JPS58202769A - Fine feed mechanism for precision apparatus - Google Patents

Fine feed mechanism for precision apparatus

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JPS58202769A
JPS58202769A JP8459382A JP8459382A JPS58202769A JP S58202769 A JPS58202769 A JP S58202769A JP 8459382 A JP8459382 A JP 8459382A JP 8459382 A JP8459382 A JP 8459382A JP S58202769 A JPS58202769 A JP S58202769A
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fine adjustment
fine
adjustment cam
movable head
cam
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JP8459382A
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Tatsuro Nakamura
達郎 中村
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Hirose Electric Co Ltd
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Hirose Electric Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/20Drives or gearings; Equipment therefor relating to feed movement

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide very fine feed of a precision apparatus without errors and enable it to endure sufficient feed load by fine feeding it with a movable head being interlocked with a rotating cam. CONSTITUTION:A head 2 urged to a base bed 1 in one direction is provided in the center with a rectangular hole 2A through which a cam shaft 3 extends. An approximately round cam 4 is eccentrically mounted on the cam shaft 3 so that its cam facet bears against a stopper fitting 5 fixed to a portion of the inner edge of the hole 2A. The rotation of the cam 4 pushes out the stopper fitting 5 according to its eccentricity to fine feed the head 2. This feed is applied to an end face grinder of optical fibers for example so that a grinding wheel is mounted on the head 2 and fine fed.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、微動送り装置に関し、特に、光ファイバの端
面研磨等の精密加工機器や精密測定機器等に適用しうる
微動送り装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a fine movement feeder, and more particularly to a fine movement feeder that can be applied to precision processing equipment such as end face polishing of optical fibers, precision measurement equipment, and the like.

従来この種の精密加工機器や精密濱l(定轡器等の微動
1物台や做動可虻ヘッドのlIk動送り装置としては、
精密小細ピッチねじにより徐動送りを行なっていた。し
かしこのような軸密小紀ピッチねじによる送りでは、精
密小細ねじのねじピッチは最小に加工したものでもせい
ぜい/酊程¥でありこれ以下の微小なねじピッチの加工
は困詐である。
Conventionally, this type of precision processing equipment, precision machines (fine movement single tables such as scalers, and lIk movement feeders for movable heads)
Gradual feed was performed using precision small pitch screws. However, when feeding with such a small pitch screw with a close shaft, the thread pitch of the precision small screw is at most 1/2 inch even if it is machined to the minimum, and it is difficult to machine a thread pitch smaller than this.

また、このような小細なるねじ山廃さはどうしても小さ
いために微動送りの許容荷重は小さなものとなっていた
ため、適用しうる精密加工物や精密測定物は軽量で小さ
い物に限定されていた。
In addition, since such small screw threads are inevitably small, the permissible load for fine-adjustment feeding is small, so the precision machined and precisely measured objects to which it can be applied are limited to lightweight and small objects. .

さらに前記の従来の微小ねじピッチを使用した微動送り
装W(7)最小送り(D、 町、、取目盛・すなわ5′
イクロメーター目盛は、せいぜい0003〜0.0 /
mya (!; 0〜IOμm)程度であり、それ以下
の微動送りは不可能であった。また、ねじによる微動送
りはどうしてもねじ僚合の遊び(スキ間)が必要であっ
たり、ねじの回転による摩耗が生じ易いので、どうして
も微小なる誤差が生じるものとなっていた。さらに精密
小細ねじの加工は精度よく加工するには非常に困難を要
するものなので、それだけコストも高いものとなってい
る。
Furthermore, the fine movement feeder W (7) minimum feed (D, town, 5'
The ichromator scale is at most 0003~0.0/
mya (!; 0 to IO μm), and fine movement of less than that was impossible. Further, fine movement feed using a screw inevitably requires some play (gap) between the screws, and wear due to rotation of the screw is likely to occur, so that minute errors inevitably occur. Furthermore, it is very difficult to process small precision screws with high precision, and the cost is correspondingly high.

