS5850404 A JP S5850404A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- inclined surface
- displacement
- detecting
- detection head
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は振動している物体などの微小変位を測定する
微小変位測定装置に関する。
微小変位測定装置に関する。
物体の微小変位を測定する方法として従来よりつぎの方
法が知られている。
法が知られている。
（１）うず電流を発生する検出ヘッドを被測定物に対峙
し、上記うず電流による電磁エネルギの欠損から検出ヘ
ッドと被測定物との距離に比例した電圧を発生させ、こ
の電圧からその距離を測定する方法。
し、上記うず電流による電磁エネルギの欠損から検出ヘ
ッドと被測定物との距離に比例した電圧を発生させ、こ
の電圧からその距離を測定する方法。
（２）被測定物に光を投射し、その反射をフｔトセンサ
で受光し−０反射光の強さに比例した電圧を発生させ、
この電圧から検出ヘッドと被測定物との距離を測定する
方法。
で受光し−０反射光の強さに比例した電圧を発生させ、
この電圧から検出ヘッドと被測定物との距離を測定する
方法。
（３）コリメータを応用した方法。
しかし、これら方法のうち（１）および（２）は、第１
Ａ図に示すように被測定物（１）が検出ヘッド（２）の
軸線または光軸に対して垂直な一方向（矢印（３ａ）方
向）に移動する場合、および第２Ａ図に示すように検出
ヘッド（２）の軸線または光軸に平行な方向（矢印（３
１−＋）方向）に振動する場合には、それぞれ第１Ｂ図
、第２Ｂ図に示すその出力電圧のチャート（４）から被
測定物の変位を求めることができる。しかし、ｉａＡ図
に示すように被測定物（１）が検出ヘッド（２）の軸線
または光軸に対して垂直な方向（矢印（ｊＣ）方向）に
振動しＣいる場合には、第３Ｂ図の出力電圧のチャート
（４）かられかるように振動に対する信号が得られず、
被測定物（１）の変位を測定することができない。一方
、コリメータを応用した方法は、望遠鏡の光軸に垂直な
被測定物の変位を離れたところから測定することができ
るが、人間の眼で変位を読みとるため、自動的、連続的
に測定することができない。また、これを自動化すると
、装置が大型化し高価額になる欠点がある。
Ａ図に示すように被測定物（１）が検出ヘッド（２）の
軸線または光軸に対して垂直な一方向（矢印（３ａ）方
向）に移動する場合、および第２Ａ図に示すように検出
ヘッド（２）の軸線または光軸に平行な方向（矢印（３
１−＋）方向）に振動する場合には、それぞれ第１Ｂ図
、第２Ｂ図に示すその出力電圧のチャート（４）から被
測定物の変位を求めることができる。しかし、ｉａＡ図
に示すように被測定物（１）が検出ヘッド（２）の軸線
または光軸に対して垂直な方向（矢印（ｊＣ）方向）に
振動しＣいる場合には、第３Ｂ図の出力電圧のチャート
（４）かられかるように振動に対する信号が得られず、
被測定物（１）の変位を測定することができない。一方
、コリメータを応用した方法は、望遠鏡の光軸に垂直な
被測定物の変位を離れたところから測定することができ
るが、人間の眼で変位を読みとるため、自動的、連続的
に測定することができない。また、これを自動化すると
、装置が大型化し高価額になる欠点がある。
この発明は上記問題点を解決するため、傾斜角一定の傾
斜面を有する磁性部材からなる楔形検出体を、その傾斜
面の傾斜方向が被測定物の変位方向になる如く一体的に
固定し、この検出体の傾斜面に検出ヘッドを対面させて
、検出ヘッドから上記検出体の傾斜面までの距離変化に
基づく電磁エネルギの変化から上記被測定物の変化を測
定するものである。
斜面を有する磁性部材からなる楔形検出体を、その傾斜
面の傾斜方向が被測定物の変位方向になる如く一体的に
固定し、この検出体の傾斜面に検出ヘッドを対面させて
、検出ヘッドから上記検出体の傾斜面までの距離変化に
基づく電磁エネルギの変化から上記被測定物の変化を測
定するものである。
以下、図面を参照し、この発明を一実施例に基づいて説
明する。
明する。
第４図に示すように測定装置は楔形状をした検出体０■
、その前面に設置された検出ヘッドαυおよびこの検出
ヘッドの出力を表示する表示装置０３から構成される。
、その前面に設置された検出ヘッドαυおよびこの検出
ヘッドの出力を表示する表示装置０３から構成される。
上記楔形状の検出体ａ１は透磁率一定の磁性部材力・ら
なシ、頂角θで示すように傾斜角一定の傾斜面ａ四を有
する。しかして、この検出体Ｑ〔は上記傾斜面住ωの傾
斜方向が被測定物（ｋｌ）の振動方向（矢印００方向）
と一致する如く傾斜面＋１５１を外方に向けて上記被測
定物（Ｍ）に一体重に固定される。検出ヘッドαυは磁
気センサあるいは渦電流検出器など磁性体による′電磁
