JPS5840518Y2 - vacuum chuck device - Google Patents

vacuum chuck device

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Publication number
JPS5840518Y2
JPS5840518Y2 JP12348476U JP12348476U JPS5840518Y2 JP S5840518 Y2 JPS5840518 Y2 JP S5840518Y2 JP 12348476 U JP12348476 U JP 12348476U JP 12348476 U JP12348476 U JP 12348476U JP S5840518 Y2 JPS5840518 Y2 JP S5840518Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rod
vacuum chuck
chuck device
mounting flange
dish
Prior art date
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Expired
Application number
JP12348476U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5342554U (en
Inventor
喜良 佐久間
隆司 太田
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP12348476U priority Critical patent/JPS5840518Y2/en
Publication of JPS5342554U publication Critical patent/JPS5342554U/ja
Application granted granted Critical
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Expired legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は真空チャック装置の改良に関するものである。[Detailed explanation of the idea] The present invention relates to an improvement of a vacuum chuck device.

例えばカラー受像管の製造工程においてはガラス製のパ
ネルの内面にホトレジスト、黒鉛、けい光体などを塗布
する工程が必要であり、このような塗布工程を自動化し
ようとする場合にはパネルを吸着して目的とする位置に
搬送する真空チャック装置が必要である。
For example, in the manufacturing process of color picture tubes, it is necessary to apply photoresist, graphite, phosphor, etc. to the inner surface of the glass panel, and if you want to automate this coating process, it is necessary to apply suction to the panel. A vacuum chuck device is required to transport the sample to the desired position.

本考案はこの種の真空チャック装置に係り、特にトグル
機構を用いた真空チャック装置を提供するものである。
The present invention relates to this type of vacuum chuck device, and particularly provides a vacuum chuck device using a toggle mechanism.

以下図面に示す実施例とともに本考案の詳細を説明する
The details of the present invention will be explained below along with embodiments shown in the drawings.

第1図および第2図は本考案の一実施例を説明するもの
で、全体を符号1で示す真空チャック装置は筒体2を有
し2、内部にはロッド3が摺動自在に嵌合されている。
FIGS. 1 and 2 illustrate an embodiment of the present invention, and the vacuum chuck device, which is designated as a whole by reference numeral 1, has a cylindrical body 2, into which a rod 3 is slidably fitted. has been done.

筒体2の先端部には皿状のプレート4が固定されており
、この皿状のプレー1へ4の先端内周面に形成された段
部5にはゴムなどの弾性体からなる吸着プレート6が嵌
合固定されている。
A plate-shaped plate 4 is fixed to the tip of the cylinder 2, and a suction plate made of an elastic material such as rubber is attached to a stepped portion 5 formed on the inner peripheral surface of the tip of the plate-shaped plate 4. 6 are fitted and fixed.

吸着プレート6はその外側面の中央部には底の浅い凹部
7が形成され、内部には金属板からなる保持板8が埋設
されており、この保持板8には前述したロッド3の先端
部が固定されている。
The suction plate 6 has a shallow recess 7 formed in the center of its outer surface, and a holding plate 8 made of a metal plate is embedded inside. is fixed.

筒体2の後端部には搬送装置などの支持腕に固定される
取付フランジ9が固定され、前記ロッド3はこの取付フ
ランジ9を貫通して外方に突出されている。
A mounting flange 9 fixed to a support arm of a conveying device or the like is fixed to the rear end of the cylindrical body 2, and the rod 3 passes through this mounting flange 9 and projects outward.

取付フランジ9にはロッド3が摺動自在に嵌合される透
孔9aが形成され、この透孔9aをはさむようにして一
対のブラケツ1−10が対向して固定され、これら一対
のブラケツ) 10.10間には作動片11が回動自在
に嵌合されている。
A through hole 9a into which the rod 3 is slidably fitted is formed in the mounting flange 9, and a pair of brackets 1-10 are fixed facing each other so as to sandwich the through hole 9a. .10, an actuating piece 11 is rotatably fitted between them.

作動片11は前記ロッド3の上端にピン12を介して回
動自在に連結されており、第2図がらも明らがなように
作動片11の取付フランジ9側の角部には円弧状部11
aが形成され、さらにこの作動片11には操作レバー
13が一定角度傾斜した状態で固定されている。
The actuating piece 11 is rotatably connected to the upper end of the rod 3 via a pin 12, and as is not clear in FIG. Part 11
a is formed, and furthermore, an operating lever 13 is fixed to this actuating piece 11 in a state of being inclined at a certain angle.

このようにして、作動片11と操作レバー13とによっ
ていわゆるトグル機構を構成し、操作バンドル13が第
2図に示す実線の位置にあるときには作動片11の下端
の水平面が取付フランジ9に接しており、ピン12の位
置は最も取付フランジ9に近い。
In this way, the actuating piece 11 and the operating lever 13 constitute a so-called toggle mechanism, and when the operating bundle 13 is in the position shown by the solid line in FIG. The position of the pin 12 is closest to the mounting flange 9.

そして操作レバー13が第2図中時計方向に回動される
と、作動片11の円弧状部11 aが取付フランジ9側
に接しピン12の位置は取付フランジ9から最も離れた
位置に達する。
When the operating lever 13 is rotated clockwise in FIG. 2, the arcuate portion 11a of the operating piece 11 comes into contact with the mounting flange 9, and the pin 12 reaches the position farthest from the mounting flange 9.

この結果、ロッド3は上下方向に移動されることになる
As a result, the rod 3 is moved in the vertical direction.

