JPS5816745B2 - 電子顕微鏡等のレンズ制御回路 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡等に用いられる電子レンズに供給す
る電流を制御する回路に関する。

一般に電子顕微鏡においては、倍率、固定倍率視野制限
倍率、高分散回折等の機能がファンクションスイッチの
切換えによって選択される。

特に倍率と固定倍率に注目すると、ファンクションスイ
ッチの切換えによって倍率モードを選択すれば、倍率切
換えスイッチの切換えによって種々の倍率像が得られ、
固定倍率モードを選択すれば、ある固定の倍率像が瞬時
に得られる。

しかし乍ら、ファンクションスイッチによって固定倍率
モードが選択されると、再び該ファンクションスイッチ
を切換えて倍率モードにしなければ、倍率を変化させる
ことができない。

又、該ファンクションスイッチを固定倍率モードから倍
率モードに切換えた直後に得られる倍率は、該固定倍率
モードを選択する前に倍率モードであった時の倍率なの
で、固定倍率との関連が薄い。

従って、固定倍率モードから所望の倍率像を得る操作が
非常に厄介であった。

本発明はこの様な欠点を解決する為になされたもので、
新規な電子顕微鏡等のレンズ制御回路を提供するもので
ある。

図は本発明の一実施例を示すレンズ制御回路のブロック
図で、図中１は例えば停止箇所のない２４ステップ回転
スイッチ及びパルス発生回路よりなる倍率切換スイッチ
で、該スイッチはその操作ツマミを右回転させた時加算
パルスを、又左回転させた時減算パルスを夫々ｌステッ
プにつき１個ずつ発生し、該パルスは倍率、固定倍率、
視野制限倍率、・・・・・・等の各機能に対応する複数
のアップダウンカウンタ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・・・・
に計数人力パルスとしてそれぞれ供給される。

３は前記複数の機能に対応した複数のカウンタ２ａ、２
ｂ。

２ｃ、・・・・・・の制御端子と夫々接続されている複
数の固ｆｆｉ接点（図示せず）を持つファンクションス
イッチで、該スイッチの回転子には所定の電圧が供給さ
れている。

前記カウンタ２ａ 、２ｂ ｙ ２ｃｔ・・・・・・の
内、該スイッチによって選択されたものだけが計数を行
なう。

又、該スイッチと該カウンタの出力は、倍率を２進コー
ドで表わす倍率コード出力回路４に供給される。

該倍率コード出力回路は前記ファンクションスイッチか
らの信号により、選択されているモードに対応したカウ
ンタのみの信号を２進コードに表わしデコーダ５へ供給
する３８１〜Ｓｎは該デコーダのｎ個の出力信号が供給
されるｎ個のリレーＲ１〜Ｒｎによって断続されるｎ個
のスイッチであり、該スイッチ８１〜Ｓｎを介して基準
電源６において抵抗分割によって得られたｎ個の基準電
圧Ｖ１〜Ｖｎがレンズ７を励磁する励磁回路８へ供給さ
れる。

又該励磁回路は前記基準電圧に応じたレンズ電流をレン
ズ７へ供給する。

尚、９は固定倍率に対応したコードが設定されたコード
発生回路で、前記固定倍率モードに対応するカウンタ２
ｂのプリセット入力に接続されており、前記ファンクシ
ョンスイッチ３により固定倍率モードが選択された時、
固定倍率に対応したコードを前記カウンタ２ｂヘプリセ
ツトする。

該カウンタ２ｂは、前記ファンクションスイッチ３によ
って固定倍率モードが選択された時に、それ迄に計数し
た値をリセットし、前記コード発生回路９からの固定倍
率に対応したコードをセットする。

尚、他のカウンタ２ａ、２ｃ、・・・は計数した値はそ
のまま記憶し、ファンクションスイッチ３をどのモード
に切換えてもリセットされることはない。

さて、斯りの如きレンズ制御回路において、種種の倍率
像を得ようとする場合、ファクションスイッチ３によっ
て倍率モードに切換える。

そして、倍率切換スイッチ１のみを切換えれば、アップ
ダウンカウンタ２ａは該スイッチ１からのパルスを加算
もしぐは減算して、その値を記憶すると同時に倍率コー
ド出力回路４を介してデコーダ５へ供給する。

