JPS5828712A - 暗視野照明用光学系 - Google Patents
暗視野照明用光学系Info
- Publication number
- JPS5828712A JPS5828712A JP12593181A JP12593181A JPS5828712A JP S5828712 A JPS5828712 A JP S5828712A JP 12593181 A JP12593181 A JP 12593181A JP 12593181 A JP12593181 A JP 12593181A JP S5828712 A JPS5828712 A JP S5828712A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- objective lens
- optical system
- light
- dark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/10—Condensers affording dark-field illumination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
単で組立てが容易であり、且つ高倍率で解像力の高い観
察を可能にした暗視野照明用光学系に関するものである
。
察を可能にした暗視野照明用光学系に関するものである
。
一般に暗視野照明用光学系は第１図に示すような構成を
有していて、光源１からの光をその前方に２かれたリン
グ状開ロヲ育する絞シ２を通し、コンデンサーレンズ３
により一度平行光束にしだ後、γｍ，察用光用光学系軸
と同軸で傾斜させて配置された輪帯状ミラー４で反射さ
せた後に対物レンズ５とその周囲に設けられだ鏡胴６と
で形成される輪帯状の開口を通し、対物レンズの先端に
これと同軸に設けられた輪帯状の円？１ｆ：鏡７などで
反射させて標本８を照明するようになっていた。このよ
うな暗視野照明用光学系は、開口部が輪帯状であること
や、対物レンズ５を支える鏡枠９に」：る光束のケラレ
（第２図に示した如く、照明光学系の瞳面において環状
の照明光部分１０に鏡枠９によるケラレ部分１１が生じ
てしまうこと）や、標本８による照明光の直接反射光が
対物レンズ５に入射してはいけない笠の理由から透過照
明用光学系で利用されるケーラー照明の様なむらの無い
照明をすることが困難であった。そのため、照明系の光
量むら（照明むら）を無くすため様々な試みがなされて
いる。その一つとして、対物レンズ鏡胴内の照明用開口
内にスリガラス状の光学部材をおきこれによって照明光
束を拡散させ、拡散した光を対物レンズと同軸に該対物
レンズの先端伺近に設けられた結像部材で結像させて照
明むらを減少させるようにしている。父、高倍率の対物
レンズでも照明光の標本面による直接反射光が対物レン
ズに入射しないように、拡散部洞により拡散された光を
標本」二に導くだめに対物レンズの先端付近に集光レン
ズを設けたり、反射鏡を曲率をもたせたりしていた。し
かし、以上のよう々方法では拡散用の光学部材、対物レ
ンズ先端付近に設けられり集光レンズやこれらを固定す
るだめの鏡枠部材など構成部品点数が増大する。壕だ、
これらの部材各々の製作誤差により対物レンズ光学系に
対する偏芯が生じ易く、照明むらをバラツキなく除去す
るには部品精度を厳しく押えるか或は複雑な組立て調整
を行う必要がある。従って、製造が面倒になり目、つ高
価に々るだめ好ましくなかった。
有していて、光源１からの光をその前方に２かれたリン
グ状開ロヲ育する絞シ２を通し、コンデンサーレンズ３
により一度平行光束にしだ後、γｍ，察用光用光学系軸
と同軸で傾斜させて配置された輪帯状ミラー４で反射さ
せた後に対物レンズ５とその周囲に設けられだ鏡胴６と
で形成される輪帯状の開口を通し、対物レンズの先端に
これと同軸に設けられた輪帯状の円？１ｆ：鏡７などで
反射させて標本８を照明するようになっていた。このよ
うな暗視野照明用光学系は、開口部が輪帯状であること
や、対物レンズ５を支える鏡枠９に」：る光束のケラレ
（第２図に示した如く、照明光学系の瞳面において環状
の照明光部分１０に鏡枠９によるケラレ部分１１が生じ
てしまうこと）や、標本８による照明光の直接反射光が
対物レンズ５に入射してはいけない笠の理由から透過照
明用光学系で利用されるケーラー照明の様なむらの無い
照明をすることが困難であった。そのため、照明系の光
量むら（照明むら）を無くすため様々な試みがなされて
いる。その一つとして、対物レンズ鏡胴内の照明用開口
内にスリガラス状の光学部材をおきこれによって照明光
束を拡散させ、拡散した光を対物レンズと同軸に該対物
レンズの先端伺近に設けられた結像部材で結像させて照
明むらを減少させるようにしている。父、高倍率の対物
レンズでも照明光の標本面による直接反射光が対物レン
ズに入射しないように、拡散部洞により拡散された光を
標本」二に導くだめに対物レンズの先端付近に集光レン
ズを設けたり、反射鏡を曲率をもたせたりしていた。し
