JPS5818806B2 - Tuning fork piezoelectric vibrator - Google Patents

Tuning fork piezoelectric vibrator

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JPS5818806B2
JPS5818806B2 JP50110370A JP11037075A JPS5818806B2 JP S5818806 B2 JPS5818806 B2 JP S5818806B2 JP 50110370 A JP50110370 A JP 50110370A JP 11037075 A JP11037075 A JP 11037075A JP S5818806 B2 JPS5818806 B2 JP S5818806B2
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tuning fork
piezoelectric vibrator
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vibrating piece
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鈴木敏男
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KINSEKI KK
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/09Elastic or damping supports

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、主面(最とも広い面をいう。[Detailed description of the invention] The present invention refers to the main surface (meaning the widest surface).

)がU字形に成形された音叉形圧電振動子(以下、音叉
形圧電振動子という。
) is formed into a U-shape (hereinafter referred to as a tuning fork piezoelectric vibrator).

)の保持器に関するものである。音叉形圧電振動子、特
に音叉形水晶振動子が腕時計の振動源として使用される
ようになって以来。
) is related to the cage. Ever since tuning fork piezoelectric vibrators, especially tuning fork crystal vibrators, have been used as vibration sources in wristwatches.

形状の小形化および銅損、耐衝撃性が強く要求されると
共に、音叉形圧電振動子本来の電気特性即ち保持器の影
響を極力少なくして直列共振抵抗および共振周波数のそ
れぞれの温度特性、を良好ならしめφことが要求されて
いるが、これらの要求は互に相反する点があるため容易
に満足されない。
In addition to the strong demand for smaller size, copper loss, and shock resistance, it is necessary to minimize the influence of the cage and improve the temperature characteristics of the series resonant resistance and resonant frequency. Although a good leveling φ is required, these requirements are not easily satisfied because they conflict with each other.

例えば、第1図に示すような音叉形水晶振動子の保持構
造の場合、脚部1′および基部1“から成る音叉形水晶
振動片1は、その基部1“の−主面を保持台2に接着ま
たは半田付により固着して保持される。
For example, in the case of a holding structure for a tuning fork crystal resonator as shown in FIG. It is fixed and held by gluing or soldering.

このような音叉形水晶振動子は、小形化および制振、耐
衝撃性に関する限り凌れているが、水晶振動子の本来の
電気特性のうち特に要件とされる直列共振抵抗値および
共振周波数のそれぞれの温度特性が保持台2の機械的影
響により強制的に束縛を受けて劣化されている。
Although such tuning fork crystal resonators are superior in terms of miniaturization, vibration damping, and impact resistance, they do not meet the original electrical characteristics of crystal resonators, especially the series resonant resistance value and resonant frequency. The temperature characteristics of each are forcibly constrained and deteriorated by the mechanical influence of the holding table 2.

即ち、音叉形水晶振動子は、厚み系振動姿態を利用した
高周波振動子(数MHz〜数拾MHz)の直列共振抵抗
が数Ω〜数拾Ωのように元々小さい値であるのに対して
、屈曲振動姿態を利用した低周波振動子(数Hz〜数百
KHz)であることから、その直列共振抵抗が真空封入
した密封容器内の環境下でも50にΩ以上もあり、更に
この値は、周囲温度に対して一定せず、ときにはある温
度において発振停止する程の急激に大きくなることすら
ある。
In other words, a tuning fork crystal resonator has a series resonant resistance that is originally small, such as several ohms to several tens of ohms, whereas a high frequency resonator (several MHz to several tens of MHz) that utilizes a thickness-based vibration mode has a series resonance resistance of several ohms to several tens of ohms. Since it is a low frequency oscillator (several Hz to several hundred KHz) that utilizes a bending vibration mode, its series resonance resistance is more than 50Ω even in a vacuum sealed container environment, and furthermore, this value is , is not constant with respect to the ambient temperature, and sometimes even increases rapidly to the extent that oscillation stops at a certain temperature.

