JPS58186007A - 形状寸法測定装置 - Google Patents
形状寸法測定装置Info
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- JPS58186007A JPS58186007A JP57069935A JP6993582A JPS58186007A JP S58186007 A JPS58186007 A JP S58186007A JP 57069935 A JP57069935 A JP 57069935A JP 6993582 A JP6993582 A JP 6993582A JP S58186007 A JPS58186007 A JP S58186007A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、形状寸法測定装置に関し、詳しくは、磁気ヘ
ッドの形状寸法測定装置に関するものである。
ッドの形状寸法測定装置に関するものである。
従来、この種の装置としては、測定する磁気ヘッドのギ
ャップ部分に対して、固定配置された一次元センサが第
１図に示される如きスタート点からの軌跡を描くように
、固定する磁気ヘッド単体を機械系でもって移動させて
、その移動量と一次元センサの検知にもとづいて、測定
する磁気ヘッドの形状寸法を得るものがある。
ャップ部分に対して、固定配置された一次元センサが第
１図に示される如きスタート点からの軌跡を描くように
、固定する磁気ヘッド単体を機械系でもって移動させて
、その移動量と一次元センサの検知にもとづいて、測定
する磁気ヘッドの形状寸法を得るものがある。
しかしながら、このものでは、次の如き欠点を有する。
すなわち、
０）、測定する磁気ヘッド単体を移動させるための機械
系の誤差が、そのまま形状寸法の誤差となること ■、測定する磁気ヘッド単体を移動させるに際して、前
記スタート点を精度良く決める必要があること ■、第１図において示されるＰ点部分が、−次元センサ
の軌跡に対して直交する直線部分となること等の測定す
る磁気ヘッドの形状に制約かあること である。
系の誤差が、そのまま形状寸法の誤差となること ■、測定する磁気ヘッド単体を移動させるに際して、前
記スタート点を精度良く決める必要があること ■、第１図において示されるＰ点部分が、−次元センサ
の軌跡に対して直交する直線部分となること等の測定す
る磁気ヘッドの形状に制約かあること である。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであって
、測定する磁気ヘッドの形状に制約されることかなく、
シかも磁気ヘッドのトラック申告の形状寸法が高精度に
容易に得られる形状寸法側定装置を提供せんとするもの
である。
、測定する磁気ヘッドの形状に制約されることかなく、
シかも磁気ヘッドのトラック申告の形状寸法が高精度に
容易に得られる形状寸法側定装置を提供せんとするもの
である。
次に、本発明の形状寸法測定装置の一実施例について図
面を参照しつつ説明する。
面を参照しつつ説明する。
第２図は全体のプルツク図である。
第６図に示される如く台上に載置された磁気ヘッドの一
例であるアジマスギャップを有するビデオヘッドの多数
個の単体（Ｓｌは、そのギャップ部分が顔に対物１００
倍の顕微鏡で拡大される。この拡大された像は、撮像さ
れる一画面を５１２本の水平走査線によ多構成させるＩ
