JPS58193422A - 熱注入法により動作する流量測定装置のための発信または受信素子およびこの素子を含む流量測定装置 - Google Patents
熱注入法により動作する流量測定装置のための発信または受信素子およびこの素子を含む流量測定装置Info
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- JPS58193422A JPS58193422A JP58034706A JP3470683A JPS58193422A JP S58193422 A JPS58193422 A JP S58193422A JP 58034706 A JP58034706 A JP 58034706A JP 3470683 A JP3470683 A JP 3470683A JP S58193422 A JPS58193422 A JP S58193422A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/704—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow using marked regions or existing inhomogeneities within the fluid stream, e.g. statistically occurring variations in a fluid parameter
- G01F1/708—Measuring the time taken to traverse a fixed distance
- G01F1/7084—Measuring the time taken to traverse a fixed distance using thermal detecting arrangements
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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- G01F1/7044—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow using marked regions or existing inhomogeneities within the fluid stream, e.g. statistically occurring variations in a fluid parameter using thermal tracers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱注入法により作動する流ｔ６１Ｊ定鰻鑵用の
発信または受信素子およびこのＪ：５な素子を膚える流
を測定！！置に関する。
発信または受信素子およびこのＪ：５な素子を膚える流
を測定！！置に関する。
槌々の方法により作業する流動媒体の＊ｔｆＬ１を測定
ｄ ＋ｊｌｔには多数の実施形式かすでに公知である。
ｄ ＋ｊｌｔには多数の実施形式かすでに公知である。
公知法には発信素子から流れる媒体にきわめて小さい妨
害粒子（ダスト、膚、蒸気、ガス、レフレクタ粒子等、
）をｇＬｆＩシ、まＫは非虐に狭＜？ｆｆ１Ｉ限した部
分容４に物理性貞（温度、粘度、ｎ醒池、透磁率、屈折
率、色、混濁度等）のパルス的変化を注入する注入法も
挙げられもこの注入粒子は流れによって連行され、下流
で測定断面を通過、する瞬間に１つまたは多数の互いに
ずらして配置した受信素子に、よって検出される。
害粒子（ダスト、膚、蒸気、ガス、レフレクタ粒子等、
）をｇＬｆＩシ、まＫは非虐に狭＜？ｆｆ１Ｉ限した部
分容４に物理性貞（温度、粘度、ｎ醒池、透磁率、屈折
率、色、混濁度等）のパルス的変化を注入する注入法も
挙げられもこの注入粒子は流れによって連行され、下流
で測定断面を通過、する瞬間に１つまたは多数の互いに
ずらして配置した受信素子に、よって検出される。
流路に沿う流速ＱＶは注入粒、子が発信器と受信器の間
または２つの１ｍ受信器の間の流路区間８ｍを通過する
ため（必要な時間ＴｖＫ逆比例する。流れ断面Ａおよび
流れプロフィル（ＩＩＩＩｉ正係数ｋ）が既知の場合、
質ｔ ｆＬｔ Ｑｖは種々な評価法により式二 から決定することができる。
または２つの１ｍ受信器の間の流路区間８ｍを通過する
