JPS58163589A - レ−ザ出力の測定・監視装置 - Google Patents
レ−ザ出力の測定・監視装置Info
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- JPS58163589A JPS58163589A JP57046113A JP4611382A JPS58163589A JP S58163589 A JPS58163589 A JP S58163589A JP 57046113 A JP57046113 A JP 57046113A JP 4611382 A JP4611382 A JP 4611382A JP S58163589 A JPS58163589 A JP S58163589A
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- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title claims description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 206010011224 Cough Diseases 0.000 description 1
- 241000254158 Lampyridae Species 0.000 description 1
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- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーず出力Owi定・監視atに係り、特にレ
ーザ加工機のレーず発振出力と、夷−に加工にたずされ
るレーず加工出力とをマツチング表示するに好適な測定
・彎l1m1置に関するものである。
ーザ加工機のレーず発振出力と、夷−に加工にたずされ
るレーず加工出力とをマツチング表示するに好適な測定
・彎l1m1置に関するものである。
一般に1鋼IIO処理・調造ツインにおいて、レ一ずビ
ームを利用し被加工物を溶断あるいは**する場合があ
る。この種のレーず加工機は、レーず発振器からレーず
ビームを発射し、途中のビームインダーで数回−けられ
、最終的に集光レンズでビームを集光し、単位面積あた
りのエネルギーを高め良状態で被加工物に照射し、溶断
、*接加工を施すものである。仁のよりなレーザ加工機
では、加工対象である鋼板の種類によって$Im!条件
を変更する必要があ為勢の九め、レーザ出力を常時監視
する作業が要求される。
ームを利用し被加工物を溶断あるいは**する場合があ
る。この種のレーず加工機は、レーず発振器からレーず
ビームを発射し、途中のビームインダーで数回−けられ
、最終的に集光レンズでビームを集光し、単位面積あた
りのエネルギーを高め良状態で被加工物に照射し、溶断
、*接加工を施すものである。仁のよりなレーザ加工機
では、加工対象である鋼板の種類によって$Im!条件
を変更する必要があ為勢の九め、レーザ出力を常時監視
する作業が要求される。
従来、レーず出力の測定はレーザ発振器から集光レンズ
に到ゐレー望党路の途中にて発振中のレーザビームの一
部を取り出し、その測定値から換算して全輿力を表示す
るようKしている。
に到ゐレー望党路の途中にて発振中のレーザビームの一
部を取り出し、その測定値から換算して全輿力を表示す
るようKしている。
ところが、従来のレーザ出力の測定・監視方法では、次
のような問題を来えしている。すなわち、レーず発振器
から発射されたレーザビームは途中のビームインダー、
集光レンズなどKよりある租1ILaliLされ、し喪
がって実際には発振出力よりも低い出力のレーザビーム
が被加工物に到達するとととなる、このようなことから
、従来の測定手段がレーザ発振器側における発振出方を
測定するものである為、実際の加工よりも高い値を表示
していたものである。
のような問題を来えしている。すなわち、レーず発振器
から発射されたレーザビームは途中のビームインダー、
集光レンズなどKよりある租1ILaliLされ、し喪
がって実際には発振出力よりも低い出力のレーザビーム
が被加工物に到達するとととなる、このようなことから
、従来の測定手段がレーザ発振器側における発振出方を
測定するものである為、実際の加工よりも高い値を表示
していたものである。
ところで、このレーザビームの発振出方と加工出力との