一方、前記ロッド3の途中にはフランジ14が固定され
、このフランジ14と前記取付フランジ9との間にはコ
イルばね15が弾挿されており、ロッド3に図中常時下
方に向っての移動習性を与えている。
On the other hand, a flange 14 is fixed in the middle of the rod 3, and a coil spring 15 is elastically inserted between the flange 14 and the mounting flange 9, so that the rod 3 is always moved downward in the figure. It gives a habit.

本実施例は以上のように構成されているため、操作レバ
ー13を第2図中反時計方向に回動させてピン12、従
ってロッド3を図中最大端に位置させた状態で、第1図
に示すようにパネルPの表面に吸着プレート6の表面を
押し当てて、しかるのち操作レバー13を第2図中時計
方向に回動させればピン12、従ってロッド3は最上点
に位置され、この結果、吸着プレート6が保持板8を介
して図中内側にわん曲され凹部7中が真空状態となり、
パネルPは完全に真空吸着され望む位置にパネルPを移
送することができる。
Since this embodiment is constructed as described above, when the operating lever 13 is rotated counterclockwise in FIG. 2 to position the pin 12 and therefore the rod 3 at the maximum end in the diagram, As shown in the figure, by pressing the surface of the suction plate 6 against the surface of the panel P and then rotating the operating lever 13 clockwise in FIG. 2, the pin 12 and therefore the rod 3 are positioned at the uppermost point. As a result, the suction plate 6 is bent inward in the figure through the holding plate 8, and the inside of the recess 7 becomes a vacuum state.
The panel P is completely vacuum-adsorbed and can be moved to a desired position.

なお、操作レバー13の操作は図示していない流体圧シ
リンダなどのロッドの先端で自動的に行なわれるもので
ある。
The operating lever 13 is automatically operated at the tip of a rod such as a hydraulic cylinder (not shown).

以上の説明から明らかなように本考案によれば真空チャ
ックの吸着プレートの操作をロッドを介してトラブル機
構を有する操作レバーによって行なっているため、構造
が極めて簡単であるのにかかわらず、大きな力を必要と
することなくパネルなどの被吸着物を正確に真空吸着す
ることができるなどの実用上優れた効果がある。
As is clear from the above explanation, according to the present invention, the suction plate of the vacuum chuck is operated by an operating lever with a trouble mechanism via a rod, so despite the extremely simple structure, a large amount of force is applied. It has excellent practical effects, such as being able to accurately vacuum adsorb objects such as panels without the need for vacuum suction.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図は本考案の一実施例の一部縦断側面
図およびトグル機構部の側面図である。 1・・・・・・真空チャック装置、2・・・・・・筒体
、3・・・・・・ロッド、4・・・・・・プレート、5
・・・・・・段部、6・・・・・・吸着プレート、7・
・・・・・凹部、8・・・・・・保持板、9・・・・・
・取付フランジ、10・・・・・・ブラケット、11・
・・・・・作動片、12・・・・・・ピン、13・・・
・・・8作レバー、14・・・・・・フランジ、15・
・・・・・コイルばね。
1 and 2 are a partially longitudinal side view and a side view of a toggle mechanism of an embodiment of the present invention. 1... Vacuum chuck device, 2... Cylindrical body, 3... Rod, 4... Plate, 5
...Stepped portion, 6...Adsorption plate, 7.
...Recessed portion, 8...Retaining plate, 9...
・Mounting flange, 10...Bracket, 11・
...Actuation piece, 12...Pin, 13...
...8 levers, 14...flanges, 15.
...Coil spring.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 一端に皿状のプレートを有し、他端に取付フランジを有
する筒体と、この筒体中に摺動自在に嵌合され、かつス
プリングにより常時前記皿状のプレート方向に移動摺性
を与えられたロッドと、このロッドの先端に取付けられ
た前記皿状のプレート内にその外周縁部を固定された弾
性体よりなる吸着プレートと、前記取付フランジがら突
出するロッドの一端と回動自在に連結され前記ロッドを
スプリングの弾発力に抗して移動させるトグル機構を有
する操作レバーとを備えたことを特徴とする真空チャッ
ク装置。
A cylindrical body having a dish-shaped plate at one end and a mounting flange at the other end, and a cylinder body that is slidably fitted into the cylinder body, and is constantly provided with slidability in the direction of the dish-shaped plate by a spring. a suction plate made of an elastic body whose outer periphery is fixed in the dish-shaped plate attached to the tip of the rod, and one end of the rod protruding from the mounting flange and rotatably connected to the rod; A vacuum chuck device comprising: an operating lever connected to the rod and having a toggle mechanism for moving the rod against the elastic force of a spring.
JP12348476U 1976-09-16 1976-09-16 vacuum chuck device Expired JPS5840518Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12348476U JPS5840518Y2 (en) 1976-09-16 1976-09-16 vacuum chuck device

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JP12348476U JPS5840518Y2 (en) 1976-09-16 1976-09-16 vacuum chuck device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5342554U JPS5342554U (en) 1978-04-12
JPS5840518Y2 true JPS5840518Y2 (en) 1983-09-12

Family

ID=28732895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12348476U Expired JPS5840518Y2 (en) 1976-09-16 1976-09-16 vacuum chuck device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6219034A (en) * 1985-07-17 1987-01-27 ヨシモトポ−ル株式会社 Fatus collector in domestic animal barn
JPS6345173U (en) * 1986-09-12 1988-03-26

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5342554U (en) 1978-04-12

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