エネルギの変化を検出して出力する検出器を内蔵するも
のであり、上記被測定物（Ｍ）に固定された検出体（１
〔に対して、その傾斜面ａωの前方に設置される。αη
は位置調整可能な三脚からなるその支持台である０上記
検出ヘツドαυは増幅器α樽を介してたとえばペンレコ
ーダの如き表示装置α功に接続され、上記検出ヘッドα
Ｕの検出出力は増幅されて表示装置（１２＋に入力され
記録される。
なシ、頂角θで示すように傾斜角一定の傾斜面ａ四を有
する。しかして、この検出体Ｑ〔は上記傾斜面住ωの傾
斜方向が被測定物（ｋｌ）の振動方向（矢印００方向）
と一致する如く傾斜面＋１５１を外方に向けて上記被測
定物（Ｍ）に一体重に固定される。検出ヘッドαυは磁
気センサあるいは渦電流検出器など磁性体による′電磁
エネルギの変化を検出して出力する検出器を内蔵するも
のであり、上記被測定物（Ｍ）に固定された検出体（１
〔に対して、その傾斜面ａωの前方に設置される。αη
は位置調整可能な三脚からなるその支持台である０上記
検出ヘツドαυは増幅器α樽を介してたとえばペンレコ
ーダの如き表示装置α功に接続され、上記検出ヘッドα
Ｕの検出出力は増幅されて表示装置（１２＋に入力され
記録される。
上述のように傾斜角一定の傾斜面をもつ楔形磁性部材か
らなる検出体Ｑｌをその傾斜面の傾斜方向が振動方向と
一致する如く被測定物（→に取付け、これに電磁エネル
ギの変化を検出する検出ヘッドαυを対面させると、第
５図に示すように被測定物（→の振動変位Ｘに対して、
検出ヘッドαＤと検出体α１との距離ｄは次式のように
一定の関係で変化し、振、動変位Ｘが微小量なとき、ｄ
とＸは直線関係にある。
らなる検出体Ｑｌをその傾斜面の傾斜方向が振動方向と
一致する如く被測定物（→に取付け、これに電磁エネル
ギの変化を検出する検出ヘッドαυを対面させると、第
５図に示すように被測定物（→の振動変位Ｘに対して、
検出ヘッドαＤと検出体α１との距離ｄは次式のように
一定の関係で変化し、振、動変位Ｘが微小量なとき、ｄ
とＸは直線関係にある。
ｄ＝ｄｏ−ｘｔａｎθ
ただしｄｏ：検出体頂点に訃ける検出・＼ラドまでの距
離 そして、検出ヘッドＱｌ＋はこの検出ヘッドＱｉｌと検
出体α０との距離ｄにほぼ比例した電磁エネルギ変化に
基づく出力を送出するから、と９出力をペンレコーダな
どで記録すれば、その記録チャートから被測定物（→の
振動などの微小変位を測定することができる。
離 そして、検出ヘッドＱｌ＋はこの検出ヘッドＱｉｌと検
出体α０との距離ｄにほぼ比例した電磁エネルギ変化に
基づく出力を送出するから、と９出力をペンレコーダな
どで記録すれば、その記録チャートから被測定物（→の
振動などの微小変位を測定することができる。
すなわち、従来の微小変位測定装置では、被測定物が検
出ヘッドの軸線（または光軸）に対して垂直方向に往復
運動している場合、その微小変位を測定することができ
なかったが、前述のように楔形磁性部材からなる検出体
を被測定物に一体的に固定し、この検出体の傾斜面に磁
気センサなどを内蔵する検出ヘッドを対面すれば、その
電磁エネルギの変化に基づく出力変化から、上記従来技
術では不可能であった微小変位を容易に測定することが
できる また、その測定を連続的に測定することができ
、低価額の自動化測定装置にすることも容易である。
出ヘッドの軸線（または光軸）に対して垂直方向に往復
運動している場合、その微小変位を測定することができ
なかったが、前述のように楔形磁性部材からなる検出体
を被測定物に一体的に固定し、この検出体の傾斜面に磁
気センサなどを内蔵する検出ヘッドを対面すれば、その
電磁エネルギの変化に基づく出力変化から、上記従来技
術では不可能であった微小変位を容易に測定することが
できる また、その測定を連続的に測定することができ
、低価額の自動化測定装置にすることも容易である。
第１図（〜ＪＢ）図ないし第３図（Ａ） 、ＣＢ）図は
それぞれ従来の変位測定方法の説明図、第４図はこの発
明の一実施例図、第５図はその測定方法説明図である。 （ｌ呻：検出体、 ａｎ ：検出ヘッド、αり：表示装
置、 崗：傾斜面。 （→：被測定物。 ３ａ （Ａ） （
Ｂ）−丁＝ 冨５図
それぞれ従来の変位測定方法の説明図、第４図はこの発
明の一実施例図、第５図はその測定方法説明図である。 （ｌ呻：検出体、 ａｎ ：検出ヘッド、αり：表示装
置、 崗：傾斜面。 （→：被測定物。 ３ａ （Ａ） （
Ｂ）−丁＝ 冨５図
Claims (1)
- 傾斜角一定の傾斜面を有する楔形磁性部材からなり、変
位する被測定物に対してその変位方向が上記傾斜面の傾
斜方向になる如く一体的に固定される検出体と、上記被
測定物に固定された検出体の傾斜面に対向し、上記被測
定物の変位に基づく上記傾斜面までの距離変化を電磁エ
ネルギの変化から測定する検出ヘッドと、この検出ヘッ
ドの出力を表示する表示装置とを具備することを特徴と
