JPS58200502A - Moisture measuring element - Google Patents
Moisture measuring elementInfo
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- JPS58200502A JPS58200502A JP57083181A JP8318182A JPS58200502A JP S58200502 A JPS58200502 A JP S58200502A JP 57083181 A JP57083181 A JP 57083181A JP 8318182 A JP8318182 A JP 8318182A JP S58200502 A JPS58200502 A JP S58200502A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は湿度の変化を電気抵抗の変化として検出するこ
とにより湿度を測定するのに有用な湿度測定素子に関す
る。とくに、本発明は湿度の変化に呼応して電気抵抗が
変化する応答性1こ優れ、湿度の変化に追随する電気抵
抗の変化が実用的な適正変化率を示し、例えば、相対湿
度約90〜約30%程度の範囲に於て、電気抵抗が約1
0′〜106Ω程度の適正なオーダーを示し、更シこ、
1−
安価且つ作製容易な湿度測定素子に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a humidity measuring element useful for measuring humidity by detecting changes in humidity as changes in electrical resistance. In particular, the present invention has excellent responsiveness in which the electrical resistance changes in response to changes in humidity, and the changes in electrical resistance that follow changes in humidity show a practically appropriate rate of change, for example, when the relative humidity is about 90~90. In a range of about 30%, the electrical resistance is about 1
It shows the appropriate order of 0' to 106Ω, and
1-Regarding a humidity measuring element that is inexpensive and easy to manufacture.
更に詳しくは、本発明は、(a)リチウム、(b)ニオ
ブ及び(c)鉄よりなる複合金属酸化物熱処理構造体か
らなることを特徴とする湿度測定素子に関する。More specifically, the present invention relates to a humidity measuring element comprising a heat-treated composite metal oxide structure made of (a) lithium, (b) niobium, and (c) iron.
従来、湿度測定素子としては、電解質水溶液を多孔質マ
トリクスに浸潤させたもの、金属酸化物を熱処理したも
のなど数多くの素子がある。Conventionally, there are many humidity measuring elements, such as those in which a porous matrix is infiltrated with an aqueous electrolyte solution, and those in which metal oxides are heat-treated.
電解質水溶液を多孔質マトリクスに浸潤させた湿度測定
素子の一例として塩化リチウムを電解質水溶液として用
いたものがある。An example of a humidity measuring element in which a porous matrix is infiltrated with an electrolyte aqueous solution is one in which lithium chloride is used as the electrolyte aqueous solution.
この例の素子は40%RH〜80%RHの中間湿度用と
して抵抗値が107Ω〜103Ωで実用上使いやすいも
のである。しかし使用温度の上限が低く、たとえば35
°C以上に6ケ月間放置するだけで特性が大きく変化し
てしまう。また高湿度になると潮解作用の促進により塩
が流出し、使用に耐えなくなる欠点がある。The element of this example has a resistance value of 10 7 Ω to 10 3 Ω and is easy to use in practice for intermediate humidity between 40% RH and 80% RH. However, the upper limit of the operating temperature is low, for example 35
Even if it is left at temperatures above °C for 6 months, its characteristics will change significantly. In addition, when the humidity is high, the salt flows out due to the promotion of deliquescence, making it unusable.
金属酸化物を熱処理した湿度測定素子は、物理的、化学
的、熱的に安定であるが、一般に固有抵抗が高いため吸
脱湿現象による抵抗変化があっても高精度に検出するこ
とは難しい欠点がある。Humidity measuring elements made of heat-treated metal oxides are physically, chemically, and thermally stable, but they generally have high specific resistance, making it difficult to detect with high precision even if there is a change in resistance due to moisture absorption and desorption phenomena. There are drawbacks.
このような金属酸化物を熱処理した湿度測定素子の例と
して、LiNb01の単結晶を利用する特開昭55−2
2122号の提案が知られている。この提案においては
、強誘電体LiNb0.結晶に電極を取り付け、その電
気抵抗から湿度を測定することを特徴とする湿度測定素
子が提案されている。しh化なが呟このよう2−
な単結晶の利用は、該単結晶の製作それ自体が煩雑且つ
高価につくるため、その実用には種々の制約を受ける不
利益がある。As an example of a humidity measuring element in which such a metal oxide is heat-treated, Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-2 uses a single crystal of LiNb01.
