JPS58165048A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JPS58165048A JPS58165048A JP4789082A JP4789082A JPS58165048A JP S58165048 A JPS58165048 A JP S58165048A JP 4789082 A JP4789082 A JP 4789082A JP 4789082 A JP4789082 A JP 4789082A JP S58165048 A JPS58165048 A JP S58165048A
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- JP
- Japan
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- humidity
- humidity sensor
- porosity
- dustproof cover
- metal
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は湿度センナに関するものである。
湿廖センサには、吸湿量の変化（すなわち、湿度変化）
Ｋよって伸縮量が変化する材質のもの（例えば毛髪等）
を感湿部に使用したもの、吸湿量の変化によって電気的
インピーダンスが変化する材質の化学物質（例えばセル
ローズ系物’［）を感湿部に使用したもの等が実用化さ
れている。そして、これ等の湿度センサが浮遊塵埃の多
い環境で使用される場合には感湿部に塵埃が付着しない
ように一般ＫＦｉ防塵カバー（エアフィルタ）で当該感
湿部を密閉して使用される。
Ｋよって伸縮量が変化する材質のもの（例えば毛髪等）
を感湿部に使用したもの、吸湿量の変化によって電気的
インピーダンスが変化する材質の化学物質（例えばセル
ローズ系物’［）を感湿部に使用したもの等が実用化さ
れている。そして、これ等の湿度センサが浮遊塵埃の多
い環境で使用される場合には感湿部に塵埃が付着しない
ように一般ＫＦｉ防塵カバー（エアフィルタ）で当該感
湿部を密閉して使用される。
従来、上記防塵カバーにはプラスチック製の網やガラス
焼結体等が使用されており、それ自体は電気的シールド
特性を有しないので、当該湿晩セ／すを例えば自動車等
の室内空調用瀝度センサとして使用する場合、すなわち
、ｆｉｔセンサが高周波雑音等の多い環境で使用される
場合は、測定回路系に上記高周波雑音等が混入し、測定
値に誤差を生ずる。特に湿度値を高インピーダンスの変
化で検出する素子にあっては上記高周波雑音等の影響を
受けやすい。従って、このような場合、従来は湿度セン
サをシールドして使用する必要があった。
焼結体等が使用されており、それ自体は電気的シールド
特性を有しないので、当該湿晩セ／すを例えば自動車等
の室内空調用瀝度センサとして使用する場合、すなわち
、ｆｉｔセンサが高周波雑音等の多い環境で使用される
場合は、測定回路系に上記高周波雑音等が混入し、測定
値に誤差を生ずる。特に湿度値を高インピーダンスの変
化で検出する素子にあっては上記高周波雑音等の影響を
受けやすい。従って、このような場合、従来は湿度セン
サをシールドして使用する必要があった。
また、従来使用されている防塵カバー用の材料では、孔
が大きすぎたりあるいは小さすぎたりして特に微細な塵
埃の一人阻止、あるいは外部との連通性等（連通性が悪
いと湿１に、 ＄ｌｌ＋定の応答性が悪くなる。）ＫＩ
ＩｍＡがあり、必ずしも満足できるものではなかつ是。
が大きすぎたりあるいは小さすぎたりして特に微細な塵
埃の一人阻止、あるいは外部との連通性等（連通性が悪
いと湿１に、 ＄ｌｌ＋定の応答性が悪くなる。）ＫＩ
ＩｍＡがあり、必ずしも満足できるものではなかつ是。
本発明は以上に述べたＡｌｌうな従来の欠点を解１°、