差は特にビームインダーや集光レンズ〇性能に関係して
くるものであり、レンズ性能の検査や、実際の加工出力
の検査が必要となる。このようなことから、実際の加工
、生方などを点検す1作業は、その都度レーず発III
Iに付属したパワモニターを移し、集光レンズの直下に
おいて出力測定を行なつ曳り、あるいは拘帯できる簡島
出方測定器九とえばカロリーメメーなどによりノtツチ
的に測定しているところである。従って、これらの作業
番言すべて人的作業により行゛なゎなければならず、し
かもオンライン上でのレーザ光軸に位置する作業である
為危険性をともな5問題があっ良。
差は特にビームインダーや集光レンズ〇性能に関係して
くるものであり、レンズ性能の検査や、実際の加工出力
の検査が必要となる。このようなことから、実際の加工
、生方などを点検す1作業は、その都度レーず発III
Iに付属したパワモニターを移し、集光レンズの直下に
おいて出力測定を行なつ曳り、あるいは拘帯できる簡島
出方測定器九とえばカロリーメメーなどによりノtツチ
的に測定しているところである。従って、これらの作業
番言すべて人的作業により行゛なゎなければならず、し
かもオンライン上でのレーザ光軸に位置する作業である
為危険性をともな5問題があっ良。
本発明番x、上記従来の問題点に着目し、発振出力を常
時微視するとともに、実際の加工出力をも則時にかつ安
全に測定できるようにしたレーfas力の測定・監視装
置を提供することt−目的とする。
時微視するとともに、実際の加工出力をも則時にかつ安
全に測定できるようにしたレーfas力の測定・監視装
置を提供することt−目的とする。
上記目的を達成する為に、本発明に係るレーザ出力の測
定・1視装置は、レーザ光路途中におけるレーず発振出
力を検出するセンサーと、集光レンズ透逼”螢のレーザ
加工出力を検出するセンサーとを設け、各センサーには
その出力値t−表示するとともに切讐可能なメーターを
接続し、尚咳メーターにより常時発振出力と加工出力と
を同時に表示できるように構成したものである。このよ
うな構成により、レーザビームの発振出力を測定しつつ
実際の加工出力を同時に測定できる為、レンズ等の性能
チェツタ中出力の比較作業がオフライン下で出来、しか
もラインの停′止を行なう必要がなく連続的に高い作業
効率で行なうことができる。
定・1視装置は、レーザ光路途中におけるレーず発振出
力を検出するセンサーと、集光レンズ透逼”螢のレーザ
加工出力を検出するセンサーとを設け、各センサーには
その出力値t−表示するとともに切讐可能なメーターを
接続し、尚咳メーターにより常時発振出力と加工出力と
を同時に表示できるように構成したものである。このよ
うな構成により、レーザビームの発振出力を測定しつつ
実際の加工出力を同時に測定できる為、レンズ等の性能
チェツタ中出力の比較作業がオフライン下で出来、しか
もラインの停′止を行なう必要がなく連続的に高い作業
効率で行なうことができる。
以下に本発明に係るレーザ出力の測定・監視装置の実施
例を図面を参照して詳細に説明する。
例を図面を参照して詳細に説明する。
第1図に本−施例に係る測定・監視装置を備え友し−ず
加工機の概略構成、図を示す、このレーザ加工機はレー
ザ発振器1を有し、この発轡器1からレーずビーム2を
発射するようにしている。tた、レーず発振器IK対向
して加工装置部3が設けられており、この加工装置!I
3は加工対象である鋼板など被加工部材4に対しレーザ
ビーム2を照射するよ5Kしている。加工装置@3はそ
の内IIKレーザトーチ5を備えており、仁のレーザト
ーチ6を被加工部材40加工方向に沿って図示しない駆
動手段により移動可能としている。まえ、レーザトーチ
Sは筒体6からなり、この筒体6の上端側にインダーン
ラーフを備え、かつ下端IIKは集光レンズ8を備えて
いる。そして、前記レーザ発振器1からのレーずビーム
2をインダー建う−7により反射させ、集光レンズ8に
て加工WiK焦点會合せ良状態で被加工部材74に照射
させ溶断あるいは溶IIを行なうものである。
加工機の概略構成、図を示す、このレーザ加工機はレー
ザ発振器1を有し、この発轡器1からレーずビーム2を
発射するようにしている。tた、レーず発振器IK対向
して加工装置部3が設けられており、この加工装置!I
3は加工対象である鋼板など被加工部材4に対しレーザ
ビーム2を照射するよ5Kしている。加工装置@3はそ
の内IIKレーザトーチ5を備えており、仁のレーザト
ーチ6を被加工部材40加工方向に沿って図示しない駆