The proposal of No. 2122 is known. In this proposal, ferroelectric LiNb0. A humidity measuring element has been proposed in which an electrode is attached to a crystal and humidity is measured from the electrical resistance of the electrode. However, the use of such a single crystal has the disadvantage that the production of the single crystal itself is complicated and expensive, and its practical use is subject to various restrictions.
このような単結晶の利用に代えて、LiNbO5の粉末
とガラス粉末の混合物から成るLiNb01を主成分と
するペーストをアルミナ基板上に施して、乾燥、焼成し
た素子についての研究報告も知られている(第42回応
用物理学会学術講演会、講演予稿集、8p−W−6,7
95頁、昭和56年10月)。この報告によれば、該素
子に於ては、LiNbO3とガラス中に含有されている
円〕0との反応性を利用してLiPbNb0=が形成さ
れると記載されている。Instead of using such a single crystal, there is also a research report on an element in which a paste mainly composed of LiNbO1, which is a mixture of LiNbO5 powder and glass powder, is applied onto an alumina substrate, dried, and fired. (42nd Japan Society of Applied Physics Academic Conference, Proceedings, 8p-W-6, 7
95 pages, October 1982). According to this report, it is stated that in this element, LiPbNb0= is formed by utilizing the reactivity between LiNbO3 and circle]0 contained in the glass.
更に、特開昭56−23702号には、LiNb0.を
包含する広範な金属酸化物類からえらばれた成分の少な
くとも一種を主成分とした磁器よりなる感湿抵抗体素子
本体と、この本体の両市にそれぞれ付着して少くとも一
方が該本体の感湿抵抗値範囲より小さく、しかも1Ω/
口以−トの面抵抗を有する抵抗発熱体よりなる一対の湿
度検知電極とを備えた感湿抵抗体素子が提案されている
。Furthermore, JP-A No. 56-23702 describes LiNb0. A moisture-sensitive resistor element body made of porcelain whose main component is at least one component selected from a wide range of metal oxides including Smaller than the wet resistance value range and 1Ω/
A humidity-sensitive resistor element has been proposed, which includes a pair of humidity-sensing electrodes made of a resistive heating element having a sheet resistance of 100 mL.
この提案においては、上記構成に特定されているとおり
、感湿抵抗体素子本体を加熱する抵抗発熱体よりなる電
極を要し、構造及び製作が煩雑であり且つ素子本体の加
熱を必要とする不利益がある。As specified in the above configuration, this proposal requires an electrode made of a resistance heating element that heats the humidity-sensitive resistor element body, and is complicated in structure and manufacturing and requires heating of the element body. There is profit.
本発明者等は、リチウムとニオブ系の複合金属酸化物熱
処理構造体の湿度測定素子の開発について研究を進めて
きた。The present inventors have been conducting research on the development of a humidity measuring element for a heat-treated composite metal oxide structure of lithium and niobium.
3−
その結果、リチウム及びニオブよりなる複合金属酸化物
熱処理構造体が高い電気抵抗を有するにも拘わらず、(
a)’jチウム、()〕)ニオブ及び(c)鉄よりなる
複合金属酸化物熱処理構造体の電気抵抗が顕著に低下し
て約90〜約30%(R11)の範囲に於て約103〜
106Ω程度の実用的に適正なオーダーとなって、湿度
の変化に追随する電気抵抗の変化が実用的な適正変化率
を示すことを発見した。又更に、本発明によれば、素子
の加熱は必要とすることなしに、上記諸利益の達成でき
る湿度測定素子が提供できることがわかった。3- As a result, although the composite metal oxide heat-treated structure made of lithium and niobium has high electrical resistance, (
The electrical resistance of the composite metal oxide heat-treated structure consisting of a)'j thium, ()]) niobium, and (c) iron decreased significantly to about 103 in the range of about 90 to about 30% (R11). ~
It has been discovered that the change in electrical resistance following the change in humidity shows a practically appropriate rate of change, which is on the order of 106Ω, which is a practically appropriate order. Furthermore, it has been found that according to the present invention, a humidity measuring element that can achieve the above benefits without requiring heating of the element can be provided.
本発明の上記目的及び更に多くの他の目的ならびに利点
は以下の記載から一層明らかとなるであろう。The above objects and many other objects and advantages of the present invention will become more apparent from the following description.
本発明の湿度測定素子は、小なくとも(a)リチウム、
(b)ニオブと(c)鉄を含む複合金属酸化物熱処理構
造体に少なくとも1対の電極を設けてなることを特徴と
するものである。The humidity measuring element of the present invention comprises at least (a) lithium;
A composite metal oxide heat-treated structure containing (b) niobium and (c) iron is provided with at least one pair of electrodes.