ｍｆ″“＜ ｓ ｌｉ ７１．り＊ｆ！ＩＩＴ＠−ｖ
“正確な湿度測定力ｉ可蛯な 、、度センサを得ること
を目的とする。
ｍｆ″“＜ ｓ ｌｉ ７１．り＊ｆ！ＩＩＴ＠−ｖ
“正確な湿度測定力ｉ可蛯な 、、度センサを得ること
を目的とする。
この目的のために本発明では感湿部の防塵カバーを、導
電性を有する多孔質部材、例えば金属多孔体で構成する
ようＫＬ、特にその材質について孔の大きさ、孔の密度
（多孔率）等、及びその形状について厚さ等を最適の範
囲内の値に選ぶようにした。
電性を有する多孔質部材、例えば金属多孔体で構成する
ようＫＬ、特にその材質について孔の大きさ、孔の密度
（多孔率）等、及びその形状について厚さ等を最適の範
囲内の値に選ぶようにした。
以下、図面によって本発明の詳細な説明する０
第１図は本発明の実施例の斜視図、第２図（ａ）、（ｂ
）は防塵カバーがない場合とある場合の湿度セ、ンサの
湿度対電気的インピーダンス特性の変化を示したグラフ
である。
）は防塵カバーがない場合とある場合の湿度セ、ンサの
湿度対電気的インピーダンス特性の変化を示したグラフ
である。
第１図に於いて、１は防塵カバー、２は感湿部、３はペ
ース、４はコネクタビン（電気的接続端子）、５は刀−
ド線である。
ース、４はコネクタビン（電気的接続端子）、５は刀−
ド線である。
防塵カバー１は例えばニッケル製発泡金属のような導電
性−：・′、孔質部材を、−面１１が開口する箱形に′
構成さ：□１・ｈている。
性−：・′、孔質部材を、−面１１が開口する箱形に′
構成さ：□１・ｈている。
□う２□Ｊ’ｙｓ＊３、。、。よ１．−−ｌ。
じて電気的インピーダンスが掌化する感湿性物質２２が
塗布され、その上に蒸着によって金属薄膜２３が形成さ
れて成り、上記金属板２１及び金属薄膜２３゛が電極と
して機能している。
塗布され、その上に蒸着によって金属薄膜２３が形成さ
れて成り、上記金属板２１及び金属薄膜２３゛が電極と
して機能している。
ペース３は、導電性部材、例えば金属板で形成され、周
囲に上記防塵カバー１がその開′０面１１で密接嵌合す
る段状部３１を有し成り、このペース３には絶縁のため
のノ為−メチックシール３２を介してコネクタビン４が
２本埋設され、接地用のリード線５が適宜の個所に接続
されている。 − 湿度センサ全体の構造を説明する□と、感湿部２はペー
ス３に衝立状″に固定され、その２つの電極、すなわち
金属板２１と金属薄ｊ１４！２３とが２本のコネクタビ
ン４にそれぞれ電気的に接続されており、更に・防塵カ
バー４がその開口部１１０所でベー゛ス３の段゛状部３
１に密接嵌合されており、導電性の防塵カバー１と導電
性のペース３とで囲まれた空間内に上記感湿部２が収納
された構造になっている。 □ 感湿部２は防塵カバー１とペース３とＫよつ゛て密閉状
になっているので、感湿部２への１１１１＃ｌのパ付着
が防止され、・また、被測定空間と防噸カバーｌの内部
（感湿部２の周囲空間）とけ防塵カバー１が有する無数
の孔によって連通しているので感湿部２は被測定空間の
湿度に正しく感応する。
囲に上記防塵カバー１がその開′０面１１で密接嵌合す
る段状部３１を有し成り、このペース３には絶縁のため
のノ為−メチックシール３２を介してコネクタビン４が
２本埋設され、接地用のリード線５が適宜の個所に接続
されている。 − 湿度センサ全体の構造を説明する□と、感湿部２はペー
ス３に衝立状″に固定され、その２つの電極、すなわち
金属板２１と金属薄ｊ１４！２３とが２本のコネクタビ
ン４にそれぞれ電気的に接続されており、更に・防塵カ
バー４がその開口部１１０所でベー゛ス３の段゛状部３
１に密接嵌合されており、導電性の防塵カバー１と導電
性のペース３とで囲まれた空間内に上記感湿部２が収納
された構造になっている。 □ 感湿部２は防塵カバー１とペース３とＫよつ゛て密閉状