ため（必要な時間ＴｖＫ逆比例する。流れ断面Ａおよび
流れプロフィル（ＩＩＩＩｉ正係数ｋ）が既知の場合、
質ｔ ｆＬｔ Ｑｖは種々な評価法により式二 から決定することができる。
他の公知流１１１１定法に比して注入法は著しく仔利で
ある。とくに注入法はＯＴｆ／Ｉｈ部材なしに動作する
のでＩｌｌ耗がなり。さらにＬｕ１ｌ的信号を発し、か
つガスおよび液体（導電性および非導電性）に使用する
ことができる。
ある。とくに注入法はＯＴｆ／Ｉｈ部材なしに動作する
のでＩｌｌ耗がなり。さらにＬｕ１ｌ的信号を発し、か
つガスおよび液体（導電性および非導電性）に使用する
ことができる。
とくに熱圧入法は檀々の形に変化０Ｔ能であり、種々の
測定媒体および測定範囲に適合させることができる。
測定媒体および測定範囲に適合させることができる。
前記利点にもかかわらず注入法のすべての実ｍ１ｌｌＩ
様は実地にまだ広くは便用されていない。
様は実地にまだ広くは便用されていない。
それＫは２つの重要な理由がある二
１、 この方法の精度は不十分である。というのは注入
粒子を同時に十分圧小容噴に、かつその流れの物理的挙
動が測定媒体と一致するように形成することができない
からである。これはとくに物質粒子からなる注入粒子を
使用する方法の場合にそうである。
粒子を同時に十分圧小容噴に、かつその流れの物理的挙
動が測定媒体と一致するように形成することができない
からである。これはとくに物質粒子からなる注入粒子を
使用する方法の場合にそうである。
２、現在まで発信および（または）受信素子のために１
＠場的には可能であっても、簡単な方法により製造しう
る実用的実１ＩＡＩＩＡ様は得られなかった。しかし広
範な研究により注入法による効果的流蓋歯定装置の前提
はこの素子にあることが明らかになっに０ それゆえ本発明の目的はとく忙熱注入法のために容易に
製造することができ、容易に組込むことができ、機能的
に尚い信頼性をもって動作する発信または受信素子を得
ることである。
＠場的には可能であっても、簡単な方法により製造しう
る実用的実１ＩＡＩＩＡ様は得られなかった。しかし広
範な研究により注入法による効果的流蓋歯定装置の前提
はこの素子にあることが明らかになっに０ それゆえ本発明の目的はとく忙熱注入法のために容易に
製造することができ、容易に組込むことができ、機能的
に尚い信頼性をもって動作する発信または受信素子を得
ることである。
この目的を工特許請求の範囲に記載の特徴を有する発信
または受信素子によって解決される。
または受信素子によって解決される。
技術水準による発信または受信素子に比して本発明によ
る発信または受信素子は次の利点を有する。。
る発信または受信素子は次の利点を有する。。
近代的技術を使用して簡単に％再現ＯＴ能に、安価にか
つ牛ま瓦は全目動的ＫＪＩ造することができる。
つ牛ま瓦は全目動的ＫＪＩ造することができる。
流れの動力学および形頓におよぼす影壽がきわめて少な
い。
い。
流れ断面積な非常に少ししか狭くしないので、有効圧力
損失が非常に小さい。きわめて小さい容積の熱粒子を製
造および（または）検出することが可能になる。
損失が非常に小さい。きわめて小さい容積の熱粒子を製
造および（または）検出することが可能になる。
さらＫこの熱粒子の発生および（または）検出は流れ断
面積Ａｖのごく１部の部分断面のみ、と（に流れプロフ
ィルの最大付近でｏＴ能である。
面積Ａｖのごく１部の部分断面のみ、と（に流れプロフ
ィルの最大付近でｏＴ能である。
さら九本発明による発信または受信素子は６ｉ動に対し
【きわめて安定であり、手作業によりまたは半もしくは
全自動化ｃｔｒａの製法により時間的および形状的に安
定な完全な測定装置を組立てることができる。
【きわめて安定であり、手作業によりまたは半もしくは
全自動化ｃｔｒａの製法により時間的および形状的に安
定な完全な測定装置を組立てることができる。
さらに本発明の素子はアナログおよび（または）ディジ
タル醐定這を発信するための簡単な電子的評１［１１１
裂１ｔＫ接続することができ、かつきわめて低い電気的
加熱能力で動作するので、熱に敏感な！１４１１足媒体
（たとえば食料品、し好品、芳香物、鉱油生成物）の場
合も危噴な状態および（または）ｆｉｌｌｆする品質的
もしくは化学的変化が発生しない。本発明による発信ま
たは受信素子はとくにＩＩｌ流範囲内で１１！用され、
その際きわめて大きいｆｉｔ６１Ｊ定範囲をカバーする
