JPS5840817B2 - Kaitenyoukiyoku X Senkan - Google Patents

Kaitenyoukiyoku X Senkan

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JPS5840817B2
JPS5840817B2 JP13639375A JP13639375A JPS5840817B2 JP S5840817 B2 JPS5840817 B2 JP S5840817B2 JP 13639375 A JP13639375 A JP 13639375A JP 13639375 A JP13639375 A JP 13639375A JP S5840817 B2 JPS5840817 B2 JP S5840817B2
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JP
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rotating
anode
cathode
target
shielding member
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宗倫 小田部
茂 立木
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Hitachi Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は回転陽極X線管、特に陽極としての回転ターゲ
ットから放出される2次電子の遮へいに関するものであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a rotating anode X-ray tube, particularly to shielding secondary electrons emitted from a rotating target as an anode.

一般に、回転陽極X線管は陽極と陽極に附設された回転
ターゲットおよび陰極と陰極に附設された集束電極とを
それぞれ備えており、陽極と陰極との間に高電圧を印加
し、陰極フィラメントを加熱することによって集束電極
から熱電子が放出され、高速度で回転している回転ター
ゲットの傾斜面に高速で連続的に射突させてX線を発生
する構造となっている。
In general, a rotating anode X-ray tube is equipped with an anode, a rotating target attached to the anode, a cathode, and a focusing electrode attached to the cathode, and a high voltage is applied between the anode and the cathode to move the cathode filament. The structure is such that thermoelectrons are emitted from the focusing electrode by heating and are made to continuously strike the inclined surface of a rotating target rotating at high speed to generate X-rays.

第1図は従来の回転陽極X線管の一例を示す要部断面図
であり、同図において、この回転陽極X線管は、陰極1
に熱電子を放出する図示しないフィラメントを内蔵した
集束電極2が附設されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view of essential parts of an example of a conventional rotating anode X-ray tube.
A focusing electrode 2 having a built-in filament (not shown) that emits thermoelectrons is attached thereto.

また、この陰極1、集束電極2に対向した位置には傘型
状のターゲット3が配設され、ナツト4によって回転体
5に固定され、回転自在となるように取付けられている
Further, an umbrella-shaped target 3 is disposed at a position facing the cathode 1 and the focusing electrode 2, and is fixed to a rotating body 5 with a nut 4 so as to be rotatable.

そして、この傘型状のターゲット3、ナツト4、回転体
5は電気的に接続された陽極6を構成している。
The umbrella-shaped target 3, nut 4, and rotating body 5 constitute an anode 6 that is electrically connected.

また、このターゲット3の傾斜面には集束電極2より高
速電子が射突する部分に焦点部7を形成している。
Further, a focal portion 7 is formed on the inclined surface of the target 3 at a portion where high-speed electrons are struck from the focusing electrode 2.

そして、これらの構成部品は硬質ガラスよりなる外囲器
8によって気密封止されている。
These components are hermetically sealed by an envelope 8 made of hard glass.

このように構成された従来の回転陽極X線管(こおいて
、陰極1と陽極6間に高電圧が印加するとともに、陰極
1に附設された集束電極2に内蔵されたフィラメント(
図示せず)を加熱すると、集束電極2より電子流が放出
され傘型ターゲット3の焦点部7に高速で射突されてX
線が放射される。
In the conventional rotating anode X-ray tube configured as described above, a high voltage is applied between the cathode 1 and the anode 6, and a filament (
(not shown), an electron stream is emitted from the focusing electrode 2 and hits the focal point 7 of the umbrella-shaped target 3 at high speed.
A line is emitted.

この際に、焦点部7からはX線のみならず新しく2次電
子が放出される。
At this time, not only X-rays but also new secondary electrons are emitted from the focal point 7.

そして、この2次電子は傘型ターゲット3の焦点部7の
近傍に射突するものと傘型ターゲット3に近接した外囲
器8の内面に射突するものとがある。
Some of these secondary electrons impinge on the vicinity of the focal point 7 of the umbrella-shaped target 3, while others impinge on the inner surface of the envelope 8 close to the umbrella-shaped target 3.

