JPS5834318A - 渦流型流量計 - Google Patents

渦流型流量計

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JPS5834318A
JPS5834318A JP12729781A JP12729781A JPS5834318A JP S5834318 A JPS5834318 A JP S5834318A JP 12729781 A JP12729781 A JP 12729781A JP 12729781 A JP12729781 A JP 12729781A JP S5834318 A JPS5834318 A JP S5834318A
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JP
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flow
sensor
tube
vortex
transducer
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JP12729781A
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ピ−タ−・ジエイ・ハ−ズル
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Fischer and Porter Co
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明け、渦流型1lIfr、 j+l計に関し、特
に渦発生体及び被測定流体流計・に比例した周波数の出
力信号を生じるように、センサリンクアセンブリによっ
て外部トルクトランスノユーサに接続されたトルク管に
よって流管内にねじれ支持さねたセンナを備え、極端な
動作条件下でも液体または気体の流量を梢密it’ll
ボできる渦流型流−敗田゛に関する一一定の条fF下で
、流管内に[竜書物があると、周ルJ的にa;’Jを生
ずることが良く知られている。レイノルズ数が小さい場
合[H1下流への流れは層流となるが、レイノルズ数が
大きくなると、カルマン渦として知られている規則的な
洞・ぜターンが生じる。これらの渦の発生頻度は流量の
関数である。
各種の制御機能を行うため、処理または供冶ゴれる流体
の体積流■を測定する流ji計の開発に、この現象が利
用さilでいる。この原理で動作する流量計は、米国特
許第3,116,639号と第3,650,152号に
開示されている。米国特許第3,888,120−号及
び第4,162,238号に開示されているようなMS
 3tl、型流量計は、精密な体積流月・または質駄流
量の測定を行うことができる。
ここでは、その内容は参考程度にとどめておくが流管に
取り付けられた渦発生体によって生じた流体振動が、ベ
ーンを微小運動しかさせないねじれサスペンションで枢
支された下流の平衡型ベーンセンサによって検出される
渦流型流量計が提案されている。この渦発生体は、そこ
を通して流れる流入流体を分流させ、両側に交互に渦な
発生させる。ベーンセンサの両側を通る渦列は、交互に
時計方向及び反時計方向のトルクを生じさせる流体力を
発生させ、被測定流体の流量に比例した振動数で、セン
サを機械的に振動させる。
ここでは、その内容は参考程度にとどめておくが、流管
の長平方向の軸に対して対称的に設けられた一対の平行
な脚を備えた引張り力で動作するセンサが、渦発生体の
後方にねじれ支持されてい(5) る渦流型流量計が提案されている。
引張り力で!!10作するセンサでは、渦は渦発生体か
ら次々と離れて、渦発生体と下流のセンサとの間の間隙
の両側に交互に現れるので、それぞれの渦によって生じ
た低圧領域は、渦発生体を通る流体流の結果としてこの
間隙に生じたよどんだ領域を、渦に近い側のセンナの脚
の前方位置まで変位させ、それから流体流は、センサの
他方の脚の周シを通るので、枢軸の周シにトルクが生じ
る。このトルクは、交互に生じて、ねじれ支持されたセ
ンサを、流量に応じた周波数で振動させる。
提案されている渦流型流量計では、ねじれ支持されたセ
ンサの振動は、その一端が流管を通して突出するトラニ
オンまたは軸に取カ付けられ、他端が固定きれる弾力性
ビームに取り付けられたストレンダージであるトランス
ジューサによって検出される。軸が振動するときに生じ
るビームの変形はストレングージによって、周波数が流
量に対応する電気信号に変換される。