ＴＶカメラ等によ）、平面図形として夫々の像ごとに同
一画面内に撮像される。々お、第４図に示される磁気ヘ
ッドのキャンプ部分の平面図形での基線Ｘが水平走査方
向に一致するように撮像される。そして、撮１駅された
一画面は、５１２回の水平走査ごとに夫々形成される画
像信号とな多、順次Ａ ／ Ｄ変換部（ＩＪに与えられ
る。Ａ ／ Ｄ変換部（１１では、水平走査ごとの夫々
の画壇信号を５１２分割して、５１２個の画素にする。
例であるアジマスギャップを有するビデオヘッドの多数
個の単体（Ｓｌは、そのギャップ部分が顔に対物１００
倍の顕微鏡で拡大される。この拡大された像は、撮像さ
れる一画面を５１２本の水平走査線によ多構成させるＩ
ＴＶカメラ等によ）、平面図形として夫々の像ごとに同
一画面内に撮像される。々お、第４図に示される磁気ヘ
ッドのキャンプ部分の平面図形での基線Ｘが水平走査方
向に一致するように撮像される。そして、撮１駅された
一画面は、５１２回の水平走査ごとに夫々形成される画
像信号とな多、順次Ａ ／ Ｄ変換部（ＩＪに与えられ
る。Ａ ／ Ｄ変換部（１１では、水平走査ごとの夫々
の画壇信号を５１２分割して、５１２個の画素にする。
そして、夫々の一累ごとに、後述する演算部Ｉ ＋３１
におけるＸ方向、Ｘ方向の微分計算での差引計算に際し
て、画面つま）画素において明るい方か大となる値にな
るように、明暗度を量子化して８ビツト構成のディジタ
ルデータに変換する。これによシ、撮像された一画面は
、全部で５１２ｘ５１２画素に分割されて、その夫々の
画素ごとにディジタル変換されることになる。この画素
ごとにディジタル変換された画１家信号は、４回の水平
走査にもとづく４水平走査分のディジタル変換された画
像信号の記憶が可能な画像信号用の４Ｈメモリ部（画像
）（２）に夫々書込まれる。
におけるＸ方向、Ｘ方向の微分計算での差引計算に際し
て、画面つま）画素において明るい方か大となる値にな
るように、明暗度を量子化して８ビツト構成のディジタ
ルデータに変換する。これによシ、撮像された一画面は
、全部で５１２ｘ５１２画素に分割されて、その夫々の
画素ごとにディジタル変換されることになる。この画素
ごとにディジタル変換された画１家信号は、４回の水平
走査にもとづく４水平走査分のディジタル変換された画
像信号の記憶が可能な画像信号用の４Ｈメモリ部（画像
）（２）に夫々書込まれる。
いま、撮像されて５１２ｘ５１２画素に分割される一画
面での水平走査方向をＸ方向、水平走査線の列方向であ
って垂直走査方向をＸ方向とする〇演算部■（３）では
、次の画像処理が行なわれる。
面での水平走査方向をＸ方向、水平走査線の列方向であ
って垂直走査方向をＸ方向とする〇演算部■（３）では
、次の画像処理が行なわれる。
４Ｈメモリ部（画城） （２＋に前記の如く書込まれ記
・隠されたディジタル変換された画像信号か、５１２ｘ
５１２画素に分割されたもとの一画面状態でのＸ方向に
瞬接する４画素、Ｘ方向に１４接する４画系にあたる４
×４画素のマスクに対応して切出されつま）読出される
。そして、読出された第５図に示される４×４画素の画
像信号（ａｌにＩ＝１〜４．＋＝１〜４）に対して画像
の白黒の変化点を探し出すために、次の微分計算が行な
われる。
・隠されたディジタル変換された画像信号か、５１２ｘ
５１２画素に分割されたもとの一画面状態でのＸ方向に
瞬接する４画素、Ｘ方向に１４接する４画系にあたる４
×４画素のマスクに対応して切出されつま）読出される
