JPS58201100A - 荷電粒子偏向器 - Google Patents
荷電粒子偏向器Info
- Publication number
- JPS58201100A JPS58201100A JP8316282A JP8316282A JPS58201100A JP S58201100 A JPS58201100 A JP S58201100A JP 8316282 A JP8316282 A JP 8316282A JP 8316282 A JP8316282 A JP 8316282A JP S58201100 A JPS58201100 A JP S58201100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- sheet
- energy
- deflection
- longitudinal direction
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 30
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技讐分野〕
本発明はシート状の荷電粒子ビームを偏向する荷電粒子
ビームに関する。
ビームに関する。
一般に荷電粒子の偏向は電磁場の偏向作用を！利用して
いるが単一エネルギーのビームの場合には、円柱゛伏ビ
ーム、シート状ビームなどビームの断面形状に限らず、
平行半板電極によってつくられた電場中を通過させるこ
とによって、偏向していた。この偏向は印加電圧によっ
て任意量のビームの偏位が可能であるが、その偏位線（
１）は、第１図に示すように、静電偏向板１，１の間に
印加された電位（３）によって荷電粒子ビーム２が真空
容器３内で偏向されるが、この時の一様に静電場の存在
する領域をＸｌ、粒子の自由走行区間をＸ２とすると、 ｕ 見られる。ただし、ｅは単位電荷、Ｚは粒子の荷電数、
Ｅは電場強度、Ｕは粒子エネルギーである。
いるが単一エネルギーのビームの場合には、円柱゛伏ビ
ーム、シート状ビームなどビームの断面形状に限らず、
平行半板電極によってつくられた電場中を通過させるこ
とによって、偏向していた。この偏向は印加電圧によっ
て任意量のビームの偏位が可能であるが、その偏位線（
１）は、第１図に示すように、静電偏向板１，１の間に
印加された電位（３）によって荷電粒子ビーム２が真空
容器３内で偏向されるが、この時の一様に静電場の存在
する領域をＸｌ、粒子の自由走行区間をＸ２とすると、 ｕ 見られる。ただし、ｅは単位電荷、Ｚは粒子の荷電数、
Ｅは電場強度、Ｕは粒子エネルギーである。
しかしこのような偏向電場に、例えば磁石によって運動
量分析されたシート状のビームが入射した場合には、ビ
ームの幅方向の位置によってその偏向状態が異なること
になる。すなわちシート状の荷電粒子ビームはシートの
断面長手方向（進行方向に直角の長手方向）に向って単
調にビームのエネルギーが増大もしくは減少していて、
ビームの偏位は第１式から第２図に示すように荷電粒子
エネルギー（ｕ）が変化するとその偏位距離も変化する
ことになり、このことは、シート状荷電粒子ビームのビ
ーム処理を電場による偏向後に行なおうとすると、扱い
にくいビームとなり、しばしば面倒な問題が生じていた
。
量分析されたシート状のビームが入射した場合には、ビ
ームの幅方向の位置によってその偏向状態が異なること
になる。すなわちシート状の荷電粒子ビームはシートの
断面長手方向（進行方向に直角の長手方向）に向って単
調にビームのエネルギーが増大もしくは減少していて、
ビームの偏位は第１式から第２図に示すように荷電粒子
エネルギー（ｕ）が変化するとその偏位距離も変化する
ことになり、このことは、シート状荷電粒子ビームのビ
ーム処理を電場による偏向後に行なおうとすると、扱い
にくいビームとなり、しばしば面倒な問題が生じていた
。
本発明はこのような点に鑑み為されたもので、ｆｉ場の
偏向後のビーム処理を扱い易くすることのできるシート
状荷礪粒子ビームの偏向に適した荷電粒子偏向器を提供
することを目的とする。
偏向後のビーム処理を扱い易くすることのできるシート
状荷礪粒子ビームの偏向に適した荷電粒子偏向器を提供
することを目的とする。
本発明は静′嶋場によってビームの進行方向に直角な断
面の長手方向に粒子エネルギが変化するシート状荷電粒
子ビームを偏向するもので、シート状荷電粒子ビームの
進行方向に直角な断面の長手方向に、粒子エネルギーに
対応した静電場強度を偏向板の電極間隔を変えたりして
変化させて構成することによ抄磁場通過後のビームであ
ってもこの電場偏向後のビーム処理を容易にすることの
できる荷電粒子偏向器である。
面の長手方向に粒子エネルギが変化するシート状荷電粒
子ビームを偏向するもので、シート状荷電粒子ビームの
進行方向に直角な断面の長手方向に、粒子エネルギーに
対応した静電場強度を偏向板の電極間隔を変えたりして
変化させて構成することによ抄磁場通過後のビームであ
ってもこの電場偏向後のビーム処理を容易にすることの
できる荷電粒子偏向器である。
本発明によればシート状の荷電粒子ビームのビームエネ
ルギーがビームの進行方向に直角な断面の長手方向に変
化しているビームが偏向器に入射した後の偏位距離を任
意に設定することができる。
ルギーがビームの進行方向に直角な断面の長手方向に変
化しているビームが偏向器に入射した後の偏位距離を任
意に設定することができる。
以下本発明の実施例について詳細に説明する。
前述した第１式から明らかのように、偏位置（１）は電
