JPS58191483U - 超高真空用フランジ構造 - Google Patents

超高真空用フランジ構造

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Publication number
JPS58191483U
JPS58191483U JP8878182U JP8878182U JPS58191483U JP S58191483 U JPS58191483 U JP S58191483U JP 8878182 U JP8878182 U JP 8878182U JP 8878182 U JP8878182 U JP 8878182U JP S58191483 U JPS58191483 U JP S58191483U
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JP
Japan
Prior art keywords
ultra
high vacuum
flange structure
flange
gasket
Prior art date
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Pending
Application number
JP8878182U
Other languages
English (en)
Inventor
今　義信
宏 前田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP8878182U priority Critical patent/JPS58191483U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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  • Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の超高真空用フランジ構造を示す断面図、
第２図は本考案の第１の実施例を示す断面図、第３図は
本考案の第２の実施例を示す断面図、第４図は本考案の
第３の実施例を示す断面図である。 １・・・超高真空容器、２・・・フランジ、３・・・ガ
スヶ。 ット、４・・・フランジ、７・・・ボルルト、８・・・
切粉、９・・・溝部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ガスケットを有したフランジに、前記ガスケットによっ
    てシーリングしながら他の装着物をボルトで取付ける超
    高真空用フランジ構造において、前記フランジ側ボルト
    用穴の入口部周囲に所定の大きさと深さの切り込み部を
    設けたことを特徴とする超高真空用フランジ構造。
JP8878182U 1982-06-16 1982-06-16 超高真空用フランジ構造 Pending JPS58191483U (ja)

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JP8878182U JPS58191483U (ja) 1982-06-16 1982-06-16 超高真空用フランジ構造

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JP8878182U JPS58191483U (ja) 1982-06-16 1982-06-16 超高真空用フランジ構造

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JPS58191483U true JPS58191483U (ja) 1983-12-20

Family

ID=30097440

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JP8878182U Pending JPS58191483U (ja) 1982-06-16 1982-06-16 超高真空用フランジ構造

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