。そして、読出された第５図に示される４×４画素の画
像信号（ａｌにＩ＝１〜４．＋＝１〜４）に対して画像
の白黒の変化点を探し出すために、次の微分計算が行な
われる。
Ｘ方向の微分計算
Ｘ方向の微分計算
なお、読出されたｍ５図に示される４×４画素の画像信
号の２画素置いた列同志で計算を行なうのは、装置上に
おける問題と、雑音対策とによるものである。
号の２画素置いた列同志で計算を行なうのは、装置上に
おける問題と、雑音対策とによるものである。
前記の４×４画素のマスクに対応させての読出しは、一
画面状態で一画素分ずつＸ方向にずらしたものとなるよ
うに順に行なわれる。そして、Ｘ方向の端まで読出され
ると、４Ｈメモリ部（画像）（２）には、次の水平走査
による１水平走査分のディジタル変換された画像信号が
畳込まれ記憶されるＯそして、同様にＸ方向に一１Ｉｌ
ＩＩ素分ずらした状態でＸ方向に４×４画累のマスクに
対応して画像信号が順に読出される。このようにして、
一画面全部に対して読出され、夫々において前記計算が
行なわれる。
画面状態で一画素分ずつＸ方向にずらしたものとなるよ
うに順に行なわれる。そして、Ｘ方向の端まで読出され
ると、４Ｈメモリ部（画像）（２）には、次の水平走査
による１水平走査分のディジタル変換された画像信号が
畳込まれ記憶されるＯそして、同様にＸ方向に一１Ｉｌ
ＩＩ素分ずらした状態でＸ方向に４×４画累のマスクに
対応して画像信号が順に読出される。このようにして、
一画面全部に対して読出され、夫々において前記計算が
行なわれる。
計算結果は、読出された一つの４×４画素の画像信号に
対する夫々の微分計算値を１画素分として、４水平走査
分に相当する微分計算値の記憶が可能な各Ｘ方向および
Ｘ方向微分計算値用の４Ｈメモリ部（ＤＸ）（Ｄｙ）（
４） （５１に夫々書込まれ記憶される。
対する夫々の微分計算値を１画素分として、４水平走査
分に相当する微分計算値の記憶が可能な各Ｘ方向および
Ｘ方向微分計算値用の４Ｈメモリ部（ＤＸ）（Ｄｙ）（
４） （５１に夫々書込まれ記憶される。
演算部■（６）では、次の画像処理が行なわれる。
４Ｈメモリ部（ＤｘＸＤｙ） （４１＋５１に夫々記憶
されたＸ方向およびＸ方向の微分計算値が、前記の４Ｈ
メモリ部（画像）（２）におけると全く同様の考えで、
４Ｈメモリ部（ＤｘＸＤｙ） （４Ｊ （５）夫々から
同時に４×４画素のマスクに対応させて切出されつまシ
続出される。
されたＸ方向およびＸ方向の微分計算値が、前記の４Ｈ
メモリ部（画像）（２）におけると全く同様の考えで、
４Ｈメモリ部（ＤｘＸＤｙ） （４Ｊ （５）夫々から
同時に４×４画素のマスクに対応させて切出されつまシ
続出される。
一方、第４図のビデオヘッドのギャップ部分の平面図形
において示された’Ｉ’Ｒ（）ラック巾）、Ｘ。
において示された’Ｉ’Ｒ（）ラック巾）、Ｘ。
およびＸ２の形状寸法を算出するためには、第６図で示
されるビデオヘッドのギャップ部分の斜視図かられかる
ように、シャープなエツジ部となるＡ〜Ｄ点の平面図形
での相対位置座標がわかればよい。なお、画面には、第
６図に示されるフェイス部（ハ）は白レベルに、また切
欠部（至）その他は黒レベルになって撮像される。そし
て、これにもとづいて、前記ディジタル変換、更にＸ方
向、Ｘ方向の微分計算が行なわれている。
されるビデオヘッドのギャップ部分の斜視図かられかる
ように、シャープなエツジ部となるＡ〜Ｄ点の平面図形
