JPS58208630A - 平面回折格子分光器 - Google Patents
平面回折格子分光器Info
- Publication number
- JPS58208630A JPS58208630A JP9186482A JP9186482A JPS58208630A JP S58208630 A JPS58208630 A JP S58208630A JP 9186482 A JP9186482 A JP 9186482A JP 9186482 A JP9186482 A JP 9186482A JP S58208630 A JPS58208630 A JP S58208630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- spherical mirror
- spherical
- angle
- degrees
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/1804—Plane gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は平面回折格子と入口スリットから入射した光を
同回折格子に導く第１の球面鏡と同回折格子により回折
された光によりスペクトル像を形成する第２の球面とよ
りなる平面回折格子分光器に関する。
同回折格子に導く第１の球面鏡と同回折格子により回折
された光によりスペクトル像を形成する第２の球面とよ
りなる平面回折格子分光器に関する。
平面回折格子はそれ自体は結像特性を持たないから、必
ず、一枚あるいはそれ以上の球面鏡などの結像素子と組
合わせて用いることが必要である。
ず、一枚あるいはそれ以上の球面鏡などの結像素子と組
合わせて用いることが必要である。
このため、結像特性のある凹面回折格子に較べると、分
光器の占める容積は大きくなり、これを抑えようとすれ
ば、多重回折による迷光の増大や収差の増加をもたらし
てしまう。
光器の占める容積は大きくなり、これを抑えようとすれ
ば、多重回折による迷光の増大や収差の増加をもたらし
てしまう。
一方平面回折格子分光器は適切な設計がなされれば、凹
面回折格子分光器では得難い、良い結像特性をもってお
シ、高分解能を要求される場合には欠くことのできない
重要性をもっている。
面回折格子分光器では得難い、良い結像特性をもってお
シ、高分解能を要求される場合には欠くことのできない
重要性をもっている。
たソこの結像特性と平面回折格子分光器の容積とは必ず
しも相客れない関係があシ、従来は非常にコンパクトな
平面回折格子分光器のマウントは見当らなかった。本発
明は、２枚の球面鏡と一枚の平面回折格子を容積ができ
るだけ小さくなるように配置し、これに原因して生じる
結像特性の低現したものである。次に本発明の特徴を図
によって説明する。
しも相客れない関係があシ、従来は非常にコンパクトな
平面回折格子分光器のマウントは見当らなかった。本発
明は、２枚の球面鏡と一枚の平面回折格子を容積ができ
るだけ小さくなるように配置し、これに原因して生じる
結像特性の低現したものである。次に本発明の特徴を図
によって説明する。
図は本発明の一実施例であるが、従来からこの種のマウ
ントはクロストツエルニ−・ターナ−型などの呼び名で
既に用いられており、通常のツエルニ−・ターナ−型に
較べて多重回折による迷光などで有利な特徴をもってい
る。しかし、従来のクロストツエルニ−・ターナ−型マ
ウントでは人ロスリツ）Ｓｌから第１球面鏡Ｍｌに向う
中心光線と、第２球面鏡Ｍ２からスペクトル像面Ｓ２に
向う中心光線が回折格子Ｇ側になす角Ａは極力小さくな
るようにされ、このために、回折格子Ｇを配置する空間
を確保すると云った点からも、またその他の理由もあっ
て、回折格子とそれぞれの球、面鏡までの距離は長くと
られ、しかも、等距離あるいは、はＶ等距離に取られて
いるため分光器全体として大きなスペースをとるもので
あった。これに較べて本発明は上記角Ａを８０°≦Ａ≦
９０゜の範囲に設定し、２枚の球面鏡Ｍ−１，Ｍ２を回
折格子Ｇに接近できるようにし、かつ回折格子から第１
球面鏡Ｍ１までの距離を回折格子から第２球面鏡Ｍ２ま
での距離よりも３割以上短かくするととによりコンパク
ト化を達成したものである。こつすることにより、分光
器の収差補正の自由度は減少し、このままでは結像特性
に関して不満を残す。本発明はこの点を回折格子Ｇとし
ｆ不等間隔非直線回折格子の使用によって解決し、この
結像特性の点においても従来のものよりも秀れた特性を
実現したものである。この不等間隔非直線回折格子はホ
ログラフイク・グレーティングの手法によれば通常の平
面回折格子よりもむしろ製造は容易でその取り扱いは通
常の平面回折格子と全く同等である。
ントはクロストツエルニ−・ターナ−型などの呼び名で
既に用いられており、通常のツエルニ−・ターナ−型に
較べて多重回折による迷光などで有利な特徴をもってい
る。しかし、従来のクロストツエルニ−・ターナ−型マ
ウントでは人ロスリツ）Ｓｌから第１球面鏡Ｍｌに向う
中心光線と、第２球面鏡Ｍ２からスペクトル像面Ｓ２に
向う中心光線が回折格子Ｇ側になす角Ａは極力小さくな
るようにされ、このために、回折格子Ｇを配置する空間
を確保すると云った点からも、またその他の理由もあっ
て、回折格子とそれぞれの球、面鏡までの距離は長くと
られ、しかも、等距離あるいは、はＶ等距離に取られて
いるため分光器全体として大きなスペースをとるもので
あった。これに較べて本発明は上記角Ａを８０°≦Ａ≦
９０゜の範囲に設定し、２枚の球面鏡Ｍ−１，Ｍ２を回
折格子Ｇに接近できるようにし、かつ回折格子から第１
球面鏡Ｍ１までの距離を回折格子から第２球面鏡Ｍ２ま
での距離よりも３割以上短かくするととによりコンパク
ト化を達成したものである。こつすることにより、分光
器の収差補正の自由度は減少し、このままでは結像特性
に関して不満を残す。本発明はこの点を回折格子Ｇとし
ｆ不等間隔非直線回折格子の使用によって解決し、この
結像特性の点においても従来のものよりも秀れた特性を
実現したものである。この不等間隔非直線回折格子はホ
ログラフイク・グレーティングの手法によれば通常の平
面回折格子よりもむしろ製造は容易でその取り扱いは通
常の平面回折格子と全く同等である。
ｌＩ図の実施例で回折格子Ｇは３０．０ ｍ Ｆ角格子
間隔は中心で１６００本／ ｍ ｍ 、図で上端側で１
６００．９１本／ ｍ ｍ、下端側で１５９８本／ｍｍ
である。また軸外し角α−１１，５°、β＝５゜で、人