かし、以上のよう々方法では拡散用の光学部材、対物レ
ンズ先端付近に設けられり集光レンズやこれらを固定す
るだめの鏡枠部材など構成部品点数が増大する。壕だ、
これらの部材各々の製作誤差により対物レンズ光学系に
対する偏芯が生じ易く、照明むらをバラツキなく除去す
るには部品精度を厳しく押えるか或は複雑な組立て調整
を行う必要がある。従って、製造が面倒になり目、つ高
価に々るだめ好ましくなかった。
一方、対物レンズの先端付近に反射鏡を設けた場合は、
照明光学系内にゴミやホコリが侵入し易く、汚れも付着
し易い。更に、油等が侵入し易いことから高倍率の対物
レンズとして油浸対物レンズを使うことが出来す、ＮＡ
の大きな解像力の高い検鏡を行うことが出来なかった。
照明光学系内にゴミやホコリが侵入し易く、汚れも付着
し易い。更に、油等が侵入し易いことから高倍率の対物
レンズとして油浸対物レンズを使うことが出来す、ＮＡ
の大きな解像力の高い検鏡を行うことが出来なかった。
父、対物レンズの先端付近に集光レンズを設けて油浸対
物レンズを使えるようにした」場合でも、照明光学系内
にゴミやホコリが浸入し易く好寸しくなかった。更に、
拡散部材により照明光学系内で拡散された照＋ｙ］光束
が鏡胴内壁で再び散乱されて迷光として照明光束内に混
入し、標本面での直接反射光として対物レンズに入射す
ることも考えられる。そのため、鏡胴内壁には反射防止
塗装を施こして迷光の混入を防いでいるが、このために
照明光の光間゛を充分に標本へ導くことが出来ず、光−
量の損失が太きかった。
物レンズを使えるようにした」場合でも、照明光学系内
にゴミやホコリが浸入し易く好寸しくなかった。更に、
拡散部材により照明光学系内で拡散された照＋ｙ］光束
が鏡胴内壁で再び散乱されて迷光として照明光束内に混
入し、標本面での直接反射光として対物レンズに入射す
ることも考えられる。そのため、鏡胴内壁には反射防止
塗装を施こして迷光の混入を防いでいるが、このために
照明光の光間゛を充分に標本へ導くことが出来ず、光−
量の損失が太きかった。
本発明は、上記間ｊＭ点に鑑み、暗視野照明光路中即ち
対物レンズ鏡胴と対物レンズ光学系との間に、該対物レ
ンズ光学系と同窓的に、照明光入射端に拡散面を照明光
射出端付近に反射面を夫々有する厚い光学部材を配置す
ることによって、照明むらをなくシ、構成が簡単で組立
てが容易と々す、高倍率で解像力の高い観察を可能にし
た暗視野照明用光学系を提供せんと１″るものであるが
、以下第３図に示した一実施例に基づき上記従来例と同
一の部材には同一符号を伺してこれを説明すれば、１２
は鏡胴６と対物レンズ５との間に該対物レンズ５と同窓
的に配置されていてその照明光入射端１２ａに拡散面】
３が照明光射出端１２１〕付近に反射面１４が夫々形成
された厚い光学部材である。
対物レンズ鏡胴と対物レンズ光学系との間に、該対物レ
ンズ光学系と同窓的に、照明光入射端に拡散面を照明光
射出端付近に反射面を夫々有する厚い光学部材を配置す
ることによって、照明むらをなくシ、構成が簡単で組立
てが容易と々す、高倍率で解像力の高い観察を可能にし
た暗視野照明用光学系を提供せんと１″るものであるが
、以下第３図に示した一実施例に基づき上記従来例と同
一の部材には同一符号を伺してこれを説明すれば、１２
は鏡胴６と対物レンズ５との間に該対物レンズ５と同窓
的に配置されていてその照明光入射端１２ａに拡散面】
３が照明光射出端１２１〕付近に反射面１４が夫々形成
された厚い光学部材である。
尚、この光学部旧１２は、上記照明光入射端】２ａが鏡
胴６のレボルノ々−螺着ネシロａ付近に位置するよう々
厚さを有していることが望捷しい。
胴６のレボルノ々−螺着ネシロａ付近に位置するよう々
厚さを有していることが望捷しい。
本発明による暗視野照明用光学系は上述の如く構成され
ているから、光源からの光は入射端１２ａに入射すると
同時に拡散面１３で拡散され、続いて光学部材１２の内
部を通過し、反射面１４で反射された後射出端１２から
標本８上へ導かれる。
ているから、光源からの光は入射端１２ａに入射すると
同時に拡散面１３で拡散され、続いて光学部材１２の内
部を通過し、反射面１４で反射された後射出端１２から
標本８上へ導かれる。
かくして、本光学系による暗視野照明が行われるが、本
光学系は光学部材１２が対物レンズ５を鏡胴６に固定す
る鏡枠の働きもあわせ持つため、照明光に鏡枠によるク
ランが生じることは無く、照明光は完全な輪帯状となる
。又、対物レンズ５と鏡胴６との１１−′１１に位置す
るが光学部材１２だけであり、而も拡散面１３及び反射
面１４が光学部材１２に一体に形成されているので、対
物レンズ５．照明光束、鐘胴６の偏芯などの誤差が最小
に押えられる。従って、照明むらのほとんどない暗視野
照明を行うことが出来る。更に、光学部材１２の一体加
工が可能であるから、拡散面１３の拡散の程度、光学部
材１２の側面１．２ ｃの反射率、光学部材１２の厚さ
即ち入射端１２ａ（拡散面１３）から射出端］ ２ ＋
） ｉでの長さを適当に選ぶことにより、より照明むら