動手段により移動可能としている。まえ、レーザトーチ
Sは筒体6からなり、この筒体6の上端側にインダーン
ラーフを備え、かつ下端IIKは集光レンズ8を備えて
いる。そして、前記レーザ発振器1からのレーずビーム
2をインダー建う−7により反射させ、集光レンズ8に
て加工WiK焦点會合せ良状態で被加工部材74に照射
させ溶断あるいは溶IIを行なうものである。
ところで、このようなレーず、加工機−において、レー
ザ出力を測定・監視すゐ手段は次のように構成されてい
る=すなわち、前記レーザ発振器1のレーザビームsの
発射端位置にはビーム光路を散り囲むように枠体9が設
けられており、この枠体9の内部にはレーずビーム30
党路中に介在されるサンプラ10を設けている。このサ
ンプラ1゜は発射されたレーザビーム2の数慢を反射さ
せて光路外へ暇り出すものである。このサンプラ10の
反射光路に位置し、前記枠体9には第1センサ11が取
り付けられている。この第1センサ゛11は熱電対が内
蔵されこの熱電対を反射光路内に位置させることにより
、サンプラ10により取り出されたレーずビームの出力
を熱起電力として出力変換するものである。この第1セ
ンナ11には検出値を演算処理し全発振出力値を出力表
示する第1メータ12が*Sされている。この第1メー
タ12は他のオペレータ1フ機器と同様にオフライン側
に設けるものである。
ザ出力を測定・監視すゐ手段は次のように構成されてい
る=すなわち、前記レーザ発振器1のレーザビームsの
発射端位置にはビーム光路を散り囲むように枠体9が設
けられており、この枠体9の内部にはレーずビーム30
党路中に介在されるサンプラ10を設けている。このサ
ンプラ1゜は発射されたレーザビーム2の数慢を反射さ
せて光路外へ暇り出すものである。このサンプラ10の
反射光路に位置し、前記枠体9には第1センサ11が取
り付けられている。この第1センサ゛11は熱電対が内
蔵されこの熱電対を反射光路内に位置させることにより
、サンプラ10により取り出されたレーずビームの出力
を熱起電力として出力変換するものである。この第1セ
ンナ11には検出値を演算処理し全発振出力値を出力表
示する第1メータ12が*Sされている。この第1メー
タ12は他のオペレータ1フ機器と同様にオフライン側
に設けるものである。
一方、前記加工装置l13内において、被加工部#′4
の側方位置に集光レンズ$を級友照射レーザビーム2を
検出する第2センサー13が設けられている。この第2
セン号−13はレーザトーチSの移動終端側あるいは始
端側に位・置し、レーザトーチSから発射されるレーザ
ビームを直接受けるようKm定的に設置されている。こ
の第2七ンサ−13も前記岨1センサー11と同様に熱
電対内蔵のものであり、加工出力を熱起電力として出力
変換し、この検出値をやはり接続された第2メータ14
に表示するようにしている。この第2メータ14は前記
第1メータ”12と同様にオペレーション機器側に設値
されている。
の側方位置に集光レンズ$を級友照射レーザビーム2を
検出する第2センサー13が設けられている。この第2
セン号−13はレーザトーチSの移動終端側あるいは始
端側に位・置し、レーザトーチSから発射されるレーザ
ビームを直接受けるようKm定的に設置されている。こ
の第2七ンサ−13も前記岨1センサー11と同様に熱
電対内蔵のものであり、加工出力を熱起電力として出力
変換し、この検出値をやはり接続された第2メータ14
に表示するようにしている。この第2メータ14は前記
第1メータ”12と同様にオペレーション機器側に設値
されている。
また、上記センサー11.13およびメータ12.14
の回路構成は、第2図に示されるよう。
の回路構成は、第2図に示されるよう。
に構成されている。すなわち、第1センサー11から第
1メータ12に到る配線途中に第1スイツチ15を配し
、同様に第2センサー13から第2メータ14に到る配
線途中に第2スイツチ16を配設している。さらには、
前記第1センサー11から第2メータ14に信号経路が
設けられており、この配線中にやはり第3スイツチ17
を配設している。従って第1〜第3スイツチ1!s〜1
70オンオフ操作により各メータ1114に発振出力お
よび加工出力を表示できるようにされている。
1メータ12に到る配線途中に第1スイツチ15を配し
、同様に第2センサー13から第2メータ14に到る配
線途中に第2スイツチ16を配設している。さらには、
前記第1センサー11から第2メータ14に信号経路が