好ましい一態様によれば、本発明の湿度測定素子は該(
a)リチウム、該(b)ニオブと(c)鉄を金属原子換
算して、(、)リチウム 0.01−75原子%(b
)ニオブ 20〜99.98原子%(c) 鉄
()・、01〜1()原子%[但し、(a)+(b
)+(c)” 10 (l原f%1の複合金属酸化物熱
処理構造体【こ1対の電極を設けてなる湿度測定素子を
例示することができる。According to a preferred embodiment, the humidity measuring element of the present invention comprises the (
a) Lithium, (b) niobium and (c) iron converted to metal atoms, (,) lithium 0.01-75 at% (b
) Niobium 20-99.98 atomic% (c) Iron
()・, 01~1() atomic% [However, (a) + (b
) + (c)'' 10 (l original f% 1 composite metal oxide heat-treated structure) A humidity measuring element provided with this pair of electrodes can be exemplified.
4一
本発明の湿度測定素子は、さらに他の金属酸化物を担体
として含有する系からの熱処理構造体であることができ
、より経済的、工業的熱処理構造体の形成に役立つ。41 The humidity measuring element of the present invention can be a heat-treated structure from a system containing further metal oxides as carriers, which lends itself to the formation of more economical and industrial heat-treated structures.
このような担体金属酸化物としてはA l 203.5
i02などを例示することができる。その量は例えば担
体金属酸化物に対して、前記(a)(b)(c)の合計
が重量換算で表わして0.1重量%以上の菫を例示する
ことができる。Such carrier metal oxides include Al 203.5
i02 etc. can be exemplified. As for the amount, for example, violet may be used in which the total of (a), (b), and (c) is 0.1% by weight or more based on the carrier metal oxide.
本発明の湿度測定素子を構成する熱処理構造体の出発原
料として実施例では、Li2C01,Nb2O5とFe
zO3を用いるが必ずしもこの組合せに限定されるもの
でない。熱処理構造体が少なくともリチウム、ニオブと
鉄を含むものであればよい。In the examples, Li2C01, Nb2O5 and Fe are used as starting materials for the heat-treated structure constituting the humidity measuring element of the present invention.
Although zO3 is used, the combination is not necessarily limited to this. It is sufficient that the heat-treated structure contains at least lithium, niobium, and iron.
たとえばリチウム原料としてL;20、I=i=COs
、Li(−)11、L i HCO3、L ! CI
、LiCl0. 、LiBr、Lil、liF、Li2
5O,、LiH3O,、LiN0= 、 LiNH
,、1,i 旧I、 、Li2S、LiH,Li=N、
Li2C2、C:O,Li、などを例小することがで軽
る。これらは単独でも複数種でも利用できる1、又、ニ
オブ原料としてNbO,NbO2、Nb2O,、、N
b((’、) It )、NbBr3、NbFs 、N
bH,NbC,NbNなどを例示することができる。こ
れらは単独でも複数種でも利用することができる。For example, as a lithium raw material L; 20, I=i=COs
, Li(-)11, L i HCO3, L ! C.I.
, LiCl0. , LiBr, Lil, liF, Li2
5O,, LiH3O,, LiN0= , LiNH
,,1,i old I, ,Li2S,LiH,Li=N,
By reducing Li2C2, C:O, Li, etc., the weight can be reduced. These can be used alone or in combination1, and as niobium raw materials, NbO, NbO2, Nb2O,...
b((',)It), NbBr3, NbFs, N
Examples include bH, NbC, and NbN. These can be used alone or in combination.
更に、鉄原料としてFe01F e =、 03、Fe
、O,、Fe(CO):(NO)、FeBr2、FeB
r2、Fe(NOz)2、Fe(、N03)3、Fe(
011):、、l’ e(OH)3、FeC0,、Fe
(C5N、)2、FeF2、FeF 3、l’ e S
など5−
を例示することができる。これらは単独でも複数種でも
利用できる。Furthermore, as an iron raw material, Fe01F e =, 03, Fe
,O,,Fe(CO):(NO),FeBr2,FeB
r2, Fe(NOz)2, Fe(,N03)3, Fe(
011):,,l' e(OH)3,FeC0,,Fe
(C5N,)2,FeF2,FeF3,l' e S
etc. 5- can be exemplified. These can be used alone or in combination.