の少ない暗視野照明を容易に行うことが出来る。又、本
光学系は、対物レンズ５及び鏡胴６以外は一個の光学部
材１２だけで済むので、構成部品点数が少なくなり、而
も光学部材１２は樹脂成形等によって安価に容易に精度
良く製作することが出来る。従って、製造が簡単になり
且つ安価になる。又、本光学系は、油浸対物レンズを使
用しても照明系への油の浸入がないので、ＮＡの大きな
高解像力を有する対物レンズの使用が可能である。父、
外部からのゴミ、ホコリ々との侵入もなく、照明光学系
の汚れによる性能低下も起こりにくい。又、本光学系は
、拡散面１３で拡散された光が光学部材１２の側面１２
Ｃで反射されて伝達され、鏡胴６の内壁での散乱等が生
じないので、光量の損失が少ない。
光学系は光学部材１２が対物レンズ５を鏡胴６に固定す
る鏡枠の働きもあわせ持つため、照明光に鏡枠によるク
ランが生じることは無く、照明光は完全な輪帯状となる
。又、対物レンズ５と鏡胴６との１１−′１１に位置す
るが光学部材１２だけであり、而も拡散面１３及び反射
面１４が光学部材１２に一体に形成されているので、対
物レンズ５．照明光束、鐘胴６の偏芯などの誤差が最小
に押えられる。従って、照明むらのほとんどない暗視野
照明を行うことが出来る。更に、光学部材１２の一体加
工が可能であるから、拡散面１３の拡散の程度、光学部
材１２の側面１．２ ｃの反射率、光学部材１２の厚さ
即ち入射端１２ａ（拡散面１３）から射出端］ ２ ＋
） ｉでの長さを適当に選ぶことにより、より照明むら
の少ない暗視野照明を容易に行うことが出来る。又、本
光学系は、対物レンズ５及び鏡胴６以外は一個の光学部
材１２だけで済むので、構成部品点数が少なくなり、而
も光学部材１２は樹脂成形等によって安価に容易に精度
良く製作することが出来る。従って、製造が簡単になり
且つ安価になる。又、本光学系は、油浸対物レンズを使
用しても照明系への油の浸入がないので、ＮＡの大きな
高解像力を有する対物レンズの使用が可能である。父、
外部からのゴミ、ホコリ々との侵入もなく、照明光学系
の汚れによる性能低下も起こりにくい。又、本光学系は
、拡散面１３で拡散された光が光学部材１２の側面１２
Ｃで反射されて伝達され、鏡胴６の内壁での散乱等が生
じないので、光量の損失が少ない。
第４図は第二の実施例を示しており、これは光学部材１
２の射出☆＃ｉｉ］ ２ ＋）に曲率を持たせたもので
ある。第５図は第三の実施例を示しており、これは光学
部本）１１２の反射面１４に曲率を持たせたものである
。第６は１は第四の実施例を示しており、これは光学部
材１２の射出端］２１）と反射面に曲率を持たせたもの
である。即ち、これらの各実施例は、いずれも光学部材
１２の一部にレンズ作用を持たせたものであって、照明
光を発散させることにより照明むらを更になくする効果
を持っていると共に、標本面８と対物レンズ最下面１５
との距雛が小さいことから倍率の高い対物レンズの照明
に適している。
２の射出☆＃ｉｉ］ ２ ＋）に曲率を持たせたもので
ある。第５図は第三の実施例を示しており、これは光学
部本）１１２の反射面１４に曲率を持たせたものである
。第６は１は第四の実施例を示しており、これは光学部
材１２の射出端］２１）と反射面に曲率を持たせたもの
である。即ち、これらの各実施例は、いずれも光学部材
１２の一部にレンズ作用を持たせたものであって、照明
光を発散させることにより照明むらを更になくする効果
を持っていると共に、標本面８と対物レンズ最下面１５
との距雛が小さいことから倍率の高い対物レンズの照明
に適している。
第７図は第五の実施例を示しており、これは光学部材１
２の射出端１２１）に曲率を持たせ、反射面を設けない
ものである。即ち、光臨からの光を拡散面１３で拡散さ
せ、光学部材１２内を通過させた後射出端１２１〕のレ
ンズ面を通って射出させ、一旦結像させた後阿び発散さ
せて標本面８−にに導いている。従って、標本面８と対
物レンズ最下面１５との距離が比較的大きい低倍の対物
レンズは、この方式によりより容易にむらのない照明を
行うことが出来る。
２の射出端１２１）に曲率を持たせ、反射面を設けない
ものである。即ち、光臨からの光を拡散面１３で拡散さ
せ、光学部材１２内を通過させた後射出端１２１〕のレ
ンズ面を通って射出させ、一旦結像させた後阿び発散さ
せて標本面８−にに導いている。従って、標本面８と対
物レンズ最下面１５との距離が比較的大きい低倍の対物
レンズは、この方式によりより容易にむらのない照明を
行うことが出来る。
又、」二記説明から明らかなように、光学部材１２の入
射端１２ａから射出端１２１〕までの長さや反射面１４
及び射出端１２１〕の形状を変化させることにより、対
物レンズの神類により適正照明条件が異なっても容易に
適正々照明を行い得る。従って、拡散面１３の拡散の程
度も最小限に押えることが出来、光重損失も最／ＪＳ限
に押えることが出来る。
射端１２ａから射出端１２１〕までの長さや反射面１４
及び射出端１２１〕の形状を変化させることにより、対
物レンズの神類により適正照明条件が異なっても容易に