ことができる。しかし系統的、補正可能の非直−性を意
に介さなければ、この素子は部分的まｋは完全な、！ｉ
ｔ、流１ｉｉ！囲で１２用することもできる。
タル醐定這を発信するための簡単な電子的評１［１１１
裂１ｔＫ接続することができ、かつきわめて低い電気的
加熱能力で動作するので、熱に敏感な！１４１１足媒体
（たとえば食料品、し好品、芳香物、鉱油生成物）の場
合も危噴な状態および（または）ｆｉｌｌｆする品質的
もしくは化学的変化が発生しない。本発明による発信ま
たは受信素子はとくにＩＩｌ流範囲内で１１！用され、
その際きわめて大きいｆｉｔ６１Ｊ定範囲をカバーする
ことができる。しかし系統的、補正可能の非直−性を意
に介さなければ、この素子は部分的まｋは完全な、！ｉ
ｔ、流１ｉｉ！囲で１２用することもできる。
発信または受イＰ！素子１に：ｌｌｌ造するため、半導
体製造とくにシート−抵抗ストリップ橿みゲージ製造か
ら公矧のホトリトグラフィー法す便用することができる
。この方法により適当な支持シートから本発明による発
信または受信素子が腐食に！’）＃造される。
体製造とくにシート−抵抗ストリップ橿みゲージ製造か
ら公矧のホトリトグラフィー法す便用することができる
。この方法により適当な支持シートから本発明による発
信または受信素子が腐食に！’）＃造される。
次に本発明の実施例を図面により説明する。
第１図で５は発信素子の加熱ゾーンまたは受信素子の受
信ゾーンを表わす。このゾーンは小さい遮蔽率を有する
ゾグデグ状抵抗ネットワーク６からなる。このジグデグ
の折曲部７からとくに半径方向外側へそれぞれ薄い支持
ストリップ８が出る。支持ス） ＋７ツデは閉鎖的に包
囲するフレームストリップａ１．８．および後のｆＬｍ
醐星映置装中間部材４１壁９にゾグデグ抵抗を固定する
ために役立つ。
信ゾーンを表わす。このゾーンは小さい遮蔽率を有する
ゾグデグ状抵抗ネットワーク６からなる。このジグデグ
の折曲部７からとくに半径方向外側へそれぞれ薄い支持
ストリップ８が出る。支持ス） ＋７ツデは閉鎖的に包
囲するフレームストリップａ１．８．および後のｆＬｍ
醐星映置装中間部材４１壁９にゾグデグ抵抗を固定する
ために役立つ。
抵抗ネットワーク６への電極リードストリップ１２はと
くに全体構造の半径方向に相対するＩＩ＆他１０．１１
から多数のりｍ−ストリップ１２の並夕０８続によって
、遮蔽率を小さくすると同時Ｋｍｍ低抵抗非常に小さく
なるように配置される。
くに全体構造の半径方向に相対するＩＩ＆他１０．１１
から多数のりｍ−ストリップ１２の並夕０８続によって
、遮蔽率を小さくすると同時Ｋｍｍ低抵抗非常に小さく
なるように配置される。
本発明のも５１つの特ＷＩＫよれば全体構造は通過孔の
局部的分布が流れプロフィルの妨沓を最小にするように
形成される。さらに抵抗ネットワーク６、電極り−ｒス
トリップ１２および支持スト＋７ツデ８はその空間的に
固定した支持軸を中心に塑性変形下にその平面的状噸か
ら狭い面を流れの方向忙向けて流動媒体Ｋｊｌ小の流動
抵抗しかおよぼさないように、９０°回転し噂なけれク
イならない。
局部的分布が流れプロフィルの妨沓を最小にするように
形成される。さらに抵抗ネットワーク６、電極り−ｒス
トリップ１２および支持スト＋７ツデ８はその空間的に
固定した支持軸を中心に塑性変形下にその平面的状噸か
ら狭い面を流れの方向忙向けて流動媒体Ｋｊｌ小の流動
抵抗しかおよぼさないように、９０°回転し噂なけれク
イならない。
シート材料の選択はそのつど個々の１！２羽目的（測定
媒体）に有利に適合するように行わなければならない（
化学的Ｓよび物理的ＩＩｓ和性）。
媒体）に有利に適合するように行わなければならない（
化学的Ｓよび物理的ＩＩｓ和性）。
発信素子にはとくに機械的および熱的に４負荷しうる高
い比抵抗を有する金属合金たとえばＣｒ−Ｎ１、Ｐｔ、
コンスタンタン等が１史用される。
い比抵抗を有する金属合金たとえばＣｒ−Ｎ１、Ｐｔ、
コンスタンタン等が１史用される。
受信素子には電気抵抗の温度係数の大きいにとえばＮ１
、Ｐｔ、Ｃｕ等の合金が使用される。しかし多くの場合
発信および受信素子に対して同じ形状およびシート材料
で足りる。
、Ｐｔ、Ｃｕ等の合金が使用される。しかし多くの場合
発信および受信素子に対して同じ形状およびシート材料
で足りる。
本発明のもう１つの特徴によれば金属シートはシート−