になっているので、感湿部２への１１１１＃ｌのパ付着
が防止され、・また、被測定空間と防噸カバーｌの内部
（感湿部２の周囲空間）とけ防塵カバー１が有する無数
の孔によって連通しているので感湿部２は被測定空間の
湿度に正しく感応する。
また、防塵カバー１及びペース２が導電性であることＫ
よって感湿部２は電気的にシールドされており、高周波
雑音等、外来雑音が感湿部に悪影蕃を及ぼすことはない
。
よって感湿部２は電気的にシールドされており、高周波
雑音等、外来雑音が感湿部に悪影蕃を及ぼすことはない
。
ところで、防塵カバーＩＫ使用する多孔質部材の材質の
選択には細心の注意を必要とする。
選択には細心の注意を必要とする。
すなわち、多孔質部材が有する孔が大きすぎると塵埃が
防塵□カバー１内に侵入して防塵性が悪くなり、逆に孔
が小さすぎたり、孔の分布密度が小さすぎると、防塵カ
バー１の内部と外部との連通性が悪くなり、検出湿度の
追従性が悪化して正しい湿度測定ができなくなるからで
ある。
防塵□カバー１内に侵入して防塵性が悪くなり、逆に孔
が小さすぎたり、孔の分布密度が小さすぎると、防塵カ
バー１の内部と外部との連通性が悪くなり、検出湿度の
追従性が悪化して正しい湿度測定ができなくなるからで
ある。
実施例では、多孔質部材にニッケル製の発泡金属体を使
用した。この発泡金属は、海綿のよ・うに３次元の網目
状に孔が分布している比較的新しい素材であり、孔径的
１００Ｐ〜１−・の孔が２０〜３０個１５Ｉで分布して
お、す１、その多孔率は８８〜９８％で、ある。このう
ち実絢例で使用したものは多孔率が９５−のものである
。
用した。この発泡金属は、海綿のよ・うに３次元の網目
状に孔が分布している比較的新しい素材であり、孔径的
１００Ｐ〜１−・の孔が２０〜３０個１５Ｉで分布して
お、す１、その多孔率は８８〜９８％で、ある。このう
ち実絢例で使用したものは多孔率が９５−のものである
。
１尚、上記「多孔率」とは、
ｘｌｏＯ（チ）
で定義されるもので、孔の分布状況を表わしている〇
多孔質部材には上記発泡金属の他にも、金属粉末の焼結
体がある。この金属粉末の焼結体は、孔径が約１μ〜１
００μで、多孔率が２０〜５０−のものである。
、１ 多孔質部材にどのようなものを選ぶかは湿度センサが使
用される環境及び求められる測定の八 応答速度等で決定される◆項工あるが、孔の大ミ きさで１μ〜１＋ｗ、多孔率で２０〜９８％の範囲内の
多孔質部材で概ね要求される全ての特性の湿度センサが
得られる。尚、以上に述べた多孔質部材の中には多孔率
で５０〜８８嘔の範囲内のものが存在しないが、仁の範
囲内のものは前記発泡金属体を圧縮加工することＫより
容易に得られる。
体がある。この金属粉末の焼結体は、孔径が約１μ〜１
００μで、多孔率が２０〜５０−のものである。
、１ 多孔質部材にどのようなものを選ぶかは湿度センサが使
用される環境及び求められる測定の八 応答速度等で決定される◆項工あるが、孔の大ミ きさで１μ〜１＋ｗ、多孔率で２０〜９８％の範囲内の
多孔質部材で概ね要求される全ての特性の湿度センサが
得られる。尚、以上に述べた多孔質部材の中には多孔率
で５０〜８８嘔の範囲内のものが存在しないが、仁の範
囲内のものは前記発泡金属体を圧縮加工することＫより
容易に得られる。
また、防塵カバー１の厚さについては、前記多孔質部材
を使用すると、１〜１１０１Ｉ１の範囲で良好な結果が
得られ、た。
を使用すると、１〜１１０１Ｉ１の範囲で良好な結果が
得られ、た。
外来雑音に対する効果については、感湿センサに低周波
発振器によって低周波交流信号を印加し、上記感湿セン
サの近傍に高周波発振器（０，５Ｗ、１６８０ＭＨｚ無
変調信号ヲ出力ｆｂもの）を置いて波形観測を行うこと
により確認し友。この結果、金喝多、孔体による防塵カ
バーの使用によ抄高周暉雑音の重畳が皆無に等しいこと