本発明の目的は、前述したような従来の微動送り装置の
問題点を解消し、非常に微細な徐動送りを誤差を生ぜず
に行なえしがち十分な送り荷車に耐えうる↓うな簡単且
つ安価な微動送り装置を提供することである。
The purpose of the present invention is to solve the problems of the conventional fine movement feeding device as described above, and to be able to perform very fine gradual movement without causing errors, and to be able to withstand a sufficient amount of feeding carts.It is simple and inexpensive. An object of the present invention is to provide a fine movement feeding device.

本発明によれば、このような目的は、ベース台において
一方向に偏移された可動ヘッドと、ベース台において回
転しうるように設けられた微調カム軸と、該微調カム軸
と共に回転しうるはg円形の微調カムとを備えており、
該微調カムの中心は、前記微調カム軸、の回転中心から
偏心されており、前記微調カムの局面は、前記可動ヘッ
ドに灯して前記偏移力に対向する状態にて接しており、
前記微調カム軸の回転につれて前記微調カムの作用によ
って前記可動ヘッドが前記偏移力に抗して微動すること
を特徴とする精密機器の徐動送り装flKよって達成さ
れる。
According to the invention, such objects include: a movable head offset in one direction on a base; a fine adjustment camshaft rotatably provided on the base; and a fine adjustment camshaft rotatable together with the fine adjustment camshaft. is equipped with a circular fine adjustment cam,
The center of the fine adjustment cam is eccentric from the rotation center of the fine adjustment cam shaft, and the curved surface of the fine adjustment cam is in contact with the movable head in a state opposite to the shifting force,
This is achieved by a gradual movement feeder flK for a precision instrument, characterized in that as the fine adjustment cam shaft rotates, the movable head moves slightly against the shifting force by the action of the fine adjustment cam.

次に、添付図面に基づいて本発明の実施例について本発
明をより詳細に説明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments of the present invention based on the accompanying drawings.

*/図は、本発明の一実施例としての微動送り装置を原
理的に示している。!!/[Hに示すように、この実施
例の微動送り装置においては、ベース台1の上に、はy
中央部に矩形状穴2^を設け、下面2Bに2箇所のスプ
リング受入2Cにスプリング6を設けてなる可動ヘッド
2を設置する。
*/The figure shows the principle of a fine movement feeder as an embodiment of the present invention. ! ! / [As shown in H, in the fine movement feeder of this embodiment, on the base 1,
A movable head 2 is installed in which a rectangular hole 2^ is provided in the center and springs 6 are provided in two spring receivers 2C on the lower surface 2B.

前記矩形状穴2Aの中には、径(φB)の小さな微調カ
ム軸3と径(φ^)の大きな微調カム4が設けられ、該
微調カム軸3の中心点βと微調カム4の中心点6は、X
寸法だけ偏心させている。
A fine adjustment cam shaft 3 with a small diameter (φB) and a fine adjustment cam 4 with a large diameter (φ^) are provided in the rectangular hole 2A, and the center point β of the fine adjustment cam shaft 3 and the center of the fine adjustment cam 4 are provided. Point 6 is X
Only the dimensions are eccentric.

微調カム4の下方部には、スプリング6により可動ヘッ
ド2が絶えず上側方向に荷重が釦っているので可動ヘッ
ド2に固定された歯質なる当金具5に絶えず当接してい
ることとなる。
Since the lower part of the fine adjustment cam 4 is constantly pressed upwardly by the spring 6, the movable head 2 is constantly in contact with the abutment fitting 5, which is a tooth fixed to the movable head 2.

