JPS5815937B2 - ニジゲンパタ−ンハツセイソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 特に小型化した電子装置の分野において予定の輪郭をも
つ区分を一般に非常に小さな基体に転写する問題が生じ
る。

図形は例えば適当な樹脂上における刻印によって集積回
路用のマスクを製造するために設計され得る。

今日利用されている方法の中には、再生されることにな
る区分を、各々予定の形をもつある数の基本区分または
パターンに分解するという方法がある。

−コードは各基本区分に相応する。これらのコードの連
続体はデータ処理機でプログラムされる。

データ処理機は電気機械的装置を介して例えば電子顕微
鏡または幅と高きと位置とを変えることのできる開口を
もつ絞りを備え基本区分を形成するオシロスコープに作
用する。

これらの電気機械的装置は必ず真空包囲体の外側に配置
される。

この方法は電気機械的装置があるためゆっくりしたもの
であり、またこれらの装置は必然的に扱いにくくかつ高
価である。

この発明の目的は、上述のような電気機械的装置のもつ
欠点すなわち動作が遅いこと、扱いにくいことや高価で
あること等を解消するため純粋に電子的手段を用いて、
基本図形を発生しそして純粋なデジタル方法によって形
成される信号によって二次元偏向装置を制御するように
構成した二次元パターン発生装置を提供することにある
。

この発明は、本質的に各基本区分が一定方向の辺をもつ
矩形かまたは二辺が１つの常に同じまたは２つの一定方
向に平行でありかつ他の二辺が上記一定方向に対し４５
°に位置した二つの方向の一方に平行である平行四辺形
であり、各基本区分が５つのパラメータすなわち直角座
標に対する基本区分の所与頂点の座標Ｘ、ｙ、上記一定
方向に平行な図形の辺の長さｌ、基本図形の高さｈ、お
よび図形のコードｃ（１つまた他の種類の矩形または平
行四辺形）で特徴づけられることを特徴としている。

これらの一連のコードは従来のデータ処理機においてプ
ログラムされる。

このデータ処理機の出力は、この発明の目的でありかつ
アドレッシング装置に作用する制御電圧例えば電子また
は光子ビームを発生する装置を作動する。

各基本区分は線対線走査で得られ、連続した線は一方向
または他方向に交互にビームによって走査される各線が
矩形の連続した光子または電子衝撃によって得られるこ
とを実施する装置が設けられ、各衝撃は予定の寸法の小
さな像を形成し、連続した像は互いに隣接している。

この形態では、基本区分を形成する一連の像が得られ、
この一連の像は予定の輪郭をもつ露出区分の形態を成し
、各基本区分の長さｌは各線における点の数によって得
られまた高さｈは線の数によって得られる。

このようにこの発明による装置はＹ階段形信号を発生す
る装置と、Ｘ階段影信号を発生する装置と、これらの信
号を意のままに変更して三種類の基本図形の１つを選択
する装置とから成り、純粋に電子的装置で構成されてい
るので、上述の従来の電気機械的装置を用いたものと違
って動作が非常に迅速であり、また操作性または経済性
の点でもすぐれた効果が期待できる。

この発明は添附図面についての以下の説明から更によく
理解されよう。

第１，３図には感光板上に再生するための２つのパター
ンを示す。

第１図には、文字Ａが示されており、それの脚部分は第
１図において左右に４５°傾斜している。

わかるように文字Ａにおいて２つの要素を重ねることを
許されれば、それを第２図に示す形の平行四辺形および
矩形に分解することは極めて容易である。

第３図には、リングが示されており、矩形または一様な
高さに分解され得る。

第２図に示す基本形は、■では二辺が方向ＯＸに平行で
他の二辺が方向Ｏｘに対し４５°右方に傾斜した平行四
辺形であり、■では各辺がＯｘ。

Ｏｙに平行な矩形であり、また■では二辺がＯｘに平行
で他の二辺がＸに対して４５°左方に傾斜した平行四辺
形である。

従って各基本区分は５つのパラメータ、すなわち ａ）頂点の１つ例えば下部左側頂点Ｍｏの座標０９ｙＯ
； ｂ）幅ｌ； Ｃ）高さｈ； ｄ）形（形Ｉ、■または■）のパラメータＣ５によって
特徴づけられる。

