JPS584097U - 微動台 - Google Patents
微動台Info
- Publication number
- JPS584097U JPS584097U JP4995182U JP4995182U JPS584097U JP S584097 U JPS584097 U JP S584097U JP 4995182 U JP4995182 U JP 4995182U JP 4995182 U JP4995182 U JP 4995182U JP S584097 U JPS584097 U JP S584097U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- drive
- coil
- fine movement
- movement table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の一部を切欠して示゛す斜視
図、第２図は第１図のＡ−Ａ線における断面図である。 １．２・・・・・・ステージ、４，１０．１１・・・基
台、６．６′・・・ステージ駆動素子、８． ８’・・
・コイル、９．９’、１３．１３’・・・磁気回路構成
部材、１２．１２’・・・永久磁石。
図、第２図は第１図のＡ−Ａ線における断面図である。 １．２・・・・・・ステージ、４，１０．１１・・・基
台、６．６′・・・ステージ駆動素子、８． ８’・・
・コイル、９．９’、１３．１３’・・・磁気回路構成
部材、１２．１２’・・・永久磁石。
Claims (1)
- 直交する２軸の１軸方向へ両側に設けた少な（とも一方
の動電形部動素子で駆動され変位し得るステージ上に、
両側に設けた少なくとも一方の動電形部動素子で駆動さ
れ他軸方向へ変位し得るよ・う載置されたステージとを
備えてなり、上記各ス′ テージそれぞれの面駆動素子
は同形をなし且つそれぞれのステージの駆動方向の両側
面に対称的に配設され、上記各ステージにはそれぞれの
駆動素子のコイルが取り付けられ、これら各コイルの巻
線の方向はこれは各コイルが取りつけられたそれぞれの
ステージの駆動変位方向と直角方向をなし、また上記各
コイルとそれぞれ鎖交する磁束を作る上記各駆動素子の
永久磁石ならびに磁気回路構成部材とを基台上に取りつ
けたことを特徴とする微動台。
□
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4995182U JPS584097U (ja) | 1982-04-08 | 1982-04-08 | 微動台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4995182U JPS584097U (ja) | 1982-04-08 | 1982-04-08 | 微動台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS584097U true JPS584097U (ja) | 1983-01-11 |
Family
ID=29846670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4995182U Pending JPS584097U (ja) | 1982-04-08 | 1982-04-08 | 微動台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584097U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63178830U (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-18 |
-
1982
- 1982-04-08 JP JP4995182U patent/JPS584097U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63178830U (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-18 |
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