このように構成されている微動送り装置は、先ず前配微
−カム4の中心点αと微調カム軸3の中心点βとの中心
点間の差すなわちX寸法を仮にO0θ!rm (! O
11m)とした場合(実際にはX寸法についてもつと小
さく加工することは可能である)、先ず中心点αを最上
位点に付着させて微調カム軸3及び微調カム4を回転さ
せると中心点αは、中心点βを中心に移動することにな
り中心点αが最下位に来たとき、すなわち中心麿αが最
上位漬から最下位I:8(半回転)させることにより可
動ヘッド2の移動距離はX寸法大−倍となり0.0 !
; w。
In the fine-adjustment feeder configured as described above, first, the difference between the center points α of the front fine-adjustment cam 4 and the center point β of the fine-adjustment camshaft 3, that is, the X dimension, is temporarily set to O0θ! rm (! O
11m) (actually, it is possible to make the X dimension smaller), first attach the center point α to the highest point and rotate the fine adjustment cam shaft 3 and the fine adjustment cam 4, then the center point α moves around the center point β, and when the center point α reaches the lowest position, that is, when the center α moves from the highest position to the lowest position I:8 (half a rotation), the movable head 2 The moving distance is X dimension large - times 0.0!
;w.

C!;Opm)X2=0./lxc 10100tt移
動したこととなる。
C! ;Opm)X2=0. /lxc This means that it has moved 10100tt.

このように1微調力ム40半回転の回転で0.7wc1
00μm)の範囲でスムースに可動ヘッド2の移動が可
能である(実際にはもつと寸法の小さな移動も可能であ
る)ので前記微調カム軸3の先端等にマイクロメーター
の目盛あるいはダイヤルデージ尋を取付けることKより
0.00 /闘(7μm)程度の微動送りが簡単に可能
となる。
In this way, one fine adjustment force is 0.7wc1 with 40 and a half rotations.
Since it is possible to move the movable head 2 smoothly within a range of 00 μm (actually, small movements are also possible), a micrometer scale or a dial gauge is provided at the tip of the fine adjustment camshaft 3. By installing it, fine movement feed of about 0.00 mm/mm (7 μm) is easily possible.

第一図は、本発明の別の実施例としての做動送り装置の
1m図である。すなわち、ペース台IK凹部1’Aを設
けておき、その凹部IIAの中に可動ヘッド2を設置す
るものである。
FIG. 1 is a 1-meter view of a percussion feeding device as another embodiment of the present invention. That is, a pace table IK recess 1'A is provided, and the movable head 2 is installed in the recess IIA.

可動ヘッド2は、第1図とほぼ同構成であるので、同構
成の部分は説明を省略する。ただし、微調カム4の最下
部には、第1Vの当金具5の代わりに、鋼質なるボール
7(又はロール)を設け、#ゴール7は自在に回転可能
に固定具8にて固定する。
Since the movable head 2 has substantially the same configuration as that in FIG. 1, the description of the same configuration will be omitted. However, a steel ball 7 (or roll) is provided at the bottom of the fine adjustment cam 4 instead of the first V stopper 5, and the #goal 7 is fixed with a fixture 8 so as to be freely rotatable.

このような構成である微動送り装置は、前記?−ルアと
微調カム4の摺接は両者が回転することと、点接触であ
るために回転が非常に滑らかとなり可動ヘッド2の動き
もよりスムースな動作となる。又、さらにベース台II
  の凹部1′^の中にすっばりと可動ペース2が入り
込むので、微動送り装置の送り方向は上下の縦方向だけ
でなく、左右又は前後の横方向の送りも可能と)1.、
なるものである。
The fine movement feeder having such a configuration is as described above. - The sliding contact between the Luer and the fine adjustment cam 4 is due to the fact that both rotate and is a point contact, so the rotation is very smooth and the movement of the movable head 2 is also smoother. In addition, base stand II
Since the movable pace 2 fits snugly into the recess 1'^, the fine movement feeder can feed not only vertically up and down, but also horizontally from side to side or front to back.)1. ,
It is what it is.