適正々照明を行い得る。従って、拡散面１３の拡散の程
度も最小限に押えることが出来、光重損失も最／ＪＳ限
に押えることが出来る。
以上のように、本発明による暗視野照明用光学系は、照
明光の光量むらがなく、Ａ’ｎ成が簡単で組立てが容易
であり、高倍率で解像力の高い観察を可能にしている。
明光の光量むらがなく、Ａ’ｎ成が簡単で組立てが容易
であり、高倍率で解像力の高い観察を可能にしている。
又、光量の損失が少々いという利点も有している。
第１図は従来の暗視野照明用光学系の構成を示す図、第
２図は」−記従来例の瞳面における照明光の状態を示す
図、第３図は本発明による暗視野照明用光学系の一実施
例の構成を示す図、第４図乃至第７図は夫々第二乃至第
五の実施例の構成を示す図である。 ５・・対物レンズ、６・・・鏡胴、８・・・標本面、１
２・光学部材、１２ａ 照明光入射端、１２１〕・・照
明光射出端、１２ｃ・・・側面、１３・・・拡散面、１
４・・・反射面、１５・・・対物レンズ最下面。 オ■図 ｒ２図 才３図 第４図 オ６Ｎ 第５図 牙７図
２図は」−記従来例の瞳面における照明光の状態を示す
図、第３図は本発明による暗視野照明用光学系の一実施
例の構成を示す図、第４図乃至第７図は夫々第二乃至第
五の実施例の構成を示す図である。 ５・・対物レンズ、６・・・鏡胴、８・・・標本面、１
２・光学部材、１２ａ 照明光入射端、１２１〕・・照
明光射出端、１２ｃ・・・側面、１３・・・拡散面、１
４・・・反射面、１５・・・対物レンズ最下面。 オ■図 ｒ２図 才３図 第４図 オ６Ｎ 第５図 牙７図
Claims (1)
- 光源からの光を対物レンズ鏡胴と対物レンズ光学系との
間を通して標本を照明するようにした暗視野照明用光学
系において、上記対物レンズ鏡胴と上記対物レンズ光学
系との間に、該対物レンズ光学系と同芯的に、照明光入
射端に拡散面を照明光射出端付近に反射面を夫々有する
厚い光学部材を配置したことを特徴とする暗視野照明用
光学系。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12593181A JPS5828712A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 暗視野照明用光学系 |
| DE19823229768 DE3229768A1 (de) | 1981-08-13 | 1982-08-10 | Epidarkes beleuchtungssystem |
| DE19828222572 DE8222572U1 (de) | 1981-08-13 | 1982-08-10 | Epidarke beleuchtungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12593181A JPS5828712A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 暗視野照明用光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5828712A true JPS5828712A (ja) | 1983-02-19 |
Family
ID=14922497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12593181A Pending JPS5828712A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 暗視野照明用光学系 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5828712A (ja) |
| DE (2) | DE8222572U1 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63168614A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-12 | Hairotsukusu:Kk | 照明装置付き近接撮影用レンズ |
| JPH01308527A (ja) * | 1988-06-07 | 1989-12-13 | Sukara Kk | 拡大撮像装置における照明用導光装置 |
| JPH0259710A (ja) * | 1988-08-25 | 1990-02-28 | Mitsuhiko Yamada | 実物光学顕微鏡 |
| US5287220A (en) * | 1990-11-07 | 1994-02-15 | Moritex Corp. | Zoom lens having an illumination system incorporated therein |
| US5689602A (en) * | 1994-10-20 | 1997-11-18 | Moritex Corporation | CCD video scope with illumination to the object |