この直列共振抵抗値の劣化現象に伴って共振周波数温度
特性も、通常水晶振動片1の形状および切断方位角が一
定であれば共振周波数温度%Flが測定誤差範囲内のバ
ラツキの中に包含されるべきであるにもかかわらず、再
現性なくして大きなバラツキをもって分布し、かつ周波
数変化率が本来の特性よりも大きくなることがある。
Along with this deterioration phenomenon of the series resonant resistance value, the resonant frequency temperature characteristic also changes. Normally, if the shape and cutting azimuth of the crystal vibrating piece 1 are constant, the resonant frequency temperature %Fl is included in the variation within the measurement error range. Even though it should, the distribution may have large variations without reproducibility, and the frequency change rate may become larger than the original characteristic.

本発明は、このような問題点を解決すべくなされたもの
であって、音叉形圧電振動子の電気特性を劣化せしめる
ことなく、小形化に適し、かつ外部からの振動および衝
撃に耐え得る保持機能を持った保持器を具備した音叉形
圧電振動子を提供するところにある。
The present invention has been made to solve these problems, and is suitable for miniaturization without deteriorating the electrical characteristics of a tuning fork-shaped piezoelectric vibrator, and capable of withstanding external vibrations and shocks. An object of the present invention is to provide a tuning fork-shaped piezoelectric vibrator equipped with a functional holder.

このような目的を達成するため、本発明の音叉形圧電振
動子は、主面がU字形に成形された音叉形圧電振動片の
基部を保持する音叉形圧電振動子の保持器が、該基部の
両主面の相対向する面の−部分を挟持個所にし、該挟持
個所からそれぞれ該両生面と接触することなく該音叉形
圧電振動片の長手方向に延在し、かつ該基部の端面を囲
んで合体していることを特徴とする音叉形圧電振動子か
ら成る。
In order to achieve such an object, the tuning fork piezoelectric vibrator of the present invention has a holder for a tuning fork piezoelectric vibrator that holds the base of a tuning fork piezoelectric vibrating piece whose main surface is formed into a U-shape. The - portions of the opposing surfaces of both main surfaces of are used as clamping points, and from the clamping points, each extends in the longitudinal direction of the tuning fork-shaped piezoelectric vibrating piece without contacting the bidirectional surfaces, and the end face of the base is It consists of a tuning fork-shaped piezoelectric vibrator characterized by being surrounded and integrated.

ここで、「音叉形圧電振動子」とは、水晶、タンタル酸
リチウム、ニオブ酸リチウムおよび圧電セラミック等の
音叉膨圧電体に屈曲振動すべき励振電極を配置し、該圧
電体の形状および物質定数に基づく共振周波数に一致し
た交番電圧を該励振電極に印加することより振動するも
のであり、「基部」とは、屈曲振動する脚部以外の音叉
形圧電振動片を指す。
Here, the term "tuning fork piezoelectric vibrator" refers to a tuning fork expansion piezoelectric material such as crystal, lithium tantalate, lithium niobate, or piezoelectric ceramic, in which an excitation electrode for flexural vibration is arranged, and the shape and material constants of the piezoelectric material are It vibrates by applying an alternating voltage that matches the resonance frequency based on the excitation electrode to the excitation electrode, and the "base" refers to the tuning fork-shaped piezoelectric vibrating piece other than the leg that bends and vibrates.

以下、本発明を実施例の図示をもって説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to examples.

先ず本発明の理解を容易ならしめるため、音叉形圧電振
動子の構成および動作原理を第2および第3図によって
説明する。
First, in order to facilitate understanding of the present invention, the configuration and operating principle of a tuning fork type piezoelectric vibrator will be explained with reference to FIGS. 2 and 3.

第2図は、音叉形圧電振動子の基本構成を示す斜視図で
あり、同図のaおよびbにおいて斜線を施した部分は音
叉形圧電振動子を屈曲振動させるための励振電極であっ
て、それぞれの脚1′の主面(Bs Cs平面)の対向
すべき面に分割電極31゜および脚部1′の主面(B2
C2平面)と側面(A2C2平面)のそれぞれ対向す
べき面に4面電極32が配置されている。
FIG. 2 is a perspective view showing the basic configuration of a tuning-fork piezoelectric vibrator, and the shaded portions in a and b of the figure are excitation electrodes for causing the tuning-fork piezoelectric vibrator to bendingly vibrate. A split electrode 31° and a main surface (B2
Four-sided electrodes 32 are arranged on opposing surfaces of the C2 plane) and the side surface (A2C2 plane), respectively.