予定の図形を得るためには、単に全体図形を形ａ−する
種々の基本図形の一連のパラメータＸＯ。

ｙｏ、／、ｈ、ｃを導入することが必要である。

これらの図形な刻印または印刷すべき基体に転写し得る
装置について以下説明する。

第４図には形Ｉ。■、■の３つの基本図形が示されてお
り、これらは同じ高さｈと同じ寸法ｌである。

これらの図形は、全て同じ間隔ｎだけ互いに離れた連続
した点の刻印によって形成される。

これら点の成す線は同様に同じ間隔ｎだけ互いに離され
、この間隔ｎは各点の直径にほぼ等しい。

図面を明瞭にするため、各点の直径は各点を互いに区別
できるようにするため十分小さくされている。

実際には、各図形は表面の形態に描かれる。

ここで述べた例では、連続した点の線および１本の同じ
線の連続した点は同じ間隔づつ離間されている。

次に理解されるべき点は、工業的応用において直径が０
．１μ程度である露光（照射）点の中心に関する点であ
る。

これらの点を印刷または刻印するため、この発明によれ
ば線対線走査が用いられ、線は図面に示すように一方向
または他方向に交互に走査される。

この線対線走査を行なうためには、単に第４図に示す仕
方で水平偏向装置にステップ電圧を印加する必要がある
。

図示した３つの場合、各線に対して４つの点があり、ま
た各区分に対して３本の線がある。

同じ基本像の点を連続して刻印するために、この発明は
次の方法を行なう。

すなわち、各基本区分の走査の開始時に粒子ビーム発生
装置例えば電子ビーム発生装置のそれぞれ水平および垂
直偏向装置に２つの電圧Ｖｌｘｏ）、Ｖ（ｙｏ）が印加
される。

これらの電圧は第１線の左側の第１点である点Ｍｏの座
標ｘｏ、ｙｏの関数である。

いかなる基本図形でも、電圧Ｖ（ｙ）（第５図）は同じ
ように変化する。

４△ｔ（△ｔについては後で定義する）の時間の間、電
圧Ｖ（ｙ）ま一定のままである（第１線を走査するのに
必要な時間）１この時間の終了時には、それは値Ｖｏ（
ｙ）＋△Ｖとなりそして時間４△ｔ（第２線）の間この
値を保持し、その後それは値Ｖｏ（ｙ）＋２△Ｖとなる
１第１線の走査は左から右へ行なわれる。

第２線は右から左へ走査され、このようにして走査が行
なわれる。

初期電圧Ｖ（ｘｏ）は点Ｍｏの横座標位置の関数である
。

この電圧は時間△ｔの間一定のままであり、この時間△
ｔは電子ビームで樹脂に刻印または印刷するのに必要な
時間である。

時間△ｔの終了時で時間△ｔの別の期間中に、電圧はＶ
（Ｘｏ）＋△Ｖとなり、そしてそれは時間△ｔの新しい
期間（第２点を刻印するのに要する時間）の間一定のま
まであり、その後同様にしてその電圧は連続してＶ（ｘ
ｏ）＋２△Ｖ、Ｖｌｘｏ）＋３△Ｖとなる。

