JPS5842807U - パタ−ン被検査体 - Google Patents

パタ−ン被検査体

Info

Publication number
JPS5842807U
JPS5842807U JP1981136913U JP13691381U JPS5842807U JP S5842807 U JPS5842807 U JP S5842807U JP 1981136913 U JP1981136913 U JP 1981136913U JP 13691381 U JP13691381 U JP 13691381U JP S5842807 U JPS5842807 U JP S5842807U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspected
light
patterned object
inspected object
reflecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1981136913U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6226754Y2 (ja
Inventor
西本　豊司
光洋 岩崎
達郎 小沢
Original Assignee
凸版印刷株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 凸版印刷株式会社 filed Critical 凸版印刷株式会社
Priority to JP1981136913U priority Critical patent/JPS5842807U/ja
Publication of JPS5842807U publication Critical patent/JPS5842807U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6226754Y2 publication Critical patent/JPS6226754Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の被検査体の一実施例を示す平面図で
ある。 １・・・透明基板、２・・・色分解フィルタ、−３・・
・光反射領域。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）　　ガラス等の透明基板上に低反射性の検査対象
    微細パターンが間隔をおいて多数形成されてなり、該各
    パターン領域を取り巻くように自動焦点合せ機構の目標
    となる光反射領域を設けたことを特徴とするパターン被
    検査体。
  2. （２）光反射領域が島状に設けられてなる実用新案登録
    請求の範囲第１項記載のパターン被検査体。
  3. （３）光反射領域が連続状に設けられてなる実用新案登
    録請求の範囲第１項記載のパターン被検査体。
JP1981136913U 1981-09-14 1981-09-14 パタ−ン被検査体 Granted JPS5842807U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981136913U JPS5842807U (ja) 1981-09-14 1981-09-14 パタ−ン被検査体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981136913U JPS5842807U (ja) 1981-09-14 1981-09-14 パタ−ン被検査体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5842807U true JPS5842807U (ja) 1983-03-22
JPS6226754Y2 JPS6226754Y2 (ja) 1987-07-09

Family

ID=29930217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981136913U Granted JPS5842807U (ja) 1981-09-14 1981-09-14 パタ−ン被検査体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5842807U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5026535A (ja) * 1973-07-07 1975-03-19

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5026535A (ja) * 1973-07-07 1975-03-19

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6226754Y2 (ja) 1987-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59115507U (ja) 可動スリツト板付標識用ランプ構造
JPS5842807U (ja) パタ−ン被検査体
JPS6039047U (ja) マスクブランク板
JPS60115287U (ja) 表示パネル
JPS5960681U (ja) 発光ダイオ−ド表示器
JPS63157737U (ja)
JPS6134188U (ja) 電照式サイン用螢光灯
JPS58180503U (ja) 光学フイルタ−
JPS5982840U (ja) 結霜・結露検知装置
JPS593585Y2 (ja) 発光ダイオ−ド表示器
JPS6438622U (ja)
JPS6082688U (ja) 光学表示器用基板
JPS6084988U (ja) 照明表示装置における表示パネル
JPH038453U (ja)
JPS5916005U (ja) 灯具の反射鏡
JPS5973787U (ja) 標示板
JPS6111103U (ja) 防眩フイルタ−
JPS5833697U (ja) ブラインド
JPS5890656U (ja) 反射型バルブ
JPS5823330U (ja) フオトマスク
JPS58123195U (ja) 網戸
JPS5826004U (ja) 車輌灯具用レンズ
JPS58123487U (ja) 透過照明式表示板
JPS60177828U (ja) スキ−用遮光眼鏡
JPS60109261U (ja) 螢光灯