又、固定倍率像を得ようとする場合、ファクションスイ
ッチ３によって固定倍率モードに切換える。

該切換えによって固定倍率モード（ど対応するカウンタ
２ｂはそれ迄に保持されていた値をリセットし、コード
発生回路９から固定倍率に対応したコードをセットし、
該コードは倍率コード出力回路４を介してデコーダ５へ
供給される。

次に、この固定倍率モードの状態から種々の倍率像を得
ようとする場合、ファンクションスイッチをそのま＼の
状態で倍率切換スイッチ１のみを切換えれば、カウンタ
２ｂはコード発生回路９からプリセットされている固定
倍率に対応したコードに前記倍率切換スイッチ１からの
パルスを加算もしくは減算し、その値を倍率コード出力
回路４を介してデコーダ５へ供給する。

該デコーダには倍率コード出力回路４からの計数値によ
りｎ個ある基準電圧のうちどれを励磁回路８へ送るかと
いう情報が予め記憶されており、該情報に基づいてデコ
ーダ５は計数値に対応する基準電圧を選択し、選択され
た基準電、圧が励磁回路８に送られるようにリレーを駆
動する。

従ってカウンタを例えば、＋＋ ０４４から’ ２９
”まで計数可能なものとし、計数値が１１０１１の時に
選択される基準電圧を最低倍率を得る際に必要となる励
磁電流がレンズ７に供給されるような値に設定し、以後
計数値が増加するに従って高い倍率が得られる様に基準
電圧を順次設定すれば倍率切換スイッチ１を右あるいは
左回転させることによって倍率を合計３０段階に亘って
増加あるいは減少させることが出来る。

次に、この各種倍率像から固定倍率像へ戻す時には、フ
ァクションスイッチ３によって固定倍率モードに切換え
る。

該切換えにより、カウンタ２ｂはそれ迄に計数した値を
リセットし、前記コード発生回路９からのコードを再リ
セットして、該コードを倍率コード出力回路４を介して
デコーダ５へ供給する。

本発明は複数の機能を有する電子顕微鏡等におけるレン
ズ制御回路において、複数の機能に対応したカウンタを
設け、該カウンタの内、固定倍率モードに対応したカウ
ンタのプリセット入力に固定倍率に対応したコードを設
定しているコード発生回路を接続しているので、ファン
クションスイッチによって固定倍率モードを選択し、次
に各種倍率像を得ようとする場合、直接倍率切換えスイ
ッチヲ切換えればよい。

従ってファンクションスイッチをわざわざ倍率モードに
切換える必要もなく、又、固定倍率に関連性の深い倍率
像が直ぐ得られるので操作が著しく簡易になる。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本発明の一実施例を示す電子顕微鏡等のレン
ズ制御回路のブロック図である。 １・・・・・・倍率切換スイッチ、２ａ、２ｂ、２ｃ・
・・・・・アップダウンカウンタ、計・・・・・ファン
クションスイッチ、４・・・・・・倍率コード出力回路
、５・・・・・・デコーダ、６・−・・・・基準電源、
７・・・・・・レンズ、８・・・・・・励磁回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 電子レンズ強度を複数の機能に応じて切換えるファ
   クション切換手段、前記複数の機能各々に対応して設け
   られたカウンタ、前記ファクション切換手段によって切
   換えられた機能に対応したカウンタに加算又は減算パル
   スを供給することが出来る倍率切換手段、前記ファクシ
   ョン切換手段により固定倍率機能に切換えた時に固定倍
   率に対応したコードを該固定倍率機能用カウンタにセッ
   トするコード発生手段、前記例れかのカウンタの出力に
   よりレンズ電流を制御する回路を備え、前記ファクショ
   ン切換手段により固定倍率に切換えた時に固定倍率機能
   用カウンタに保持された値がリセットされ、該カウンタ
   に固定倍率に対応したコードがセットされる様に構成し
   た電子顕微鏡等のレンズ制御回路。