JPS5822188Y2 - 電子写真感光体基層の加熱装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子写真感光体製造時の真空蒸着工程において
感光体基層の加熱に用いられる加熱装置に関する。

電子写真の感光体は、通常適度の温度に加熱したアルミ
ニウム等の導電性基層上に、セレン、テルル又はこれら
と他金属との合金より成る感光材料を真空中で加熱蒸着
することにより製造されるが、この時の製造条件は得ら
れた感光体の特性に大きく影響する。

特に基層の温度の影響が大きく、例えば感光体の残留電
位、暗減衰速度、光感度等は、真空蒸着工程中の基層の
温度により大いに左右される。

従って前記基層温度を速く設定値まで昇げ、真空蒸着工
程中、その設定値に維持できる様に加熱することは極め
て重要なことであり、本考案はこの様な加熱に適した装
置に係る。

従来よりいくつかの基層加熱装置が用いられているが、
いずれも満足の行くものではなかった。

例えば温度の制御された液体を循環することにより基層
を加熱する液体循環装置は、液体として水を用いる場合
には温度範囲が１００℃以下に制限されること、又水銀
外の液体を用いる場合には不燃性、コスト等の点で制限
を受けること、更にいずれも装置が大がかりになること
等が欠点としてあげられる゛。

またジュール熱による加熱装置を用いた場合には均一に
基層を加熱することができない。

更に放電装置を用いたものは基層を外部より加熱し、蒸
着物質より隔離していないため、放電により生じた電子
、イオンが蒸着物質に衝突して基層上への感光層形成を
大いに阻害する。

本考案は前述の従来の欠点を解決した加熱装置であり、
特にグロー放電を感光体基層を外表面に有する金属シリ
ンダー内部で起し、金属シリンダー内面を加熱するとと
もに基層を加熱する装置を提供するものである。

本考案によれば基層温度を迅速に設定値まで昇温できか
つこの設定値は印加電圧の制御により真空蒸着中は良好
に一定化できる。

またグロー放電で生じたイオン、電子は蒸着物質より完
全にシールドされているので従来の如く感光層形成を阻
害することなく優れた特性を有する感光体を作る。

また、グロー放電の際に用いる気体の選択によって種々
の設定温度を選択できる。

本考案の装置について更に図面を基いて具体的に説明す
る。

第１図は本考案の加熱装置を用いた蒸着装置の説明図で
ある。

図中１は真空蒸着室であり、室内には感光体基層の支持
体である金属シリンダー２と感光材料を入れる蒸発装置
１０が設置されている。

金属シリンダー２は回転できる様に設置されており、真
空蒸着室１との接触部はバッキング５によって気密性が
保たれでおり、更に内部には軸上に電極３が挿入されて
いる。

感光体の設定温度に応じてグロー放電に適した気体例え
ば空気、チッソが適当な圧力で気体導入口４から金属シ
リンダー内に注入され、所定圧力になったところで導入
口バルブを閉じる。

圧力はグロー放電を十分おこしうる５ Ｘ １０−”〜
５ ｘ １０−３ｍｍＨｇ程度であり測定は真空計１１
でする。

前記電極３の先端は絶縁体８を介して金属シノラダ−２
の内側で固定し、もう一端は絶縁体９を介して金属シリ
ンダ−２外部に導かれ圧接接点６により電源７に接続し
ている。

電源７は圧接接点６′により接続されている。

金属シリンダー２壁と前記電極３との間でグロー放電を
起すものであり直流電源交流電源いずれもよく、基層温
度の設定値により印加電圧が制御される。

又金属シリンダー２内壁と電極３との距離は小さい程加
熱効率が良い。

実際の真空蒸着工程においては、真空蒸着室１を１０−
５ｍｍＨｇ程度の圧力にし、感光体基層温度が３０分程
度の放電時間で設定値でほぼ平衡状態となる裸金属シリ
ンダー内圧、注入気体、金属シリンダー内壁と電極間距
離、印加電圧を予備実験の結果をもとに決める。

平衡状態後の温度は設定温度からの多少の変動を熱電対
等で検知して印加電圧を制御すれば常に安定した設定温
度に保つことができる。

本考案の予備実験例としては、金属シリンダー３を半径
５５ｍｍ、長さ７ＱＱｍｍの中空状ステンレス、電極を
半径５ｍｍのＡＩ電極棒、金属シリンダーの回転数２Ｏ
ｒｐｍ、電極と金属シリンダー内壁距離２０ｍｍとして
印加電圧３ＫＶ下での真空度に対する金属シリンダ一温
度、真空度１×１０−１０−２ｒｎ下での印加電圧と金
属シリンダ一温度の各々の関係を空気（実線）とチッ素
ガス（点線）について求め、第２図、第３図に示した。

第２図は真空度に対する金属シリンダ一温度曲線、第３
図は印加電圧に対する金属シリンダ一温度曲線であって
、図中に示した温度は平衡時の値である。

本実験においての平衡は全て３０分以内の放電時間で達
することができ、これは従来法に比較し極めて早いもの
である。

又温度上昇も金属シリンダー全体にむらなく均一に或さ
れた。

以上の予備実験をもとに上記加熱条件を選択し、感光体
基層を加熱したところ３０分以内のグロー放電によって
設定温度まで昇温することができた。

更に基層温度は設定値からの多少の変動を熱電対で検知
し印加電圧を加減することにより一定化することができ
た。

基層温度の設定値は蒸着物質である感光材料により決め
られるが非晶質Ｓｅの場合は６０〜８０℃。

Ａｓ２Ｓｅ２の場合は２２０〜２４０℃が適している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の加熱装置を用いた真空蒸着装置の説明
図、第２図は真空度に対する金属シリンダ一温度曲線、
第３図は印加電圧に対する金属シノラダ一温度曲線であ
る。 １・・・・・・真空蒸着室、２・・・・・・金属シリン
ダー、３・・・・・・電極、４・・・・・・気体導入口
、５・・・・・・バッキング、６゜６′・・・・・・圧
接接点、７・・・・・・電源、８，９・・・・・・絶縁
体、１０・・・・・・蒸発装置、１１・・・・・・真空
計。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. グロー放電を起すべき電極を感光体基層を装置する金属
   シリンダー内部に挿入したことを特徴とする電子写真感
   光体基層の加熱装置。