なお、1“は音叉形圧電振動片の基部である。Note that 1'' is the base of the tuning fork-shaped piezoelectric vibrating piece.

音叉圧電振動片の形状は、aおよびbにおいて、それぞ
れBlC,平面、B2C2平面を主面とするU字形を成
し、結晶軸(AsBscs)および(A2 B2C2)
は、共に直交立方座標軸であって、一般に使用される結
晶座標軸(X’YZ)を用いて表現すれば、例えば圧電
体が水晶の場合、A1がX、Blがz’、c、がY′で
あり、A2がZ“、B2がx、 C2がY′である。
The shape of the tuning fork piezoelectric vibrating piece is U-shaped in a and b, respectively, with the BlC plane and the B2C2 plane as the main surfaces, and the crystal axes (AsBscs) and (A2 B2C2)
are orthogonal cubic coordinate axes, and if expressed using commonly used crystal coordinate axes (X'YZ), for example, if the piezoelectric material is crystal, A1 is X, Bl is z', and c is Y' , A2 is Z'', B2 is x, and C2 is Y'.

また圧電体がタンタル酸リチウムの場合、A1がZ′、
B1がX′、C1がY“であり、A2がX′、B2がZ
′、C2がY“である。
In addition, when the piezoelectric body is lithium tantalate, A1 is Z',
B1 is X', C1 is Y'', A2 is X', B2 is Z
', C2 is Y''.

ここで、結晶座標軸(xy’z’)は、初めの結晶座標
軸(xyz)のX軸を中心にして座標軸を回転したもの
を示す意味で(xy’z”)とし、結晶座標軸(X/
y// z/ )は、初めの結晶座標軸(xyz)のZ
軸を中心にして座標軸を回転した後の結晶座標軸(x’
y’z)を更にX′軸を中心にして回転したものを示す
意味で(X/ Y//Z/)としである。
Here, the crystal coordinate axis (xy'z') is defined as (xy'z") to indicate the rotation of the coordinate axis around the X axis of the initial crystal coordinate axis (xyz), and the crystal coordinate axis (X/
y//z/) is Z of the initial crystal coordinate axis (xyz)
The crystal coordinate axis (x'
y'z) further rotated around the X' axis as (X/Y//Z/).

このように結晶座標軸を回転することは、使用する温度
に適した周波数%性を得るために圧電体の切断方位角を
所望角の範囲で回転することであり、音叉形圧電振動子
の設計技術としての通常手段である。
Rotating the crystal coordinate axes in this way means rotating the cutting azimuth angle of the piezoelectric material within a desired range of angles in order to obtain a frequency % characteristic suitable for the temperature used. This is the usual means of

第3図のaおよびbに示す電極の接続図は、それぞれ第
2図のaおよびbの同記号に対応し、それぞれの電極に
係る部分の詳細図で共に音叉形圧電振動片の脚部1′の
頭から見込んだ場合を示す。
The electrode connection diagrams shown in a and b in FIG. 3 correspond to the same symbols in a and b in FIG. 2, respectively, and are detailed views of the parts related to the respective electrodes. ′ is shown from the beginning.

そして、端子り、と81問および端子D2とB2間に音
叉形圧電振動子の共振周波数に一致した交番電圧を印加
すれば、第2図のaおよびbに示す音叉形圧電振動子は
、それぞれB、 C,平面およびB2C2平面を屈曲振
動面として屈曲振動する。
Then, by applying an alternating voltage that matches the resonant frequency of the tuning fork piezoelectric vibrator between terminals D2 and B2, the tuning fork piezoelectric vibrator shown in a and b in FIG. Bending vibration is performed using the B, C, and B2C2 planes as bending vibration surfaces.

