JPS583974A - Device for preventing evaporation deposit from sticking to back side of tape-form article - Google Patents

Device for preventing evaporation deposit from sticking to back side of tape-form article

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JPS583974A
JPS583974A JP1191982A JP1191982A JPS583974A JP S583974 A JPS583974 A JP S583974A JP 1191982 A JP1191982 A JP 1191982A JP 1191982 A JP1191982 A JP 1191982A JP S583974 A JPS583974 A JP S583974A
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sliding plate
prism
plate
strip
edge
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JP1191982A
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JPS6214028B2 (en
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ギユンテル・イエシユ
ゲルハルト・キユ−ン
ヨアヒム・ゼンフ
ウオルフガング・エルプカム
フオルクマ−ル・シユプライツツ
ホルスト・シユミツト
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KOMUBINAATO BEBU ROKOMOTEIFUBAUUEREKUTOROTEHINITSUSHIE UERUKE HANSU BAIMURERU
ROKOMOTEIFUBAUUEREKUTOROTEHINI
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KOMUBINAATO BEBU ROKOMOTEIFUBAUUEREKUTOROTEHINITSUSHIE UERUKE HANSU BAIMURERU
ROKOMOTEIFUBAUUEREKUTOROTEHINI
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、真空蒸着の際、特に亜鉛を速い被覆速度で真
空蒸着する際に、移動する帯状基礎物体、特に金属基礎
物体の背面を保護するだめの装置に関する。一般に帯状
鋼鉄は、表面が腐蝕されない様に加工するため両面に蒸
着がなされる。特別な場合(例えば自動車車体用鉄板の
場合)には蒸着を一方の面だけ実施しそして背面は何も
付着していない清潔な面であることを保証することが必
要である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a device for protecting the back side of a moving strip-shaped basic object, in particular a metal basic object, during vacuum deposition, in particular during the vacuum deposition of zinc at high coating rates. Generally, steel strips are processed by vapor deposition on both sides to prevent surface corrosion. In special cases (for example in the case of car body steel) it is necessary to carry out the vapor deposition on only one side and to ensure that the back side is a clean, free surface.

帯状の材料の一方の表面にのみ蒸着するだめ次に述べる
方法が公知になっている。即ちプラスチック箔への真空
蒸着が、一般に該箔を冷却されたローラー上を導くこと
により行われている。真空蒸着が行われている時凝縮熱
と輻射熱を取り除く上記の如き配置はそれと同時に背面
に蒸着がなされるのを阻止している。
The following method is known for depositing only on one surface of a strip of material. Thus, vacuum deposition on plastic foils is generally carried out by guiding the foils over cooled rollers. This arrangement, which removes condensation and radiant heat during vacuum deposition, simultaneously prevents backside deposition.

また蒸着を阻止すべき、或いは一般に構造的な蒸着がな
されるべき基礎物体の表面の近傍に停止又は近傍を移動
する様に配置されたマスクを用いることも知られ−Cい
る。
It is also known to use a mask which is placed so as to stop or move near the surface of the basic object on which the deposition is to be prevented, or generally on which the structural deposition is to be made.

更に移動する基本物体(例えばプラスチック箔)上の成
る範囲への金属蒸気の凝縮が次の様にして阻止されるこ
とも知られている。即ち該基本物体上に蒸着される物質
の逆の流れが惹起され、そのことは一般に油を前以て蒸
発させることによって達成される。
Furthermore, it is known that the condensation of metal vapors onto areas on a moving elementary object (for example a plastic foil) can be prevented in the following manner. That is, a reverse flow of the substance deposited onto the basic body is induced, which is generally achieved by preevaporating the oil.