が観察された０ また、防塵に封子る効果については、防塵カバー付の湿
度セン−、）、、（本考案に係るもの）と防塵カバー無
しの湿度ヘン、すを、自然環境中に放置し、湿度対電気
的インピーダンス特性の経１時変化を測定することによ
って行った。その荀果を第２図（ａ）、（ｂ）＆′Ｃ示
す。
発振器によって低周波交流信号を印加し、上記感湿セン
サの近傍に高周波発振器（０，５Ｗ、１６８０ＭＨｚ無
変調信号ヲ出力ｆｂもの）を置いて波形観測を行うこと
により確認し友。この結果、金喝多、孔体による防塵カ
バーの使用によ抄高周暉雑音の重畳が皆無に等しいこと
が観察された０ また、防塵に封子る効果については、防塵カバー付の湿
度セン−、）、、（本考案に係るもの）と防塵カバー無
しの湿度ヘン、すを、自然環境中に放置し、湿度対電気
的インピーダンス特性の経１時変化を測定することによ
って行った。その荀果を第２図（ａ）、（ｂ）＆′Ｃ示
す。
第２図（ａ）は防塵カバー無しの湿度センサの湿度対電
気的インピーダンス特性の変化を示し、第２図（ｂ）は
防塵カバー付の湿度センサの湿度対電気的インピーダン
ス特性の変化を示しており、それぞれ（１）及び（３）
が放置直後の特性、それぞれ（２）及び（４）が放置後
６ケ月を経過したときの特性である。
気的インピーダンス特性の変化を示し、第２図（ｂ）は
防塵カバー付の湿度センサの湿度対電気的インピーダン
ス特性の変化を示しており、それぞれ（１）及び（３）
が放置直後の特性、それぞれ（２）及び（４）が放置後
６ケ月を経過したときの特性である。
第２図（ａ）、（ｂ）との比較で明らかなようＫ、防塵
カバー無しの場合では６ケ月間で約ｌＯチ（Ｒ）ｌ）の
変化があるのに対して防塵カバー有の場合では２％（Ｒ
）ｉ）以下の変化しかみられない。
カバー無しの場合では６ケ月間で約ｌＯチ（Ｒ）ｌ）の
変化があるのに対して防塵カバー有の場合では２％（Ｒ
）ｉ）以下の変化しかみられない。
このように防塵による特性上の効果は明らかである。
以上に説明した実施例では感湿部に、湿度変化によって
電気的インピーダンスが変化するものを使用したが、感
湿部は、例えばＮ度変化によって伸縮敬が変化するもの
を使用してもよく、感湿部そのものの方式、構造がいか
なるものであっても本発明を実施することができる。
電気的インピーダンスが変化するものを使用したが、感
湿部は、例えばＮ度変化によって伸縮敬が変化するもの
を使用してもよく、感湿部そのものの方式、構造がいか
なるものであっても本発明を実施することができる。
また、実鳩例に於いて、ベース３Ｆｉ、それ自体が導電
性部材で形成されているが、例えば合成樹脂等絶縁部材
でベース３を形成し、コネクタピン４の埋設部分を除く
全面に導電薄膜を蒸着又は貼付してもよい。Ｉ！に湿度
センナの使用環境が緩やかな場合はベース３は必ずしも
導電性を必要としない。
性部材で形成されているが、例えば合成樹脂等絶縁部材
でベース３を形成し、コネクタピン４の埋設部分を除く
全面に導電薄膜を蒸着又は貼付してもよい。Ｉ！に湿度
センナの使用環境が緩やかな場合はベース３は必ずしも
導電性を必要としない。
また、防塵カバ−１内部に収納される感湿部の方式によ
ってけ磁気シールドを必要とする場合もある。このよう
な場、合には多孔質部材の材質を導電性磁性体とすれば
より大きな効果が得られ、実施例忙使用しｉニツケク製
の金属多孔体は最良の材質である。 、以上
、詳細に説明したように本２発明によれば囚 感湿部を
優り防塵カバーを導電性を有する部材（場合によっては
同時に透磁性をも有する部材）としたから外来雑音、特
に高周波雑音忙対して著しいシールド効果が得られるの
で、自動車等の室内空調用の湿度センナのように、雑音
の発生源の多い環境で使用するに適した湿度センサが得
られ、湿度センサとは別個にシールドケース等を設ける
必要がない。
ってけ磁気シールドを必要とする場合もある。このよう