| US7822335B1 (en) | 2006-09-21 | 2010-10-26 | Microscan Systems, Inc. | Lens protector |
| US8107808B2 (en) | 2009-07-10 | 2012-01-31 | Microscan Systems, Inc. | Combination dark field and bright field illuminator |
| US8989569B2 (en) | 2009-07-10 | 2015-03-24 | Microscan Systems, Inc. | Combination dark field and bright field illuminator |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3769000D1 (de) * | 1986-04-23 | 1991-05-08 | Siemens Ag | Vorrichtung zur auflichtbeleuchtung. |
| DE19822255C2 (de) * | 1998-05-18 | 2001-07-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Auflicht-Beleuchtungsanordnung für ein Stereomikroskop |
| DE102005047847A1 (de) * | 2005-10-05 | 2007-04-26 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Dunkelfeldobjektiv für ein Mikroskop |
| WO2010009852A2 (de) * | 2008-07-23 | 2010-01-28 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Mikroskop mit einem objektiv und einer dunkelfeld-beleuchtungseinrichtung, sowie verfahren zu dessen herstellung |
-
1981
- 1981-08-13 JP JP12593181A patent/JPS5828712A/ja active Pending
-
1982
- 1982-08-10 DE DE19828222572 patent/DE8222572U1/de not_active Expired
- 1982-08-10 DE DE19823229768 patent/DE3229768A1/de not_active Withdrawn
Cited By (9)
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| JPS63168614A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-12 | Hairotsukusu:Kk | 照明装置付き近接撮影用レンズ |
| JPH01308527A (ja) * | 1988-06-07 | 1989-12-13 | Sukara Kk | 拡大撮像装置における照明用導光装置 |
| JPH0420615B2 (ja) * | 1988-06-07 | 1992-04-03 | Sukara Kk | |
| JPH0259710A (ja) * | 1988-08-25 | 1990-02-28 | Mitsuhiko Yamada | 実物光学顕微鏡 |
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| US7822335B1 (en) | 2006-09-21 | 2010-10-26 | Microscan Systems, Inc. | Lens protector |
| US8107808B2 (en) | 2009-07-10 | 2012-01-31 | Microscan Systems, Inc. | Combination dark field and bright field illuminator |
| US8989569B2 (en) | 2009-07-10 | 2015-03-24 | Microscan Systems, Inc. | Combination dark field and bright field illuminator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3229768A1 (de) | 1983-03-03 |
| DE8222572U1 (de) | 1984-05-30 |
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