この結果、外囲器8の内面に射突された場合、この外囲
器8は硬質ガラス等の絶縁物から構成されているために
2次電子が射突した部分には負の電荷が帯電したり、あ
るいは更に新たに2次電子を放出して正の電荷が帯電し
たりして、外囲器8の内面には部分的に正、負の電荷帯
が形成される。
As a result, when the inner surface of the envelope 8 is struck, since the envelope 8 is made of an insulating material such as hard glass, the part where the secondary electrons strike is negatively charged. Alternatively, secondary electrons may be newly emitted and positive charges may be generated, forming partially positive and negative charge bands on the inner surface of the envelope 8.

そして、外囲器8の内面に帯電された電荷に対応して外
囲器8の外面には逆極性の電荷が帯電される。
The outer surface of the envelope 8 is charged with charges of opposite polarity in correspondence with the charges charged on the inner surface of the envelope 8.

この結果、外囲器8の内外面間で異極の電荷が放電する
ことによってX線管を構成している硬質ガラスを破損し
てしまう。
As a result, charges of different polarities are discharged between the inner and outer surfaces of the envelope 8, thereby damaging the hard glass constituting the X-ray tube.

また、外囲器8の内面に多量の正電荷が帯電すると集束
電極2から放出された電子流は外囲器8の内面方向に逸
れて傘型ターゲット3の裏面に対向した外囲器8の内面
に衝突して管内放電を起してしまう。
Furthermore, when the inner surface of the envelope 8 is charged with a large amount of positive charge, the electron flow emitted from the focusing electrode 2 is deflected toward the inner surface of the envelope 8 and is directed toward the inner surface of the envelope 8 facing the back surface of the umbrella-shaped target 3. It collides with the inner surface and causes an internal discharge.

また、負電荷が多量に帯電すると外囲器8の内面と傘型
ターゲット3間で放電を起し易くなるなど種々の欠点を
有している。
Furthermore, if a large amount of negative charge is charged, it has various drawbacks, such as a tendency for discharge to occur between the inner surface of the envelope 8 and the umbrella-shaped target 3.

したがってターゲットの焦点部から放出される2次電子
がガラス外囲器を射突しないようにするため、従来の回
転陽極X線管では、傘型ターゲットの周囲を陽極と同電
位の金属しゃへい体が2次電子をよく吸収し、しやへい
効果が良い反面、金属しゃへい体に吸収された2次電子
によって金属しゃへい体の温度が上昇し、傘型ターゲッ
トからの熱放射をも併せて受けるため金属しゃへい体は
その肉厚を厚くした耐熱性金属材料を使用することが必
要となり、また熱を外部に放散させる構造的な配慮が必
要となる。
Therefore, in order to prevent the secondary electrons emitted from the focal point of the target from hitting the glass envelope, in conventional rotating anode X-ray tubes, a metal shield with the same potential as the anode is placed around the umbrella-shaped target. Although it absorbs secondary electrons well and has a good shielding effect, the temperature of the metal shield increases due to the secondary electrons absorbed by the metal shield, and it also receives heat radiation from the umbrella-shaped target. The shield body needs to be made of a heat-resistant metal material with a thick wall, and structural consideration must be taken to dissipate heat to the outside.

このためX線管が大形となったり、構造が複雑となる欠
点があるため、負荷容量の比較的小さいものに利用され
ることが多かった。
For this reason, the X-ray tube has the drawbacks of being large in size and having a complicated structure, so it has often been used for devices with relatively small load capacity.

またその他に金属の非破壊検査を行なうような場合に用
いられる高電圧の固定陽極形のX線管では、ターゲット
の周囲の陽極部分に金属しゃへい筒を設けであるが、さ
らにその陽極側じゃへい筒の先端を同心に配置した陰極
側のしゃへい筒を設けて覆う構造としたものがある。
In addition, high-voltage fixed anode X-ray tubes used for non-destructive testing of metals are equipped with a metal shielding tube in the anode area around the target, but there is also a metal shielding tube on the anode side. There is a structure in which the tip of the cylinder is covered with a shielding cylinder on the cathode side arranged concentrically.