次に本発明の実施例について説明するが、結晶座標軸お
よび励振電極の配置図は、図面を複雑にするので、これ
らは図示せず、音叉形圧電振動片および保持器を中心に
した図示をもって説明する。
Next, embodiments of the present invention will be described. However, since the crystal coordinate axes and the arrangement diagram of the excitation electrodes will complicate the drawings, these will not be shown, and the explanation will be explained using diagrams focusing on the tuning fork-shaped piezoelectric vibrating piece and the cage. do.

第4図は、本発明の一実施例である音叉形水晶振動子の
構造図であり、同図aがその全体図、同図すが保持器の
詳細図である。
FIG. 4 is a structural diagram of a tuning fork-shaped crystal resonator which is an embodiment of the present invention, and FIG. 4A is an overall view thereof, and FIG.

脚部1′および基部1“から成る音叉形水晶振動片1は
、基部1の両生面の相対向する面上で保持器4の挾持面
81および82によって挾持される。
A tuning fork-shaped crystal vibrating piece 1 consisting of a leg portion 1' and a base portion 1'' is clamped by clamping surfaces 81 and 82 of the holder 4 on opposing bidirectional surfaces of the base portion 1.

保持器4は、密封容器の底板7に固着されたガラス等の
絶縁物から成る挿通孔6、に植設された引出端子51に
半田付して固着される。
The retainer 4 is fixed by soldering to a lead-out terminal 51 implanted in an insertion hole 6 made of an insulating material such as glass fixed to the bottom plate 7 of the sealed container.

ここで、脚部1′に配置された励振電極から導かれた2
端子電極のうち一方を基部1“の両生面上に相対向して
配置しておくことより、2端子電極のうち1端子を保持
器4と半田付または導電接着剤により電気接続できると
共に、音叉形水晶振動片1は保持器4で保持される。
Here, 2
By arranging one of the terminal electrodes facing each other on both sides of the base 1'', one terminal of the two terminal electrodes can be electrically connected to the retainer 4 by soldering or conductive adhesive, and the tuning fork The shaped crystal vibrating piece 1 is held by a holder 4.

また、残りの端子電極は、挿通孔62に植設された引出
端子5□にリード線を接続することより気接続される。
Further, the remaining terminal electrodes are electrically connected by connecting lead wires to the lead terminals 5□ implanted in the insertion holes 62.

このようにして構成された音叉形水晶振動子は、この後
密封容器のカバーを底板7にコールドウエルデング接合
(容器内は真空にする)することで組立が完了する。
The tuning fork crystal resonator constructed in this way is then assembled by cold welding the cover of the sealed container to the bottom plate 7 (the inside of the container is evacuated).

以上、本発明の実施例で注目すべき構成は、音叉形水晶
振動片1の基部1“と保持器4との構成にある。
As described above, the noteworthy structure of the embodiment of the present invention is the structure of the base 1'' of the tuning fork-shaped crystal vibrating piece 1 and the retainer 4.

即ち、音叉形水晶振動片1の挟持個所が基部1の両生面
の相対向する面上にあって、保持器4の挟持面81,8
□の一部分だけであると共にその挟持個所からそれぞれ
両主面と接触することなく音叉形水晶振動片1の長手方
向に延在し、基部1“の端面を囲んで合体された保持器
の構造が注目される。
That is, the pinching portions of the tuning fork-shaped crystal vibrating piece 1 are on the opposing surfaces of the amphiphilic surfaces of the base 1, and the pinching points 81, 8 of the retainer 4 are
The structure of the retainer is that it extends in the longitudinal direction of the tuning fork-shaped crystal vibrating piece 1 from only a portion of □ without contacting both main surfaces from its clamping point, and is combined around the end face of the base 1''. Get noticed.

ところで、第5図に示す音叉形水晶振動片1の保持器9
は、本発明の実施例に示した保持器4と一見したところ
類以じているように思われる。
By the way, the cage 9 of the tuning fork-shaped crystal vibrating piece 1 shown in FIG.
At first glance, this seems to be similar to the cage 4 shown in the embodiment of the present invention.