での相対位置座標がわかればよい。なお、画面には、第
６図に示されるフェイス部（ハ）は白レベルに、また切
欠部（至）その他は黒レベルになって撮像される。そし
て、これにもとづいて、前記ディジタル変換、更にＸ方
向、Ｘ方向の微分計算が行なわれている。
また、ビデオヘッドのギャップ部分は、前記のようにｌ
ｔｈ面におけるＸ＋Ｙ方向に対して、すなわち水平走査
方向をＸ方向、水平走育線の列方向であって垂直走査方
向をＸ方向として、第４図に示される如く撮像される。
ｔｈ面におけるＸ＋Ｙ方向に対して、すなわち水平走査
方向をＸ方向、水平走育線の列方向であって垂直走査方
向をＸ方向として、第４図に示される如く撮像される。
これから考えるとＡ点の特徴は、Ｘ方向において白から
黒に変わシ、Ｘ方向において黒から白に変わる点である
。すなわち、Ｘ方向の微分が大きいところへ、Ｘ方向の
微分が大きいところから変化する点である。
黒に変わシ、Ｘ方向において黒から白に変わる点である
。すなわち、Ｘ方向の微分が大きいところへ、Ｘ方向の
微分が大きいところから変化する点である。
そして、４Ｈメモリ部（ＤｌＸ）（Ｄρ（Ｊ ｆ５）夫
々から同時に読出されたＸ方向、Ｘ方向の４×４１木の
微分針算値の第７図（１１＋２）に示されるものか、第
８図に模壓的に示される如く右上隅にＡ点が位置するも
のと対応しているとする。
々から同時に読出されたＸ方向、Ｘ方向の４×４１木の
微分針算値の第７図（１１＋２）に示されるものか、第
８図に模壓的に示される如く右上隅にＡ点が位置するも
のと対応しているとする。
このようにＡ点が右上隅に位置するような４×４画素の
微分計算値の場合には、前記Ａ点の特徴にもとづき次の
２条件が同時に満足されることになる。言い換えれば、
次の２条件を同時に満足する場合には、Ａ点が右上隅に
位置する。
微分計算値の場合には、前記Ａ点の特徴にもとづき次の
２条件が同時に満足されることになる。言い換えれば、
次の２条件を同時に満足する場合には、Ａ点が右上隅に
位置する。
ＩＤｙｕｌ ＞ ＩＤｘｏｌ
ＩＤＸ２４１ ＞ ｌＤｙ２４１
なお、ゴミ等の影響を少なくするために、Ａ点のシャー
プなエツジ部を形成している陵つまＪ）Ｘ方向、Ｘ方向
のみにおいてエツジ部を形成している部分の連続性を確
認するために、 Ｉ）、１１ ） Ｔｈ１ ＋ ”ｙ４２）Ｔｈ１ ；
Ｄｙ１Ｂ ） ＴｈＩＤＸ２４〉Ｔｈ２；ＤＸ５４〉Ｔ
ｈ２；Ｄｘ４４〉Ｔｈ２をも同時に満足することを必要
とする。なお、Ｔｈ １Ｔｈ２は、外部から定められる
視界値でるる。
プなエツジ部を形成している陵つまＪ）Ｘ方向、Ｘ方向
のみにおいてエツジ部を形成している部分の連続性を確
認するために、 Ｉ）、１１ ） Ｔｈ１ ＋ ”ｙ４２）Ｔｈ１ ；
Ｄｙ１Ｂ ） ＴｈＩＤＸ２４〉Ｔｈ２；ＤＸ５４〉Ｔ
ｈ２；Ｄｘ４４〉Ｔｈ２をも同時に満足することを必要
とする。なお、Ｔｈ １Ｔｈ２は、外部から定められる
視界値でるる。
そして、これらの条件が読出された４×４画累の微分計
算値ごとに満足するか否かが判断される。
算値ごとに満足するか否かが判断される。
満足したならば、右上隅の位置をＡ点の候補点として、
その位置座標が抽出される。この位置座標は、撮像され
た一画面での画素を単位とするＸ方向、Ｘ方向の座標で
もって表される。そして、この抽出された位置座標は、
Ａ点メモリ部（７）に書込まれ記憶される。
その位置座標が抽出される。この位置座標は、撮像され
た一画面での画素を単位とするＸ方向、Ｘ方向の座標で