こうして第１線の第４点は時間４△ｔの経過後刻印され
る。

従って電圧ｖ（ｙ）はＶ（ｙｏ）＋△ＶＫ等しく、従っ
て第２線は同様にして右から左へ走査される形■の場合
、第２線の第１点を形成するには。

第１線の走査の終了時に得られた電圧ＶＸ（ｔ）に△Ｖ
を加えそして電圧ＶＸ（ｔ）をＶ（ｘｏ）＋４△Ｖから
Ｖ（ｘｏ）＋△Ｖへ段々に減少させる必要があり、こう
して第２線の点が得られ、その後ｖｙがｖｙｏ＋△ｖか
らｖｙｏ＋２△ｖへ変化する時、ＶｘはＶｘｏ＋２△Ｖ
がＶｘｏ＋５△Ｖへ増大しなげればならない。

（曲線Ａ）。形Ｈの場合、三本の線を走査する電圧ＶＸ
は次の通りである。

第１線の場合； Ｖｘ。

ＶＸＯ＋△Ｖ Ｖｘｏ ２△Ｖ Ｖｘｏ＋３△Ｖ （曲線Ｂ） 第２線の場合： ｖＸｏ＋３△Ｖ Ｖｘｏ＋２△Ｖ ＶＸＯ＋△Ｖ ＶＸＯ 第３線の場合； Ｘ０ Ｖｘｏ＋△Ｖ Ｖｘｏ＋２△Ｖ ＶＸＯ＋３△Ｖ 形■の場合において、 第１線の場合； Ｖｘ。

Ｖｘｏ＋△Ｖ Ｖｘｏ＋２△Ｖ ＶＸＯ＋３△Ｖ 第２線の場合： Ｖｘｏ＋２△Ｖ Ｖｘｏ＋△Ｖ Ｖｘ。

Ｖｘｏ−△Ｖ 第３線の場合； Ｖｘｏ−３△Ｖ ＶＸＯ−△Ｖ Ｖｘ。

Ｖｘｏ＋△Ｖ （曲線Ｃ） 以下に述べる図面には、ＸＯ＊ｙＯ＋／＠ｈおよび形パ
ラメータＣの連続体を連続して記録するデータ処理装置
の出力から電気的信号を発生し得る装置を概略的に示す
。

さて、上記型の電圧ｖｘ、ｖｙを発生するのに用いられ
得る装置を引続いて考えることにする。

第６図に示す装置は計算機に接続されかつｎ個の出力を
備えた第ルジスタ１を有し、これら出力の状態Ｏまたは
１は数ｘｏである二進符号のｎ数字の数を表わす。

このレジスタはその内容を、三つの入力を備えた順方向
および逆方向カウンタ２に供給し、上記三つの入力はデ
ータ処理装置の別の入力に接続した入力りと、順方向計
数入力Ｉｘ＋と、逆方向計数人力Ｉｘ−とである。

入力Ｉｘ＋＊Ｉｘ−は後で述べる装置から一定パルス割
合でパルスを受ける。

この順方向および逆方向カウンタの出力はデジタル、ア
ナログ変換器３に接続され、この変換器の出力は走査電
圧Ｖｘを発生する増幅器４に接続される。

装置の動作は次の通りである。

データ処理装置によって決められた時間ｔｎにおいて、
順方向および逆方向カウンタ２が始動し、この時その計
数は時間ｔｏで形成される基本図形における点Ｍｏであ
る横座標である数ｘｏを表わす。

入力りはこの始動を制御する。この場合、順方向および
逆方向カウンタの入力Ｉｘ＋にはその計数を増加させる
パルスが供給される。

言い換えれば時間ｔｏにおける計数はｘ。である場合に
は、それが受ける各パルスＩｘ＋ではその計数は一単位
だけ増加する。

同様に、入力Ｉｘ−で受ける各パルスでは、その計数は
一単位だけ減少する。

後で述へる装置から、カウンタ２は一連のパルスＩｘ＋
および一連のパルスＩｘ−を受ける。

デジタル、アナログ変換器３は時間ｔｏに増幅器４へｘ
ｏ＝１に相応した電圧であるｘｏＵ、Ｕに等しい電圧を
供給し、パルスＩｘ＋が伝送される場合には発生電圧は
（ｘｏ＋１）Ｕである。