上記した如き公知の方法は帯状鋼鉄の一方の表面のみに
蒸着を行うだめに使用することは不可能でありそして壕
だそのために修正を加えることも不可能である。帯状鋼
鉄に真空蒸着を行う場合には被覆速度が、上記の原理を
応用した方法による被覆速度の2乃至4倍程度だけ犬に
なっている。蒸着月相と被覆される帯状鋼鉄との間には
103Paの数倍に達する圧力を有する比較的濃厚な蒸
気の雲が形成されている。蒸着材料から帯状鋼鉄に到蓮
する途上で材料粒子の強い交互作用が発生し、かくして
蒸着材料粒子はこの範囲でも、帯状鋼鉄の向う側でも、
あらゆる方向に向う速度成分を所有するととになり、そ
のことは背面の蒸着を惹起する。蒸着過程の間帯状鋼鉄
の背面を保護しているローラーの表面には、数分後に厚
い蒸着層が付着し、かくして蒸着サイクルを中止しなけ
ればならなくなる。
The known methods as described above cannot be used to deposit only on one surface of the steel strip and cannot be modified for trenches. When performing vacuum deposition on steel strips, the coating speed is approximately 2 to 4 times faster than the coating speed by the method applying the above-mentioned principle. A relatively dense vapor cloud with a pressure of several times 103 Pa is formed between the deposited moon phase and the coated steel strip. A strong interaction of the material particles occurs on the way from the deposited material to the steel strip, so that the deposited material particles both in this range and on the other side of the steel strip
Possessing velocity components in all directions leads to back side deposition. The surface of the roller, which protects the back side of the steel strip during the deposition process, develops a thick deposition layer after a few minutes, thus making it necessary to stop the deposition cycle.

同じ理由により、同様な作用を持っている工業の 生産過程のだめ任循環するベルトも十分な作業時間を持
つことができない。
For the same reason, the belts that circulate in the industrial production process, which have a similar function, do not have enough working time.

本発明の目的は基礎物体の背面に蒸着物質が付着するの
を確実に阻止しそして長い作業時間を持つ装置を創成す
ることである。該装置のだめの経費は比較的廉価であり
保守の費用がかからないものでなければならない。即ち
本発明は、移動する帯状基礎物体、特に帯状鋼鉄の表面
に犬なる蒸着速度で蒸着が行われる場合に、背面に蒸着
物質が付着するのを阻止する装置を創成するものであり
、該装置は、帯状物体の巾に関 5− 係なく使用可能でありそして帯状物体の巾の誤差、縁の
位置の側方への変位並びに帯状物体の振動に適合し得る
ものである。
The aim of the invention is to create a device that reliably prevents deposition material from adhering to the back side of the basic object and has a long working time. The equipment should be relatively inexpensive and maintenance free. That is, the present invention creates an apparatus for preventing deposition substances from adhering to the back surface of a moving strip-shaped basic object, particularly a strip-shaped steel, when the deposition is carried out at a variable deposition rate on the surface. can be used regardless of the width of the strip and can accommodate errors in the width of the strip, lateral displacements of the edge position as well as vibrations of the strip.

上記の目的は本発明により次の様にして達成される。即
ち蒸着装置容器の範囲において基礎物体の双方の縁に対
して平行に滑り板が垂直に配置され、該滑り板はそれの
全長に亘り角柱の面で支えられていることにより達成さ
れる。この支え装置は基礎物体の平面内で変位可能にな
っており、基礎物体の巾が種々異なった場合それ 士に適合することができる様になっている。羊゛れと同
時に該支え装置は該装置に配置されている気密板を用い
て蒸着装置の上方の空間に蒸発物質の蒸気が侵入するの
を阻止している。支え装置又は滑り板は静的平衡位置で
帯状物体に直角に位置する如く形成されており、従って
滑り板は帯状物体に水平方向の力をほどんと加えること
なく接触している。従って滑り板は帯状物体の縁が振動
する時又は縁が平坦でない場合容易に回避することが可
能である。平衡位置を超 6− えて帯状物体の縁に追従することを可能ならしめるため
には、イ」加的な水平方向の力が滑り板を帯状物体の縁
に押し付けなければならない。
The above objects are achieved by the present invention as follows. This is achieved by arranging a sliding plate perpendicularly and parallel to both edges of the base body in the region of the vapor deposition apparatus container, which sliding plate is supported over its entire length on a prismatic surface. This supporting device is displaceable in the plane of the basic object, so that it can be adapted to different widths of the basic object. At the same time as the support device is moved, the support device uses a gas-tight plate disposed on the device to prevent the vapor of the evaporated material from entering the space above the vapor deposition device. The support device or the sliding plate is designed such that in the static equilibrium position it lies perpendicular to the strip, so that the sliding plate contacts the strip without exerting any significant horizontal forces. The sliding plate can therefore be easily avoided when the edge of the strip vibrates or if the edge is not flat. In order to be able to exceed the equilibrium position and follow the edge of the strip, an additional horizontal force must press the sliding plate against the edge of the strip.