もって表される。そして、この抽出された位置座標は、
Ａ点メモリ部（７）に書込まれ記憶される。
同様にして、Ｂ−Ｄ点の候補点の位置座標も抽出され、
夫々Ｂ−Ｄ点メモリ部（８）〜００１に書込まれ記憶さ
れる。
夫々Ｂ−Ｄ点メモリ部（８）〜００１に書込まれ記憶さ
れる。
これらＡ〜Ｄ点の候補点の位置座標の抽出は、読出され
た４×４画素の微分計算値ごとに同時に行なわれる。
た４×４画素の微分計算値ごとに同時に行なわれる。
演算部ｎｔｕｔ＞では、次の画像処理が行なわれる。
Ａ−Ｄ点メモリ部（７）〜（１０１に記′はされたＡ−
Ｄ点の候補点の位置座標が読出されて評価計算か行なわ
れ、不適当な候補点による位置座標か除外される。
Ｄ点の候補点の位置座標が読出されて評価計算か行なわ
れ、不適当な候補点による位置座標か除外される。
すなわち、画面におけるＡ点とＢ点とのＸ方向、Ｘ方向
夫々の間隔は、ある一定置素数以下である。
夫々の間隔は、ある一定置素数以下である。
したがって、前記Ａ％Ｂ点の候補点の位置座標において
、次の条件を満足するか否かが判断される００〈Ｂｘ−
Ａｘ≦販 ０（Ｂ、−Ａ、≦ｎ。
、次の条件を満足するか否かが判断される００〈Ｂｘ−
Ａｘ≦販 ０（Ｂ、−Ａ、≦ｎ。
ＡＸ ＢＸ ； Ａ ％ Ｂ点の候補点の画素を単位き
したＸ座標 Ａ、Ｂｙ ； Ａ 、 Ｂ点の候補点の画素を単位とし
たＸ座標 ｎｚ、ｎｙ ： Ｘ １ｙ方向夫々における間隔の定め
られた最大画素数 同様にして、０、Ｄ点の候補点に関しても行なわれる。
したＸ座標 Ａ、Ｂｙ ； Ａ 、 Ｂ点の候補点の画素を単位とし
たＸ座標 ｎｚ、ｎｙ ： Ｘ １ｙ方向夫々における間隔の定め
られた最大画素数 同様にして、０、Ｄ点の候補点に関しても行なわれる。
この時点で、以上の条件のすべてを満足するＡ１８点の
組候補点、０、Ｄ点の組候補点の位置座標を例えば平面
図形上で示せは第１０図に示される如くになる。
組候補点、０、Ｄ点の組候補点の位置座標を例えば平面
図形上で示せは第１０図に示される如くになる。
したがって、更に、このＡ、Ｂ点の組候補点の位置座標
とＯ，Ｄ点の組候補点の位置座標との間において、アジ
マスによるギャップの傾きおよびギヤツブ巾から両組に
おいて、次の条件を満足するか否かが判断される。
とＯ，Ｄ点の組候補点の位置座標との間において、アジ
マスによるギャップの傾きおよびギヤツブ巾から両組に
おいて、次の条件を満足するか否かが判断される。
ＣＸ、ＤＸ；０、Ｄ点の候補点の画素を単位としたＸ座
標 Ｃｙ、Ｄｙ；ＣｌＤ点の候補点の画素を単位としたｙ座
標 ｌｘｍＸ；Ｘ方向における間隔の定められた最小、最大
画素数 ％、ｍｙ；ｙ方向における間隔の定められた最小、最大
画素数 これによシ、−組の満足するＡ−Ｄ点の位置座標が抽出
されることとなる。この−組の位置座標は、Ａ−Ｄ点綴
メモリ部圓に書込まれ記憶される〇このようにして、数
十組のＡ−Ｄ点の位置座標がＡ−Ｄ点綴メモリ部（１２
１に書込まれ記憶される。
標 Ｃｙ、Ｄｙ；ＣｌＤ点の候補点の画素を単位としたｙ座
標 ｌｘｍＸ；Ｘ方向における間隔の定められた最小、最大
画素数 ％、ｍｙ；ｙ方向における間隔の定められた最小、最大
画素数 これによシ、−組の満足するＡ−Ｄ点の位置座標が抽出
されることとなる。この−組の位置座標は、Ａ−Ｄ点綴
メモリ部圓に書込まれ記憶される〇このようにして、数
十組のＡ−Ｄ点の位置座標がＡ−Ｄ点綴メモリ部（１２
１に書込まれ記憶される。