この場合の陰極側じゃへい筒は陰極から放射される電子
が陽極のしやへい筒の中に確実に集束する作用を有し、
ターゲットに電子を射突させる。
In this case, the cathode side shield has the function of reliably focusing the electrons emitted from the cathode into the anode shield,
Shoot electrons at the target.

またターゲットへの電子射突によって生ずる散乱電子は
陽極側のしゃへい筒によって吸収するので前記の傘型タ
ーゲットの周囲に陽極と同電位の金属しゃへい体で覆つ
た構造と同様の問題があるため回転陽極X線管には応用
されていない。
In addition, the scattered electrons generated by electrons hitting the target are absorbed by the shield cylinder on the anode side, so there is a problem similar to the structure in which the umbrella-shaped target is surrounded by a metal shield having the same potential as the anode. It has not been applied to X-ray tubes.

本発明の目的は前述したような陽極にじゃへい筒を取り
付けた構造のX線管のようにX線管を大型にしたり複雑
な構造とする欠点が少なく耐電圧を向上させた回転陽極
X線管を提供することにある。
The purpose of the present invention is to provide a rotating anode X-ray system which has improved withstand voltage without the disadvantages of making the X-ray tube large and having a complicated structure like the aforementioned X-ray tube with a structure in which a jacket tube is attached to the anode. The purpose is to provide tubes.

このような目的を達成するために、本発明による回転陽
極X線管は、陰極と集束電極および陽極としての傘型タ
ーゲットとの周囲を陰極と同電位の金属遮へい部材を用
いて囲うようにしたものである。
In order to achieve such an object, the rotating anode X-ray tube according to the present invention uses a metal shielding member having the same potential as the cathode to surround the cathode, the focusing electrode, and the umbrella-shaped target serving as the anode. It is something.

以下図面を用いて本発明による回転陽極X線管を詳細に
説明する。
The rotating anode X-ray tube according to the present invention will be explained in detail below with reference to the drawings.

第2図は本発明による回転陽極X線管の一実施例を説明
するための要部断面図であり、第1図と同記号は同一要
素となるのでその説明は省略する。
FIG. 2 is a sectional view of a main part for explaining one embodiment of a rotating anode X-ray tube according to the present invention, and since the same symbols as in FIG. 1 represent the same elements, a description thereof will be omitted.

同図において、陰極1に附設された集束電極2を囲むよ
うに筒型の遮へい部材9の端部が支持板9aで固着され
、他端部は傘型ターゲット3の外周および裏側の一部を
囲うように配設されている。
In the figure, one end of a cylindrical shielding member 9 is fixed with a support plate 9a so as to surround a focusing electrode 2 attached to a cathode 1, and the other end covers a part of the outer periphery and back side of an umbrella-shaped target 3. It is arranged to surround.

この場合、遮へい部材9の他端部は傘型ターゲット3の
裏面よりも少し回転体5側へ突出させるように配設され
ている。
In this case, the other end of the shielding member 9 is disposed so as to protrude slightly toward the rotating body 5 from the back surface of the umbrella-shaped target 3.

この遮へい部材9としてはたとえばメツシュ状のものが
用いられる。
As this shielding member 9, a mesh-like member is used, for example.

また、遮へい部材9の他端部の先端は傘型ターゲット3
の裏側を効果的に覆うとともに放電を防止することがで
きるように内径側に折り曲げられてカール部9bを形成
している。
Further, the tip of the other end of the shielding member 9 is connected to an umbrella-shaped target 3.
It is bent toward the inner diameter side to form a curled portion 9b so that it can effectively cover the back side of the sheet and prevent electric discharge.

そして、この遮へい部材9には傘型ターゲット3の焦点
部7に近接した位置にX線放射口が備えられている。
This shielding member 9 is provided with an X-ray emission port at a position close to the focal point 7 of the umbrella-shaped target 3.

このように構成された回転陽極X線管において、この遮
へい部材9は支持板9aによって陰極1に電気的に接続
されているため陰極1と同電位の負電位の電界が形成さ
れている。
In the rotating anode X-ray tube configured as described above, the shielding member 9 is electrically connected to the cathode 1 by the support plate 9a, so that an electric field having a negative potential that is the same as that of the cathode 1 is formed.