このために必要な力には、蒸着系に内在する力、即ち蒸
発物質の蒸気圧力が利用される。滑り板の位置に無関係
に、上記蒸気圧によりほどんと一定の力が帯状物体の縁
に作用する。
For the force necessary for this purpose, the force inherent in the vapor deposition system, that is, the vapor pressure of the evaporated substance is utilized. Regardless of the position of the sliding plate, the steam pressure exerts a fairly constant force on the edge of the strip.

滑り板を熱に対して安定な硬い材料、特に硬質合金で造
るのが有利である。
It is advantageous for the sliding plate to be made of a heat-stable hard material, in particular a hard metal.

更に本発明の装置の部材、即ち滑り板およびそれの支え
装置を加熱するのが合目的である。
Furthermore, it is expedient to heat the components of the device according to the invention, namely the sliding plate and its supporting device.

このためには蒸気の熱を利用して滑り板および隣接して
いる部材を400℃の温度まで加熱するのが有利である
。基礎物体と接触している部分では滑り板の表面が冷却
され、従ってこの部分に蒸気の凝縮が惹起される。再蒸
発のだめ一定の厚さを超えることがない上記凝縮層は帯
状鋼鉄に亜鉛を蒸着する場合に滑剤としすぐれた作用を
することが証明されている。
For this purpose, it is advantageous to use the heat of the steam to heat the sliding plate and adjacent parts to a temperature of 400 DEG C. The surface of the sliding plate is cooled in the area in contact with the base body, so that vapor condensation occurs in this area. This condensate layer, which does not exceed a certain thickness due to reevaporation, has proven to be an excellent lubricant in the deposition of zinc on steel strips.

種々異々る基礎物体の1」に無段階的に適合するだめの
機構は、基礎物体を装入した状態で蒸発装置が交換可能
な様に基礎物体の面から離れる方向に旋回用能な如く形
成されるのが合目的である。
The mechanism of the reservoir, which is steplessly adaptable to various base bodies, is capable of pivoting away from the plane of the base body so that the evaporator can be replaced with the base body loaded. It is for a purpose that it is formed.

滑り板の支え装置は、固定された支えが刃として形成さ
れそして滑り板には角柱が配置される。しかし固定され
た支えが角柱として形成されそして滑υ板に刃として形
成された部材を配置することも可能である。完成された
滑り板は、帯状物体の縁を押す力が縁を破損したり曲げ
たりしない様々強さのものに形成されていなければなら
ない。その際基礎物体の周囲の蒸気圧力の影響と基礎物
体の厚さとを一緒に考慮しなければなら々い。
In the support device for the sliding plate, the fixed support is formed as a blade and a prism is arranged on the sliding plate. However, it is also possible for the fixed support to be designed as a prism and for the sliding plate to have an element designed as a blade. The finished sliding plate must be formed with various strengths so that the force pushing against the edge of the strip does not damage or bend the edge. In doing so, the influence of the steam pressure around the base body and the thickness of the base body must be considered together.

添附図において本発明による帯状鋼鉄に蒸着する装置が
断面図により示されており、その際一方の側では滑り板
が角柱により、別の側では滑り板が刃によって支えられ
ている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the accompanying drawing, a device according to the invention for vapor deposition on steel strips is shown in cross section, with the sliding plate being supported on one side by a prism and on the other side by a blade.

滑り板1は全長に亘り角柱2と確実で気密(例えばグラ
ファイトの箔を挿入する)に結合されている。
The sliding plate 1 is connected to the prism 2 over its entire length in a reliable and airtight manner (for example, by inserting a graphite foil).

該角柱はそれの全長に亘り刃3に載せられ、核力はレバ
ー4に結合している。レバー4を、上方に位置する公知
の真空鐘貫通装置を用いて旋回させることにより、刃3
およびそれと共に滑り板1は帯状鋼鉄5の巾に適合させ
られることが可能である。刃3には平面状の気密板6が
可撓的に結合しており、従って該気密板は帯状物体の巾
に適合する際に何時も蒸発装置容器7の縁に密着してい
る。その際気密板6の重量により生ずる力は、蒸発空間
8の内部の蒸気圧力と気密板6の面積から発生する反対
向きの力よυも何時も犬でなければ々らない。刃3は衝
き当て部分9を所有し、帯状物体の縁が鋭い縁を有する
如く破損した場合に滑り板が落下するのを阻止している
The prism rests over its entire length on the blade 3 and the nuclear force is coupled to the lever 4. By pivoting the lever 4 using a known vacuum bell penetration device located above, the blade 3
and thereby the sliding plate 1 can be adapted to the width of the steel strip 5. A planar gas-tight plate 6 is flexibly connected to the blade 3, so that it always lies tightly against the edge of the evaporator container 7 when adapted to the width of the strip-shaped object. In this case, the force generated by the weight of the airtight plate 6 must always be equal to the opposing force υ generated from the vapor pressure inside the evaporation space 8 and the area of the airtight plate 6. The blade 3 has an abutment part 9 which prevents the sliding plate from falling if the edge of the strip is broken so that it has a sharp edge.

