JPS58163850U - 試料微動装置 - Google Patents

試料微動装置

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JPS58163850U
JPS58163850U JP6146182U JP6146182U JPS58163850U JP S58163850 U JPS58163850 U JP S58163850U JP 6146182 U JP6146182 U JP 6146182U JP 6146182 U JP6146182 U JP 6146182U JP S58163850 U JPS58163850 U JP S58163850U
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JP
Japan
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sample
fine movement
holding rod
sample holding
movement mechanism
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Pending
Application number
JP6146182U
Other languages
English (en)
Inventor
勲 加藤
洋 山内
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社島津製作所 filed Critical 株式会社島津製作所
Priority to JP6146182U priority Critical patent/JPS58163850U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例の縦断側面図である。 1・・・試料保持棒、3・・・試料、4・・・套管、5
・・・分析装置の真空容器壁、6・・・OIJング、7
・・・ベロー、8・・・ボール、9・・・ボール受け、
10・・・マイクロメータ、11・・・ばね。

Claims (5)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)先端に試料を保持するようにした試料保持棒をそ
    の棒の長さの中間点付近で揺動自在に支持し、同試料保
    持棒の試料保持端とは反対側の端部において、同試料保
    持棒をその長さ方向と交叉する方向に押動する微動機構
    を設けてなる試料微動機構。
  2. (2)試料保持棒を押動する微動機構がねじを用いたマ
    イクロメータ機構である実用新案登録請求の範囲第1項
    記載の試料微動装置。
  3. (3)  試料保持棒を押動する微動機構が互に直交す
    る押動力向を有する2組の機構よりなる実用新案登録請
    求の範囲第1項記載の試料微動機構。
  4. (4)試料保持棒が弾性的なシール部材を介して、気密
    を保持しかつ可動的に真空容器に取付けられていること
    を特徴とする実用新案登録請求の゛範囲第1項記載の試
    料微動機構。
  5. (5)  試料保持棒が弾性的なシール部材を介して、
    °気密を保持しかつ可動的に套管に取付けられ、套管内
    において揺動自在に支持され、上記套管が真空容器内に
    出入自在なように真空容器壁を貫通していることを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の試料微動機
    構。−
JP6146182U 1982-04-26 1982-04-26 試料微動装置 Pending JPS58163850U (ja)

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Family

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Family Applications (1)

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50529A (ja) * 1973-05-11 1975-01-07
JPS5025920U (ja) * 1973-07-10 1975-03-25
JPS5238289A (en) * 1975-09-22 1977-03-24 Hitachi Ltd Sample transfer device
JPS56914A (en) * 1979-06-16 1981-01-08 Kubota Ltd Dust incinerator

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50529A (ja) * 1973-05-11 1975-01-07
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