しかし、保持器9は、その詳細図である同図すに示すよ
うに挟持面10Iおよび10□と底面11が基部1″の
主面上の中央部から長手方向端部までの領域と底面1″
にわたって接触して構成されていることに注意しなけれ
ばならない。
However, as shown in the detailed view of the retainer 9, the clamping surfaces 10I and 10□ and the bottom surface 11 are the area from the center to the longitudinal end on the main surface of the base 1'' and the bottom surface 1. ″
It must be noted that the structure is made up of contact over the entire area.

そこで、本発明の実施例である第4図に示す音叉形水晶
振動子と第5図に示す音叉形水晶振動子について、図示
以外の点に関して条件を変えずに電気特性を比較すれば
、それらの構成の相違個所から予想をもできない程の著
しい差が現われることを説明する。
Therefore, if we compare the electrical characteristics of the tuning fork crystal resonator shown in FIG. 4, which is an embodiment of the present invention, and the tuning fork crystal resonator shown in FIG. I will explain that there is a remarkable difference that cannot be predicted due to the difference in the structure of the two.

即ち、対称1次モードである基本波振動では、両者は共
に直列共振抵抗および共振周波数の各温度特性が良好で
あるので、大差はないが、しかるに対称:2次モードで
の眼動では、下記する通り著しい差が現われる。
In other words, in the fundamental wave vibration, which is the symmetrical first mode, there is not much difference between the two because the series resonance resistance and the temperature characteristics of the resonant frequency are good. However, in the eye movement in the symmetrical second mode, the following As you can see, a significant difference appears.

第11図および第12図は、それぞれ対称2次4モード
の共振周波数が200,000H,Zであって、保持器
として第4図および第5藺に示す保持器4および9を使
用したそれぞれの音叉形水晶振動子の直列共振抵抗温度
%性および共振周波数温度特性を示す。
FIGS. 11 and 12 show cases in which the resonant frequencies of the symmetrical secondary 4 modes are 200,000H and Z, respectively, and cages 4 and 9 shown in FIGS. 4 and 5 are used as cages. The series resonance resistance temperature % characteristics and resonance frequency temperature characteristics of a tuning fork crystal resonator are shown.

なお、第11図は、横軸が温度T(’C)縦軸が直列共
振抵抗C1,(KΩ)であり、第12図は、横軸が温度
T (℃)、縦軸が共振周波数F(Hz )である。
In addition, in Fig. 11, the horizontal axis is temperature T ('C) and the vertical axis is series resonant resistance C1, (KΩ), and in Fig. 12, the horizontal axis is temperature T (°C), and the vertical axis is resonant frequency F. (Hz).

そして、各%性曲線の12および14は第4図に示す保
持器4,13および15は第5図に示す保持器5を使用
した場合の音叉形水晶振動子の直列共振抵抗温度特性お
よび共振周波数温度特性曲線図である。
12 and 14 of each percent characteristic curve are shown in FIG. 4, and cages 4, 13, and 15 are the series resonance resistance temperature characteristics and resonance of a tuning fork crystal resonator when cage 5 shown in FIG. 5 is used. It is a frequency temperature characteristic curve diagram.

曲線12および14は、竜叉形水晶振動子の形状寸法お
よび水晶振動片の切断方位角で定まる音叉形水晶振動子
本来の%性に近い特性曲線であるが、一方、曲線13お
よび15は、それぞれ前述の曲線12および14と比較
して、共に変動量が各温度において著しく大きいのみな
らず、0℃および30℃において直列共振抵抗値が白に
Ωのケタでは測定できない程の大きな値になるため、そ
のときの共振周波数も著しく大きな変動を起こすと共に
、発振停止にまで至ってしまう。
Curves 12 and 14 are characteristic curves that are close to the inherent characteristics of a tuning fork crystal resonator, which are determined by the shape and dimensions of the dragon fork crystal resonator and the cutting azimuth of the crystal vibrating piece.On the other hand, curves 13 and 15 are Compared to the aforementioned curves 12 and 14, respectively, not only are the fluctuations significantly large at each temperature, but the series resonance resistance values at 0°C and 30°C are so large that they cannot be measured in the Ω digit. Therefore, the resonant frequency at that time also causes a significant fluctuation, and even ends up stopping oscillation.