図の左側の滑り板1は、刃3の形状に形成された腕10
と結合され、該腕は角柱11の中で支えられている。角
柱11は気密板12と結合し、該気密板はレバー4の回
転中心距離に対応する如く彎曲し、何時も蒸発装置容器
7の縁に密着する 9− ことが保証されている。気密板12は気密板6よりも薄
く形成することが可能でありそして熱の作用により変形
しない様に公知になっている補強材を上面に取り付ける
ことが可能である。
The sliding plate 1 on the left side of the figure has an arm 10 formed in the shape of a blade 3.
The arm is supported within the prism 11. The prism 11 is connected to an airtight plate 12, which is curved to correspond to the distance between the rotation centers of the lever 4, and is guaranteed to be in close contact with the edge of the evaporator container 7 at all times. The airtight plate 12 can be made thinner than the airtight plate 6 and can be fitted with known reinforcing materials on its upper surface to prevent it from deforming under the influence of heat.

亜鉛およびそれに類似の高い蒸気圧を有する金属を蒸発
させるだめ、帯状鋼鉄5の直前に配置されている蒸気出
口を有する閉鎖された蒸発装置容器7が使用される。こ
の容器内では比較的高い圧力(103P^の数倍に達す
る)の蒸気が、幾何学的に限定された範囲の中にある蒸
発装置から発生させられる。滑り板1の背後の空間にお
いて凝縮が発生しないならば、即ち滑り板部材が加熱さ
れており、蒸気の露点に到達していないならば、滑り板
1の背後でも上記の高い蒸気圧力が形成されている3、
滑り板の支えの幾何学的配置と帯状鋼鉄5の面の配置を
適当に選択することにより、蒸気圧力によって得られる
力が、滑り板1を軽くそして一定の力で帯状鋼鉄の縁に
押し付けるに充分なものになる。
For evaporating zinc and similar metals with high vapor pressure, a closed evaporator vessel 7 with a vapor outlet located directly in front of the steel strip 5 is used. In this vessel, steam at a relatively high pressure (up to several times 103 P^) is generated from an evaporator located within a geometrically limited area. If condensation does not occur in the space behind the sliding plate 1, that is, if the sliding plate member is heated and the dew point of the steam has not been reached, the above-mentioned high steam pressure will also be formed behind the sliding plate 1. 3,
By suitably selecting the geometry of the support of the slide plate and the arrangement of the surfaces of the steel strip 5, it is possible to ensure that the force obtained by the steam pressure presses the slide plate 1 with a light and constant force against the edge of the steel strip. It becomes sufficient.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

10− り伺けられた実施例を、そして他方の(tttlの滑り
板が刃を取り伺けられた実施例を示[〜でいる。 図において 1・・・滑り板、 2・・・角柱、3 ・
・・刃、  4 ・・・レバー’+   6.12・・
・気密板、7・・・蒸発装置容器、  8・・・蒸発空
間、11・・・角柱である。 11− 第1頁の続き ■発 明 者 フオルクマール・シュプライッツ ドイツ民主共和国ドレスデン・ ツウイングリストラーセ47 0発 明 者 ホルスト・シュミット ドイツ民主共和国ドレスデン・ ロムマツツ・シェル・ストラー セ44 389−
10 - An example in which the sliding plate of the other (tttl) was able to reach the blade is shown. ,3・
・・Blade, 4 ・・Lever'+ 6.12・・
- Airtight plate, 7... Evaporator container, 8... Evaporation space, 11... Square column. 11-Continued from page 1 ■Inventor Volkmar Spreitz, Dresden, Zwinglisstrasse 47 0 Inventor Horst Schmidt, Dresden, Rommatsuz Schell-Strasse, German Democratic Republic 44 389-