設けられており、この配線中にやはり第3スイツチ17
を配設している。従って第1〜第3スイツチ1!s〜1
70オンオフ操作により各メータ1114に発振出力お
よび加工出力を表示できるようにされている。
これらスイッチ15〜17は他のオペレータ1フ機器と
同様に操作板に設ければ良い。
同様に操作板に設ければ良い。
このように構成されたレーザ出力の測定書監袂装置によ
れば、レーザビームの発振出力と、集光レンズ8を経た
後の加工出力とを同時にメータ12.14を介して表示
でき、しかもオフライン下で容易It″豐視微視ること
となる。tた、スイッチ1ト1マの適讐選−択により発
振出力のみあるいは加工出力のみtR択表示でき、表示
メータの切換も可能となる。このようなことから、オン
ラインでの作業が不必要となり、従ってオペレージ冒ン
側のみですべての操作ができる為、作業効率の向上を計
ることができる。
れば、レーザビームの発振出力と、集光レンズ8を経た
後の加工出力とを同時にメータ12.14を介して表示
でき、しかもオフライン下で容易It″豐視微視ること
となる。tた、スイッチ1ト1マの適讐選−択により発
振出力のみあるいは加工出力のみtR択表示でき、表示
メータの切換も可能となる。このようなことから、オン
ラインでの作業が不必要となり、従ってオペレージ冒ン
側のみですべての操作ができる為、作業効率の向上を計
ることができる。
なお、センサー11.13とメータ12,140回路構
成は第3図に示すように構成しても良い。
成は第3図に示すように構成しても良い。
すなわち第1センーー゛11からの信号を第1スイツチ
1sを介して第1メータ12に供給するとともに、第1
スイツチ15を介して第2メータ14に供給讐るよ5に
し、また“、第2センサー13からの信号を第2スイツ
チ16管介して第2メータ1−4に供給するとともに、
第2センサー13から第4スイツチIllを介しヤ第1
メータ12に供給することもできる。このような回路構
成にすることにより、レーザビームの発振出力を第1、
第2メータ12.14のいずれかに表示でき、さらに加
工出力も第1、絡2メーメ12.14のいずれかに表示
することもできる利点がある。
1sを介して第1メータ12に供給するとともに、第1
スイツチ15を介して第2メータ14に供給讐るよ5に
し、また“、第2センサー13からの信号を第2スイツ
チ16管介して第2メータ1−4に供給するとともに、
第2センサー13から第4スイツチIllを介しヤ第1
メータ12に供給することもできる。このような回路構
成にすることにより、レーザビームの発振出力を第1、
第2メータ12.14のいずれかに表示でき、さらに加
工出力も第1、絡2メーメ12.14のいずれかに表示
することもできる利点がある。
このように本実施例によれば、特に第2センサーを加工
装置SS内に配置し集光レンズ8を経た直接加工にたず
されるレーザビームの出力を検知してメータ1′4に表
示できるので、オフライン下での人的作業は不要となり
、従って作業の安全性が確保できる。さらには発振出力
と加工出力との同時嵌木が可能であり、従ってレンズな
どの性能のチェックがオペレージ冒y側にて容品に駿視
可能である。しかもこれらの各操作はライン停止を施す
ことなくできるので、作業の迅速化が可能となる。
装置SS内に配置し集光レンズ8を経た直接加工にたず
されるレーザビームの出力を検知してメータ1′4に表
示できるので、オフライン下での人的作業は不要となり
、従って作業の安全性が確保できる。さらには発振出力
と加工出力との同時嵌木が可能であり、従ってレンズな
どの性能のチェックがオペレージ冒y側にて容品に駿視
可能である。しかもこれらの各操作はライン停止を施す
ことなくできるので、作業の迅速化が可能となる。
以上説明したように、本発明に係るレーザ出力の測定・
微視装置によれば、作業安全上の確保と、測定作業の効
率化を計ることができるというすぐれた効果を奏する。
微視装置によれば、作業安全上の確保と、測定作業の効
率化を計ることができるというすぐれた効果を奏する。
第1図は本実施例に係るレーザ出力の測定・監視装健を
有する加工機の概略構成図、第2図はセンサーとメータ
の回路、構成図、第3図はセンサーとメータの回路構成
の他の実施例を示す図である。 l・−・レーザ発振器、2・・・レーザビーム、3・・
・加工懺置鄭、4・・・被加工部材、5・・・レーザト
ーチ、7・・・イングーミラー、8・・・集光レンズ、
10・・・サンプラ、11.18・・・センサー、1!
