JPS5845191A - 結晶性リボンを製造するための方法及び装置 - Google Patents
結晶性リボンを製造するための方法及び装置Info
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- JPS5845191A JPS5845191A JP56144045A JP14404581A JPS5845191A JP S5845191 A JPS5845191 A JP S5845191A JP 56144045 A JP56144045 A JP 56144045A JP 14404581 A JP14404581 A JP 14404581A JP S5845191 A JPS5845191 A JP S5845191A
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56144045A JPS5845191A (ja) | 1981-09-14 | 1981-09-14 | 結晶性リボンを製造するための方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56144045A JPS5845191A (ja) | 1981-09-14 | 1981-09-14 | 結晶性リボンを製造するための方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845191A true JPS5845191A (ja) | 1983-03-16 |
| JPH0143718B2 JPH0143718B2 (enExample) | 1989-09-22 |
Family
ID=15353034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56144045A Granted JPS5845191A (ja) | 1981-09-14 | 1981-09-14 | 結晶性リボンを製造するための方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845191A (enExample) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010504905A (ja) * | 2006-09-28 | 2010-02-18 | ビーピー・コーポレーション・ノース・アメリカ・インコーポレーテッド | 結晶シリコン基板を製造するための方法及び装置 |
| JP2015163584A (ja) * | 2008-03-14 | 2015-09-10 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | フローティングシートの製造装置及び方法 |
| JP2017512739A (ja) * | 2014-03-27 | 2017-05-25 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | シリコン融液内の熱流を制御する装置 |
| JP2018530500A (ja) * | 2015-08-19 | 2018-10-18 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | 融液から結晶シートを形成するための装置 |
-
1981
- 1981-09-14 JP JP56144045A patent/JPS5845191A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010504905A (ja) * | 2006-09-28 | 2010-02-18 | ビーピー・コーポレーション・ノース・アメリカ・インコーポレーテッド | 結晶シリコン基板を製造するための方法及び装置 |
| JP2015163584A (ja) * | 2008-03-14 | 2015-09-10 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | フローティングシートの製造装置及び方法 |
| JP2017512739A (ja) * | 2014-03-27 | 2017-05-25 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | シリコン融液内の熱流を制御する装置 |
| US10415151B1 (en) | 2014-03-27 | 2019-09-17 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc | Apparatus for controlling heat flow within a silicon melt |
| JP2018530500A (ja) * | 2015-08-19 | 2018-10-18 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | 融液から結晶シートを形成するための装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0143718B2 (enExample) | 1989-09-22 |
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