ねじれ支持されたセンサを有する渦流型流量計(6) の重要な利点は、この計器が液体および気体の両方の流
量測定に有効で、精密であるということである。この渦
流型流量計は、従来の渦流型計器よりも非常に優れてい
るが、それらのトルクトランスジューサの構成はある欠
点を有しており、そのため理想的なものとは言えない。
提案さf″したトルクトランスジューサの構成は、渦流
型流量計において、ねじれ支持されたセンサと組合され
たトルクトランスジューサによって構成された検出系の
理想的要件に非常に近づいている。これらの理想的要件
とは次のようなものである。
A計器を低圧気体の測定に効果あらj〜める感jfを検
出系が有すること。
B悪条件に耐える流体流量測定に適した計器とするため
の本質的な頑丈さを検出系が有すること。
C流量計が受ける機械的振動、衝撃、及び加速力に検出
系が鈍感であること。
D検出系が気体及び液体測定で通常出くわす広範な温度
範囲及び非常に広い周波数範囲に進って動作できること
E検出系が事実上動かず、トルクトランスジューサの貼
着または取シ付は問題によって制限を受けないこと。
F検出系が比較的安価で、コンパクトな構造を有するも
のであること。
提案されたトルクトランスジューサの構成では、トラン
スゾューサは、渦流型計器のねじれ支持されたセンサが
枢支さh、その両側に2つの平行な平坦面を有している
軸延長部と共働する。トランスジューサアセンブリは、
共通面内にあって、軸延長部の一方の面と、第1の予荷
重グロック間に設けられた第1の対の並列接続された圧
電素子と、共通面内にあって、軸延長部の反対側の面と
、第2の予荷重プロ、り間に設けられた第2の並列接続
された圧!素子によって構成され、延長部の動きは予め
荷重された素子によって成る程度まで制限され、そのた
め延長部に殆んど動がない。2対の並列接続された素子
は、出力端子に接続濱れ、軸、延長部の面に関して分極
するので、交互に生じる時計方向及び反時計方向のトル
クにより、相互接続された素子は、同一周波数の交流電
圧を発生する。
提案された渦流型流量計では、それぞれの場合における
センサは、流管の穴を通して突出する軸にねじれ支持さ
れ、この軸の自由端は、外部のトランスジューサに接続
されて、センサの振動を対応する電気信号に変換する。
この穴を通して流体が漏れないようにするために、そこ
を通る軸は、ネオプレンまたはそれと同等の弾性と物理
的性質を有する材料製の弾性シールを有している。
非常に熱いか非常に冷い腐蝕性流体を測定する時でも、
弾性シールは通常の動作条件下で有効に機能するが、極
端な条件下では、シールとして満足なものではない。こ
うして弾性シールは、蒸気または液体塩の場合のような
極めて高温な動作条件で、或いは液体窒素または酸素、
または液体天然ガスのような低温液体を伴う極低温下で
は破壊してしまう。
以上の観点から、この発明の主目的は、流管内(9) にねじれ支持されたセンサが、被測定流体の流せに比例
した周波数で振動し、このねじれ支持は・弾性シールを
必要とせずに、センサを外部のトランスジューサに接続
する構成で、それ故、流管は無きすの(完全な)ままで
あシ、計器は極端な条件下でも有効に動作し得る渦流型
流量計を提供することである。
特に、この発明の目的は、センナがトルク管のねじれ支
持された前述の型のもので、流管の外側の圧電トルクト
ランスジューサと、更にトランスジューサをトルク管を
通してセンナに接続しているセンサリンクアセンブリを
備えた流量計を提供することにある。
また、この発明の目的は、トランスジューサを、センサ
に伝達される振動力に鈍感にする隔離体を備えたセンサ
リンクアセンブリを提供することである。
更にこの発明の目的は、アセンブリに生じた曲げ及び芯
を外れさす力を緩和するように作用する連結素子を備え
たセンサリンクアセンブリ?提供(10) することである。
簡単に言えば、これらの目的は、極r、IMな動作条件
下でも液体または気体の流量を測定できる渦6Ii型流
量計において達成される。測定される液体は、中に取υ
付は固定された渦発生体を有する流管全通して導かれる
。センサは渦発生体の後方下流で、流管の流れ方向の軸
に垂直な枢軸上にねじれ支持されており、このねじれ支
持体は、ペースが流管の穴の中に挿入されて、それに溶
着さi″1.、先端が流管からの流体漏れを防止する密
閉構造とするようにセンサの一端に溶着されたトルク管
を有している。
動作について言えば、流入流体流が、渦発生体によって
分岐させられ、そこを通って流れると、渦発生体から渦
