JPS5837507U - 曲面度検査器 - Google Patents
曲面度検査器Info
- Publication number
- JPS5837507U JPS5837507U JP13263881U JP13263881U JPS5837507U JP S5837507 U JPS5837507 U JP S5837507U JP 13263881 U JP13263881 U JP 13263881U JP 13263881 U JP13263881 U JP 13263881U JP S5837507 U JPS5837507 U JP S5837507U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- curved surface
- measured
- parallel light
- condenser
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図ないし第3図は本考案の一実施例を示すもので、
第1図は装置全体の概略縦断面図、第2図は集光体の平
面図、第3図は集光体及びマスターの縦断面図、第4図
は集光体の変形例を示す集光体及びマスターの縦断面図
、第5図は集光体の別の変形例を示す平面図、第6図は
第5図に示す集光体の縦断面図である。 1・・・平行光照射部、2川被検物、2A・・・被測定
曲面、6・・・集光体、7・・・レンズ部、11・・・
接眼部。
第1図は装置全体の概略縦断面図、第2図は集光体の平
面図、第3図は集光体及びマスターの縦断面図、第4図
は集光体の変形例を示す集光体及びマスターの縦断面図
、第5図は集光体の別の変形例を示す平面図、第6図は
第5図に示す集光体の縦断面図である。 1・・・平行光照射部、2川被検物、2A・・・被測定
曲面、6・・・集光体、7・・・レンズ部、11・・・
接眼部。
Claims (1)
- 被検物の被測定曲面に向けて平行光を発する平行光照射
部と、該平行光照射部から発せられた光を個々に前記被
測定曲面に向けて集光させる複数個のレンズ部を備えた
集光体と、該集光体を通して前記被測定曲面を見るため
の接眼部とを有し、□前記各レンズ部は、所望の曲面上
の各所に個々の焦点が合うように形成されていることを
特徴とする曲面度検査器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13263881U JPS5837507U (ja) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | 曲面度検査器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13263881U JPS5837507U (ja) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | 曲面度検査器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5837507U true JPS5837507U (ja) | 1983-03-11 |
Family
ID=29926162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13263881U Pending JPS5837507U (ja) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | 曲面度検査器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5837507U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015505039A (ja) * | 2011-12-12 | 2015-02-16 | ザイゴ コーポレーションZygo Corporation | 変調光を使用した非接触表面形状評価 |
-
1981
- 1981-09-08 JP JP13263881U patent/JPS5837507U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015505039A (ja) * | 2011-12-12 | 2015-02-16 | ザイゴ コーポレーションZygo Corporation | 変調光を使用した非接触表面形状評価 |
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