また、各%性曲線の再現性においては、第4図の保持器
4を使用した音叉形水晶振動子は良好であるが、一方、
′第5図の保持器9を使用°した音叉形水晶振動子はバ
ラツキが非常に大きく分布しているため、この点でも本
発明が優秀であることを立証している。
In addition, in terms of reproducibility of each % characteristic curve, the tuning fork crystal resonator using cage 4 shown in Fig. 4 is good, but on the other hand,
'The tuning-fork crystal resonator using the retainer 9 shown in FIG. 5 has a very large dispersion, which proves that the present invention is excellent in this respect as well.

以上説明したように本発明に係る音叉形水晶振動子は、
対称1次モード(基本波振動)のみならず、対称2次モ
ードにおいても音叉形水晶振動子の電気特性を劣化する
ことなく、良好なる特性を維持することができる。
As explained above, the tuning fork crystal resonator according to the present invention has
Good characteristics can be maintained not only in the symmetrical primary mode (fundamental wave vibration) but also in the symmetrical secondary mode without deteriorating the electrical characteristics of the tuning fork crystal resonator.

また、剛衝撃試1験によれば、本発明を用いた音叉形水
晶振動子を組込んだ腕時計を1.5mの高度から木板上
に落下させても日差0.3秒以下の周波数偏差しか生じ
ないことが確認されており、保持機能についても十分満
足している。
Furthermore, according to one rigid impact test, even if a wristwatch incorporating a tuning fork-shaped crystal oscillator using the present invention was dropped onto a wooden board from an altitude of 1.5 m, the frequency deviation was less than 0.3 seconds per day. It has been confirmed that only a small amount occurs, and the retention function is also fully satisfied.

小形化の点については、実施例の図示の通り説明するま
でもなく最適であるといえる。
With regard to miniaturization, it can be said that the embodiment is optimal, as shown in the drawings, needing no further explanation.

以上、圧電体として水晶を実施例に取りあげたが、他の
圧電体、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム
および圧電セラミック等の圧電体から成る音叉形圧電振
動子においても、本発明の作用効果が得られることは、
当業者であれば容易に理解できよう。
Although crystal has been taken up as an example as the piezoelectric material, the effects of the present invention can also be applied to tuning fork-shaped piezoelectric vibrators made of other piezoelectric materials, such as lithium tantalate, lithium niobate, and piezoelectric ceramics. What you get is
This will be easily understood by those skilled in the art.

また、本発明の他の実施例として第6図、第7図および
第8図に示す音叉形圧電振動子の構造図を挙げることが
できる。
Further, as other embodiments of the present invention, structural diagrams of a tuning fork type piezoelectric vibrator shown in FIGS. 6, 7, and 8 can be cited.

第6図および第8図に示す音叉形圧電振動子は、前者が
振動片1の主面に対して垂直に保持した場合、後者が振
動片1の主面に対して平行に保持した場合であって、共
に2つの保持器4.および42を使用して基部1“の両
主面に配置された2端子電極にそれぞれ電気接続すると
同時に振動片1を保持器41および4□によって保持し
ている。
The tuning fork-shaped piezoelectric vibrators shown in FIGS. 6 and 8 can be used when the former is held perpendicular to the main surface of the vibrating piece 1, and when the latter is held parallel to the main surface of the vibrating piece 1. There are two retainers 4. and 42 are used to electrically connect to the two-terminal electrodes arranged on both main surfaces of the base 1'', and at the same time, the vibrating piece 1 is held by the holders 41 and 4□.

第7図に示す音叉形圧電振動子は、振動片1の主面に対
して垂直に保持した場合であって、第4′図に示した構
造図と同様に保持器4を1個使用している。
The tuning fork-shaped piezoelectric vibrator shown in FIG. 7 is held perpendicular to the main surface of the vibrating piece 1, and one retainer 4 is used as in the structural diagram shown in FIG. 4'. ing.

