JPS5837507U - 曲面度検査器 - Google Patents

曲面度検査器

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JPS5837507U
JPS5837507U JP13263881U JP13263881U JPS5837507U JP S5837507 U JPS5837507 U JP S5837507U JP 13263881 U JP13263881 U JP 13263881U JP 13263881 U JP13263881 U JP 13263881U JP S5837507 U JPS5837507 U JP S5837507U
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JP
Japan
Prior art keywords
curved surface
measured
parallel light
condenser
light
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Pending
Application number
JP13263881U
Other languages
English (en)
Inventor
隆夫 森本
中川 順彦
Original Assignee
株式会社リコー
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社リコー filed Critical 株式会社リコー
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は本考案の一実施例を示すもので、
第1図は装置全体の概略縦断面図、第2図は集光体の平
面図、第3図は集光体及びマスターの縦断面図、第4図
は集光体の変形例を示す集光体及びマスターの縦断面図
、第5図は集光体の別の変形例を示す平面図、第6図は
第5図に示す集光体の縦断面図である。 1・・・平行光照射部、2川被検物、2A・・・被測定
曲面、6・・・集光体、7・・・レンズ部、11・・・
接眼部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被検物の被測定曲面に向けて平行光を発する平行光照射
    部と、該平行光照射部から発せられた光を個々に前記被
    測定曲面に向けて集光させる複数個のレンズ部を備えた
    集光体と、該集光体を通して前記被測定曲面を見るため
    の接眼部とを有し、□前記各レンズ部は、所望の曲面上
    の各所に個々の焦点が合うように形成されていることを
    特徴とする曲面度検査器。
JP13263881U 1981-09-08 1981-09-08 曲面度検査器 Pending JPS5837507U (ja)

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JP13263881U JPS5837507U (ja) 1981-09-08 1981-09-08 曲面度検査器

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JP13263881U JPS5837507U (ja) 1981-09-08 1981-09-08 曲面度検査器

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Publication Number Publication Date
JPS5837507U true JPS5837507U (ja) 1983-03-11

Family

ID=29926162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13263881U Pending JPS5837507U (ja) 1981-09-08 1981-09-08 曲面度検査器

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JP (1) JPS5837507U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015505039A (ja) * 2011-12-12 2015-02-16 ザイゴ コーポレーションZygo Corporation 変調光を使用した非接触表面形状評価

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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