この状態において、集束電極2より電子流が放出されて
傘型ターゲット3の焦点部7に高速度で射突すると、焦
点部7よりX線および新たに2次電子が放出される。
In this state, when an electron current is emitted from the focusing electrode 2 and hits the focal point 7 of the umbrella-shaped target 3 at high speed, X-rays and secondary electrons are newly emitted from the focal point 7.

そして、X線はX線放射口より外部に放射される。The X-rays are then radiated to the outside from the X-ray emission port.

一方、新たに放出された2次電子は、周辺が負電位の遮
へい部材9で囲まれているので外囲器8の内面方向に飛
走することができず、傘型ターゲット3の傾斜部に戻る
ような電子運動経路を形成する。
On the other hand, the newly emitted secondary electrons cannot fly toward the inner surface of the envelope 8 because the periphery thereof is surrounded by the shielding member 9 having a negative potential. Forms a path of electron movement that returns.

従って、外囲器8の内面に電荷が帯電することが無くな
って、X線管内の放電現象が起らなくなるのでX線管の
耐電圧を向上させることができる。
Therefore, the inner surface of the envelope 8 is no longer charged with electric charges, and no discharge phenomenon occurs within the X-ray tube, so that the withstand voltage of the X-ray tube can be improved.

また、遮へい部材9に設けられたX線放射口10はX線
とともに2次電子も放出されるのでこの2次電子の放出
を防ぐために電子の透過し難くかつX線透過性の良いべ
IJ IJウム板でカバーすることによってより完全な
遮へい効果を得ることができる。
In addition, since secondary electrons are also emitted along with X-rays, the X-ray emission port 10 provided in the shielding member 9 should be made of a material that is difficult for electrons to pass through and has good X-ray transparency in order to prevent the emission of secondary electrons. A more complete shielding effect can be obtained by covering the area with a board.

また、遮へい部材9が傘型ターゲット3の裏側において
その端部を内径側に折り曲げてカール部9bを形成し、
かつ回転体5側に近接するように配設したことによって
負電位の電界を形成させて傘型ターゲット3の裏側方向
に飛走する2次電子を遮へいすることができ、更に完壁
な遮へい効果を上げることができる。
Further, the shielding member 9 bends its end portion toward the inner diameter side on the back side of the umbrella-shaped target 3 to form a curled portion 9b,
In addition, by arranging it close to the rotating body 5 side, it is possible to form an electric field with a negative potential and to shield the secondary electrons flying toward the back side of the umbrella-shaped target 3, resulting in a more complete shielding effect. can be raised.

第3図は本発明による回転陽極X線管の更に他の実施例
を説明するための要部断面図であり、第1図、第2図と
同記号は同一要素となるのでその説明は省略する。
FIG. 3 is a sectional view of a main part for explaining still another embodiment of the rotating anode X-ray tube according to the present invention, and since the same symbols as in FIGS. 1 and 2 are the same elements, their explanation is omitted. do.

同図において、陰極1に附設された集束電極2を囲むよ
うに筒型の遮へい部材11の端部が支持板9aで固着さ
れ、他端部は傘型ターゲット3の外周を囲うように配設
されている。
In the figure, an end of a cylindrical shielding member 11 is fixed with a support plate 9a so as to surround a focusing electrode 2 attached to a cathode 1, and the other end is arranged so as to surround the outer periphery of an umbrella-shaped target 3. has been done.

また、傘型ターゲット3の裏面には回転ターゲット3よ
りも大径でかつ櫛型の遮へい部材12がその底部と傘型
ターゲット3の裏面とが接するようにナツト4で固定さ
れている。
Further, a comb-shaped shielding member 12 having a diameter larger than that of the rotating target 3 is fixed to the back surface of the umbrella-shaped target 3 with a nut 4 so that the bottom thereof is in contact with the back surface of the umbrella-shaped target 3.

そして、これらの遮へい部材lL12の先端部は外側に
折り曲げられてそれぞれカール部11a、12aを形成
している。
The distal ends of these shielding members LL12 are bent outward to form curled portions 11a and 12a, respectively.