パルスＩｘ−が伝送される場合には、発生電圧は（ｘｏ
−１）Ｕである。

同様に、第７図には電圧ｖｙを発生するのに利用した装
置を示す。

この装置は第６図の要素１゜２．３．４と同じ要素１０
，２０，３０．４０を有するが、カウンタ２０は逆方向
計数入力を備えてなく、単に順方向計数人力ｘｙを備え
ているだけである。

その動作は第６図の場合と同じである。結果としては電
圧Ｖｘは上昇または降下段を示すステップ電圧であり、
一方電圧ｖｙは常に上昇段を示すステップ電圧であるこ
とになる。

第８図には第４，５図のステップ電圧を形成するのに必
要な電圧パルスを示す。

曲線Ｈは時間ｔｏから先のクロックパルスを表わす。

Ｄで示した第１パルスは基本図形の印刷処理の開始を決
める。

このパルスの後には第１線の４つの点に相応した一連の
３つのパルスが続キ、そして１つの線から次の線への経
過に対応したパルスＲが続いており、このパルスＲは明
瞭にするため他のパルスより振幅を大きくとって示され
ている。

その後には第２線の３つのパルス、第３線への転移を表
わすパルスＲおよび第３線自体のパルスが続（。

パルスＲは実際に入力ＩｙＶｃ加えられたパルスである
。

それらは曲線Ｙで示される。曲線Ａ、Ｂ、Ｃは場合Ａ、
Ｂ、Ｃにおいて第６図の順方向および逆方向カウンタ２
の入力に加えられるパルスＩｘ＋５Ｉｘ−の分布を示す
。

第５図にＢで示す曲線との比較かられかるように、第１
線の段状上昇に対して線の最大値が３△Ｖである増分△
Ｖに各々相応した３つのパルスＩｘ＋および第２線にお
ける段状降下に対する３つのパルスＩｘが存在し、また
各一連の線パルスは次のものから△Ｖ（△Ｖは当然ステ
ップ関数の水平部分の通常の持続時間である）の２倍に
等しい間隔だけ分離される。

言い換えれば、第５図のＢに示すように、第１線の最後
の点は上記で述べたように第２線において走査した第１
点に対する第１点と同じ横座標位置をもつ。

従って、上昇に対する３つのパルスＩｘ＋（普通ｎ−１
）および降下に対する３つのパルスＩｘ−（ｎ−１）の
連続体は矩形の形すなわち形■の場合パルス休止によっ
て分離される。

同様にしてパルスＤから始まる形Ｉの場合（曲ＩＡ）、
第１１に対して４つのパルスＩｘ＋（パルスＤを計数し
ない）ｎが存在し、その後に始動パルスから始まる降下
に対する３つのパルス（ｎ−１）が続き、その後には上
昇（ｎ＋１）に対する５つのパルスが続り。

各一連のパルスＩｘ＋、Ｉｘ−の間には中断はない。

従って一般的に言えば。（ｎ＋１）個のパルスＩｘ＋が
存在し、その後には線の間にあき（不動）時間なしに（
ｎ−１）個のパルスＩｘが続く。

始動時から始まる形■の場合（曲線Ｃ）、３つまたは（
ｎ−１）個のパルスＩｘ＋が存在し、その後には連続体
の間に中断なしに５つのパルスＩｘ−が続く。

結果として、パルスＩｘ＋、Ｉｘ−を形成する装置には
計算機によって （イ）データ処理レジスタによって形成された座標Ｘｏ
＊ｙｏ（すなわち始動命令）、 （ロ）長さＡ、ｈすなわち各線における点の数、および
線の数、 （ハ）描かれるべき基本図形の形の指示 が供給される。

この指示は、２つの相補パルスが連続体Ｉｘ＋に加えら
れることになる（形■の場合）か、またはそのようなパ
ルスが全く加えられずパルスＩｘ＋とＩｘ−との間に中
断を残す（形■の場合）か、或いは２つの相補パルスが
一連のパルスＩｘ−に加えられることになる（形■の場
合）という効果に対する指示で表わされる。