が次々と離れ、センサの両側に交互に現れて、枢軸の周
シに交互に方向の変わるトルクを発生させ、センサを流
体流量に比例した周波数で振動させる。これらの振動は
、トルク管の中へ同軸に延び、その先端に溶着されたロ
リドを有するリンクアセンブリによってセンサに接続さ
れた外部のトルクトランスジユーザにより対応する電気
信号に変換される。更に他の目的及び特徴と同様この発
明を一層理解し得るように、添附図面と共に詳細VC説
明する。
@1図を参照すると、この発明による検出系を備えた渦
流型流訴計が示これている。このメータは、端部フラン
ジIOA、IOBを有する流管10を備えている。実際
には、メータ本体として作用する流管10は、流量が測
定される液体または気体を輸送するノロセスライン中に
設けられ、その端j91〜フランジは、ラインの上流管
及び下流管の端部フランジの間に挾持さhる。このメー
タに備えられたねじれ支持されたセンサは任意の他のね
じれ支持さitたセンサにもよいことは理解されるであ
ろう。
一般K 、正方形断面の切り立った部材、すなわち、渦
発生体11が、流管10(円形断面を有するものとして
示されている)内に横断的に取り付りられる。渦発生体
11の長手軸Yは、流管10の流体の流!+、る方向の
軸Xに垂直である。流れ込んできて、渦発生体11に突
当る流れは、分けられ、カルマン渦流として流れを乱す
。この渦発生体11ば、良く知られた任意のもので良い
端部の輪郭が流管11の曲率と同じである一対の平行な
脚12A、12Bを備えた矩形フレーム形状を有する引
張りによシ作動するねじれセンサ12は、渦発生体11
の後方の流管10の下流位置に横断的に取り付けられる
。センサ121!その中心が、そのフレームの横部材に
取り付けられた上下のトルク管13.14によって枢支
されている。このトルク管13.14は、軸Yに平行で
、流体の流れる方向の軸Xに垂直な枢14IIY’上に
ある。
センサ121d、枢軸Y′に対して静的及び動的にバラ
ンスしておシ、脚12A、12Bは、この軸に対して対
称的に配置されている。
下側トルク管13は、流管10の内壁に溶着されたベー
スと、センサ12の下(Ill横部材12Cの中心に溶
着された先端を有している。第4図で最も良く解る様に
、上側トルク管14は、その段付ペース部14Aが流管
10の壁を通して延びる同(13) 形状の穴の中に挿入され、このベース部14Aの端部が
流管10に溶着されるように配置されている。トルク管
14の先端部14Bは、センサ12の上側横部材120
の中心において、穴の中に挿入され、その先端部1rま
、この横部材12DK8着されている。
センサ12は、上側トルク管14のねじれを伝達する役
目をするセンサリンクアセンブリを介し、外部のトルク
トランスジューサ15に連結されている。このトランス
ジューサは、平衡型の圧電構造のものが望ましい。トラ
ンスジューサ151d、固定された予荷重グロックと、
センサリンクアセンブリのロッド延長部16の各面との
間にそれぞれ間挿された一対のサグアセンツ’) 15
 A、15 Bを備え・各サラアセンブリ15A115
Bは・並べられた一対の圧電素子(PH* PH−P3
* P4)を備えている。ロッド延長部16Fi、トル
ク管14を通して同軸に延び、トルク管の先端14Bに
係合し、それに溶着されている主ロッド18に連結部材
17によって連結されている。
(14) 連結部材17は、円形フランジがアネロイド晴雨計のも
のと同様のセルを形成するように、共に溶着された対向
した一対のカッl状たわみ性ダイヤフラムにより構成さ
れている。トルクトランスジや−サ15は、円筒状中間
部20によって、環状下側部21に連結されている隔P
iIl目本の環状上側部19に′a置され、連結部材1
7は、この隔離体内に配置される。下側部21は、ねじ
込みクランプ22.23によって流管10に固定される
センサ12が枢軸Y′の周′り全振動して、測定される
流体流量に比例する周波数の信号を生じると、トランス
ジューサ15がセンサ12の運動を検出するトルク管1
3.14によるセンサ12のねじれサスペンションは、
最大トルクに、しける回転速オーダの微小運動に制限し
ている。従って、センサ12は、動作中殆んど勧かない
動作を説明すると被測定流入流体tま、渦発生体11に
よって、その両側縁を通る2つの流れに分けられて、渦
発生体11とセンサ12との間の間隙の一方の側、それ
から他方の側において流量に比例した繰り返し率で交互
に渦を発生する。
この渦発生作用の結果として、移動する両列は。