そして、遮へい部材11には傘型ターゲット3の焦点部
7に近接した位置?CX線放射口10が設けられている
The shielding member 11 is located at a position close to the focal point 7 of the umbrella-shaped target 3. A CX-ray emission port 10 is provided.

このように構成された回転陽極X線管において、遮へい
部材11は支持板9aによって陰極1に電気的(こも接
続されているために負電位の電界が形成されている。
In the rotating anode X-ray tube configured as described above, the shielding member 11 is electrically connected to the cathode 1 through the support plate 9a, so that an electric field of negative potential is formed.

一方、遮へい部材12は傘型ターゲット3に内接して固
定されているために正電位の電界が形成されている。
On the other hand, since the shielding member 12 is inscribed in and fixed to the umbrella-shaped target 3, an electric field of a positive potential is formed.

この状態において、集束電極2より電子流が放出されて
傘型ターゲット3の焦点部7に高速度で射突されると、
焦点部7よりX線および新たな2次電子が放出される。
In this state, when an electron stream is emitted from the focusing electrode 2 and hits the focal point 7 of the umbrella-shaped target 3 at high speed,
X-rays and new secondary electrons are emitted from the focal point 7.

そして、X線はX線放射口10より外部に放射される。The X-rays are then radiated to the outside from the X-ray emission port 10.

一方、焦点部7より放出された2次電子は、周辺が負電
位の遮へい部材11で囲まれているために外囲器8の内
面方向に飛走することができず、第3図に点線で示した
ように傘型ターゲット3および櫛型遮へい部材12の傾
斜部に戻るような電子運動経路を形成する。
On the other hand, the secondary electrons emitted from the focal point 7 cannot fly toward the inner surface of the envelope 8 because the periphery is surrounded by the shielding member 11 having a negative potential. As shown in , an electron movement path is formed that returns to the slope of the umbrella-shaped target 3 and the comb-shaped shielding member 12.

従って、外囲器8の内面に2次電子が飛走して正、負の
電荷が帯電することができなくなりX線管内の放電も起
さなくなるのでX線管内の耐電圧を向上させることがで
きる。
Therefore, the secondary electrons cannot fly to the inner surface of the envelope 8 and be charged with positive or negative charges, and no discharge occurs inside the X-ray tube, so it is possible to improve the withstand voltage inside the X-ray tube. can.

また、遮へい部材11.12の先端にカール部11a、
12aを形成したことによってカール部11aに負電位
、カール部12aは正電位の電界をそれぞれ形成させ、
遮へい部材lL12の間から外囲器8の内面方向に飛走
する2次電子を遮へいすることができ、より確実な遮へ
い効果を上げることができる。
In addition, a curled portion 11a is provided at the tip of the shielding member 11.12,
12a, an electric field with a negative potential is formed in the curled portion 11a, and an electric field with a positive potential is formed in the curled portion 12a,
Secondary electrons flying toward the inner surface of the envelope 8 from between the shielding members LL12 can be shielded, and a more reliable shielding effect can be achieved.

また、遮へい部材11に設けられたX線放射口10から
2次電子が透過されるのを防ぐために電子の透過し難く
かつX線の透過し易いベリリウム板等でカバーすること
によって更に安全で確実性のある遮へいをすることがで
きる。
In addition, in order to prevent secondary electrons from passing through the X-ray emission port 10 provided in the shielding member 11, it is made even safer and more reliable by covering it with a beryllium plate or the like that is difficult for electrons to pass through and easy for X-rays to pass through. It can be used as a shield.

以上説明したようGこ、本発明による回転陽極X線管は
、陰極と集束電極および陽極としての傘型ターゲットと
の周囲を筒型の金属遮へい部材で囲うことによって傘型
ターゲットから放出される2次電子を遮へいし、外囲器
の内面Oこ飛走しないようにしたものであるためGこ、
2次電子遮へい部材を配設しない従来の回転陽極X線管
に比較して、筒型の遮へい部材を配設したことによって
外囲器内面に飛走する2次電子を完全に遮へいすること
ができ、集束電極から放射される電子流の流れ方に悪影
響を与えることがなくなる。
As explained above, in the rotating anode X-ray tube according to the present invention, the cathode, the focusing electrode, and the umbrella-shaped target as an anode are surrounded by a cylindrical metal shielding member, so that the rays emitted from the umbrella-shaped target are This is because it shields the electrons and prevents them from flying around the inner surface of the envelope.
Compared to conventional rotating anode X-ray tubes that do not have a secondary electron shielding member, the provision of a cylindrical shielding member makes it possible to completely shield secondary electrons flying into the inner surface of the envelope. This eliminates any negative influence on the flow of electrons emitted from the focusing electrode.

