JPS5845362U - 蒸着用ルツボ - Google Patents
蒸着用ルツボInfo
- Publication number
- JPS5845362U JPS5845362U JP13844981U JP13844981U JPS5845362U JP S5845362 U JPS5845362 U JP S5845362U JP 13844981 U JP13844981 U JP 13844981U JP 13844981 U JP13844981 U JP 13844981U JP S5845362 U JPS5845362 U JP S5845362U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- deposition
- angle
- recorded
- vapor deposition
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例による電子銃蒸着用のボロン
ナイトライド製ルツボを電子銃装置の銅製ルツボに装着
した場合の断面図である。 １・・・銅製ルツボ、２・・・ボロンナイトライド製ル
ツボ、３・・・蒸着物質、２−１・・・開口部、２−２
・・・底部。
ナイトライド製ルツボを電子銃装置の銅製ルツボに装着
した場合の断面図である。 １・・・銅製ルツボ、２・・・ボロンナイトライド製ル
ツボ、３・・・蒸着物質、２−１・・・開口部、２−２
・・・底部。
Claims (1)
- 内壁面と底面とのなす角が直角以下に設定されたことを
特徴とする蒸着用ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13844981U JPS5845362U (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 蒸着用ルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13844981U JPS5845362U (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 蒸着用ルツボ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845362U true JPS5845362U (ja) | 1983-03-26 |
Family
ID=29931673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13844981U Pending JPS5845362U (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 蒸着用ルツボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845362U (ja) |
-
1981
- 1981-09-18 JP JP13844981U patent/JPS5845362U/ja active Pending
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