する微小変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14794581A JPS5850404A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 微小変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14794581A JPS5850404A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 微小変位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5850404A true JPS5850404A (ja) | 1983-03-24 |
Family
ID=15441611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14794581A Pending JPS5850404A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 微小変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850404A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2538895A1 (fr) * | 1982-12-30 | 1984-07-06 | Owens Illinois Inc | Appareil de detection de position pour une machine de formage d'articles en verre |
| JPS6235203A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-16 | Toho Gas Co Ltd | 位置決め検出方法及び同装置 |
| JPH01134201A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Yuken Kogyo Kk | リニアストローク検出装置及びこれを利用した無段変速機 |
| US6989670B2 (en) | 2001-09-27 | 2006-01-24 | Marquardt Gmbh | Device for measuring paths and/or positions |
| US7034523B2 (en) | 2001-09-27 | 2006-04-25 | Marquardt Gmbh | Device for measuring paths and/or positions |
| JP2007064800A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | S X L Corp | 建物診断システム |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP14794581A patent/JPS5850404A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2538895A1 (fr) * | 1982-12-30 | 1984-07-06 | Owens Illinois Inc | Appareil de detection de position pour une machine de formage d'articles en verre |
| JPS6235203A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-16 | Toho Gas Co Ltd | 位置決め検出方法及び同装置 |
| JPH01134201A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Yuken Kogyo Kk | リニアストローク検出装置及びこれを利用した無段変速機 |
| US6989670B2 (en) | 2001-09-27 | 2006-01-24 | Marquardt Gmbh | Device for measuring paths and/or positions |
| US7034523B2 (en) | 2001-09-27 | 2006-04-25 | Marquardt Gmbh | Device for measuring paths and/or positions |
| JP2007064800A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | S X L Corp | 建物診断システム |
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