ロスリツ）８１から第１球面鏡Ｍ１の中心 ゛り 第２球面鏡Ｍ２の中心まで８．ｔ’、０ｍｍ１Ｍ２中心
＋ １６．’／ からスペクトル像中心まで七合予→ｍｍである。
間隔は中心で１６００本／ ｍ ｍ 、図で上端側で１
６００．９１本／ ｍ ｍ、下端側で１５９８本／ｍｍ
である。また軸外し角α−１１，５°、β＝５゜で、人
ロスリツ）８１から第１球面鏡Ｍ１の中心 ゛り 第２球面鏡Ｍ２の中心まで８．ｔ’、０ｍｍ１Ｍ２中心
＋ １６．’／ からスペクトル像中心まで七合予→ｍｍである。
なおこの実施例では入口スリットＳ１と第１球面鏡Ｍ１
との間に平面鏡Ｍ３を介在させた。図から判るように分
光器は全体として太書きのＬ字形をなしており、平面鏡
Ｍ３の使用により入口スリットＳ１を上方より側方に移
したので、試料等を分光器外筐Ｂの右上隅の開放スペー
スＱに置くことができ、より一層のスペースの有効利用
が計られている。
との間に平面鏡Ｍ３を介在させた。図から判るように分
光器は全体として太書きのＬ字形をなしており、平面鏡
Ｍ３の使用により入口スリットＳ１を上方より側方に移
したので、試料等を分光器外筐Ｂの右上隅の開放スペー
スＱに置くことができ、より一層のスペースの有効利用
が計られている。
本発明分光器は上述したような構成で、従来のクロスト
ツエルニ−・ターナマウントを偏平に圧縮したような各
要素間の配置関係になっているので全体的にコンパクト
となっており、他方このような配置によって各球面鏡の
軸外し角が稍大きくなり結像性が低下するのを不等間隔
平面回折格子の特性により補償しているから、小型高分
解能で迷光の少い分光器となっている。
ツエルニ−・ターナマウントを偏平に圧縮したような各
要素間の配置関係になっているので全体的にコンパクト
となっており、他方このような配置によって各球面鏡の
軸外し角が稍大きくなり結像性が低下するのを不等間隔
平面回折格子の特性により補償しているから、小型高分
解能で迷光の少い分光器となっている。
図面は本発明の一実施例の内部を示す側面図である。
Ｓｌ・・・入口スリット、Ｍｌ・・・第１球面鏡、Ｍ２
・・・第２球面鏡、Ｍ３・・・平面鏡、Ｇ・・・不等間
隔非直線平面回折格子、Ｓ２・・・スペクトル像面、Ｂ
・・・分光器外筐。 代理人 弁理士 縣 浩 介
・・・第２球面鏡、Ｍ３・・・平面鏡、Ｇ・・・不等間
隔非直線平面回折格子、Ｓ２・・・スペクトル像面、Ｂ
・・・分光器外筐。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- ２枚の球面鏡と１枚の平面回折格子とからなシ、入口ス
リットから第１球面鏡に向う中心光線と第２球面鏡から
スペクトル像面に向う中心光線とを回折格子側になす角
が８０°〜９０°の範囲になるように交叉させ、回折格
子の中心と上記第１及び第２の各球面鏡の中心を結ぶ光
線のなす角を４０°〜５０°にとり、かつ第１球面鏡の
軸外し角αと第２球面鏡の軸外し角βとの関係がα≧β
となるようにすると共に、上記回折格子を不等間隔非直
線平面回折格子としたことを特徴とする平面回折格子分
光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186482A JPS58208630A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 平面回折格子分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186482A JPS58208630A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 平面回折格子分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58208630A true JPS58208630A (ja) | 1983-12-05 |
Family
ID=14038415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9186482A Pending JPS58208630A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 平面回折格子分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58208630A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321325A (ja) * | 1988-06-24 | 1989-12-27 | Hitachi Ltd | 分光器及びそれを用いた投影露光装置並びに投影露光方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5344044A (en) * | 1976-10-02 | 1978-04-20 | Nippon Chemical Ind | Device for forming holographic plane diffraction grating |
| JPS54128749A (en) * | 1978-03-29 | 1979-10-05 | Nippon Chemical Ind | Plane diffraction grating |
-
1982
- 1982-05-28 JP JP9186482A patent/JPS58208630A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5344044A (en) * | 1976-10-02 | 1978-04-20 | Nippon Chemical Ind | Device for forming holographic plane diffraction grating |
| JPS54128749A (en) * | 1978-03-29 | 1979-10-05 | Nippon Chemical Ind | Plane diffraction grating |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321325A (ja) * | 1988-06-24 | 1989-12-27 | Hitachi Ltd | 分光器及びそれを用いた投影露光装置並びに投影露光方法 |
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