この回路の一実施例を第９図に示す。

第１０図には第９図の回路のある点に現われる信号の形
な示す。

そこで第９図に示す装置は本質的に上記で述べた要素な
有し、すなわち循環周波数−のパルス（第８図の信号Ｈ
）を発生するクロック１００を有する。

この周波数は基本点の寸法すなわちビームの強さおよび
印刷される樹脂の感度の関数として選ばれる。

これらのパルスはＡＮＤゲート１０１の一方の入力に加
えられる。

このＡＮＤゲート１０１の他方の入力は２つの状態１，
０をもつ二安定トリガ段１０３の出力に接続される。

このトリガ段は、計算機とリング接続しかつ始動命令を
供給する入力Ｄ１によって状態１にされる。

このトリガ段は状態１にある時、ＡＮＤゲート１０１を
開放する。

トリガ段１０３は他の入力Ｄ２によって状態０にリセッ
トされる。

ＡＮＤゲート１０１の出力は制御可能なカウンタ・分割
器１０４の入力に接続され、このカウンタ・分割器１０
４は１人力パルスを受けた時すなわち各線の終了時にパ
ルスを発生し、このカウンタ・分割器の出力は別のカウ
ンタ・分割器１０５に接続され、このカウンタ・分割器
１０５はｈ人カパルスを受けた時パルスを発生する。

このカウンタの出力はトリガ段１０３の入力Ｄ２に接続
され、それが供給するパルスによってトリガ段１０３は
ゼロにリセットし、そしてＡＮＤゲート１０１を閉じる
。

カウンタ・分割器１０４の出力はパルスＩｙを送出し、
これらのパルスＩｙは第７図のカウンタ２０の入力に供
給される（パルスは一本の線から次の線への転移に相応
している。

）。カウンタ・分割器１０５からの出力パルスは基本像
の書込みの路下を表わす。

数／、ｈは入力によって加えられ、それの状態０．１は
計算機の適当な出力によって決められ。

この計算機は描かれることになる図形の長さｌおよび高
さｈを決定する。

カウンタ・分割器１０４の出力およびＡＮＤゲー）１０
１の出力はそれぞれ二安定トリガ段１０６の２つの入力
に接続される。

このトリガ段はカウンタ・分割器１０４からの出力パル
スによってゼロ状態にされ、そしてＡＮＤゲート１０１
からの次の出力パルスによって状態１にリセットされる
。

このトリガ段はＣ９υで示した２つの相補出力を備えて
おり、一方が状態１にあると、他方は状態０にあり、ま
た一方が状態０であると、他方は状態１にある。

信号Ｃ１σは第１０図に曲線Ｃ９でで示される。

カウンタ・分割器１０５の出力は二安定トリガ段１０７
の２つの入力に接続される。

線終了（エンド・オブ・ライン）パルスＲはこのトリガ
段１０７を状態１にし、そして次のパルスでこのトリガ
段は状態０になる。

このトリガ段１０７は２つの相補出力す、ｂを備えてい
る。

従って出力すは始動時には状態１にあり、そして第１パ
ルスＲで状態０にそして次のパルスで状態１に移る。

出力す、ｃは第１ゲート１０８の２つの入力に接続され
、この第１ゲート１０８の出力はＣＲゲーＮ１０の第１
人力に接続される。

出力ｃ、ｂはゲート１０９の２つの入力に接続され、こ
のゲート１０９の出力はＯＲゲート１１１の第１人力に
接続される。

ゲーＮＯ８，１０９の各々の最終入力は直接遅延回路１
１７のよびＡＮＤゲート１０１を介してクロック１００
に接続される。

この遅延回路１１７はクロックパルスを種々のトリガ段
の応答時間に等しい時間だけ遅延させる働きをする。

回路のこの第１部分の動作は次の通りである。

まず第１に、上記かられかるように、像連続体の開始お
よび終了はトリガ段１０３の状態によって制御され、こ
のトリガ段１０３は状態１でＡＮＤゲート１０１を開き
、それでこのＡＮＤゲート１０１はクロックパルスを通
過させる。