抵抗ス） ＩＪツデ歪ゲージの出発材料の場合のように
、圧接によって支持シートとできるだけ密接な、永久的
に安定な剥離しない機械的結合にもたらされるのでなく
て、逆Ｋ ｒｓとえば１当な接着剤または低融点ろうの
使用によって、化学的または物理的手段により簡単に分
離しうるように支持シートと可逆的に結合される。
抵抗ス） ＩＪツデ歪ゲージの出発材料の場合のように
、圧接によって支持シートとできるだけ密接な、永久的
に安定な剥離しない機械的結合にもたらされるのでなく
て、逆Ｋ ｒｓとえば１当な接着剤または低融点ろうの
使用によって、化学的または物理的手段により簡単に分
離しうるように支持シートと可逆的に結合される。
選択的に、短時間で化学的溶剤に＃解し、または物理的
作用にとえば超音ｔｌＬによって公卿しうる支持材料を
使用することもで者る。
作用にとえば超音ｔｌＬによって公卿しうる支持材料を
使用することもで者る。
第１図で説明した発信または受信素子の流鎗画定展署へ
の使用は第２および３図に示される。
の使用は第２および３図に示される。
第２図で発信素子は１４ａ、受信素子は１４ｂで表わさ
れる。
れる。
第２図の位置ではそれぞれ１つの発信素子１４ａ８よび
受ｇ１素子１４ｂは所望の間隔で、抵抗形成面によって
非導電材料（たとえばセラきツク、ガラス、ブレクシグ
ラス等）からなる測定ケーシング中間部材Ｍの４ｒｆＪ
９へ接着または溶着され、その際この中間部材は所望の
流路断面Ａｖおよび長さ８Ｉｎを有する。
受ｇ１素子１４ｂは所望の間隔で、抵抗形成面によって
非導電材料（たとえばセラきツク、ガラス、ブレクシグ
ラス等）からなる測定ケーシング中間部材Ｍの４ｒｆＪ
９へ接着または溶着され、その際この中間部材は所望の
流路断面Ａｖおよび長さ８Ｉｎを有する。
測定ケーシング中間部材Ｍと抵抗ネットワーク６を有す
る発信または受信素子１４ ａ 、 １４ｂをこのよう
に密接に、剥離しないように結合した優、次の製造工種
でそれまで支持のため必要であった支持材料層はそのつ
ど１当な化学的また（工物理的手段により抵抗ネットワ
ークから分 ・；囃され、完全に除去される。本発明に
よればこの犬種でクシ形工鴎により抵抗ネットワークお
よび（または）支持ストリップおよび（または）電惨Ｉ
Ｊ−）’＠の流れ方向への前記９０ａ折曲げを実施する
ことができる。
る発信または受信素子１４ ａ 、 １４ｂをこのよう
に密接に、剥離しないように結合した優、次の製造工種
でそれまで支持のため必要であった支持材料層はそのつ
ど１当な化学的また（工物理的手段により抵抗ネットワ
ークから分 ・；囃され、完全に除去される。本発明に
よればこの犬種でクシ形工鴎により抵抗ネットワークお
よび（または）支持ストリップおよび（または）電惨Ｉ
Ｊ−）’＠の流れ方向への前記９０ａ折曲げを実施する
ことができる。
次に測定ケーシング中間部＃Ｍの入口ｇｚび出口１１１
に同ｍｇ気的不導体材料からなる接続管部材ＡまたはＺ
が接着または溶着される。この管部材は」−な流れをで
きるだけ妨害しないように同様使用目的に４する断Ｉｆ
ｉＡｖを有する。
に同ｍｇ気的不導体材料からなる接続管部材ＡまたはＺ
が接着または溶着される。この管部材は」−な流れをで
きるだけ妨害しないように同様使用目的に４する断Ｉｆ
ｉＡｖを有する。
第３図に示すように高い精度要求を充足するＫめ、２つ
以上の受信素子１４ｂ、１４ｃ等を有する表置の場合も
製法は同様である。この場合１ｉｌＩ接受信素子ｊ４ｂ
、ｊ４ｃの間および発信素子１４ａとの関にそれぞれ別
個の測定ケーシング中間部材Ｍ１＊Ｍ１・・・・・Ｍｎ
が必要であり、これらは前記方法により１つの共通領置
に組立てられる。
以上の受信素子１４ｂ、１４ｃ等を有する表置の場合も
製法は同様である。この場合１ｉｌＩ接受信素子ｊ４ｂ
、ｊ４ｃの間および発信素子１４ａとの関にそれぞれ別
個の測定ケーシング中間部材Ｍ１＊Ｍ１・・・・・Ｍｎ
が必要であり、これらは前記方法により１つの共通領置
に組立てられる。
使用の際すべての要素の供給電極１０．１１は場合によ
り位置ぎめ改善のため設けた支持フレームストリップ８
１，８．を、第１図のＡ −Ａ’線に沿って切取ること
Ｋより機能を発揮することができる。本発明によるこの
フレームストリップにより抵抗ネットワーク６の支持ス
トリップ８は初めは電気的に１いくおよび電極リードス
トリップ１２と結合されていた。
り位置ぎめ改善のため設けた支持フレームストリップ８