第3図は、本発明の更に具体化した別の実施例としての
微動送り装置を示している。この実施例の微動送り装置
は、歯車を利用した減速機−を取り入れて、更VCe細
な送りを可能としたものである。この実施例においては
、ベース台10は左側に可動ヘッド′#lO^と右側に
歯車室10Bを設け、該可動ヘッド室10^に設電され
る可動ヘッド2の構成および動作は、前述の第一図の可
動ヘッド2と同一であるので詳細説明は省略する。一方
の歯車室10Bには、可動ヘッド’ll0Aの微調カム
4より延びている微調カム軸3′ のほぼ中央部にウオ
ームギヤ11を設けている。該ウオームギヤx[ciW
直角の角度で対応してなるウオームギヤ12が設け、歯
車にて回転力を伝達するようになっている。皺ウオーム
ギヤ12には、ウオームギヤ軸13が連結されていて、
その一方の先端側にはマイクロメーター(図示していな
い)が取付けられている。そして前記ウオームギヤ11
とウオームギヤ12との歯車比はウオームギヤ11の歯
車数を多く、ウオームギヤ12の歯車数を少なくする。
FIG. 3 shows a fine movement feeder as another embodiment of the present invention. The fine-movement feed device of this embodiment incorporates a speed reducer using gears to enable even finer VCe feed. In this embodiment, the base 10 is provided with a movable head '#lO^ on the left side and a gear chamber 10B on the right side. Since it is the same as the movable head 2 shown in FIG. 1, detailed explanation will be omitted. In one gear chamber 10B, a worm gear 11 is provided approximately at the center of a fine adjustment cam shaft 3' extending from the fine adjustment cam 4 of the movable head 'll0A. The worm gear x[ciW
Worm gears 12 corresponding to each other at right angles are provided, and the rotational force is transmitted by the gears. A worm gear shaft 13 is connected to the wrinkled worm gear 12,
A micrometer (not shown) is attached to one tip side. and the worm gear 11
The gear ratio between the worm gear 11 and the worm gear 12 is such that the number of gears in the worm gear 11 is increased and the number of gears in the worm gear 12 is decreased.

例iばその比を70:/とすれば、ウオームギヤ12が
S回転するとウオームギヤ11は半回転することKなる
For example, if the ratio is 70:/, when the worm gear 12 rotates S, the worm gear 11 rotates half a rotation K.

このような−成の微動送り装置に於いて、前述の如く、
微調カム4の中心点αと微調カム軸3′の中心点βの差
すなわち×寸法を0.0!rxmc!;0μm)とする
と可動ヘッド2の最大移動量は0./雪鳳(100μm
)となりウオームギヤはS回転しないと0.7w(10
0μm)移動しないこととなる。すなわちウオームギヤ
12の/ l+o1転で0.02μm(20μm)のみ
可動ヘッド2が移動することとなり前記ウオームギヤh
13の一方の先端側に取付けられたマイクロメーターの
目盛により0.00 /闘(7μm)以下の微小な微動
の送りも確閣できる微動送り装NYなることが明らかで
ある。
In such a fine movement feeder, as mentioned above,
The difference between the center point α of the fine adjustment cam 4 and the center point β of the fine adjustment cam shaft 3', that is, the x dimension, is 0.0! rxmc! ;0μm), the maximum movement amount of the movable head 2 is 0. /Sekho (100μm
), and if the worm gear does not rotate by S, it will be 0.7w (10
0 μm) will not move. In other words, the movable head 2 moves by 0.02 μm (20 μm) with the /l+o1 rotation of the worm gear 12, and the worm gear h
It is clear that the micro-movement feed device NY is capable of accurately feeding micro-movements of 0.00/m (7 μm) or less based on the scale of the micrometer attached to one end of the micrometer.