な場、合には多孔質部材の材質を導電性磁性体とすれば
より大きな効果が得られ、実施例忙使用しｉニツケク製
の金属多孔体は最良の材質である。 、以上
、詳細に説明したように本２発明によれば囚 感湿部を
優り防塵カバーを導電性を有する部材（場合によっては
同時に透磁性をも有する部材）としたから外来雑音、特
に高周波雑音忙対して著しいシールド効果が得られるの
で、自動車等の室内空調用の湿度センナのように、雑音
の発生源の多い環境で使用するに適した湿度センサが得
られ、湿度センサとは別個にシールドケース等を設ける
必要がない。
■ 多孔質部材の孔の大きさ、孔の密度（多孔率）等を
最適に選ぶことにより通気抵抗が小さい防喝カバーが得
られ、また、多孔質部材の素材が金属であることにより
、それ自体吸湿性がないため、感湿部の湿度追従性が良
く特に自動車の室内等、湿度変化が比較的短いサイクル
で生ずる環境で使用するに適した湿度センナが得られる
。
最適に選ぶことにより通気抵抗が小さい防喝カバーが得
られ、また、多孔質部材の素材が金属であることにより
、それ自体吸湿性がないため、感湿部の湿度追従性が良
く特に自動車の室内等、湿度変化が比較的短いサイクル
で生ずる環境で使用するに適した湿度センナが得られる
。
（０多孔質部材が金属であっても、多孔質に形成されて
いることにより□熱容量が極めて、小さい（例えば多孔
率が９５′−の多孔質部材は、その全体積に占める素材
１・□の割合は５俤である０：ので、感湿部をとりまぐ
・：周囲温度は被測定空間の温度に喪好に追従し、正確
な相対湿度測オ７、□８６゜ ｌ’ｌ１１．ｌ、 １：。
いることにより□熱容量が極めて、小さい（例えば多孔
率が９５′−の多孔質部材は、その全体積に占める素材
１・□の割合は５俤である０：ので、感湿部をとりまぐ
・：周囲温度は被測定空間の温度に喪好に追従し、正確
な相対湿度測オ７、□８６゜ ｌ’ｌ１１．ｌ、 １：。
■ 多孔質部材は一般に−、、−であるので（例え：′
１ ・ ば、ニッケル製発泡金属体の密度は０．２〜０．
８”／ｅａ ）％自動車のように加減速の撤しい環境憤
激のある環境で使用するに適した湿１センサが得られる
。
１ ・ ば、ニッケル製発泡金属体の密度は０．２〜０．
８”／ｅａ ）％自動車のように加減速の撤しい環境憤
激のある環境で使用するに適した湿１センサが得られる
。
＠ ４ＩＫ防塵カバーを発泡金属体で作る場合、成形
加工が容易なため用途に応じた種々の構造のものが容易
に得られる。
加工が容易なため用途に応じた種々の構造のものが容易
に得られる。
等の種々の利益を享受でき、本発明の効果は極めて大き
い。
い。
第１図は本発明の実施例を示す斜視図、第２図（ａ）、
（ｂ）は従来の湿度センナ及び本発明に係る湿度センサ
の特性の経時変化を示すグラフである０ １・・・防塵カバー ２・・・感湿部３・・・ペー
ス ４・・・コネクタビ１５・・・接地用リー
ド線。 、；し ｄ、。 鴇 第１図 ）！５２図 手続補正書 １．１↑の表示 昭和ぐ７手持 許顆第〃りＦ７鍔 １（ｆｌとの関係 出 願 人 ４代理人 １ ４一←＋に帰僚柵→＋導−一 ・１１７．４
．１、。ｉｔｓ 、、・、■・補 正
書 本願明細書中下記事項を補正いたします〇記 １、第６負５行目に 「ベース２」とあるを ｒベース３」と釘止する。 ２、第６頁７行目に ｒＪｌ［１Ｍ５Ｊ！：アルｅ 「感湿部２」と釘止する。 ３、第６に下η為ら３行四及び第７貴ｔａｈ目に「発泡
金鵡」とあるをそれでれ 「発泡全風体」と訂正する。 １： □ １・ｊｌ”、ｉ（、ＦＴ 。 代理人冒１ 谷 山 ｈ 雄 。
（ｂ）は従来の湿度センナ及び本発明に係る湿度センサ
の特性の経時変化を示すグラフである０ １・・・防塵カバー ２・・・感湿部３・・・ペー
ス ４・・・コネクタビ１５・・・接地用リー