流管10の右側及び左側を流れる。流体が渦発生体11
を通って流れると、その背後の間隙に初め流管10の軸
XK整列したよどんだ領域が生じる。
一つの渦がその間隙に近い流管の右側に発生ずると、こ
の渦は流管の軸Xから、よどんだ領域を変位させるよう
に作用する低圧領域を生じさせる。
この低圧領域は、よどんだ領域を、低圧領域の方向で後
方のセンナ0脚12Bの前方の安定位置1で引っ張って
くるように作用する。このようなよどんだ領域の変位の
結果として、流入流体は、他方の脚12Aの周り及びそ
れを通って、又)卸の間の開放通路を通って流れること
になる。この作用によって、脚12Aに引張力が加えら
れ、枢軸Y′の周りに時計方向のトルクが生ずる。
前記間隙近くの流′u10の左側に発生して、よどんだ
領域を、脚12Aの前方の安定位置まで引張って行く低
圧領域を生じさせる後続の渦の場合は状況が逆となる。
この場合には、流入流体は、脚12Bの周)及びそh、
を通って、また、脚の間の開放通路を通って流れて、脚
12Bに引張り力を加え、枢軸Y′の周りに反時計回り
の方向のトルクを生じさせる。こうして、ねじれ支持さ
れた後方のセンサ12は、被測定流体流量に応じた周波
数で枢軸Y′の周)を振動する。
このセンサ構造は、その中心の枢軸Y′に関して対称で
あるので、センサは、良く平衡している。
平衡したセンサが、機能的及び構造的に有利であること
は明らかであるが、特に気体の測定に有用である。とい
うのは、気体のvfI度は、液体の密度よりずっと小さ
いため、渦により生じる力がずっと小さいからである。
そして、平衡センサσ、微小な動きしかさせないねじれ
サスベンジ、ンで枢支されているので、粘着の問題は生
じない。
この計器構造では、ねじれ支持されたセンサ12によυ
生じるねじれ力は、流管10Vc溶着された上側トルク
管14の外側に加えられる。その結呆生じるトルク管1
4のねじれ運動は、主ロッド18、(17) 連結部材17、センサリンクアセンブリの0.ド延長部
16によって外部の圧電トルクトランスジューサ15に
伝達される。従ってこの計器の構造によれば、シールの
必要はない。というのけ、溶着トルク管構造により、流
管は完全性が保持されるからである。
この構造により、弾性体シールの使用時に生じる問題が
解消され、極端な温度条件下で流量計を動作させること
ができるけれども、無シール構造により計器を実際の流
量測定装置として有効に働かせるために、解決しなけれ
ばならない新しい全体的な一連の問題が生じる。
先づ第一に、トルク管は内側の流量計圧力に十分耐え、
最大流体流において生じる力にも十分耐え得る程に強い
ものでなければならない。同時eこ、トルク管は、予期
される流速の範囲に訃ける計器の最大動作周波数より十
分高い共振周波数特性をセンサ12に与え得る程十分に
硬くなければならない。この後者の要件が必要とされる
のは、もし、センナの共振周波数が流量計の端太動作周
波数の(18)− 近傍にあると、センサが共振して、出力信号に大きな外
乱を与えてし1うからである。
これらの強度と硬度の要件を満たすスチール捷たは他の
適当な金属製トルク管にシいては、何ら問題は生じない
。一方、トルク検出系は、低速流体流にも感度が良くな
けtしばならない。強度と硬度の基準を満たす検出系は
、数オーダーだけ、トルクトランスジューサに伝達され
る力を減衰させるように作用する。
圧電型トルクトランスノー−サからの流量信号を受信し
、処理する電子系の利得は、トルク管を、必要とされる
硬さの構造にしたことによシ生じる信号の減衰を補償す
るように大きくできるが、流管を通して、流体流以外の
源から発生する背景、またはノイズ信号によシ好ましく
ない信号対雑音比になってしまう。なぜなら、雑音成分
は減衰し友流量信号に対して相対的に大きくなるからで
ある。
従って、信号対雑音比を改善するために、雑音成分を減
衰させなければならない。しかし、連結部材17と隔離
体19.20.21がこうした減衰作用をどのように行
うかを説明する前に、雑音源を先づ考えなければならな
い。ここで説明した型の流畦計では、ねじれ支持された
センサ12は、流管10の取り付け7ランジIOAとI
OBに比較的近接している。従って、流管フランジを、
ラインの上流の上流管と下流管の7ランゾにボルト締め
することにより、流管10を流路に挿入すると、7ラン
ジIOAとIOBに非常に大きな力が加えられる。そこ
で、もし上流管と下流管が振動を受けやすい工業プロセ
スラインにあれば、流管フランジIOAとIOBの面に
は振動による力が加えられるであろう。