第9図は、本発明の更に別の実施例を示すもので、第3
図のウオームギヤ11及び12を平形ギヤにしたもので
ある、すなわちペース10の歯車室10Bの中には、微
調カム軸3′ に平行ギヤ11Aを設け、それと平行に
対応して、平形イヤ12Aが平行ギヤ軸13^と連結さ
れて設けられている。該平行ギヤ軸13Aの一方の先端
側には、ペース10より外@に設けられたマイ〉ロメー
タ−15が設けられている。このように構成されている
歯車波速機構であると、可動ヘッド2、微調カム4、微
調カム軸3′、平形ギヤ11A、12^及びマイクロメ
ーター15が全て平行的に並べられているので従来横長
の加工機又は測定機が多いことからこのような横長微動
送り装置は利用範囲は多いものとなる。
FIG. 9 shows still another embodiment of the present invention.
The worm gears 11 and 12 shown in the figure are replaced by flat gears. In other words, in the gear chamber 10B of the pace 10, a parallel gear 11A is provided on the fine adjustment camshaft 3', and a flat ear 12A is provided in parallel with the parallel gear 11A. It is connected to the parallel gear shaft 13^. A myrometer 15 provided outside the pace 10 is provided at one end of the parallel gear shaft 13A. In the gear wave speed mechanism configured in this way, the movable head 2, the fine adjustment cam 4, the fine adjustment cam shaft 3', the flat gears 11A, 12^, and the micrometer 15 are all arranged in parallel. Since there are many processing machines and measuring machines, such a horizontal fine movement feeder has a wide range of applications.

第S図は、前述したような本発明の微動送り装置を利用
した光ファイバの端面研磨装着を示す一部破断概略正面
図であり、第6図は、第S図の装置の一部破断概略平面
図である。この端面研磨装置は、主として、ベース板3
0、回転台40、研胎盤50、可動ヘッド60、固定ヘ
ッド70、モーター80及び本発明による微動送り装置
90とから成っている。
FIG. S is a partially cutaway schematic front view showing end face polishing and mounting of an optical fiber using the fine movement feeder of the present invention as described above, and FIG. 6 is a partially cutaway schematic diagram of the device shown in FIG. FIG. This end face polishing device mainly uses a base plate 3.
0, a rotary table 40, a laboratory placenta 50, a movable head 60, a fixed head 70, a motor 80, and a fine movement feeding device 90 according to the present invention.

ベース板30に回転台40と固定ヘッド70が同定され
ており、回転台40には、被加工物である光フアイバケ
ーブル25を連結してなる光コネクタ用フェルール20
が端面固定台42により取付けられている。このフェル
ール20は必要に応じて回転台40に取付け、取外し可
能となっている。
A rotary table 40 and a fixed head 70 are identified on the base plate 30, and the rotary table 40 has an optical connector ferrule 20 connected to an optical fiber cable 25, which is a workpiece.
is attached by an end face fixing base 42. This ferrule 20 can be attached to and removed from the rotary table 40 as needed.

前r固定ヘッド70の左側面には、回転スピンドル65
及び研磨盤50を設けた可動ヘッド60が雌形■字案内
66と雌形V字案内71と嵌挿介入して設けられている
。又、固定ヘッド70の右側面には、モーター80が同
定ボルト82により固定されている。さらに、固定ヘッ
ド70の中央部75には、前記の微動送り装ft90の
歯車部91が設けられている。
A rotary spindle 65 is mounted on the left side of the front fixed head 70.
A movable head 60 provided with a polishing disk 50 is provided so as to be inserted into and interposed with a female-shaped square guide 66 and a female-shaped V-shaped guide 71. Further, a motor 80 is fixed to the right side surface of the fixed head 70 with an identification bolt 82. Further, in the central portion 75 of the fixed head 70, a gear portion 91 of the fine movement feeder ft90 is provided.

前記の研磨盤50の下部にはリング状のレジノイドダイ
ヤモンド砥石51が設けられ研磨盤50はスピンドル6
5及び■プリー67と連結されている。
A ring-shaped resinoid diamond grindstone 51 is provided at the bottom of the polishing disc 50, and the polishing disc 50 is connected to the spindle 6.
5 and ① pulley 67.

前記可動ヘッド60の下部面61にはスプリング受水6
2を設け、そのスプリング受水62にスプリング63を
挿入し、ス一りング受金具64にてスプリング63を受
けている。
A spring water receiver 6 is provided on the lower surface 61 of the movable head 60.
2, a spring 63 is inserted into the spring water receiver 62, and the spring 63 is received by a swinging receiver 64.