このような各実施例においても、第4図すに示した保持
器4を基本構成にして使用しているので、第4図aに示
した音叉形圧電振動子と同様な作用効果が得られること
は明らかである。
In each of these embodiments as well, the cage 4 shown in FIG. 4A is used as the basic structure, so the same effects as the tuning fork-shaped piezoelectric vibrator shown in FIG. 4A can be obtained. That is clear.

また、保持器の変形として、第9図および第10図に示
されるものが挙げられる。
Further, modifications of the cage include those shown in FIGS. 9 and 10.

かくして本発明による音叉形圧電振動子は、小形化およ
び耐振、耐衝撃性に優れると共に、音叉形圧電振動子本
来の電気特性を対称1次モードのみならず対称2次モー
ドの振動においても劣化していないので、この分野にお
ける工業上の利用価値が極めて高い。
Thus, the tuning fork type piezoelectric vibrator according to the present invention is compact and has excellent vibration resistance and impact resistance, and the electric characteristics inherent to the tuning fork type piezoelectric vibrator are not degraded not only in the symmetrical first mode but also in the symmetrical second mode of vibration. Therefore, it has extremely high industrial value in this field.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の音叉形水晶振動子の構造図、第2図は音
叉形圧電振動子の基本構成を示す斜視図、第3図は第2
図に基づく構成の電極の接続図、第4図は本発明の一実
施例である音叉形圧電振動子の構造図、第5図は本発明
と比較すべき音叉形圧電振動子の構造図、第6,7およ
び8図は本発明の他の実施例である音叉形圧電振動子の
構造図、第9,10図は本発明に使用する保持器の他の
実施例である構造図、並びに第1L12図はそれぞれ本
発明の実施例と第5図に示した構造図に基づく音叉形圧
電振動子の対称2次モード振動における直列共振抵抗温
度特性曲線図および共振周波数温度特性曲線図である。 1・・・・・・音叉形圧電振動片、1“・・・・・・音
叉形圧電振動片の基部、4 、41.4□・・・・・・
保持器。
Fig. 1 is a structural diagram of a conventional tuning fork type crystal resonator, Fig. 2 is a perspective view showing the basic configuration of a tuning fork type piezoelectric resonator, and Fig. 3 is a structural diagram of a conventional tuning fork type piezoelectric resonator.
4 is a structural diagram of a tuning fork type piezoelectric vibrator which is an embodiment of the present invention; FIG. 5 is a structural diagram of a tuning fork type piezoelectric vibrator to be compared with the present invention; 6, 7, and 8 are structural diagrams of a tuning fork-shaped piezoelectric vibrator that are other embodiments of the present invention, and Figures 9 and 10 are structural diagrams that are other embodiments of a cage used in the present invention, and FIG. 1L12 is a series resonant resistance temperature characteristic curve diagram and a resonant frequency temperature characteristic curve diagram in symmetrical second-order mode vibration of a tuning fork-shaped piezoelectric vibrator based on the embodiment of the present invention and the structural diagram shown in FIG. 5, respectively. 1...Tuning fork-shaped piezoelectric vibrating piece, 1"...Base of tuning fork-shaped piezoelectric vibrating piece, 4, 41.4□...
retainer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 主面がU字形に成形された音叉形圧電振動片の基部
を保持する音叉形圧電振動子の保持器が、該基部の両主
面の相対向する面の一部分を挟持個所にし、該挟持個所
からそれぞれ該両主面と接触することなく該音叉形圧電
振動片の長手方向に延在し、かつ該基部の端面を囲んで
合体していることを特徴とする音叉形圧電振動子。
1. A holder of a tuning fork piezoelectric vibrator that holds the base of a tuning fork piezoelectric vibrating piece whose main surface is formed into a U-shape has a portion of opposing surfaces of both main surfaces of the base as a clamping point, and the clamping A tuning fork type piezoelectric vibrator, characterized in that the tuning fork type piezoelectric vibrating piece extends in the longitudinal direction from each point without contacting both of the main surfaces, and is integrated around the end face of the base.
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