外部のトルクトランスジューサ15が、流管10に直接
取り付けられていれば、流管に伝達される振動による力
の大部分は、トランスジユーザにも伝えられ、それによ
って生じる信号の雑音成分は、非常に大きくなるであろ
う。平衡壓圧電トルクトランスノユーサはx、y、z面
において、すぐれた信号除去能力を有しているが、それ
でも振動によシ生じる望ましくない雑音は、ある場合に
は相当なレベルにまで達する。次に、これらの振動によ
る力をいかにして減衰させるかを説明する。
隔離体の上側環状部19け比較的厚く、従って硬いこと
が図面で理解される。しかし、円筒中間部20と環状下
側部21け故意に相当薄く、たわみ性にしである。その
結果、外力によシ流管がどんなに僅かにたわんでも、円
筒中間部20や環状下側部21がたわみ、トランスジユ
ーザが取り付けられている隔離体の上側部19には、僅
かな力しか加えられない。こうして、トランスジューサ
に伝達される振動による力は小さくなり、それによって
生じる信号中の雑音成分は力、トされる。。
適切な設計の隔離体v4造では、隔離体によってトラン
スジューサ15に伝えられる力は計器本体に存在する力
よシも、数オーダー小さくなる。例えば、隔離体のたわ
み柱下側部22の効力に、それを回旋状または波形ダイ
ヤフラム形状にして、それに加えられる力を、もっと有
効に紋服させることにより高まる。
(21) 更に、この隔離体構造は、検出系の熱特性において、一
定の役割を果たす。というのは、薄い下側及び中間金属
部21.20は計器本体(即ち流管10)と上側部19
に取シ付けられたトランスジユーザ15との間に熱伝導
の良くない延長路を形成している。この延長路は、トラ
ンスジユーザを、急激な温度変化から効果的に絶縁し、
計器本体に近接しているにも拘わらず、はぼ周囲温度で
トランスジー−サが動作し得るようにしている。
主ロッド18をロッド延長部16に連結しているセンサ
リンクアセンブリの連結部材17け、曲げ力及び芯を外
れさす力の効果を最小に抑えるねじれ力連結部材として
機能する。この連結部材は、トルク管14がセンサ12
に作用する力によって曲げられる時、衝撃を緩和し、そ
れによってセンサリンクアセングリに生じた曲げ力を減
衰させるように働き、これらの曲げ力がトランスジユー
ザ15に達しないようにしている。
また、連結部材17は、検出系の熱的特性に役割を果た
す。隔離体の場合の様に、連結部材17(22) は、センサ12とトランスジューサ150間の熱伝導路
を延ばすように作用し、こうして、トランスジューサを
急激な温健変化から絶縁している。
更に、連結部材17は、より重要な機能を行っている。
というのは、流量計に急激な温度変化が生じると、トル
ク管14とセンサリンクアセンブリは、一時的に異った
温度レベルを呈する。その結果、一時的な温度差によっ
て引き起こされる伸縮差は、連結部材17が無いI局舎
には、トランスジューサ15に加えられる大きな力を生
じる。しかし、トランスジューサ15とトルク管14の
間に連結部材17を設けると、一時的な湛II差Vこよ
って生じる伸縮差は、大部分が連結部材17によって吸
収され、そのためトランスジューサ15には大した力が
加らない。
トルク管に取り付けられたねじれセンサを有゛rるこの
発明による渦流型流f計の推奨実施例を示し、説明して
きたが、この発明の思想から逸脱しない範囲で多くの変
形や修正かり能であることが理解されるであろう。従っ
て、固定した渦発生体と、ねじれ支持されたセンサを互
いに分離し、別(ttlのものとした渦流型流量計の代
りに、これらの機能及び構造を共通素子に結合しても良
い。即ち、渦発生体を有するねじれ支持されたセンサで
ある。
この場合には、センサば、渦がその本体から離れる結果
として振動を生じ、渦発生体は、トルク管に取り付けら
れ、リンクアセングリVこよって、前述した方法で、外
部トランスジューサに連結される。
【図面の簡単な説明】
fA1図は、ねじれ支持されたセンサと、この発明によ
るセンサリンクアセンブリによってセンサに連結さハた
l・ルクトランスジューサによシt1々成さ7′した検
出系を有する渦流型流量計の概略斜視図、第2図は、流
i1h汁の立面図、第3図は、第2図の線3−3面に、
ひける横断面図、第4図は、第3図に示した断面の拡大
図、第5図は、トルクトランスノユーサの平面図である
。 10・・・流管、11・・・渦発生体、12・・・セン
サ、13.14・・・トルク管、15・・・トランスジ
ューサ、16・・・ロッド延長部、17・・・連結部材