前記固定ヘッド70には、その外側の前側面に前凹部7
2が、その後備面には、螢凹部72′  がはモーター
80の取付部81をゲルト82により固定されている。
The fixed head 70 has a front recess 7 on its outer front side.
2, on the rear surface thereof, a firefly recess 72' has a mounting portion 81 of a motor 80 fixed thereto by a gel 82.

モーター80には、■プリー83が設けられベルト84
にて、■プリー67にて連結され回転力が伝達されるよ
うになっている。
The motor 80 is provided with a pulley 83 and a belt 84.
and (1) are connected at a pulley 67 so that rotational force is transmitted.

前記固定ヘッド70の前凹部72には、微調ハンドル9
2が設けられており、tThハンドル92の前方には微
調目盛93とハンドル軸94が設けらね、該ハンドル軸
94のほぼ中央部には、ウオームギヤ95が取付けられ
複数個のベアリング96により回転可能に固定ヘッド7
0に固定されている。前記ウオームギヤ95と対応し、
該ウオームギヤ95とほぼ直角に回転軸を有するウオー
ムギヤ97が設けられている。該ウオームギヤ97は、
ノックピン98によりaXカム99の微調カム軸100
に固定されている。該微調カム軸100は、複数、個の
ベアリング101により回転可能に固定ヘッド70に固
定されている。
A fine adjustment handle 9 is provided in the front recess 72 of the fixed head 70.
A fine adjustment scale 93 and a handle shaft 94 are provided in front of the tTh handle 92, and a worm gear 95 is attached to the approximate center of the handle shaft 94 and can be rotated by a plurality of bearings 96. Fixed head 7
Fixed to 0. Corresponding to the worm gear 95,
A worm gear 97 having a rotating shaft substantially perpendicular to the worm gear 95 is provided. The worm gear 97 is
Fine adjustment cam shaft 100 of aX cam 99 by knock pin 98
Fixed. The fine adjustment camshaft 100 is rotatably fixed to the fixed head 70 by a plurality of bearings 101.

前F微調カム99の下部には、可動ヘッド60に固定さ
れた微調当金具102が設けられ微調カム99の回転に
従い可動ヘッド60と共に上下に微動する。
A fine adjustment fitting 102 fixed to the movable head 60 is provided at the lower part of the front F fine adjustment cam 99, and moves slightly up and down together with the movable head 60 as the fine adjustment cam 99 rotates.

このような構成からなる端面研磨装置における光コネク
タのフェルール20及びそこに挿入された光ファイバの
端面の研磨動作について以下説明する。先ず第5図に明
確に示しているように光ファイバ25を連結してなる光
コネクタ用フェルール20を前記回転台40の側部に端
面固定台42にて取付ける。
The operation of polishing the ferrule 20 of the optical connector and the end face of the optical fiber inserted therein in the end face polishing apparatus having such a configuration will be described below. First, as clearly shown in FIG. 5, an optical connector ferrule 20 having optical fibers 25 connected thereto is attached to the side of the rotary table 40 using an end face fixing table 42.

次にモーター80を回転させミルド84にて回転をスぎ
ンドル65及びレジノイドダイヤ砥石51を取付けた研
磨盤50に伝達させる。
Next, the motor 80 is rotated and the rotation is transmitted by the mill 84 to the polishing disk 50 to which the grinder 65 and the resinoid diamond grindstone 51 are attached.

