JPS58187138U - マウンドクラツシユ装置 - Google Patents

マウンドクラツシユ装置

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JPS58187138U
JPS58187138U JP8436982U JP8436982U JPS58187138U JP S58187138 U JPS58187138 U JP S58187138U JP 8436982 U JP8436982 U JP 8436982U JP 8436982 U JP8436982 U JP 8436982U JP S58187138 U JPS58187138 U JP S58187138U
Authority
JP
Japan
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mound
crush
holder
crushing device
opening
Prior art date
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Application number
JP8436982U
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English (en)
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JPS645883Y2 (ja
Inventor
井口　順二
肇 小杉
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来のマウンド　クラッシュ装置の正面図、
第１図すは平面図、第２図ａは本考案によるマウンド　
クラッシュ装置の正面図、第２図すは平面図、第３図は
クラッシュ部動作の詳細図である。 １・・・ホルダ、５・・・載置台、１０・・・搬送台、
１０ａ・・・開口部。 第２図 °″″ＩＩ、ｌ叫　゛ １１　　　　　口ｑ１

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェハー上に形成された突起物をクラッシュ板で
    潰すマウンド　クラッシュ装置において、ホルダーに吸
    着保持されるクラッシュ板を搬入搬出する搬送台を備え
    、該搬送台に開口部を設け、搬入された搬送台上のクラ
    ッシュ板をホルダに向けて押上げる載置台をホルダー下
    方に進入した前記搬送台の開口部を通して昇降可能に設
    置したことを特徴とするマウンド　クラッシュ装置。
JP8436982U 1982-06-07 1982-06-07 マウンドクラツシユ装置 Granted JPS58187138U (ja)

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JP8436982U JPS58187138U (ja) 1982-06-07 1982-06-07 マウンドクラツシユ装置

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Publication Number Publication Date
JPS58187138U true JPS58187138U (ja) 1983-12-12
JPS645883Y2 JPS645883Y2 (ja) 1989-02-14

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ID=30093320

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