演算部■０３）では、次の計算が行なわれる。
Ａ−Ｄ点組メモリ部０２１から数十組のＡ−Ｄ点の位置
座標が読出され、組を構成しているＡ、Ｂ。
座標が読出され、組を構成しているＡ、Ｂ。
０．９点夫々の位置座標において、各点で一致する位置
座標が数十粗生にいくつあるか頻度計算が行なわれて、
頻度の高い位置座標から４査目までの位置座標か相加平
均されて、夫々の値がＡ−Ｄ点の真の抽出された位置座
標とされる。
座標が数十粗生にいくつあるか頻度計算が行なわれて、
頻度の高い位置座標から４査目までの位置座標か相加平
均されて、夫々の値がＡ−Ｄ点の真の抽出された位置座
標とされる。
この真の位置座標は、形状寸法算出用メモリ部ａ栂こ書
込まれ記憶される。
込まれ記憶される。
また、第４図で示された０１および０２の寸法を算出す
るためには、第６図で明らかなようにＸ方向においての
みエツジ部となる陵のＥ１〜Ｅ４Ｉ、１１〜Ｆ４点の相
対位置座標となるｙ座標がわかればよい。
るためには、第６図で明らかなようにＸ方向においての
みエツジ部となる陵のＥ１〜Ｅ４Ｉ、１１〜Ｆ４点の相
対位置座標となるｙ座標がわかればよい。
演算部Ｖ ［１５Ｊでは、次の１源処理か行なわれる。
５１２ｘ５１２画素に分割される一画面状態でのＸ方向
におけるＥ、〜Ｅ４点、Ｆ１〜Ｆ４点夫々に相応する位
置での瞬接するＸ方向の８画素と、この８画素ｌこ対し
てｙ方向ｌこ瞬嚢する３画素の第９図（ＩＩ１２Ｊに示
される３ｘ８画素ｌこ応する演算部■（３）において計
算されたＸ方向、Ｘ方向の微分計算値において順次、次
の条件を満足するか否かが判断される。
におけるＥ、〜Ｅ４点、Ｆ１〜Ｆ４点夫々に相応する位
置での瞬接するＸ方向の８画素と、この８画素ｌこ対し
てｙ方向ｌこ瞬嚢する３画素の第９図（ＩＩ１２Ｊに示
される３ｘ８画素ｌこ応する演算部■（３）において計
算されたＸ方向、Ｘ方向の微分計算値において順次、次
の条件を満足するか否かが判断される。
Ｄ、ｉｊ ） Ｔｈ３
１Ｄｘｉｊｌ ＞ ’ｒｈ４
（ｌ＝１〜３．ｊ＝１〜８）
そして、この両条件を満足する微分計算値の個数が２４
個中に何個あるかが計算される。
個中に何個あるかが計算される。
なお、Ｅ、〜Ｅ４点とＦ、〜Ｆ４点とでは、外部から定
められるＴｈ、 Ｔｈ４の境界値は異なる。Ｅ、〜Ｅ４
点、Ｆ１〜Ｆ４点の如くＥ点、Ｆ点夫々４箇所ずつとな
っているのは、ゴミ等の影響を少なくするためである。
められるＴｈ、 Ｔｈ４の境界値は異なる。Ｅ、〜Ｅ４
点、Ｆ１〜Ｆ４点の如くＥ点、Ｆ点夫々４箇所ずつとな
っているのは、ゴミ等の影響を少なくするためである。
そして、定められた個数以上が両条件を満足すれば、Ｘ
方向に１ｌｌＩＩ接する６画素の真中の画素の位置をＥ
点恢補点あるいはＦ点候補点として、撮像された一画面
における画素を単位とするＸ方向の位置座標が抽出され
る。この抽出された位置座標は、Ｅ点メモリ部ａω、Ｆ
点メモリ部ａηに書込まれ記憶される。
方向に１ｌｌＩＩ接する６画素の真中の画素の位置をＥ
点恢補点あるいはＦ点候補点として、撮像された一画面
における画素を単位とするＸ方向の位置座標が抽出され
る。この抽出された位置座標は、Ｅ点メモリ部ａω、Ｆ
点メモリ部ａηに書込まれ記憶される。
演算部Ｖｌ （１１１１１では、Ｅ、 Ｆ’点メモリ部
（１６）（１ηに記憶されたＥ、１点の候補点の位置座
標が続出されて、演算部■０υと同様に評価計算による
画像処理が行なわれる。そして、条件を満足する組とな