前Pモーター80により回転されたレジノイドダイヤ砥
石51に回転台40に取付けられたフェルール20及び
光ファイバの端面20/  を当接させて該端面を研磨
することになる。この場合、端面の研島代は、0−00
1m台の寸法、すなわち/μm台の微小な寸法であり、
前記可動ヘッドの上下の可動は700分の/μm台の微
動の目盛が読み取れなければならない。そのために、本
発明による微動送り装置90としては、ウオームギヤ9
5とウオームギヤ97との歯車比を/:乙Oとしている
。またさらに微調カム100と微調カム軸99の各中心
点αとβの差すなわちX寸法は0.3朋C300μm)
としている。微調カム軸99の中心点βは固定され、微
調カム100の中心点αは、それが回転することによっ
て、前記中心点βを中心にして回転することKなる。故
に、微調カム100の中心点αが最上位点から最下位点
まで移動すると0.4wC600μm)移動することと
なる。この際、微調ハンドル92は、前述の如く株軍比
!:60であるので30回転させると微調カムは半回転
となり前記の0.6龍(乙OOμm)移動することにな
る。微−ハンドル92は/回転で中心点αの上下の移動
量は0.02m<20μm)である。微−ハンドル92
には、微調目盛93が設けてあり、この微調目盛93は
、100分の/μm台の目盛は可能である〇 以上、説明した実施例は、ウオームギヤ95.97の歯
車比が/:60でX寸法が0.3朋とじたが、これにこ
だわる必要がなく、他のものとすることも可能であり、
微動送りの応用範囲は広範囲となるものである。
The ferrule 20 mounted on the rotating table 40 and the end face 20/ of the optical fiber are brought into contact with the resinoid diamond grindstone 51 rotated by the front P motor 80 to polish the end face. In this case, the grinding cost of the end face is 0-00
It has dimensions on the order of 1 m, that is, minute dimensions on the order of /μm,
The vertical movement of the movable head must be able to read fine movement scales on the order of 700 minutes/μm. For this purpose, the fine movement feeding device 90 according to the present invention includes a worm gear 9.
The gear ratio between the worm gear 97 and the worm gear 97 is /:O. Furthermore, the difference between the center points α and β of the fine adjustment cam 100 and the fine adjustment cam shaft 99, that is, the X dimension is 0.3 mm and 300 μm)
It is said that The center point β of the fine adjustment cam shaft 99 is fixed, and as it rotates, the center point α of the fine adjustment cam 100 rotates around the center point β. Therefore, when the center point α of the fine adjustment cam 100 moves from the highest point to the lowest point, it moves by 0.4 wC600 μm). At this time, the fine adjustment handle 92 is adjusted as described above. :60, so if it rotates 30 times, the fine adjustment cam will turn half a turn, and will move by the aforementioned 0.6 mm. The fine handle 92 has a vertical movement amount of the center point α of 0.02 m<20 μm per rotation. Fine handle 92
is provided with a fine adjustment scale 93, and this fine adjustment scale 93 can be scaled on the order of 100 minutes/μm. In the embodiment described above, the gear ratio of the worm gear 95.97 is /:60. Although the X dimension is 0.3 mm, there is no need to stick to this, and it is possible to use other values.
The application range of fine movement feed is wide-ranging.

本発明の微動送り装着は、前述したような構成であるの
で、従来の微動送り装置と比較して次のような利点を有
している。
Since the fine movement feeding device of the present invention has the above-described configuration, it has the following advantages compared to the conventional fine movement feeding device.

m  非常に微小なる寸法(側受げ7μm)の微動送り
が可能である。
m It is possible to perform fine movement with very small dimensions (side support 7 μm).

(2)微動送りには精密小細ピンチねじが不要であるの
で、加工性がよくコストも安価に製造しうる0 (3)小細ねじを使用しないので、微動送りの許容荷重
は、特に小さくなることがなく、かなりの荷重まで耐え
られるので、被加工物、被測定物を限定する必要がない
(2) Fine adjustment does not require precision pinch screws, so it is easy to process and can be manufactured at low cost. (3) Since fine adjustment screws are not used, the allowable load for fine adjustment is particularly small. Since it can withstand a considerable load without causing damage, there is no need to limit the objects to be processed or measured.