１，８．を、第１図のＡ −Ａ’線に沿って切取ること
Ｋより機能を発揮することができる。本発明によるこの
フレームストリップにより抵抗ネットワーク６の支持ス
トリップ８は初めは電気的に１いくおよび電極リードス
トリップ１２と結合されていた。
流Ｉｌｉ！ｆＩｆｒ面Ａｖが大きく、したがって魔瀘範
囲か大きい場合、安定性の理由から抵抗ネットワークを
厚いシートまたは敬で喪造する必四があることが明らか
Ｋなった。この場合本発明の前記思春に薄叡から！１１
Ｉ密打抜ＫＪってまたは特殊な場合浴接した抵抗−から
夷透した要素へ満足に通用することができる。
囲か大きい場合、安定性の理由から抵抗ネットワークを
厚いシートまたは敬で喪造する必四があることが明らか
Ｋなった。この場合本発明の前記思春に薄叡から！１１
Ｉ密打抜ＫＪってまたは特殊な場合浴接した抵抗−から
夷透した要素へ満足に通用することができる。
第１図は発信または受信素子の平面図、第２図および第
３図は発信および受信素子を有する流ｔｄｌ１足磯置の
装断面図である。 ５・・・加熱または受信・戸−ン ６・・・抵抗ネット
ワーク ８・・・支持ストリップ ８１，８１１・・・
フレームストリップ ９・・・中間部材端＠ １０．
１１・・・踵喰 １２・・・電極リードストリップ １
４＆・・・発信素子 １４ｂ、１４ｃ・・・受信素子代
理人 弁理士 矢 野 砿 雄
３図は発信および受信素子を有する流ｔｄｌ１足磯置の
装断面図である。 ５・・・加熱または受信・戸−ン ６・・・抵抗ネット
ワーク ８・・・支持ストリップ ８１，８１１・・・
フレームストリップ ９・・・中間部材端＠ １０．
１１・・・踵喰 １２・・・電極リードストリップ １
４＆・・・発信素子 １４ｂ、１４ｃ・・・受信素子代
理人 弁理士 矢 野 砿 雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 熱注入法により動作する流ｔ１１１１ｊ定裂置の
ための発信または受信素子ＫＮいて、発信または受１百
素子が多数回ゾグデグ状に折曲する抵抗ネットワーク（
５）からなり、このネットワークが流路断面（Ａ７）忙
比して小さい部分断面（ＡＮ）にわたってのみ拡がり、
その折曲点（７）で支持ストリップ（８）おＪび電極リ
ーげストリップ（１２）を介して測定４ｉ＆置（Ｍ、Ａ
、Ｚ）の流路のＩＮＫ直接、電気的ＫＭｉ）して固定さ
れていることを特徴とする熱注入法により動作するｆＩ
ｔｔＩＩＩＪ定裂置のための発装または受信素子。 ２、 支持ストリツｆ（８）：Ｍよび電極リードストリ
ップ（１２）とともにホトリトグラフィー法により薄い
金属シートから腐食により製造されている特許請求の範
囲第１項記載の素子。 ３、 離職から精密打抜によって製造されている′４＃
Ｉｆｆ＃ｌｌ求の軛−第１項記−の素子。 ４、抵抗−の浴接によって製造されている特許請求の１
１１Ｉ−第１項！ｅ鎮の素子。 ５、抵抗ネットワーク（５）への電極リードストリップ
（１２）が抵抗ネットワーク（５）忙比して非常に抵抗
の低い直線的要素からなり、このＩＩ！素が電気的に並
列接続した多数のｒ１１極ス） ＋７ツデから形成され
ている特許請求の範囲第１項〜第４項の１つに記載の素
子。 ６゜ 発信または受信素子が金属シートから腐食によっ
て製造され、このシートが接着、ろう接等によって支持
材料と非常に密接に結合し、かつ化学的または物理的方
法たとえば溶剤または熱供給によって支持シートから容
易に分離しうる特／！Ｆ−情求の［間第１項、第２項お
よび第５墳の１つく記載の素子。 Ｚ 発信または受信素子の出発構造が閉鎖的に包囲する
フレームストリップ（８１，Ｓｇ）を有し、このストリ
ップへすべての支持ストリップ（８）８よび電極リード
ストリップ（１２）が結合している特許請求の範囲第１
項〜才６項の１つに記載の素子。 ８、 発信まｙ：は受イｌ！素子が多数回ゾグデグ状に
折曲する抵抗ネットワーク（５）からなり、コノネット
ワークがｆＩｔｄＩ＆＃ｆｒ面（ＡＶ）Ｋ比して小さい
部分断面（ＡＮ）にわたってのみ拡がり、その折曲点（
７）で支持ストリップ（８）および４極り−げストリッ
プ（１２）を介して測定長ｒ＃ｔ（Ｍ、Ａ、Ｚ）の流路
の壁に直接、電気的に絶縁して固定されている、熱注入
法により動作する流を測定４！ｌｉｔにおいて、発信ま
たは受信素子の素材を支持材料とともに電気的不導体の
ケーシング中間部材ＣＭ）へたとえば接着、ろう接、融