本発明における複合金属酸化物熱処理構造体の粉末は例
えば■、12CO=、Nb2O,とFe20−を正確に
秤取し、ボールミルにより十分に混合粉砕し、900℃
曲後の温度で焼成して後に粉砕することにより調整粉末
を得ることがで終る。またこの焼成においては任意の2
者を焼成して後に残りの金属酸化物を加えて再度焼成し
て後に粉砕することにより調整粉末を得ることもできる
。該調整粉末に粘結剤を必要に応じて加えても加えなく
てもよくまた加圧成形もしくは無加圧成形により該調整
粉末を成形したものを900℃〜1300℃の温度で熱
処理して得た複合金属酸化物熱処理構造体に少なくとも
1対の電極を設けてなる湿度測定素子を例示することが
できる。またL i 2CO、、Nb2O5と)”ez
o3を正確に秤取し、ボールミルにより十分に混合粉砕
したものを成形して焼成に続いて熱処理して得た複合金
属酸化物熱処理構造体に1対の電極を設けてなる湿度測
定素子を例示することができる。 このような粉末混合
系を熱処理して、【1的とする熱処理構造体を形成する
熱処理温度としては、約り00℃〜約130 (1’(
:の温度を例示することができる。又、粉末混合系の粉
末粒子サイズは適宜に選択できるが、例えば約()、1
〜約21) 0 ミクロンの如き11L均粒子径の粒子
サイズを例示することができる。The powder of the composite metal oxide heat-treated structure in the present invention is obtained by accurately weighing, for example,
It ends with obtaining a modified powder by calcination at a post-curing temperature and subsequent crushing. Also, in this firing, any 2
A modified powder can also be obtained by calcining the powder, adding the remaining metal oxide, calcining it again, and then pulverizing it. A binder may or may not be added to the adjusted powder as necessary, and the adjusted powder may be molded by pressure molding or non-pressure molding and then heat treated at a temperature of 900°C to 1300°C. An example of the humidity measuring element is a composite metal oxide heat-treated structure provided with at least one pair of electrodes. Also, L i 2CO,, Nb2O5)”ez
An example of a humidity measuring element is shown in which a pair of electrodes is provided on a composite metal oxide heat-treated structure obtained by accurately weighing o3, thoroughly mixing and pulverizing it in a ball mill, molding it, firing it, and then heat-treating it. can do. The heat treatment temperature for heat-treating such a powder mixture system to form a heat-treated structure is approximately 00°C to approximately 130°C (1'(
An example is the temperature of :. In addition, the powder particle size of the powder mixture system can be selected as appropriate, for example, approximately (), 1
Examples include particle sizes of 11L average particle diameter, such as ~21) 0 microns.
又、前記の所望の形状に加圧成形する際、或いは又、^
1j記の加6−
圧成形熱処理の際の加圧条件としては、たとえば、約5
0 Ky / d〜約2000 Ky/dの如き成形圧
を例示することができる。Also, when press-molding into the desired shape, or
As for the pressure conditions during the pressure forming heat treatment, for example, about 5
Molding pressures such as 0 Ky/d to about 2000 Ky/d can be exemplified.
本発明の湿度測定素子を構成する熱処理構造体を形r&
家る−・態様によれば、(、)リチウム、(b)ニオブ
及び(c)鉄を又、iIJ記例小の如き二種の金属成分
を含む予め形成された複合酸化物及び残りの金属化合物
を、各化合物を夫々粉砕して混合したり或は又、それら
を、例えばボールミル、バイブレーションミルその池適
宜な粉砕混合手段で共粉砕したりして、(a)、(b)
及び(c)を含む粉末混合物系を調製し、所望により適
当な粘結剤を混合腰加1自友形して所望形状の成形物を
得、これを予備焼成しもしくはせすに、熱処理焼成する
ことにより、熱処理構造体を得ることができる。The heat-treated structure constituting the humidity measuring element of the present invention is shaped like r&
According to another aspect, a preformed composite oxide comprising two metal components such as (a) lithium, (b) niobium, and (c) iron, and the remaining metals. (a), (b) by pulverizing the compounds individually and mixing them, or by co-pulverizing them using, for example, a ball mill, a vibration mill, or a suitable pulverizing and mixing means.
A powder mixture system containing (c) is prepared, mixed with an appropriate binder if desired, and molded into a desired shape to obtain a molded product of a desired shape, which is pre-fired or then heat-treated and fired. By doing so, a heat-treated structure can be obtained.