ド線。 、；し ｄ、。 鴇 第１図 ）！５２図 手続補正書 １．１↑の表示 昭和ぐ７手持 許顆第〃りＦ７鍔 １（ｆｌとの関係 出 願 人 ４代理人 １ ４一←＋に帰僚柵→＋導−一 ・１１７．４
．１、。ｉｔｓ 、、・、■・補 正
書 本願明細書中下記事項を補正いたします〇記 １、第６負５行目に 「ベース２」とあるを ｒベース３」と釘止する。 ２、第６頁７行目に ｒＪｌ［１Ｍ５Ｊ！：アルｅ 「感湿部２」と釘止する。 ３、第６に下η為ら３行四及び第７貴ｔａｈ目に「発泡
金鵡」とあるをそれでれ 「発泡全風体」と訂正する。 １： □ １・ｊｌ”、ｉ（、ＦＴ 。 代理人冒１ 谷 山 ｈ 雄 。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 感湿部を導電性を有する多孔質部材で密閉した湿度
センサ。 ２ 多孔質部材の孔の大きさが１μ〜ｈ１多孔率が２０
〜９８％の範囲内である特許請求の範囲ｓｉ項に記載の
湿度センサ。 ３ 多孔質部材の肉厚が１〜１０ｍの範囲内である特許
請求の範囲第１項に記載の湿度センサ０ ４ 多孔質部材が金属多孔体である特許請求の範囲第１
項〜第３項のいずれかに記載の湿度センサ。 ５ 金属多孔体が発泡金属体である特許請求の範囲第４
項に記載の湿度センサ。 ６ 金属多孔体が金属粉末焼結体である特許請求の範囲
第４項に記載の湿度センナ。 ７ 多孔質部材が導電性磁性体である特許請求の範囲第
１項〜第６項のいずれかく記載の湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4789082A JPS58165048A (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4789082A JPS58165048A (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58165048A true JPS58165048A (ja) | 1983-09-30 |
Family
ID=12787993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4789082A Pending JPS58165048A (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58165048A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0191106A1 (en) * | 1984-06-21 | 1986-08-20 | NGK Spark Plug Co. Ltd. | Humidity sensor |
| JPS61146756U (ja) * | 1985-03-04 | 1986-09-10 | ||
| US5511417A (en) * | 1993-09-29 | 1996-04-30 | Vaisala Oy | Method and arrangement in measurement of humidity, in particular in radiosondes |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626249A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | Humidity sensor |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP4789082A patent/JPS58165048A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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