場強度（ト）と粒子エネルギー（ｕ）とが（Ｈ／ｕ）に
比例することから、第３図に示すような幅りのシート状
荷電粒子ビーム２がその進行方向（矢印方向）Ｋ直角な
方向（ｅ）の断面の長手方向のビームの幅（ＩＩ＞で粒
子エネルギー（ｕｌ）から（０２） Ｋ線形に変化して
いる場合を例〈とると、第４図に示すような電極間距離
ｄがシート状ビームの進行方向に直角な方向に異なるよ
うに電極構成するととＫよって偏向されたビームの偏位
置を長手方向（Ｌ）のエネルギーの値にかかわらず一定
とすることができる。
場強度（ト）と粒子エネルギー（ｕ）とが（Ｈ／ｕ）に
比例することから、第３図に示すような幅りのシート状
荷電粒子ビーム２がその進行方向（矢印方向）Ｋ直角な
方向（ｅ）の断面の長手方向のビームの幅（ＩＩ＞で粒
子エネルギー（ｕｌ）から（０２） Ｋ線形に変化して
いる場合を例〈とると、第４図に示すような電極間距離
ｄがシート状ビームの進行方向に直角な方向に異なるよ
うに電極構成するととＫよって偏向されたビームの偏位
置を長手方向（Ｌ）のエネルギーの値にかかわらず一定
とすることができる。
すなわち、電極１■と電極１θとの！極間路＠ｄは
↓火
″′Ｆ−全臼であるため、この距離ｄを変えることによ
し、ビーム処理後のビームの幅方向エネルギーを所定の
偏立駄とすることができる。
↓火
″′Ｆ−全臼であるため、この距離ｄを変えることによ
し、ビーム処理後のビームの幅方向エネルギーを所定の
偏立駄とすることができる。
上述の実施列では、エネルギーが単調に線形に変化して
いる場合を示したが、本発明はこの場合に限定されるも
のではない。エネルギー変化が、シートの直角断面長手
方向の距離に対して任意の変化をしていてもさしつかえ
はなく、また、単調な変化ではなく、増加、減少をく９
かえしていても本発明は対応できる。また、一様静電場
の存在する領域ｘ１をシートの長手方向に一定長に限定
することなく、変化させることによって更に応用範囲は
ひろがる。
いる場合を示したが、本発明はこの場合に限定されるも
のではない。エネルギー変化が、シートの直角断面長手
方向の距離に対して任意の変化をしていてもさしつかえ
はなく、また、単調な変化ではなく、増加、減少をく９
かえしていても本発明は対応できる。また、一様静電場
の存在する領域ｘ１をシートの長手方向に一定長に限定
することなく、変化させることによって更に応用範囲は
ひろがる。
第１図は、静電場を利用した偏向器の原理図、第２図は
第１図の様な一様電場中にエネルギーのちがう荷電粒子
が入射した際のエネルギーに対する偏位置を模式的に示
した図、第３図はシート状ビームで、長手方向にエネル
ギーが線形に変化している荷電粒子ビームを示す図、第
４図は本発明を利用した例で第３図のシートビームに対
する電極間距離を示す模式図である。 １・・・静電偏向板、２・・・荷電粒子ビーム、３・・
・真空容器。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第３図 第４図
第１図の様な一様電場中にエネルギーのちがう荷電粒子
が入射した際のエネルギーに対する偏位置を模式的に示
した図、第３図はシート状ビームで、長手方向にエネル
ギーが線形に変化している荷電粒子ビームを示す図、第
４図は本発明を利用した例で第３図のシートビームに対
する電極間距離を示す模式図である。 １・・・静電偏向板、２・・・荷電粒子ビーム、３・・
・真空容器。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第３図 第４図
Claims (1)
- 静電場によって進行方向に直角な断面の長手方向に粒子
エネルギーが変化するシート状荷電粒子ビームを偏向す
るものにおいて、前記シートｌ電粒子ビームの進行方向
に直角な断面の長手方向に、粒子エネルギーに対応した
静電場強度を変化させて構成したことを特徴とする荷電
粒子偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8316282A JPS58201100A (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 荷電粒子偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8316282A JPS58201100A (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 荷電粒子偏向器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201100A true JPS58201100A (ja) | 1983-11-22 |
Family
ID=13794554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8316282A Pending JPS58201100A (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 荷電粒子偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58201100A (ja) |
-
1982
- 1982-05-19 JP JP8316282A patent/JPS58201100A/ja active Pending
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