又、他の一態様によれば、上述の如き粉末混合物系に、
塗布i:適した適当なスラリー乃至ペースト状物の形成
に適した種類及び量の粘結剤を配合してスラリー乃至ペ
ースト状の混合物を形成し、これを例えばアルミナ、ベ
リリア、シリカ、7オルステライト、ステアタイト、ム
ライト、マグネシア、ノルコニア、コーノライY、窒素
ケイ素、窒化ホウ素、などの如き所望の基板に塗布して
、例えば約0.001〜約1am程度の被膜を形成し、
これを、1)1j記に例示したような熱処理条件で熱処
理し、で、基板−1に熱処理構造::
体を形成することができる。Also, according to another embodiment, in the powder mixture system as described above,
Application I: A slurry or paste mixture is formed by blending a suitable type and amount of binder to form a suitable slurry or paste, and this is mixed with alumina, beryllia, silica, 7-orsterite, etc. , steatite, mullite, magnesia, norconia, Cornolite Y, silicon nitrogen, boron nitride, etc., to form a film of about 0.001 to about 1 am, for example,
This can be heat treated under the heat treatment conditions as exemplified in 1) 1j to form a heat treated structure on the substrate-1.
又、上記曲者の態様に於て利用する粘結剤の例としては
、たとえば、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタア
クリレート、!7−
チルメタアクリレート系共重合体、ポリエチルアクリレ
ート、エチルアクリレート系共重合体、ポリ塩化ビニル
、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコール、ポリアクリ
ルアミド、酢酸セルロース′、七゛ラチン、メチルセル
ロース、メチルエチルセルロース、パラフィン、ワセリ
ン、などを例示できる。これらの中から各態様に適した
粘結剤を適宜にえらんで利用でき、複数種えらんで併用
rることもできる。Further, examples of the binder used in the above embodiment include polyvinyl butyral, polymethyl methacrylate, etc. 7-Tyl methacrylate copolymer, polyethyl acrylate, ethyl acrylate copolymer, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, polyacrylamide, cellulose acetate', hexalatine, methyl cellulose, methyl ethyl cellulose, paraffin, Vaseline, etc. can be exemplified. A binder suitable for each aspect can be appropriately selected from among these, and a plurality of binders can be selected and used in combination.
本発明の湿度測定素子は、それ自体公知の手法によって
、電極を取りつけて利用できる。このような電極形成の
手段としては、スクリーン印刷法、塗布法、ディップ法
、蒸着法、スパッタリングなどの手段を例示できる。又
、電極の形状は適宜に選択でき、たとえば櫛型電極、渦
巻型電極、平行電極の形状に設けることかで終る。電極
形成材料としては、たとえばAu、 At、I’d、
AH1A8 Pd、Cu、Ni等の金属及びI’< u
(、) 2.1acrO1等の酸化物などを例示する
ことができる。The humidity measuring element of the present invention can be used by attaching electrodes by a method known per se. Examples of means for forming such electrodes include screen printing, coating, dipping, vapor deposition, and sputtering. Further, the shape of the electrode can be selected as appropriate, and for example, it can be provided in the shape of a comb-shaped electrode, a spiral electrode, or a parallel electrode. Examples of electrode forming materials include Au, At, I'd,
AH1A8 Metals such as Pd, Cu, Ni and I'< u
(,) 2.1 oxides such as acrO1 can be exemplified.
以下、実施例により本発明り法の数態様について、更に
詳しく説明する。Hereinafter, some embodiments of the method of the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.
実施例1〜6及び比較例1
後掲築1表に示したl、i 2 C03、N b :
(−) 、及び)er、03を表に示したモル%の割合
で秤取Cり粉砕混合した。二の粉砕混合系を約900
’(:の温度で約11)時間のf・備熱処理をし、その
後、これらの予備熱処理物をボールミルで+1+粉砕し
て調整粉末を得た。該調8−
整粉末に粘結剤として該調整粉末の5wt%のパラフィ
ンを加えて混合し、1)ン/iの圧力で径20u、厚さ
約1Hの円盤状試料を加圧成形した。該円盤状試料を9
00℃〜1300℃に設定された温度で約1時間の熱処
理をし、複合金属酸化物熱処理構造体を得た。該複合金
属酸化物熱処理構造体に、又クリーン印刷法で金ペース
トを用いて櫛型電極を印刷し、約850°Cの温度で約
45分間の焼成をして1対の櫛型金電極を形成した。Examples 1 to 6 and Comparative Example 1 l, i 2 C03, N b shown in Table 1 below:
(-), )er, and 03 were weighed out, ground, and mixed in the molar percentages shown in the table. Approximately 900 millimeters of the second grinding mixture system
A preheating treatment was carried out for about 11 hours at a temperature of '(:), and then these preheated products were ground +1+ in a ball mill to obtain a prepared powder. 5 wt % of paraffin of the prepared powder was added as a binder to the prepared powder and mixed, and 1) a disk-shaped sample having a diameter of 20 u and a thickness of about 1 H was press-molded at a pressure of 1) mm/i. The disc-shaped sample was
Heat treatment was performed for about 1 hour at a temperature set at 00°C to 1300°C to obtain a composite metal oxide heat-treated structure. Comb-shaped electrodes were printed on the composite metal oxide heat-treated structure using gold paste using a clean printing method, and baked at a temperature of about 850°C for about 45 minutes to form a pair of comb-shaped gold electrodes. Formed.