るＥ１Ｆ点の位置座標は、Ｅ％Ｆ点組メモリ部働に書込
まれ記憶される。
（１６）（１ηに記憶されたＥ、１点の候補点の位置座
標が続出されて、演算部■０υと同様に評価計算による
画像処理が行なわれる。そして、条件を満足する組とな
るＥ１Ｆ点の位置座標は、Ｅ％Ｆ点組メモリ部働に書込
まれ記憶される。
演算部■（２０２では、Ｅ、Ｆ点組メモリ部（Ｅ９に記
憶された数十組のＥ、１点の位置座標が続出されて、演
算部Ｉｖ（１３１と同様の計算等が行われて、Ｅ、１点
の真の抽出された位置座標が定められる。そして、この
真の位置座標は、形状寸法算出用メモリ部（１４１に書
込まれ記憶される。
憶された数十組のＥ、１点の位置座標が続出されて、演
算部Ｉｖ（１３１と同様の計算等が行われて、Ｅ、１点
の真の抽出された位置座標が定められる。そして、この
真の位置座標は、形状寸法算出用メモリ部（１４１に書
込まれ記憶される。
演算部■Ｃ２υでは、形状寸法算出用メモリ都ａ４Ｊか
ら真の抽出されたＡ−１点の位置座標にもとづき、ＴＲ
（）ラック巾）、Ｘｌ 、 Ｘ２ 、 ＣＩおよびＣ２
の形状寸法が算出される。
ら真の抽出されたＡ−１点の位置座標にもとづき、ＴＲ
（）ラック巾）、Ｘｌ 、 Ｘ２ 、 ＣＩおよびＣ２
の形状寸法が算出される。
以上要するζζ本発明の形状寸法測定装置は、磁気ヘッ
ドのギャップ部分を同一画面内に撮像して、画像処理に
よ）シャープなエツジ部の画面における位置座標を抽出
することを特徴とするものである０ したがって、磁気ヘッドの形状寸法伸］定するに際して
、磁気ヘッドのシャープなエツジ部のみを注目している
ために、従来例の如く測定する磁気ヘッドに対する形状
の制約がない。
ドのギャップ部分を同一画面内に撮像して、画像処理に
よ）シャープなエツジ部の画面における位置座標を抽出
することを特徴とするものである０ したがって、磁気ヘッドの形状寸法伸］定するに際して
、磁気ヘッドのシャープなエツジ部のみを注目している
ために、従来例の如く測定する磁気ヘッドに対する形状
の制約がない。
また、磁気ヘッドのギャップ・部分を同一画面内に撮像
するだけでよく、機械系の誤差等を全く考慮する必要が
なく磁気ヘッドの形状寸法が高精度に容易に得られる。
するだけでよく、機械系の誤差等を全く考慮する必要が
なく磁気ヘッドの形状寸法が高精度に容易に得られる。
第１図は従来装置の磁気ヘッドのギャップ部分に対して
一次元センサが描く軌跡を示す図、第２乃至１０図は本
発明の形状寸法測定装置の一実施例を説明するための図
であって、第２図はブロック図、第６図は測定する磁気
ヘッド単体のギャップ部分が拡大される状態を示す図、
第４図は磁気ヘッドのキャンプ部分の平面図形を示す図
、第５図は微分計算をする際に続出された４×４画累の
画像信号を示す図、第６図は磁気ヘッドのギャップ部分
の斜視図、第７図（ＩＮ２１は磁気ヘッドのシャープな
エツジ部の位置座標を抽出するに際して続出された４×
４画素のＸ方向およびＸ方向の微分計算値を示す図、第
８図はシャープなエツジ部の一つであるＡ点の特徴を説
明するための模型化された図、第９図（１１１２）は磁
気ヘッドのギャップ部分のＸ方向にのみエツジ部となる
陵の位置座標を抽出するに際しての６×８画素のＸ方向
およびＸ方向の微分計算値を示す図、第１０図はＡ、Ｂ
点の組候補点０、Ｄ点の組候補点の位置座標を平面図形
上に示す図である。 なお、図面に用いられている符号のうち、１３＋（６Ｘ
ｌ］れ・−・−・−−−−・−演ｓｓ Ｉ、 ｎ 、