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1) 帯状基礎物体の背面に蒸着物質が付着するのを阻
止するだめの装置において、蒸発装置容器(7)の範囲
において基礎物体の双方の縁に対して平行に滑り板(1
)が垂直に配置され、該滑り板はそれの全長に亘り角柱
の面で支えられていること、滑り板は基礎物体の縁に圧
力を加えることなく接触していること、滑り板(1)の
支え装置には気密板(6,12)が配置されており、該
気密板は蒸発装置容器(7)の縁に載っておりそして基
礎物体の両側の蒸発空間(8)を閉鎖していること、滑
り板(1)は支え装置および気密板(6,12)と共に
、基礎物体の巾に応じて変位可能になっていること、お
よび滑り板(])およびそれの支え装置は、蒸気圧力が
滑り板(1)を基礎物体の縁に押し付ける様に形成され
て 1− いることを特徴とする装置、。 2、特許請求の範囲第1項記載の装置において、滑り板
(1)は角柱(2)に結合されており、該角柱は刃(3
)に支えられていることを特徴とする装置行。 3) 特許請求の範囲第1項記載の装置において、滑り
板(1)は刃(3)に結合されており、核力は角柱(1
1)に支えられていることを特徴とする装置。 4)特許請求の範囲第1項から第3項までのうちのいず
れか一つに記載の装置において、滑り板(1)は、熱に
対して安定な硬い材料、特に硬質合金で造られているこ
とを特徴とする装置3゜ 5) 特許請求の範囲第1項から第4項寸でのうちのい
ずれか一つに記載の装置において、滑り板(1)および
それの支え装置は、特に約4oo℃丑でに加熱されてい
ることを特徴とする装置。 6) 特許請求の範囲第1項記載の装置において、滑り
板(])とそれの支え装置は、該装置に配置 2 されているレバー(4)を用いて、基本物体の巾に応じ
て変位可能になっておりそしてまだ蒸気装置の範囲から
旋回して遠ざかることが可能になっていることを特徴と
する装置。
[Claims] 1) In a device for preventing vapor deposition substances from adhering to the back side of a strip-shaped basic object, sliding plates are provided parallel to both edges of the basic object in the area of the evaporator container (7). (1
) is arranged vertically, the sliding plate is supported over its entire length on the plane of a prism, the sliding plate is in pressure-free contact with the edge of the base object, the sliding plate (1) Gas-tight plates (6, 12) are arranged on the support device, which rest on the edges of the evaporator container (7) and close off the evaporation space (8) on both sides of the basic body. that the sliding plate (1), together with the supporting device and the airtight plate (6, 12), can be displaced according to the width of the foundation object; and that the sliding plate (]) and its supporting device 1- A device characterized in that the slide plate (1) is formed to press the sliding plate (1) against the edge of the base object. 2. The device according to claim 1, in which the sliding plate (1) is connected to a prism (2), which prism is connected to the blade (3).
) is supported by a device line. 3) In the device according to claim 1, the sliding plate (1) is connected to the blade (3), and the nuclear force is applied to the prism (1).
1) A device characterized by being supported by. 4) In the device according to any one of claims 1 to 3, the sliding plate (1) is made of a heat-stable hard material, in particular a hard alloy. 3.5) A device according to any one of the dimensions of claims 1 to 4, characterized in that the sliding plate (1) and its supporting device are characterized in that A device characterized in that it is heated to about 40°C. 6) In the device according to claim 1, the sliding plate ( ) and its supporting device are displaced according to the width of the basic object using a lever (4) arranged on the device. A device characterized in that it is enabled and still capable of turning away from the range of the steam device.
JP1191982A 1981-06-29 1982-01-29 Device for preventing evaporation deposit from sticking to back side of tape-form article Granted JPS583974A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD23122081A DD159995B1 (en) 1981-06-29 1981-06-29 DEVICE FOR PREVENTING THE BACK SIDE TAMPERING OF BANDFOOHIGEN SUBSTRATES
DD23C/231220 1981-06-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS583974A true JPS583974A (en) 1983-01-10
JPS6214028B2 JPS6214028B2 (en) 1987-03-31

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WO2017136485A1 (en) 2016-02-03 2017-08-10 Greenwave Systems PTE Ltd. Motion sensor using linear array of irdetectors
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