JPS58180247U - 間欠オゾン供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１ａ図は従来の間欠オシン供給装置を示すフロー図、
第１ｂ図は従来のもののオゾン吸着塔を示す構造図、□
第１Ｃ図は淀来のもののオゾン発生機を示す構造図、第
２図はこの考案の一実施例を示すフロー図、第３図は同
実施例のオゾン吸着塔を示す構造図、第４図はシリカゲ
ル冷却特性を示す曲線図、第５図はシリカゲル昇温特性
を示す曲線図である。 図中、１はオゾン発生機、２はオゾン吸着塔、３は循環
ブロア、４は酸素供給装置、５−１．　５−２．５−３
は操作用電磁弁、１１はエゼクタポンプ、１０はエゼク
タ、９は冷凍機である。なお、図中同二符号は同−又は
相当部分を示す。 第１図　−（１１） （ｂ） ア、　Ｃ第２図 補正　昭５７．８．５ 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する。 Ｏ実用新案登録請求の範囲　　−゛ −酸素を原料としてオゾンを生成するオゾン発生機と、
冷却されることにより上記オゾン発生機からのオゾンを
吸着し加温・減圧されることにより前記吸着したオゾン
が脱着するオゾン吸着物質が充てんされたオゾン吸着塔
と、このオゾン吸着塔から出た酸素を再びオゾン発生機
に戻す循環ブロアと、減圧脱着させる水エゼクタとを有
し、オゾン吸着塔を適宜昇温・加熱する電気ヒータを設
けたことを特徴とする間欠オゾン供給装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 酸素を原料としてオゾンを生成するオゾン発生機と、冷
   却されることにより上記オゾン発生機からのオゾンを吸
   着し加温・減圧されることにより前記吸着したオゾンが
   脱着するオゾン吸着物質が充てんされたオゾン吸着塔と
   、このオゾン吸着塔から出た酸素を再びオゾン発生機に
   戻す循環ブロアと、減圧脱着させる水エゼクタとを有し
   、オゾン吸着塔を適宜昇温・加熱するシーズ形電気ヒー
   タを設けたことを特徴とする間欠オゾン供給装置。