ｎｉ 、 ｖ 、 ｖｌ、 ＶＩＩＩａ５１ａｓ’ｏｖ である。 代理人 上屋 物 〃 常 包 芳 男ｌ 杉浦俊貞 法 第８図
一次元センサが描く軌跡を示す図、第２乃至１０図は本
発明の形状寸法測定装置の一実施例を説明するための図
であって、第２図はブロック図、第６図は測定する磁気
ヘッド単体のギャップ部分が拡大される状態を示す図、
第４図は磁気ヘッドのキャンプ部分の平面図形を示す図
、第５図は微分計算をする際に続出された４×４画累の
画像信号を示す図、第６図は磁気ヘッドのギャップ部分
の斜視図、第７図（ＩＮ２１は磁気ヘッドのシャープな
エツジ部の位置座標を抽出するに際して続出された４×
４画素のＸ方向およびＸ方向の微分計算値を示す図、第
８図はシャープなエツジ部の一つであるＡ点の特徴を説
明するための模型化された図、第９図（１１１２）は磁
気ヘッドのギャップ部分のＸ方向にのみエツジ部となる
陵の位置座標を抽出するに際しての６×８画素のＸ方向
およびＸ方向の微分計算値を示す図、第１０図はＡ、Ｂ
点の組候補点０、Ｄ点の組候補点の位置座標を平面図形
上に示す図である。 なお、図面に用いられている符号のうち、１３＋（６Ｘ
ｌ］れ・−・−・−−−−・−演ｓｓ Ｉ、 ｎ 、
ｎｉ 、 ｖ 、 ｖｌ、 ＶＩＩＩａ５１ａｓ’ｏｖ である。 代理人 上屋 物 〃 常 包 芳 男ｌ 杉浦俊貞 法 第８図
Claims (1)
- 磁気ヘッドのギャップ部分を平面図形として同一画面内
に撮像する手段と、この撮像による画像信号にもとづく
１由ｉｉ＃処理によシ前記ギャップ部分における複数個
のシャープなエツジ部の位置座標を抽出する手段と、こ
の抽出された位置座標によシ少なくとも前記磁気ヘッド
のトラック巾の形状寸法を算出する手段とを具備するこ
とを特徴とする形状寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57069935A JPS58186007A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 形状寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57069935A JPS58186007A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 形状寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58186007A true JPS58186007A (ja) | 1983-10-29 |
Family
ID=13417013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57069935A Pending JPS58186007A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 形状寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58186007A (ja) |
-
1982
- 1982-04-26 JP JP57069935A patent/JPS58186007A/ja active Pending
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