これらのパルスは装置１１７で僅かに遅延され、曲線ｄ
で示され得、そしてゲー）１０８，１０９の相応した入
力に同時に加えられる。

ゲート１０８は、トリガ段１０７が状態１（曲線ｂ）に
ある時すなわち選んだ例（線当り４つの点および基本像
に対して三本の線）の場合、第１、第２パルスＲの間に
開く。

普通状態１にあるが第１パルスＲと次のクロックパルス
との間で状態０に変化する出力Ｃはこの時間間隔の間に
ゲート１０８を閉じる。

従ってＯＲゲート１１０は通常その出力に３つの第１パ
ルスすなわち３つのパルスＩｘ＋を送出する。

第１パルスＲが到来すると、出力すは状態０になり、ゲ
ート１０８は閉じる。

この時、出力層は状態１に変わり、そしてゲート１０９
を開く。

次いで同じ過程をたどり、３つのパルスＩｘ−がＯＲゲ
ート１１１の出力に供給される。

従って３つのパルスＩｘ＋、あき時間、３つのパルスＩ
ｘ−，あき時間というふうに順次中じる。

３つの基本形を得るのに必要な連続体が得られ、そして
わかるようにこれらのあき時間の一方または他方におい
て形成され、またはパルスの形成は行なわれず、これに
より形ファクタを形定する。

従ってこれらの形パルスの１つを形成するためまたは全
く形成しないためには、単にこれらのパルスをＯＲゲー
ト１１０．１１１の他方の入力に供給するかまたは供給
しないことが必要である。

これは第９図に示す回路の第２部分によって行なわれる
。

これは二段トリガを有し、それの段１１２，１１３は３
つの形ファクタのコードを構成する。

２つのトリガ段１１３，１１２が状態ＯＫある時、それ
らは数ＯＯを決定し、これは６矩形”を意味する。

トリガ段１１２が状態１である時、トリガ段１１３は状
態０（数１０）であり、形Ｉが得られ。

トリガ段１１２が状態０である時、トリガ段１１３は状
態１（数０１）であり、形■が得られる。

トリガ命令は計算機コード出力としての出力Ｃによって
形成される。

これらトリガ段の出力はそれぞれ２つのＡＮＤゲート１
１５，１１６の第１人力に接続され、他の入力はそれぞ
れ遅延回路１１７および出力Ｃに接続される。

出力層は各パルスＲと次のクロックパルスとの間では状
態１である。

これらのゲートの出力はそれぞれＯＲゲー）１１０，１
１１の第２人力に接続される。

その結果コードトリガ段１１２．１１３の状態に関係し
てあき時間の一方または他方の間にパルスが形成され、
またはこれら２つのトリガ段が状態０の時にはそのよう
なパルスの形成は行なわれないことＫなる。

こうして予期した結果が達成される。

言うまでもないが、上記した回路は単なる一例にすぎな
いさらに、基本図形は、本質的には一本の線から次の線
へ移るために、矩形の場合には矩形以外の２つの図形の
一方を形成できるようにする形パルスを形成するのに利
用されるあき時間が存在することによって特徴づけられ
る。

これは、Ｘ座標の軸に対する平行四辺形の側辺の傾斜が
４５°すなわち１の液切の角度である必要があることを
要求する。

もし他の傾斜が適用されるとすれば、それらは２△ｔ、
３△ｔ……に等しいあき時間を与えるために配列されな
ければならず、それで平行四辺形の寸法はＸ軸に対して
２，３の圧切の角度を成すようにされる。