、18・・・主ロッド、19 、20 、21・・・隔
離体。 ’f9許出IA人   フィッシャーQエンド・ポータ
ー書コンツヤニー代理人草 野  卓 (25) 71=2  図         第3図才 5 図 74 図 102−

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)(A)  被測定流体が、流れ方向の軸に沿って
    導入される流管; (B)  前記流体をさえぎるように流管内に取り付け
    られ、そこからjl’−’6が離れてい〈渦発生体;(
    C)  流れ方向の軸に直角に、枢軸に沿って前記流管
    内にねじれ支持され、そのため前記渦によって、流量に
    比例した周波数で枢軸の周りを振動し、その支持体は、
    ペースが前記流管に連結これ、先端が、トルク管内から
    流体の漏れを防市するようにセンサの一端に連結された
    トルク管を備えているセンサ; (D)  そのセンサの振動を一対応する1d気信号に
    変換する前記流管の外側に設けられたトランスジューサ
    ; (匂 前記センサをトランスジ、−サに連結し、前記ト
    ルク管内に延びて、その先端に連結される(1) 主ロッドを備え、それによって、トルク管の運動が、ロ
    ッドを介して前記トランスジー−サに伝達さh、るセン
    サリンクアセンブリ; から成る渦流型流量計。
  2. (2)前記流管は、流体を輸送するラインの上流管と下
    流管の端部フランジ間に加圧挾持されるフランジを端部
    に備えている特許請求の範囲第1項記載の渦#、型6+
    e曾計〇
  3. (3)前記渦発生体は、前記枢軸に平行な軸に沿って、
    前記流管内に横断的に取り付けられた特許請求の範囲第
    1項記載の渦流型流量計。
  4. (4)前記支持体は、先端が、他端においてセンサに連
    結され、ペースが流管に連結されている特許請求の範囲
    第1項記載の渦流型流量計。
  5. (5)  前II己トルク管は、強tFCの大きな金属
    製で、比較的硬い特許請求の範囲第4項記載の渦流型流
    量計。
  6. (6)  前記トルク管は、共振周波数が、流量計の動
    作範囲の最大周波数よりも十分高い共振特性を、前記セ
    ンサに与える硬さである特許請求の範囲第(2) 5項記載の渦流型流量計。
  7. (7)前記主ロッドを、前記トランスジューサに連結す
    るように主ロッドに連結されたロッド延長部を備えた特
    iI″f請求の範囲第1項記載の渦流型流量計。
  8. (8)前記ロッド延長部は、ダイアスラム連結部材によ
    って主ロッドに連結されて、前記トルク管に加えられる
    曲げ力の伝達全減衰させる特許請求の範囲第7項記載の
    渦流型流1計。
  9. (9)  前記トランスジューサは、前記口、yド延長
    部の一方の側と、圧電素子を加圧する静止予荷重ブロッ
    クの間に挿入された少なくとも1つの圧′直結晶素子に
    よって構成されている特許請求の範囲第8項記載の渦流
    型流量計。 萌 前記トランスジューサは、前記連結部材を囲む隔離
    体の上側環状部に係留し、前記上側部は、流管の外面に
    固定された下側環状部に、円筒状中間部によって連結さ
    れ、そのため、前記トランスジューサは、流管から離間
    する特WF Iりv求の範囲第8項記載の渦流型流量計
    。 θつ 前記隔離体の下側部と中間部は、比較的薄く、た
    わみ性である特許請求の範囲第10項記載の渦流型流i
    n fit 、。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5217052A (en) * 1975-07-30 1977-02-08 Yokogawa Hokushin Electric Corp Current meter
JPS5389765A (en) * 1977-01-13 1978-08-07 Fischer & Porter Co Vortex flow type flow meter with external senser
JPS55158515A (en) * 1979-05-10 1980-12-10 Fischer & Porter Co Eddy flowmeter

Patent Citations (3)

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