比較例 2
比較例2はリチウムとニオブよりなる複合金属酸化物の
l−、i N lIO3の単結晶に1対の櫛型金電極を
形成した。Comparative Example 2 In Comparative Example 2, a pair of comb-shaped gold electrodes were formed on a single crystal of l-,iNlIO3, a composite metal oxide consisting of lithium and niobium.
複合金属酸化物熱処理構造体に1対の櫛型金電極を設け
てなる試料を標準回路を用いて相対湿度対電気抵抗値の
特性を測定し、その25℃、40%R1−1の抵抗値R
1と25℃、90%RHの抵抗値R2を組成とともに第
1表に示した。Using a standard circuit, we measured the characteristics of relative humidity versus electrical resistance of a sample consisting of a composite metal oxide heat-treated structure provided with a pair of comb-shaped gold electrodes, and determined the resistance value at 25°C and 40% R1-1. R
The resistance values R2 at 1 and 25° C. and 90% RH are shown in Table 1 along with the composition.
なお、添付第1図には、第1表中、実施例5(図中、線
C)、比較例1(図中、線b)及び比較例2(図中、線
a)の結果を示1相村;ソ度−電気抵抗値(対数)の特
性曲線を示した。In addition, attached Figure 1 shows the results of Example 5 (line C in the figure), Comparative Example 1 (line b in the figure), and Comparative Example 2 (line a in the figure) in Table 1. 1. A characteristic curve of degree-electrical resistance (logarithm) is shown.
又1本明細書で使用する「湿度測定素子」とは「感湿素
子」 「感湿抵抗体素子」と同意語として使用する。Furthermore, the term "humidity measuring element" as used herein is synonymous with "humidity sensing element" and "humidity sensing resistor element".
9− =10−9- =10-
添付第1図は、実施例5、比較例1及び比較例2の人/
/についての、相対湿度−電気抵抗値(対数)特性曲線
を示すグラフである。
=11−Attached Figure 1 shows the people of Example 5, Comparative Example 1, and Comparative Example 2.
It is a graph which shows the relative humidity-electrical resistance value (logarithm) characteristic curve about /. =11-
Claims (1)
c)鉄を含む複合金属酸化物熱処理構造体に少なくとも
1対の電極を設けてなることを特徴とする湿度測定素子
。 2、該(a)リチウム、該(b)ニオブと該(c)鉄を
金属原子換算で表わして、 (a) リチウム 0.01−75原子%(b)
ニオブ 20〜99.98原子%(c)鉄
0.01〜10原子%[但し、(a)+(b)+(
c)” 100原子%1の複合金属酸化物熱処理構造体
からなる特許請求の範囲第1項記載の湿度測定素子。[Claims] 1. At least (+1) lithium, (b) niobium and (
c) A humidity measuring element comprising at least one pair of electrodes provided on a heat-treated composite metal oxide structure containing iron. 2. The (a) lithium, the (b) niobium, and the (c) iron are expressed in terms of metal atoms, (a) lithium 0.01-75 atomic% (b)
Niobium 20-99.98 atomic% (c) Iron
0.01 to 10 atomic% [However, (a) + (b) + (
c)" The humidity measuring element according to claim 1, which comprises a composite metal oxide heat-treated structure containing 100 atom %1.
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58200502A true JPS58200502A (en) | 1983-11-22 |
Family
ID=13795128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57083181A Pending JPS58200502A (en) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | Moisture measuring element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58200502A (en) |
-
1982
- 1982-05-19 JP JP57083181A patent/JPS58200502A/en active Pending
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