JPS58217368A - 液体噴射装置のノズル構造体の製造方法 - Google Patents

液体噴射装置のノズル構造体の製造方法

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JPS58217368A
JPS58217368A JP10026582A JP10026582A JPS58217368A JP S58217368 A JPS58217368 A JP S58217368A JP 10026582 A JP10026582 A JP 10026582A JP 10026582 A JP10026582 A JP 10026582A JP S58217368 A JPS58217368 A JP S58217368A
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JP
Japan
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metal plate
nozzle
hole
groove
liquid chamber
Prior art date
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JP10026582A
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English (en)
Inventor
Takuro Sekiya
卓朗 関谷
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ような液体噴射装置のノズル構造体の製造方法に関する
ものである。
従来、インクジェット記録装置のノズル構造体は、ノズ
ルプレートを何らかの方法で加工し、このノズルプレー
トを液室本体へ組み付けまたは接合するようにしている
ため、この組み付けまた接合時にノズルが変形したり、
特にマルチノズルの場合には，各穴の噴射方向の精度が
損なわれるという欠点があった。
本発明は、上記従来例の欠点を解消するために、金属板
に貫通穴または貫通溝を形成する工程と、この貫通穴ま
たは貫通溝に金属板の材質と異なる材料で埋める工程と
、貫通穴または貫通溝を埋めた材料の上に非導電性パタ
ーンを形成する工程と、金属板上に電着を行なう工程と
、貫通穴または貫通溝を埋めた材料及び非導電性パター
ンを除去する工程とからなることを特徴とし、その目的
はノズルプレート組み付は時または接合時にノズルが変
形して、高精度にできだノズルを損なうことがないよう
に、液室本体を構成する金属板へ直接ノズルを形成する
ようにした液体噴射装置のノズル構造体の製造方法を提
供するものである。以下、図面によシ実施例を詳細に説
明する。
第１図は、本発明の一実施例のノズル構造体の製造工程
を説明する各部の断面図を示しだもので、１はほぼ中央
に穴まだは溝２を設け、両側にバカ穴３を設け、裏面に
０リング溝４が設けられた金属板であり、この金属板ｌ
の穴まだ溝２の寸法は、たとえば直径が１００〜２００
μｍが望ましく、放電加工等によって容易に加工できる
。また穴または溝２のある部分の板厚ｔは１００〜３０
０μｍが望ましい。他のバカ穴３及びＯリングの溝４に
ついては、本発明とは関係がないので、説明は省略する
。
次に、穴または溝２を金属板１と異なる材料５で埋め、
後述するレジストパターン６が形成される材料５の面７
を研摩等によって、面精度及び平面度を出しておく。こ
の穴または溝２を埋める材料５としては、たとえば樹脂
のような材料を使用した場合には、その上に導電性処理
をする（たと、ｔ　ｌｄ’　Ａｕ　　等を数ｔｏｏｌコ
ートする）。その後、レジストワークを行ない、図のよ
うみフォトレジストのスポットパターン６を形成する。
なお、フォトレジストの代りにドライフィルムを使用し
てもよい。
次に、金属板１を陰極として、たとえばＮｉを電気メッ
キして電着金属層８を形成する。更に、穴まだは溝・４
を埋めた材料５及びフォトレジストのスポットパターン
６を除去し、ノズルオリフィス９が完成する。なお、必
要に応じて金属板ｌ及び電着金属層８をさらに包み込む
ように全体にメッキをかけたり、あるいは他の手段で金
属板ｌ及び電着金属層８全体をコーティングして耐蝕性
を向上させてもよい。
このように構成した金属板１の０リング溝４に０リング
１０を挿入し、液室本体１１にバカ穴３を通してネジ１
２で金属板１を液室本体１１に固定する。なお、１３は
液室本体１１に設けられたインク液室である。
本実施例では、従来例のようにノズルプレートと液室本
体へ取シ付ける部品とを別々に作るのではなく、液室本
体１１へ取付ける部品、即ち金属板ｌにノズルオリフィ
ス９を形成するので、金属板ｌを液室本体１１への取り
付は時にノズルオリフィス９が変形するようなことはな
く、ノズルオリフィス９の形成時の精度が活かされ、マ
ルチノズルインクジェット記録装置で最も重要な特性の
１つである各ノズルオリフィス９からのインクの噴射方
向の精度が良くなるという利点がある。
なお、上記の説明は、インクジェット記録装置の構造体
について示したが、電子銃のアパーチャの絞りＫも適用
できる。
以上説明したように、本発明によれば、液室本体の１部
となる金属板に直接ノズルオリフィスを形成して、この
金属板を液室本体に取付けるようにしたので、ノズルオ
リフィスが変形したシ、マルチノズルにおいて、各ノズ
ルの噴射方向精度が損なわれだシすることがないという
利点がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例のノズル構造体の製造工程
を説明するだめの各部の断面図、第２図は、第１図の製
造方法によって作られた金属板を液室本体に取付けた断
面図である。 ■・・・金属板、２・・・穴または溝、：う・・・バカ
穴、４・・・０リング溝、５・・・金属板と異なる材料
、６・・・レジストパターン、８・・・電着金属層、９
・・・ノズルオリフィス、ｌＯ・・・０リング、ｌｌ・
・・液室本体、１２・・・インク液室。 第　　１　　図 第　　２　図 ２

