JPS5822292U - ワ−ク移送装置 - Google Patents

ワ−ク移送装置

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JPS5822292U
JPS5822292U JP11398381U JP11398381U JPS5822292U JP S5822292 U JPS5822292 U JP S5822292U JP 11398381 U JP11398381 U JP 11398381U JP 11398381 U JP11398381 U JP 11398381U JP S5822292 U JPS5822292 U JP S5822292U
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JP
Japan
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transfer device
workpiece transfer
arm
swings
tip
Prior art date
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Pending
Application number
JP11398381U
Other languages
English (en)
Inventor
新浜　忠之
Original Assignee
ニチデン機械株式会社
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Publication date
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Publication of JPS5822292U publication Critical patent/JPS5822292U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は従来のワーク移送装置を説明するた
めのペレット移送装置の概略平面図及び　　　　゛正面
図、第３図乃至第５図は本考案の実施例を示す概略平面
図、正面図及び概略平面図である。 １・・・・・・ワーク（半導体ペレット）、１４・・間
第１アーム、１５・・・・・・第２アーム、１６・・・
・・・支柱、１９．２６・・・・・・ワーク着脱機構（
真空吸着コレット）、Ａ、　Ｂ、　Ｃ・・・・・・定位
置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 先端部にワーク着脱機構を備え、肩端部が支柱に支持さ
    れて一定角度揺動する第１アームと、先端部にワーク着
    脱機構を備え、前記第１アームの揺動に対して追加揺動
    する第２アームとを具備したことを特徴とするワーク移
    送装置。
JP11398381U 1981-07-30 1981-07-30 ワ−ク移送装置 Pending JPS5822292U (ja)

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JP11398381U JPS5822292U (ja) 1981-07-30 1981-07-30 ワ−ク移送装置

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JP11398381U JPS5822292U (ja) 1981-07-30 1981-07-30 ワ−ク移送装置

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JPS5822292U true JPS5822292U (ja) 1983-02-10

Family

ID=29908270

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JP11398381U Pending JPS5822292U (ja) 1981-07-30 1981-07-30 ワ−ク移送装置

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