これはこの発明の範囲から離れることなく行なわれる。

この発明によれば、Ｉに等しい高さをもつすなわち複数
の点のただ一本の線から成る矩形の適用を通して線対線
走査方法によって任意所望の図形を形成することができ
る。

これを行なうためには単にカウンタ・分割器１０５数１
を設定することだけが必要である。

点は電子顕微鏡において０．１μ程度の直径を有するの
で、非常に小さな寸法での相当な数の図形例えば印刷文
字を再生できることは容易に認められる。

従ってこの発明によれば小型化した電子回路用の非常に
寸法の小さいマスクを自動的忙刻むことができる。

また電子ビーム以外の電気的アドレッシング装置を用い
て点光源の選択的照射で任意の図形を電気的に表示する
こともできる。

この発明においては次のように実施できる。

（１）計算機で制御され、そしてアドレッシング装置を
それぞれ互いに垂直な２つの方向に偏向させる第１、第
２部片を備えた装置に接続され、パターンな３つの明確
な種類の基本図形、すなわち、それぞれ互いに垂直な２
つの明確な軸にそれぞれ平行な辺を備えた矩形および上
記軸の一つに平行な第−辺と明確な傾斜をもちかつそれ
ぞれ反対の傾斜をもちこの傾斜がｎを整数とするとき数
ｎに等しい第二辺とを備えた第１、第２平行四辺形に分
割することによって上記パターンを線対線走査しかつ各
線を点対点走査するように構成した二次元パターン発生
装置において、各線の長さに相応した持続時間のプログ
ラムされた数の連続した増加段をもちかつ２つの連続し
た段間に予定の電位差をもつ第１階段形電圧を発生する
ため上記第１部片に接続した第１装置、上記数をプログ
ラミングするため上記計算機に接続した第１人力と上記
持続時間をプログラミングする第２人力、および上記第
２部片に供給され、上記プログラムされた持続時間の約
数でありかつ各線の各連続した点間の間隔に相応した一
定持続時間をもつ一連の増大および減少段を交互に備え
た第２階段形電圧を発生する第２装置を有し、各一連の
増大および減少段が各線の各段を走査するのに必要な数
の段を備え、また各一連の段が各線を走査するため各一
連の段間に間隔をもち、上記間隔がｎ個の段の持続時間
に等して一定持続時間をもち、また各一連の増大段また
各一連の減少段の後随意にそれぞれｎ個の増大段または
ｎ個の減少段を挿入するため上記計算機に持続された第
３人力を有する二次元パターン発生装置。

（２）上記アドレッシング装置が粒子ビームであり、ま
た上記部片が上記粒子ビームを偏向させる偏向部片であ
る上記第１項に記載の装置。

（３）上記粒子ビームが電子ビームである上記第２項に
記載の装置。

（４）上記一連の段間の間隔が１つの段の持続時間をも
つ上記第１項に記載の装置。

（５）第１、第２電圧発生装置が第２段の持続時間に等
しい循環周期をもつパルスを発生するパルス発振器、上
記パルスを受ける入力を備えかつ第１階段形電圧の段に
等しい循環周期をもつパルスを計数する第１カウンタＶ
上記カウンタの計数値を受ける入力と上記第１部片に上
記第１階段形電圧を送る出力とを備えた第１デジタルア
ナログ変換器、計数値を増大させる一連のパルスとその
計数値を減少させる一連のパルスとを交互に受ける上昇
入力と降下入力とを備えた第２カウンタ・デカウンタ装
置、および上記第２カウンタ・デカウンタ装置に接続さ
れ、上記第２部片に第２階段形電圧を供給する第２アナ
ログ・デジタ４換器を有する上記第４項に記載の装置。