(4)  /JX細ねじを使用していないので、ねじk
よる嵌合の遊び(スキ間)がなく、、またねじ回転によ
る摩耗もないので誤差d発組が少ない。
(4) Since /JX thin screws are not used, screw k
There is no play (gap) when fitting due to twisting, and there is no wear due to screw rotation, so errors in assembly are small.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実旅例としての微動送り装置を原理
的に示す図、第一図は本発明の別の実施例としての微動
送り装置を原理的忙示す図、第3図は本発明の更に具体
化した別の実施例としての微動送り装置を示す図、第9
図は本発明の更に別の実施例を示す図、第S図は本発明
の微動送り装置を利用した光ファイバの端面研磨装置を
示す一剖研断概略正面図、第6図は第S図の装置の一部
破断析略平面図である。 1・・・・・・べ−、x台、 2・・・・・・可動ヘッ
ド、3・・・・・・微調カム軸、  4・・・・・・微
−カム、5・・・・・・当金具、 6・・・・・・スプ
リング。
FIG. 1 is a diagram showing the principle of a fine movement feeder as an example of the present invention, FIG. 1 is a diagram showing the principle of a fine movement feeder as another embodiment of the invention, and FIG. FIG. 9 shows a fine movement feeder as another embodiment of the present invention.
The figure shows still another embodiment of the present invention, Figure S is a schematic cross-sectional front view showing an optical fiber end face polishing device using the fine movement feeder of the present invention, and Figure 6 is Figure S. FIG. 1...B, x unit, 2...Movable head, 3...Fine adjustment cam shaft, 4...Fine cam, 5... ...This metal fitting, 6... Spring.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)  ペース台において一方向に偏移された可動ヘ
ッドと、ペース台において回転し5るように設けられた
微調カム軸と、該微調カム軸と共に回転しうるはg円形
の微調カムとを備えており、該微調カムの中心は、前記
徴論カム−の回転中心から偏心されており、前r微調カ
ムの局面は、前記可動ヘッドに対して前配偏移力に対向
する状態にて接しており、前記微調カム−の回転につれ
て前記微調カムの作用によって前記可動ヘッドが前記偏
移力に抗して微動することを特徴とする精密機器の微動
送り装置。
(1) A movable head that is shifted in one direction on the pace table, a fine adjustment cam shaft that is provided to rotate on the pace table, and a circular fine adjustment cam that can rotate together with the fine adjustment cam shaft. The center of the fine adjustment cam is eccentric from the center of rotation of the adjustment cam, and the front surface of the front fine adjustment cam is in a state facing the front displacement force with respect to the movable head. A fine movement feeding device for a precision instrument, wherein the movable head moves slightly against the shifting force by the action of the fine adjustment cam as the fine adjustment cam rotates.
(2)前記11!調カムの周面は、前記可動ヘッドに固
定された平板状当接具との摺接を介して前記可動ヘッド
に接している特許請求の範囲第(1)項記載の精密機器
の微動送り装置。
(2) 11 above! A fine movement feeder for a precision instrument according to claim (1), wherein the peripheral surface of the adjustment cam is in contact with the movable head through sliding contact with a flat contact tool fixed to the movable head. .
(3)前r微調カムの周面は、前記可動ヘッドの固定具
内にて回転自在に設けられたゴール状又はロール状部材
との摺接を介して前Mr′可動ヘッドに接している特許
請求の範囲第(11項項記の精密機器の微動送り装置。
(3) The peripheral surface of the front r fine adjustment cam is in contact with the front Mr' movable head through sliding contact with a goal-shaped or roll-shaped member rotatably provided within the fixture of the movable head. A fine movement feeder for a precision instrument according to claim 11.
(4)前r微調カム軸は、微調用ダイヤルにより減速機
構を介して回転される特許請求の範囲第(1)項又は年
12)項又は炉(31項現記の精密機器の微動送り装置
(4) The front r fine adjustment camshaft is rotated by a dial for fine adjustment via a speed reduction mechanism. .
JP8459382A 1982-05-19 1982-05-19 Fine movement feeder in optical fiber end polishing equipment Expired JPS6051988B2 (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6364400A (en) * 1986-09-03 1988-03-22 新明和工業株式会社 Aligner
US5157872A (en) * 1990-11-28 1992-10-27 Bando Kagaku Kbushiki Kaisha Control apparatus for grinding machine

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