着等圧よ゛つて剥離しないように結合し、次に支持材料
を分離することを特許とする熱注入法により動作する、
発信または受信素子を含む流を測定装置。 ９、 ６１ｊ定ケ一シング中間部材（Ｍ）に、あら力）
じめ露出した発信または受ｇ！素子素材へたとえば接着
、ろう接、−看等によって中間部材に）と同＠ＶＣ接続
管部材（Ａ、Ｚ）χ付加することＫよって完全なｆｔ瞳
欄測定置が形成される特許請求の範囲オ８項記載の表置
。 １０、 フレームストリップ（８１１Ｂ＄１）を、す
ヘテの支持ストリップ（８）が弘いに分取され、しかし
電極り−ｒストリップ（１２）が全体として互いに並動
接続した２群を形成するように、分離する特許請求の範
囲オ８項また（ニオ９項記載の装置。 １１、 発信または受信素子（１４ａ、１４ｂ。 １４ｃ）のゾグデグ形に折曲する抵抗ネットワーク（５
）および（または）電極り一一ストリツデ（１２）およ
び（または）支持ストリップ（８）が媒体の流れ方向と
平行の状ｄ ”に折曲げられている特許請求の範囲オ
８項〜第１０項の１つに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE32081456 | 1982-03-06 | ||
| DE3208145A DE3208145C2 (de) | 1982-03-06 | 1982-03-06 | Sender- bzw. Empfängerelement für eine nach dem Wärmeimpfverfahren arbeitende Durchfluß-Meßvorrichtung und unter Verwendung dieser Elemente gebaute Vorrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58193422A true JPS58193422A (ja) | 1983-11-11 |
Family
ID=6157522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58034706A Pending JPS58193422A (ja) | 1982-03-06 | 1983-03-04 | 熱注入法により動作する流量測定装置のための発信または受信素子およびこの素子を含む流量測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4502339A (ja) |
| EP (1) | EP0095013B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58193422A (ja) |
| DE (1) | DE3208145C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002088640A1 (fr) * | 2001-04-26 | 2002-11-07 | Hiroyoshi Koizumi | Procede et materiel de mesure d'un debit |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4633578A (en) * | 1983-12-01 | 1987-01-06 | Aine Harry E | Miniature thermal fluid flow sensors and batch methods of making same |
| US4790181A (en) * | 1983-12-01 | 1988-12-13 | Aine Harry E | Thermal mass flow meter and method of making same |
| US4691566A (en) * | 1984-12-07 | 1987-09-08 | Aine Harry E | Immersed thermal fluid flow sensor |
| US4576050A (en) * | 1984-08-29 | 1986-03-18 | General Motors Corporation | Thermal diffusion fluid flow sensor |
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