（６）上記パルス発振器が一つの出力を備えたクロック
、上記クロックの出力に接続した第１人力を備えた第１
ＡＮＤゲート、一方の状態から他方の状態へ変わった時
パルスを送出しかつ上記第１ＡＮＤゲートの第２人力に
接続された出力と上記計算機に接続された第１人力と第
２人力とを備えた二安定トリガ、上記第２人力を入力と
する第１カウンタ・分割器、および上記第１ＡＮＤゲー
トの出力と上記二安定トリガの第２人力との間に上記第
１カウンタ・分割器と直列に接続しかつ上記第１人力を
入力とする第２カウンタ・分割器を有し、上記第１カウ
ンタ・分割器の出力を上記第１カウンタに接続し、上記
クロックが上記パルスを発生する上記第５項に記載の装
置。

（７）上記連続した一連のパルスを交互に上記降下入力
と上記上昇入力とに切換えるため第１カウンタ分割器回
路によって作動される論理回路を有し、上記一連のパル
スの各々が上記線における点の数に相応した多数のパル
スから成り、上記各一連のパルスが上記パルスの循環周
期に等しい時間間隔で次のパルスから分離され、また上
記上昇入力または降下入力に各一連のパルスを供給した
後随意に上記パルス発振器からの別のパルスを切換える
ため上記第３人力によって作動される二安定トリガを有
する上記第６項に記載の装置。

【図面の簡単な説明】

第１，３図は基体上に印刷される２つの任意の図形およ
びこの発明による方法でのそれらの基本図形への分割を
示し、第２図は計算機の周辺装置に入れることのできる
基本区分の３つの形およびそれらの相応したパラメータ
を示し、第４図はこれらの図形を基本点に分鯖する方法
およびこれらの基本点を粒子衝撃に感応する板上に刻印
する方法を示し、第５図はこれらの基本点を再生するた
め互いに直角の２つの方向にビームを偏向させる装置に
印加される電圧を示し、第６．７図はこの発明による装
置の一部分のブロック線図であり、第８図は説明線図で
あり、第９図はこの発明による装置の別の部分のブロッ
ク線図の一例を示し、第１０図は第９図に示す装置のあ
る点における電圧を示す。 図面中、１．１０は第ルジスタ、２．２０は順方向およ
び逆方向カウンタ、３，３０はデジタル・アナログ変換
器、４，４０は増幅器、２０はカウンタ、１００はクロ
ック、１０１はＡＮＤゲート、１０３は二安定トリガ段
、１０４は制御可能なカウンタ・分割器、１０５は別の
カウンタ・分割器、１０６，１０７は二安定トリガ段、
１０８゜１０９はゲート、１１０，１１１はＣＲゲート
、１１２．１１３はトリガ段、１１５，１１６はＡＮＤ
ゲート、１１７は遅延回路である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 描くべき各パターンが第１平行四辺形と矩形と第２
   平行四辺形との三つの基本図形に分割され各基本図形が
   プログラムされた数の同じ長さの平行線から成り、各平
   行線が上記長さを画定するプログラムされた数の等間隔
   の点から成り、これらの平行線が基準軸線に平行である
   二次元パターン発生装置において、等しい第１持続時間
   をもち上記平行線の数に等しいプログラムされた数の等
   間隔の連続増加段をもつ第１ステツプ電圧ｖｙを発生す
   る装置１０，２０，３０．４０と、上記第１持続時間を
   上記平行線の数で割った時間に相応する等しい第２持続
   時間をもちかつ交互に連続して増加および減少する等間
   隔の段をもち、また各一連の増加および減少段が後続の
   一連の段からｎ個の段の持続時間に等しい持続時間をも
   つ間隔だけ分離される第２ステツプ電圧Ｖｘを発生する
   装置１．２，３．４と、上記間隔で三つの形ファクタの
   コードに従ってそれぞれｎ個の補足増加段またはｎ個の
   減少段を選択的に挿入してまたは補足段を挿入せずに正
   の傾斜を成す二つの側部をもつ第１平行四辺形と矩形と
   負の傾斜を成す二つの側部をもつ第２平行四辺形との三
   つの異なる基本図形を発生させる装置とを有することを
   特徴とする二次元パターン発生装置。