JPS58497U - ア−スシ−ルド板 - Google Patents
ア−スシ−ルド板Info
- Publication number
- JPS58497U JPS58497U JP9360981U JP9360981U JPS58497U JP S58497 U JPS58497 U JP S58497U JP 9360981 U JP9360981 U JP 9360981U JP 9360981 U JP9360981 U JP 9360981U JP S58497 U JPS58497 U JP S58497U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- earth shield
- shield plate
- target
- covers
- target surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図、第2図は、従来型のターゲット及びアースシー
ルド板の一例の断面図、第3図、第4図は、本考案によ
るターゲット及びアースシールド板の一実施例の断面図
である。 1・・・アースシールド板、2・・・ターゲット本体、
3・・・バッキングプレート、4・・・水膨水、5・・
・取付板、6・・・絶縁体、7・・・装置本体。
ルド板の一例の断面図、第3図、第4図は、本考案によ
るターゲット及びアースシールド板の一実施例の断面図
である。 1・・・アースシールド板、2・・・ターゲット本体、
3・・・バッキングプレート、4・・・水膨水、5・・
・取付板、6・・・絶縁体、7・・・装置本体。
Claims (1)
- スパッタ装置用のターゲットの周囲をカバーするアース
シールド板において、〜ターゲット表面周囲に二枚のカ
バーを持ち、その一枚はターゲットの表面を覆い、他Ω
一枚はターゲット表面と同一面あるいはそれよりも下の
面のバッキングプレート側にあり、両者共ターゲットと
は2〜677EI11程度の空間を保って設置されてい
ることを特徴とするアースシールド板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9360981U JPS58497U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | ア−スシ−ルド板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9360981U JPS58497U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | ア−スシ−ルド板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58497U true JPS58497U (ja) | 1983-01-05 |
Family
ID=29888569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9360981U Pending JPS58497U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | ア−スシ−ルド板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58497U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6339164U (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-14 | ||
JPH0413868A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-17 | Anelva Corp | スパッタリング装置 |
-
1981
- 1981-06-26 JP JP9360981U patent/JPS58497U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6339164U (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-14 | ||
JPH0413868A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-17 | Anelva Corp | スパッタリング装置 |
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