また、2次電子の放出によって発生する放電現象も完全
に防止されるのでX線管の耐電圧特性が向上するととも
に耐用年数も更に長くなるなど種々優れた効果を有する
In addition, since the discharge phenomenon caused by the emission of secondary electrons is completely prevented, the X-ray tube has various excellent effects such as improved withstand voltage characteristics and longer service life.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の回転陽極X線管の一例を示す要部断面図
、第2図、第3図は本発明(こよる回転陽極X線管の一
実施例を示す要部断面図である。 1・・・・・・陰極、2・・・・・・集束電極、3・・
・・・・傘型ターゲット、4・・・・・・ナツト、5・
・・・・・回転体、6・・・・・・陽極、7・・・・・
・焦点部、8・・・・・・外囲器、9・・・・・・遮へ
い部材、9a・・・・・・支持板、9b・・・・・・カ
ール部、10・・・・・・X線放射口、11・・・・・
・遮へい部材、11a・・・・・・カール部、12・・
・・・・遮へい部材、12a・・・・・・カール部。
FIG. 1 is a sectional view of a main part showing an example of a conventional rotating anode X-ray tube, and FIGS. 2 and 3 are sectional views of main parts showing an embodiment of a rotating anode X-ray tube according to the present invention. 1...Cathode, 2...Focusing electrode, 3...
...Umbrella-shaped target, 4...Natsuto, 5.
... Rotating body, 6 ... Anode, 7 ...
- Focal point, 8... Envelope, 9... Shielding member, 9a... Support plate, 9b... Curled part, 10...・・X-ray emission port, 11・・・・
・Shielding member, 11a... Curl part, 12...
...shielding member, 12a...curl portion.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 陰極と、前記陰極と対向して配設されかつ電子の射
突によってX線を発生する回転ターゲットと、前記回転
ターゲットを回転させる回転体と、前記陰極および陽極
を気密封止する外囲器とを備えた回転陽極X線管におい
て、前記陰極および前記回転ターゲットの周囲を前記陰
極と同電位にした金属しゃへい部材で囲い前記回転ター
ゲットから放出される2次電子を前記外囲器内面に飛走
しない電位分布を形成したことを特徴とする回転陽極X
線管。 2 前記特許請求の範囲第1項記載の回転陽極X線管に
おいて、前記陰極および前記回転ターゲットとの周囲を
金属遮へい部材で囲うとともに回転ターゲットの裏面側
に回転ターゲットよりも大径で回転ターゲットと一体に
回転する金属遮へい部材を設け、前記回転ターゲットと
しての陽極から放出される2次電子を前記外囲器内面に
飛走しない電位分布を形成したことを特徴とする回転陽
極X線管。
[Scope of Claims] 1. A cathode, a rotating target that is disposed opposite to the cathode and generates X-rays by electron bombardment, a rotating body that rotates the rotating target, and a rotating body that rotates the cathode and the anode. In a rotating anode X-ray tube equipped with a sealed envelope, the cathode and the rotating target are surrounded by a metal shielding member having the same potential as the cathode, and the secondary electrons emitted from the rotating target are Rotating anode
wire tube. 2. In the rotating anode X-ray tube according to claim 1, the cathode and the rotating target are surrounded by a metal shielding member, and a rotating target having a larger diameter than the rotating target is provided on the back side of the rotating target. A rotating anode X-ray tube characterized in that a metal shielding member that rotates integrally is provided to form a potential distribution that prevents secondary electrons emitted from the anode as the rotating target from flying to the inner surface of the envelope.
JP13639375A 1975-11-14 1975-11-14 Kaitenyoukiyoku X Senkan Expired JPS5840817B2 (en)

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