、14・・・メータ。 代理人 鵜 沼 辰 之 (#tか2名) 第1頁の続き 71出 願 人 株式会社電元社製作所川崎市多摩区枡
ア形−丁目23番 1号
有する加工機の概略構成図、第2図はセンサーとメータ
の回路、構成図、第3図はセンサーとメータの回路構成
の他の実施例を示す図である。 l・−・レーザ発振器、2・・・レーザビーム、3・・
・加工懺置鄭、4・・・被加工部材、5・・・レーザト
ーチ、7・・・イングーミラー、8・・・集光レンズ、
10・・・サンプラ、11.18・・・センサー、1!
、14・・・メータ。 代理人 鵜 沼 辰 之 (#tか2名) 第1頁の続き 71出 願 人 株式会社電元社製作所川崎市多摩区枡
ア形−丁目23番 1号
Claims (1)
- (1) レーザビームにより皺加工物0Ill断、溶
接等を行5レーザ加工機のレーず出力の測定・監視装置
において、レーず光路通中におけるレーず発振出力を検
出するセンナと、集光レンズ透過後Oレーず加工出力を
検出するセンtとを設け% 4)−にノtKはその出力
値を表示するとともに切替可能なメータを接続し、轟該
メータにより常時発振出力と加工出力とを同時に表示可
能ならしめ友ことt特徴とするレーザ出力の調定・監視
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57046113A JPS58163589A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | レ−ザ出力の測定・監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57046113A JPS58163589A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | レ−ザ出力の測定・監視装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58163589A true JPS58163589A (ja) | 1983-09-28 |
Family
ID=12737937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57046113A Pending JPS58163589A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | レ−ザ出力の測定・監視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58163589A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4911711A (en) * | 1986-12-05 | 1990-03-27 | Taunton Technologies, Inc. | Sculpture apparatus for correcting curvature of the cornea |
US5634920A (en) * | 1992-10-01 | 1997-06-03 | Chiron Technolas Gmbh Ophthalmologische Systeme | Method and apparatus for removing epithelium from the surface of the eye |
US6090100A (en) * | 1992-10-01 | 2000-07-18 | Chiron Technolas Gmbh Ophthalmologische Systeme | Excimer laser system for correction of vision with reduced thermal effects |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4965597A (ja) * | 1972-10-27 | 1974-06-25 |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP57046113A patent/JPS58163589A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4965597A (ja) * | 1972-10-27 | 1974-06-25 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US5683379A (en) * | 1992-10-01 | 1997-11-04 | Chiron Technolas Gmbh Ophthalmologische Systeme | Apparatus for modifying the surface of the eye through large beam laser polishing and method of controlling the apparatus |
US5827264A (en) * | 1992-10-01 | 1998-10-27 | Chiron Technolas Gmbh Ophthalmologische Systeme | Method of controlling apparatus for modifying the surface of the eye through large beam laser polishing |
US6090100A (en) * | 1992-10-01 | 2000-07-18 | Chiron Technolas Gmbh Ophthalmologische Systeme | Excimer laser system for correction of vision with reduced thermal effects |
US6635051B1 (en) | 1994-10-14 | 2003-10-21 | Technolas Gmbh Ophthalmologische Systeme | Excimer laser system for correction of vision with reduced thermal effects |
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