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）金属板に貫通穴または貫通溝を形成する工程と、
    前記貫通穴または貫通溝を前記金属板の材質とは異なる
    材料で埋める工程と、前記貫通穴または貫通溝に埋めら
    れた材料上に非導伝性材料パターンを形成する工程と、
    前記金属板に電着を行なう工程と、前記貫通穴または貫
    通溝に埋められた材料及び非導電性パターンを除去する
    工程とからなることを特徴とする液体噴射装置のノズル
    構造体の製造方法。
  2. （２）前記金属板の前記貫通穴または貫通溝を埋める相
    打が非導伝性の場合に、導伝性を持たせる処理を施すこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の液体噴射装
    置のノズル構造体の製造方法。
JP10026582A 1982-06-11 1982-06-11 液体噴射装置のノズル構造体の製造方法 Pending JPS58217368A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4922265A (en) * 1986-04-28 1990-05-01 Hewlett-Packard Company Ink jet printhead with self-aligned orifice plate and method of manufacture
EP0367541A2 (en) * 1988-10-31 1990-05-09 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing an ink jet head
US5208604A (en) * 1988-10-31 1993-05-04 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US5657539A (en) * 1991-10-22 1997-08-19 Canon Kabushiki Kaisha Process for producing an ink jet recording head
US5682187A (en) * 1988-10-31 1997-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head
EP0838336A2 (en) * 1996-10-24 1998-04-29 Seiko Epson Corporation Ink jet head and a method of manufacturing the same

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4922265A (en) * 1986-04-28 1990-05-01 Hewlett-Packard Company Ink jet printhead with self-aligned orifice plate and method of manufacture
EP0367541A2 (en) * 1988-10-31 1990-05-09 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing an ink jet head
US5208604A (en) * 1988-10-31 1993-05-04 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US5682187A (en) * 1988-10-31 1997-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head
US5657539A (en) * 1991-10-22 1997-08-19 Canon Kabushiki Kaisha Process for producing an ink jet recording head
US5930895A (en) * 1991-10-22 1999-08-03 Canon Kabushiki Kaisha Process for producing an ink jet recording head
EP0838336A2 (en) * 1996-10-24 1998-04-29 Seiko Epson Corporation Ink jet head and a method of manufacturing the same
EP0838336A3 (en) * 1996-10-24 1999-04-21 Seiko Epson Corporation Ink jet head and a method of manufacturing the same
US6260960B1 (en) 1996-10-24 2001-07-17 Seiko Epson Corporation Ink jet print head formed through anisotropic wet and dry etching

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